DE2303025A1 - Verfahren zur nachweisung von defekten in halbleiterkristallen, sowie vorrichtung zur anwendung dieses verfahrens - Google Patents

Verfahren zur nachweisung von defekten in halbleiterkristallen, sowie vorrichtung zur anwendung dieses verfahrens

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DE2303025A1 DE19732303025 DE2303025A DE2303025A1 DE 2303025 A1 DE2303025 A1 DE 2303025A1 DE 19732303025 DE19732303025 DE 19732303025 DE 2303025 A DE2303025 A DE 2303025A DE 2303025 A1 DE2303025 A1 DE 2303025A1
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Andrzej Dr Ing Cielecki
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NAUKOWO PROD CT POLPRZEWODNIKO
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NAUKOWO PROD CT POLPRZEWODNIKO
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    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/21—Polarisation-affecting properties

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DE3715518A1 (de) * 1987-05-09 1988-11-17 Max Striffler Gmbh U Co Maschi Vorrichtung zur schlitzfraesenden oder bohrenden bearbeitung von fensterprofilen

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0672843B2 (ja) * 1986-02-08 1994-09-14 三菱電機株式会社 半導体結晶軸の解析方法
US4778269A (en) * 1986-02-08 1988-10-18 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Method for determining crystal orientation

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3715518A1 (de) * 1987-05-09 1988-11-17 Max Striffler Gmbh U Co Maschi Vorrichtung zur schlitzfraesenden oder bohrenden bearbeitung von fensterprofilen

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