DE2302702A1

DE2302702A1 - Einrichtung zur lageeinstellung

Info

Publication number: DE2302702A1
Application number: DE2302702A
Authority: DE
Inventors: Masaru Higuchi; Masao Kosugi
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 1972-01-19
Filing date: 1973-01-19
Publication date: 1973-07-26
Also published as: JPS4877771A; DE2302702C2; JPS5837114B2; US3876301A; GB1427621A

Description

PATEKTANWALTSBURO TlEDTKE - BüHLING - KlNNE TEL. (M 11) S3MSS-M TELEXi 5« MS tipat CABLE ADDRESS: G«rm«ni«p«t»nt München

8000 Mönchen 2

Bavariaring 4 Postfach 20 24 03 19. Januar 1973

Canon Kabushiki Xaisha Tokyo, Japan

Einrichtung zur Lageeinstellung

Die Erfindung betrifft eine Einrichtung zur Lageeinstellung, die mit einer Nachführung-Bewegungsvorrichtung versehen ist, und zwar im einzelnen eine Einrichtung zur Lageeinstellung, mit der ein Gegenstand in·eine vorbestinmte Lage eingestellt bzw. gebracht werden kann, wobei diese Einrichtung mit einer handbetätigten Bedienungs- bzw. Steuervorrichtung zur Lageeinstellung versehen ist, sov.'ie mit einer beweglichen Lagerungs- bzw. Halteeinrichtung, welche den Gegenstand trägt bzw. halt und derart bewegt wird, daß sie der Betätigung der Bedienungs- bzw. •Steuervorrichtung folgt.

Bei dem Verbindungvorrang, in welchen Transistoren oder Halbleiterelemente integrierter Schaltungen zusammengefügt werden, oder bei dem Verfahren, .in dem diese Elemente

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DwtMh· tank (Möndwi) K 51/11970 Or««dn«r Bank (München) Kto. »3· 6*4 PoaUchack (Münct>»n) Kit). «7043-804

ORIGINAL INSPECTED

in Form eines Schaltungsmusters gedruckt bzw. hergestellt werden, ist es wesentlich, daß die Kalbleiterkügeichen bzw. -körper oder die Kontaktplattenmuster genau in einer vorbestimmten Lage angeordnet werden. Jedoch ist die Anordnung derartiger kleiner Gegenstände, wie z.B. Kalbleiter o. dgl. mit hoher Genauigkeit in eine vorbestimmte Lage selbst für erfahrene Bedienungspersonen ziemlich mühsam, so daß letztere infolge dessen einen hohen Grad des Könnens und sich über lange Zeit erstreckende praktische Erfahrungen erwerben müssen.

Um eine rialbleiterkcntaktplatte oder einen anderen kleinen Gegenstand mit sehr hoher Genauigkeit in eine .gewünschte Lage einzustellen, wurde in sehr vielen Fällen ein Mikroskop verwendet, in dessen Blickfeld der Gegenstand angeordnet und während der Betrachtung durch das Mikroskop in die vorbestimmte Lage verschoben wurde. Die Herstellung von Elementen integrierter Schaltkreise, insbesondere das Verfahren des Drückens eines vorbestimmten Musters auf eine Halbleiterkontaktplatue als Substrat eines integrierten Schaltkreises wird nun als Beispiel mehr erläutert. Um eine Halbleiterkontaktplatte, die im Hinblick auf eine Schablone, welche ein zu druckendes Muster aufweist, mit einer lichtwiderstandsfähigen Schicht überzogen ist, auszurichten, bringt eine Bedienungsperson die Kontaktplatte auf einen Kontaktplattcn-Lacerunrstisch sowie in das Betrachtungsfeld eines Mikroskops. Die Bedienungsperson betätigt dann manuell Einstellscheiben, um auf diese Weise

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den Lagerungstisch solange zu verlagern, bis eine auf (3er Kontaktplatte ausgebildete Bezugsmarkierung in Übereinstimmung mit einer auf der Schablone angebrachten Bezugsmarkierung gelangt ist. Dann wird das Mikroskop bezüglich der Halbleiterkontaktplatte nach auswärts verlagert und eine druckende bzw. kopierende Lichtquelle in eine mit der Kontaktplatte ausgerichtete Stellung bevregt. Schließlich wird die Lichtquelle angeschaltet, so daß das vorbestimmte, auf der Schablone befindliche Muster auf die lichtwiderstandsfähige bzw. -empfindliche Schicht der Halbleiterkontaktplatte aufgedruckt bzw. -kopiert wird. Ein derartiger Vorgang erfordert von der Bedienungsperson während des Lageeinstellvorganges bei jeder Halbleiterkontaktplatte die Ausführung einer Okulärmessung, ein Vorgang, der einen ernsthaften Engpass bei dem Lageeinstellvorgang bildet.

Vor kurzem wurde ein "Cfcensman"-System bezeichneter Ausrichtungsiriechanismus zur Verbesserung des vorerwähnten Verfahrens vorgeschlagen. Dieses System verlangt von der Bedienungsperson die Durchführung einer Tätigkeit für die Lageeinstellung in zwei zueinander senkrechten Richtungen, von denen sich jede in der gleicher! Ebene befindet. In diesem System ist jedoch ein Tisch mit einer darauf befindlichen Kalbleiterkontaktplatte mit einem zur manuellen Betätigung des Tisches von außen eingerichteten Manipulator mechanisch verbunden, so daß die P-eZiehung zv/ischen beiden im Hinblick auf die Position einer mechanischen Beschränkung unterließt, wobei man außerstande ist, den Manipulator vor Tisch zu

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trennen, was einen Nachteil darstellt.

Mit der vorliegenden Erfindung sollen alle vorerwähnten Nachteile des Standes der Technik überwunden werden, und es soll eine automatische Betätigung der vorerwähnten Ausrichtung ermöglicht v/erden, so daß die Arbeitsleistung verbessert werden kann.

Mit der Erfindung wird eine Einrichtung zur Lageeinstellung geschaffen, in der zum Zwecke des Einstellens einer beweglichen Trag- bzw.. Halteeinrichtung mit einein darauf angeordneten Gegenstand in eine gewünschte Lage die in derselben Ebene erfolgende Bewegung einer handbetätigten Betätigungseinrichtung in zwei zueinander senkrechte Richtungen aufgelöst wird, d.h. in die X- und in die Y-Richtung, sowie vorzugsweise weiterhin in eine Drehrichtung, nämlich die O-Richtung. Mit der Erfindung wird weiterhin eine Steuersignalerzeugungseinrichtung zur Verfügung gestellt, die ein elektrisches Ausgangssignal· erzeugt, welches dem Betrag der Bewegung aus einen Bezugspunkt heraus in die jeweilige Richtung in X-, Y- und O-Kcrnponenten aufteilt und mit der Betätigungseinrichtung zur Aufnahme des Steuersignals verbunden ist; sowie eine Antriebseinrichtung, mit der die Trag- bzw. Lagerurigs- bzw. Badeeinrichtung derart bewegt wird, daß sie der Verlagerung der Betätigungseinrichtung folgt.

Außerdem ist die mit der Erfindung geschaffene

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Lageeinstelleinrichtung vorzugsweise so ausgebildet, daß bein Aufhören der manuellen Betätigung der handbetätigten Einrichtung, die zum Bewegen der den Gegenstand tragenden Trag- bzw. Badeeinrichtung dient, also bein Freigeben der Betätigungseinrichtung, letztere automatisch in ihre BszufS-lage zurückgebracht wird.

Die Erfindung wird nachstehend anhand sch erratischer Zeichnungen an Ausführunfsbeispielcn näher erläutert.

Pig. 1 zeigt eine Ansicht, die das Prinzip einer

bisher verwendeten Deckeinrichtung: zum Herstellen eines schablonengemäßen Musters veranschaulicht;

Fig. 2 zeigt eine Aufsicht auf die in der vorerwähnten Schablononmuster-Druckeinrichtunp; verwendeten Vorrichtung zur Lageeinstellung der Kontaktplatte;

Pig, 3 zeigt eine Übersicht, aus der die Schaltunp;sverbindunft der handbetätigten Einrichtung, der Steuereinrichtung, der Antriebseinrichtung und der den Gegenstand haltenden Einrichtunr. ersichtlich ist, die in der Laseeinstelleinrichtun^· der Erfindung angewandt werden;

Pig. ^l\ zeigt eine perspektivische Ansicht, v/eiche

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Einzelheiten der handbetätigten Einrichtung veranschaulicht, die in der in-Pig, 3 gezeigten Lageeinstelleinrichtung angewandt wird, sowie eine Steuersignalerzeugungseinriehtung, die in der vorerwähnten Einrichtung vorgesehen ■ ist j

Fig. 5 zeigt eine übersieht, die eine Dehnungs~ bzw. Spänftungsmesserariordnuftg veranschaulicht, welche in der steuersignalerzeugungseinrichtung rtach Fig. 4 Anwendung findet;

Fig. β zeigt ein elektrisches Schaltbild mit den in den Fig. 4 und 5 dargestellten Spannungs- bzw, Dehnungsmessern;

Fig. 7 zeigt eine perspektivische Ansicht einer gegen** über Fig. ^l\ abgewandelten Form einer Betrietisbzx-7. Steuereinrichtung und einer Steuersignalerzeugungseinrichtung; und " -

Fig. 8 zeigt eine perspektivische Ansicht einer gegenüber Fi". ^}i und Fig. 7 abgewandelten Förir. einer Betriebs- bzw. Steuereinrichtung und der Signalerzeugungseinrichtung.

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Unter Bezugnahme auf Fig. 1 sei nun zunächst die Tätigkeit des Ausrichtens in der vorerwähnten Schablonenmuster-Druckeinriehtung näher erläutert.

In Fir,· 1 ist mit dem Bezugszeichen 1 ein Tisch versehen, auf der! eine Kontaktplatte 2 angeordnet und der in allen Richtungen bewegbar ist, und zwar unter Einschluß der X-"Richtung und der Y-Richtung, die sich unter rechten V.'inkeln in der gleichen Ebene schneiden, sowie in der die Xontakt plat t enhs.lt ceinr ich tunr umfassenden Drehbewegungsrichtung, d.h. in der O-Richtung. Das Bezugszeichen 5 stellt ein Spiel dar, während nit L eine Lichtquelle bezeichnet ist. Sine Projektionslinse, deren Vergrößerung vorzugsweise 1 beträgt, ist mit dom Bezugs zeichen ';. versehen, wogegen das Bezugszeichen ^₂ einer Kondensorlinse zugeordnet ist. T*it SL ist ein halbdurchlässiger Spiegel bezeichnet, der zwischen der Projektionslinse i\_A und der Kontaktplatte 2 angeordnet ist. Dieser halbdurchlässig Spiegel hat die Funktion, einerseits ein Lichtbündel durchzulassen und andererseits •Strahlen, die von der oberen Oberfläche der Kontaktplatte 2 zurückgeworfen werden sind, zu reflektieren. Fit AL ist ein Ausrichtung- bzv.^T. Einstellungsbeobachtungsinstruinent bezeichnet, das aus einer Objektivlinse Ob., Spiegeln Mr.,, Ψ.Τ2 und einem Okular Ob ρ besteht und die vom halbdurchlässigen Spiegel SL herkommende Lichtstrahlung erfaßt.

Der Ausrichtungsvorgang wird in der V/eise vorgenommen, daß ein Musterbild der Schablone 3 mittels eines

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QPtischen Projektionssystems, das aus der Lichtquelle L₄ der Kondensorlinse 4~ , dem reflektierenden Spiegel 5 und der Projektionslinse 4^ besteht, auf die in der X--, Y- und 0-Richtung auf dem Tisch 1 bewegbare Kontaktplatte 2 aufgestrahlt und gedruckt wird, wonach die Lage des Tischs 1 eingestellt wird, während man die Kontaktplattenoberfläche durch das Ausrichtung^- bzw. Einstellungsbeobachtungsinstrument AL beobachtet, und danach wird ein anderes Schablonen-Musterbild in einer ir.it dem vorher auf die Kontaktplatte 2 aufgedruckten Bild übereinstimmenden bzw. zusammenpassenden Lage erzeugt«

Es sei darauf hingewiesen, daß es neben der vorstehend erläuterten und in Fig. 1 dargestellten Schablonenrnuster-Druckeinrichtung nach dem Projektionssystem auch andere Schablonenmuster-Druckeinrichtungen gibt, beisnielsweise solche, in denen das Schablonenmuster durch enge Berührung der Schablone 3 mit der Kontaktplatte 1 aufgedruckt wird, oder bei denen nur ein geringer Zwischenraum zwischen Schablone und Kontaktplatte ist, anstatt daJVman die Projektionslinse ^₁ zwischen die Schablone 3 und die Kontaktplatte 1 einfügt. Trotzdem erfordert auch ein solches System einen AusrichtungsVorgang, und das in Fig. 1 dargestellte Ausrichtungs« bzw. Einstellungsbeobachtungsinstrument wird auch hier angewandt.

Ein Aufbau des Tisches 1 zum Plazieren einer Kontakt· platte, der bei der bisher benutzten Schablonenmuster-Druck-

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einrichtung angewandt wird, ist in Fig. 2 dargestellt. Hier ist mit 2 eine auf dem Tisch 1 angeordnete Kontaktplatte bezeichnet. Der Tisch 1 ist in der X-, Y- und O-Richtung in der gleichen Ebene verschiebbar. Das Bezugs zeichen 51a ist einer Grundplatte zugeordnet, die den Tisch 1 trägt und in der X-Richtung bewegbar ist, während das Bezugszeichen 50a einer Grundplatte zugeordnet ist, die ebenfalls den Tisch 1 trägt und in Y-Richtung senkrecht zur X-Richtung bewegbar ist, wobei jede Grundplatte nit einen handbetätigbaren Lageeinsteliteil versehen ist, von denen das Laseeinsteilteil VL zur Bewegung in der X-Richtung dient und das Lageeinstellteil Y₀ zur Bewegung in der Y-Richtung. Das Lageeinstellteil V.'_v dient dazu, ein auf den Tisch 1 angebrachtes vorspringendes Stück la irdt Druck zu beaufschlagen, so däJ?. der Tisch 1 um dessen ichse υ in der 0-Richtung gedreht vrerden kann. Υ_Ύ1 ist ein Einstellteil, welches das vorstehende Stück la in eine mit einem Pfeil angedeutete Richtung drängt, die entgegengesetzt zur Druckrichtung des Lageeinstellteils V^r-, ist und das vorstehende Stück la durch die V'irkur.g der Triebkraft des Einstellteils VJ-,, in seine AuGgar.gslage zurückbringt, wenn die manuelle "Betätigung des Lareeinstellteils V.^:, aufhört bzw. dieses Teil freigegeben wird.

Der Tisch 1 kann in der X-, Y- und O-Richtung in eier gleichen Ebene durch jeweilige Betätigung der Lageeinstellteile VJ₁, V_n und Υ_Ύ bewegt vrerden.

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Die Nachteile dieser in den Pig. I und 2 dargestellten Einrichtung gemäß dem Stande der Technik sind von der weiter oben beschriebenen Art.

In Fig. 3 ist eine allgemeine Ansicht einer Ausführungsform der erfindungsgemäßen Einrichtung dargestellt. In dieser Figur ist mit 6 eine handbetätigte Einrichtung bezeichnet, deren näherer Aufbau weiter unten erläutert wird. Diese Betätigungseinrichtung kann, wie durch Pfeile angedeutet ist, in der X-, Y- und O-Richtung, welche in der gleichen Ebene liegen, bewegt v/erden. Das Bezugs zeichen 7 ist einer weiter unten näher erläuterten Brückenschaltung zugeordnet, xtfährend mit 3 eine Verstärkungsschaltung bezeichnet ist, die dazu dient, die Ausgangssignale der Brückenschaltüng zu verstärken, wobei die beiden Schaltungen Steuereinrichtungen umfassen. Das Bezugszeichen 60 repräsentiert Leitungen, die übertragungswegs für ein Ausgangssignal von einer zur Betätigungseinrichtung 6 hinzugefügten Signalerzeugungseinrichtung (weiter unten näher beschrieben) bilden und elektrische Signale χ, y und- Θ, die der Versetzungsbzw. Verschiebungsinformation in der X-, Y- und O-Richtunp entsprechen, zur Brückenschaltüng übertragen. Die Eezugszeichen 1 und 2 sind dem vorerwähnten Tisch bzw. der Kontaktplatte zugeordnet. In diesem Zusammenhang sei darauf hingewiesen, daß unter dem Begriff "Kontaktplatte" alle möglichen Substrate, Unterlagen o. dgl. für Schaltungen, insbesondere gedruckte Schaltungen, verstanden werden sollen. Mit 9, 10 und 11 sind Servomotoren bezeichnet, die über Leitungen 6la

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bzw. 6lb bzw. öle mit der Verstärkerschaltung 8 verbunden sind. Der Servomotor 9 ist betriebsmäßig mit einer Grundplatte 50 verbunden, so daß er den Tisch 1 in der mit der X-Richtung der Betätigungseinrichtung 6 übereinstimmenden Richtung bewegen kann. Der Servomotor 10 ist betriebsmäßig mit der Grundplatte 51 verbunden, so daß er den Tisch 1 in der mit der Y-Richtung der Betätigungseinrichtung 6 übereinstimmenden Richtung bewegen kann. Schließlich kann der betriebsmäßig mit dem Tisch 1 verbundene Servomotor den Tisch 1 in der mit der O-Richtung der Betätigungseinrichtung 6 übereinstimmenden Richtung bewegen. Diese Servomotoren 9j 10.und H₃ von denen jeder einzeln betätigbar ist, dienen als Antriebsvorrichtung für den Tisch 1.

Eine Ausführungsform der Betätigungseinrichtung 6 (auch als Betriebs- bzw. Steuereinrichtung bezeichnet) wird nachstehend unter Bezugnahme auf Fig. ^ näher erläutert, Die Bezugsseichen 12, 13 > l*t und 15 sind Flach- bzw. Blattfedern zugeordnet. Fi e die Darstellung zeigt, sind die Blattfedern 12 und I¹I symmetrisch bezüglich der X-Achse in der Ebene angeordnet₉ welche die Y- und Z-Achse enthält, während die Blattfedern 13 und 15 symmetrisch 'zur Y-Achse in der Ebene angeordnet sind, Vielehe die X- und Z-Achse enthält. Kit 16 ist eine Befestigungsgrundplatte bezeichnet, an der Jeweils ein Ende der Blattfedern 12 bis 15 befestigt ist. Am freien oberen Ende jeder Blattfeder ist ein zylindrisches Gleitteil 17 befestigt. Ein Gehäuse 19 ist um einen äußeren Umfängsteil IS der Befestigungsgrundplatte 16 ange-

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bracht. Zwischen den Gehäuse 19 und einem Betätigungssriff 20 ist eine öffnung t ausgebildet, so daß der Betätigungsgriff 20 auf seiner Planschoberfläche 2O₁ und der Planschoberfläche 19j des Gehäuses 19 gleiten kann und in einer geeigneten Richtung in der gleichen Ebene bzw. in einer festen Ebene bewegbar ist, wobei diese Flanschoberflächen als Führung dienen. In der Rückseite des Betätigungsgriffes 20 sind Ausnehmungen 21 und 22 ausgebildet, die sich in der Richtung der X-Achse bzw. in der Richtung der Y-Achse erstrecken, und die an den äußersten Enden der Blattfedern befestigten Gleitteile 17 sind verschiebbar in die jeweilige Ausnehmung eingelegt bzw. -gefügt.

Zum besseren Verständnis der Wirkungsweise der Blattfedern ist deren Anordnung· in Fig. 5 in ihrem ebenen Aufbau zusammen mit der X- und der Y-Achse gezeigt. Wie die Fig. 4 und 5 zeigen, sind Spannungs- bzw. Dehnungsmesser auf den Seiten der Blattfedern 12 bis 15 angebracht, die mit G_AJ ^Gg, G_c, G-j und G₁, bezeichnet und vorzugsweise KaIhleiter-Spannungs- bzw. -Dehnungsmesser sind. Wie man erkennen kann, sind die Spannungs- bzw. Dehnungsmesser G. und G„ an den Blattfedern 12 bzw. 14 angebracht, damit sie als Meßelemente zur Feststellung der Verschiebung in der X-Richtung dienen können, während die Spannungs- bzw. Dehnungsmesser G„ und G_n an den Blattfedern 13 bzw. 15 angebracht sind, damit sie als Meßelernente zur Feststellung der Verschiebung in der Y-Richtung" dienen können, und schließlich ist der Spannungs- bzw. Dehnungsmesser G₁₇ an der dem Spannunps- bzw.

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Dehnungsmesser G_A abgewandten Seite der Blattfeder 12 angebracht, so daß er im Zusammenwirken mit dem Spannungsbzw. Dehnungsmesser G„ als Meßeinrichtung zum Feststellen der Verschiebung bzw. Verdrehung in der O-Richtung wirksam ist. Anstelle der Verv/endung des Spannungs- bzw. Dehnungsmessers G_n in der vorerwähnten Kombination kann auch ein Spannungs- bzw. Dehnungsmesser G„, verwendet werden, der an der Blattfeder 1*} angebracht ist, um als Meßelement für die Peststellung der Verschiebung bzw. Verdrehung in der O-Richtung zu dienen; ein Beispiel dieser Ausführungsart, die in Fig. 6 veranschaulicht ist,wird weiter unten näher erläutert. Wie die Fig. 6 zeigt, sind die Spannungs- bzw. Dehnungsmesser über eine Leitung 60 mit den Prückenschaltungen verbunden.

Der Aufbau der Erückenschaltungen wird nunmehr unter Bezugnahme auf Fig. 6 näher erläutert. Hierin ist Ei eine Stromquelle. Mit dieser Stromquelle Ei sind drei Brückenschaltungen 7a, 7b und 7c verbunden. Diese Brückenschaltungen dienen dazu, die Verschiebung in der Richtung _% der X-Achse, die Verschiebung in der Richtung der Y-Achse und die Verschiebung bzw. Verdrehung in der O-Richtung relativ zur Betätigungseinrichtung 6 festzustellen. In jeder der Brückenschaltungen sind mit R spezifische V/iderstände bezeichnet, die jeweils zwei Seiten in einer Brückensehaltung bilden. Die Spannunrs- bzw. Dehnungsmesser G., G„ und G_E bilden jeder eine andere Seite in der jeweiligen Brückenschaltung, während die Spannungs- bzw. Dehnungsiresser

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Qg, Gjj, Gg₁ jeder eine weitere Seite in der jeweiligen Drückenschaltung bilden. Ε_Λ . F, „ und E-, sind die Aus-

ox oy ow

gangeanschlüsse der jeweiligen Drückenschaltungen 7a, 7b und 7c; diese Ausgangsanschlüsse sind, wie Piß. 3 zeigt, mit dem Verstärker 8 verbunden.

Die Betriebsweise der erfindungsgemäßen Lageeinstelleinrichtung wird nun unter Bezugnahme auf die Fig. 3 bis 6 näher erläutert.

Im oberen Teil des Tischs 1, der eine Lagerungsbzw. Halteeinrichtung für eine Kontaktplatte 2 bildet, ist eine Einrichtung zum Drucken bzw. Kopieren eines Schablonenmusters angeordnet, wie in Fig. 1 dargestellt; außerdem ist ein bekanntes Ausrichtungs- bzw. Einstellunf-sbeobachtungsinstrument so vorgesehen, daß nan das Ergebnis des durch die erfindungsgemäße Einrichtung erzielten Lageeinstellvorganges sehen kann.

Die Tätigkeit, die zur Lageeinstellung einer Kontaktplatte in einer derartigen Schablonennuster-Druckeinrichtung auszuführen ist, wenn eine erfindunpsgemäße Lageeinstelleinrichtung angewandt wird, ist nachstehend erläutert.

Die Bedienungsperson handhabt den Griff 20 manuell als Betätigunpsmittel, während sie durch das Ausrichtungs- bzw. Einstellunpsbeobachtunrsinstrument

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sieht; i» Gesichtsfeld dieses Instruments ist zu diesem Zeitpunkt ein Muster auf der Kontaktplatte 2 und ein Schablonennuster zu sehen. Da beide Musterbilder so verschoben werden sollen, daß sie zur überdcckung gebracht werden, ist es erforderlich, daß die Bedienungsperson den Griff 20 frei bewegt und den Tisch 1, welcher der Bewegung des Griffes folgt, verschiebt, bis beide Musterbilder übereinander passen. Diese Nachführung- bzw. Folgesteuerung wird nachstehend beschrieben.

Vienn der Griff 20 in ( + } X-Richtung bewegt wird, dann wird das Gleitteil 17 in der Ausnehmung 21 in unteren Teil des Griffes nicht durch die Eetätigungskraft beeinflußt, während das Gleitteil 17 in der Ausnehmung 22 verschoben wird, wobei es die Blattfedern 12 und I¹I in der (+) X-Richtung krümmt und auf der Seitenwand der Ausnehmung ruht. Durch die Biegung der Blattfedern 12 und l*f werden die daran angebrachten Spannunps- bzw. Dehnungsmesser G. und Gg auf Druck und Spannung beansprucht, und im Falle einer Bewegung in der C-) X-Richtung werden die vorerwähnten Spannungs- bzw. Dehnungsmesser in Eezug auf die vorerwähnte Beanspruchung im umgekehrten Sinne belastet. Der Widerstandswert des Spannungs- bzw. Dehnungsmessers, der durch diese Belastung verursacht wird, verändert sind, und zwar im Falle der Verschiebung in der (+) bzw. (-) X-Richtung um den gleichen Widerstandswert, wenn der Betrag der Verschiebung gleich ist. Wenn R die Änderung des Widerstandswerts

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des Spannungs- bzw. Dehnungsmessers ist und die Zusätze A bis E verwendet werden, um den Widerstandswert jedes Spannungs- bzw. Dehnungsmessers zu repräsentieren, dann läßt sich die Veränderung des Widerstandswertes der Spannungs- bzw. Dehnungsmesser G. und G_ß im Falle der vorerwähnten Verschiebung in der X-Richtung durch die Beziehung

ausdrücken, wobei die Absolutwerte gleich sind.

Auch im Falle der Verschiebung des Griffs 20 in der Y-Richtung, wird diese in entsprechender Weise durch die Spannungs- bzw. Dehnungsmesser 0_c und G_D erfaßt, wobei die Änderung des Widerstandswertes Δ R_c = "^Rp ist. Wenn der Griff 20 gedreht wird, dann nehmen die Blattfedern 12 und I¹I einen Verdrehungs Vorgang auf, so daß die Spannunps- bzw. Dehnungsmesser G- und G„_t eine Beanspruchung erfahren, und zwar einer Spannung bzw. einem Druck ausgesetzt sind, oder einer diesbezüglich umgekehrten.Belastung, wobei dann |4R_E I « |ΔΗ_Β, I ist.

Demgemäß kann die Erfassung der Bewegung des Griffes 20 so vorgenommen werden, daß man diese Bewegung in die Komponenten der Verschiebung bzw. Verdrehung in der X-, Y- und O-Richtunc auflöst. Damit man die Komponente in jeder Richtung als ein elektrisches Signal abnehmen kann, werden die Änderungen der Ausganfssignale in den

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in Pig. 6 gezeigten Brückenschaltungen 7a, 7b und 7c festgestellt. Zu diesem Zeitpunkt ist das Verhältnis £ Ausgangsspannung E " in Bezug auf die Spannung Ei, die an die Brückenschaltung angelegt ist, gegeben durch den Ausdruck

V- al

Ei ~ 2 R

worin R der vorerwähnte spezifische Widerstand ist, der auch gleich den· Widerstand ist, der sich ergibt, wenn die Belastung jedes Spannungs- bzw, Dehnungsmessers Mull ist.

Wenn der Griff 20 mit linearen Bewegungen in der X-Richtung oder Y-Richtung beaufschlagt ist oder mit einer resultierenden Bewegung in der X- und Y-Richtung sowie mit einer Drehbewegung, dann v/er den die an den 'Ausgangsanschlüssen E , E und Eq der .jeweiligen Brückenschalt ungan 7a, 7b und 7c auftretenden Ausgangssignale wiedergegeben durch die Beziehungen

^Y _ _ ARx ~ _ _ A^y „ _ _Λρ

v;obei das Ausgangssignal für die X- oder Y-Richtung dureh .die Komponente der Drehbewegung leicht beeinflußt ist, und wobei ferner das Ausgangssignal für die Q-Richtung (Drehrichtung) in entsprechender Weise durch die Komponente für die X-Richtung beeinflußt ist. Dieser Einfluß der Komponente der X-Richtung auf die Bewegung in der O-Richtung

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wird durch die Anordnung der Spannungs- bzw. Dehnungsmesser G₁₇ und, Q_n, (oder G_p) in der Richtung der X-Achse hervorgerufen.

Die der Bewegung des Griffes entsprechende Information, die durch die Spannungs- bzw. Dehnungsmesser nach Maßgabe der Belastung in eine elektrische Größe umgewandelt worden ist, wird durch die Brückenschaltung.7 weiterhin in ein Spannungssignal umgewandelt und erscheint an den 1-igen Ausgangsanschlüssen E , E und 3_oQ; dieses^ Spannungssignal dient nach Durchgang durch den Verstärker-M "als Eingangssignal für die Servomotoren 9_} 10 und 11. Die Anzahl der Umdrehungen eines Servomotors steht im Verhältnis zu der dem Servomotor eingegebenen Eingangsspannung. Nachdem vorstehend die Nachführung- bzw. Polgesteuerung kurz erläutert worden ist, wird· diese Steuerung in Bezug auf den Tisch 1 für den Pail,daß der Griff 20 linear um den Betrag y/bei einer Drehung un" den Winkel <7i aus der X-Achse heraus, wie in der Zeichnung dargestellt, bewegt worden ist, nun im einzelnen erläutert. ,,...

Die freien Enden der Blattfedern 12 und 14, welche den Betrag der Änderung der Komponente in der X-Hichtung des Griffes erfassen, werden mit dessen Bewegung in die X-Richtung gedrückt, und .zwar um den Betrag der Komponente der Änderung, in der X-Richtung, d.h. um S x = Y cos c( · Da das Gleitteil 17 in der Y-Richtung in der Ausnehmung 22 frei gleiten kann, wirkt die Verschiebung um die Komponente

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in der Y-Richtung₃ das ist ^ y =^sinc£ , nicht auf die Blattfedern 12 und 14 zur Erfassung der Verschiebung in der X-Richtung bzw. der x-Konponente. Infolgedessen wird durch die Spannungs- bzw. Dehnungsmesser G. und G„ die Biegung jfx an den freien Enden der Blattfedern 12 und Ik als Belastung £x festgestellt j die in ein elektrisches Signal der Widerstandsänderung 4 ^^x umgewandelt ist, das seinerseits in der Brückenschaltung 7a in das Spar.nungssignal Ex umgewandelt wird, welches das Ausgangssignal darstellt und dann über die Verstärkungsschaltung b als Eingangsspannung für den Servomotor 9 dient, so daß die Grundplatte 50 mit der darauf befindlichen Tisch 1 mittels dieses Motors in der X-Richtung bewegt wird.

Weiterhin wird der Betrag der Verschiebung, der durch die Komponente in der Y-Riehtung des Griffes bewirkt wird, als Biegung der Blattfedern 13 und 15 in der gleichen V.'eise wie oben erfaßt, wobei dieser Betrag gleich Jy = Y sin s( ist; diese x-Komponente wird in eine Biegung der Spannungsbzw. Dehnungsmesser G_n und G~ und weiterhin durch die Brückenschaltung 7b in das 5-parmungssicnal Ey umgewandelt, das der Brückenschal tunr, als Aus gangs signal entnommen und über den Verstärker 8 den Servomotor 10 zugeführt wird, wodurch die Grundplatte 51 mit dem darauf befindlichen Tisch 1 in der Y-Richtung bewegt wird. .

Wenn die lineare Proportionalbeziehung in einer Signa!verarbeitung des Vorganges aufrecht erhalten wird,

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bis die Verschiebung ^ des Griffes 20 in der Richtung g{ in Komponenten γ cos ^ und γ sin Ps in der X- und der X-Richtung aufgelöst ist_s und wenn ein in einem vorbestimmten Verhältnis hierzu stehendes elektrisches Signal durch die Brückenschaltung 7 und die Verstärkungsschaltung 8 in die Eingangsspannungen Ex und Ey umgewandelt wird, steht infolgedessen die Bewegungsgeschwindigkeit C des Tisches 1 ineinem vorbestimmten Verhältnis zum Betrag der Verschiebung Y". des Griffes 20. ¥enn daher Cx die Geschwindigkeitskomponente in der X-Richtung und Cy die Geschwindigkeitskomponente in der Y-Richtung rat Bezug auf den Tisch 1 ist, dann lassen sich die Beziehungen Cx^i^cos o^ Cy ^ g sin c£ ausdrücken durch

Cy_ ₈ _s
Cx ^r cos ^ ^L

und die Bewegungsrichtungen des Griffes und des Tische stimmen überein. Infolgedessen wird der Tisch 1 bewegt, indem er der Betätigung des Griffes 20 folgt, un<i die Lage des auf die Oberfläche der Kontaktplatte aufgedruckten Bildes bzw. Musters wird mit der Lege des Bildes eines Schablonenmusters, welches nachfolgend aufgedruckt werden soll, in Übereinstimmung gebracht.

Die Beziehung zwiseht-r oea. Betrag der Verschiebung des Griffes 20 uüd eier Bewerumj-sfreseiwindigkeit (>' des Tischs kann auch durch eine Fi?nktionöbc-;iiehung ausgedruckt werden, beispi.elsv?eise durch die Gleichur^ ^r = K^ (K ist eine

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Konstante). Wenn daher der Tisch 1 in großen Umfange bewegt werden soll, dann wird V^ groß gerächt, v/as bedeutet, daß C schneller gemacht wird, und wenn eine Feineinstellung vorzunehmen ist, dann wird V~ klein und damit C langsam gemacht. Die zur Betätigung des Griffes 20 erforderliche Kraft steht in jeder Pichtung in einem vorbestimmten Verhältnis znj ι diese Kraft wird so zur Einwirkung gebracht, daß sie vom O-Punkt nach auswärts gerichtet ist, und zwar gegen die Rückführungswirkung zu den vom O-Punkt gegebenen Zentrum.

VsQxw. es erforderlich ist, die Kontaktplatte zu drehen, dann wir der Tisch 1 um einen Punkt ? gedreht, in dem sich die X-Achse und die Y-Achse schneiden. Zu diesem Zweck dreht man den'Griff 20 uir. cen Punkt O. Der Betrag dieser Drehung des Griffes 20 wird in den Betrag einer Verdrehung der Plattfedern 12 und l^;i umgewandelt, der seinerseits durch die Spannungs- bzw. Drehnungsmesser G₁-,, G.,,, (Gp) in eine änderung von V/iderstandsworten und weiterhin dann durch die .Brückenschaltung ?c in ein Ausgangs-Spannungssignal umgewandelt v/ird. Ent Sprecher;"! dem Botrag dieses Signals und in Abhängigkeit davon, ob es positiv oder negativ ist, dreht der Servomotor 11 den Tisch 1 in der gleichen Richtung, in v/elcher der Griff 20 pedreht werden ist. Zu diesem Zeitpunkt kann eine elektrische Signalverarbeitung stattfinden, so daß der Drehwinkel θ des Griffes in ein vorbestinmtes Verhältnis zur Drehungs-v.'inkelgoschwindigkeit CO des Tisches gebracht wird. Weiterhin kann eine elektrische Signalver-

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arbeitung derart erfolgen, daß sich die Beziehung zwischen θ und '(jQ als eine bestimmte fuktionelle Beziehung ergibt.

Wenn die vorbeschriebene, auf den Griff 20 ausgeübte Betätigungskraft nicht mehr einwirkt,· wird . der Griff 20 durch die Stabilitätskraft der Blattfedern 12 bis--.15 in seine Ausgangslage zurückgebracht, d.h. in die Lage, die gekennzeichnet ist durch X = Y ="0, θ = 0. In diesem Falle kann .eine·Rückhol-, Abfang-, Korrektur- o.dpl. -feder oder ein anderer Rückhoi-, Abfang-, Xorrekturo.dgl» -mechanismus besonders vorgesehen ist.

Die vorerwähnten Servomotoren ?, 10 und 11, "die den Antriebsmechanismus zur Bewegung des Tischs 1 in der X-, Y- und Q-Richtung bilden, bleiben in der Verschiebungslage, so daß die Übereinstimmung zwischen der Kontaktplatte 2 und der Schablone 3 auch noch aufrechterhalten wird, nachdem der Ausrichtungsvorgang abgeschlossen und der Griff 20 in seine Ausgangslage zurückgekehrt ist. Um jedoch die Kontakt-.platte in ihre Ausgangs lage zurückbringen zu können, nachderr. das Schablonenmuster darauf aufgedruckt worden ist, kann jeder Servomotor durch ein Potentiometer ergänzt worden, mit dem die Umdrehungen der Servomotoren gespeichert werden können; und die Servomotoren können durch ein Rückstellsignal von einer nicht dargestellten Rücksteileinrichtung in ihre Ausgangspositionen zurückgebracht v/erden.

Gemäß den dargestellten Ausführune-sbeispielen

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werden zur Ausbildung einer Erückenschaltung in jeder Richtung zwei hinsichtlich der Temperatur eigenkompensierte Spannungs- bzv;. Dehnungsmesser verwendet, wenn jedoch zur Ausbildung eines Brückenkreises vier Spannungs- hzw. Dehnungsmesser benutzt werden, dann läßt sich ein doppeltes Spannungssignal erzielen. V.'enn ein kugelförmiges oberes Gleitteil 17, das auf den Blattfedern 12 bis 15 angebracht ist, oder ein zylindrisches oberes Gleitteil verwendet wird, wie es dargestellt ist, dann kann εκ v/ünschenswert sein, die Passung bezüglich der Ausnehmungen 21 und 22 in der X- und Y-Richtung zu lockern, damit die Verdrehungskraft nicht auf die Blattfedern einwirkt.

Weiterhin ist es von besonderen¹ Vorteil, wenn gemäß der. bevorzugten Ausführungsbeispiel der Erfindung Kalbleiter-Spannungs- bzw, -Dehnungsmesser verwendet v/erden, da diese eine I-.'iderstandsänderunrsrate haben, die größer als diejenige anderer Spannungs- bzvr. Oehnunnsnesser ist, und da sie weiterhin eine große Ermüdungsgrenze besitzen.

Fig. 7 zeigt eine abgcvrandelte Ausfuhrungsform einer handbetätigten Betriebs- bzw. Steuereinrichtung, in welcher derartige Spannungs- bzv;. Dehnungsmesser angewandt sind.

Das Pezugszeichen 20^r ist einen Betätigungsteil zugeordnet, das dem Griff 20 entspricht und eine zylindrische Fom besitzt sowie auf einer Grundplatte beliebig in der

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Weise angebracht Ist, daß es In der X-, Y- und O-Richtung verschieb- bzw. verdrehbar ist. Auf der Oberfläche dieses Betätigungsteil sind zwei Spannungs- bzw. Dehnungsmesser Gx₁ und Gx₂ auf einer Linie angebracht, welche die X-Achse schneidet, so daß dadurch die Verschiebung des Betätigungsteils in der X-?achtung erfaßt wird; und zwar ist vorzugsweise je einer dieser Spannungs- bzw. Dehnungsmesser auf je einer Linie vorgesehen, wobei diese beiden Linien symmetrisch zur Y-Achse liegen. Weiterhin sind zwei Spannungs- bzw. Dehnungsmesser Gy. und Gy _? auf einer Linie angebracht, welche die Y-Achse schneidet, so daS die Verschiebung in der Y-Richtung erfaßt wird; diese beiden Spannungs- bzw. Dehnungsmesser.sind vorzugsweise auf je einer von zwei symmetrisch zur X-Achse liegenden Linien angeordnet. Schließlich sind zwei Spannungs- bzw. Dehnungsmesser Go₁ und Gop so angeordnet, daß sie sich unter einem rechten Winkel schneiden, damit die Verdrehungen in der O-Richtung erfaßt werden. Eine Ausgangsleitung 60' dieser Spannungs- bzw. Dehnungsmesser ist mit der vorerwähnten Eruckensehaltung 7 . verbunden, wobei die anderen Signalausgänge genau diegleichen wie bei der vorher beschriebenen Betätigungseinrichtung sind, Jeder der Spannungs- bzx«;. Dehnungsmesser Gx₁J Gx₂, Gy₁₅ Gy₂J Go₁ und Go₂ ist in genau dergleichen Weise die vorerwähnten Spannungs- bzw. Dehnungsmesser G„ bis G_E in die jeweilige Weite der Brückenschaltung eingefügt. Infolgedessen ist die Art der Steuerung,-durch welche der Tisch 1 mittels Handhabung des Betätigungsteils 20' angetrieben bzw, bewegt wird, genau übereinstimmend mit der

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oben bereits beschriebenen Steuorunpsart, so daß sich daher eine diesbezügliche nähere Erläuterung erübrigt.

Fig. 8 zeipt eine weitere Ausfuhrungsform der erfindungsgemäßen Betriebs- bzw. Steuereinrichtung sowie eine andere abgewandelte Ausfuhrungsart der Steuersignalerzeugungseinrichtunj-·. Mit 20" ist ein Griff bezeichnet, der dem Griff 20 entspricht, und dessen Planschteil 20"a auf der Befestigunrjsgrundplatte fi', verschiebbar ist. An den Griff 20" ist eine Lichtquelle 71 befestigt, die zusammen ir.it den Griff bewegbar ist. Weiterhin ist an den Griff eine Linse 72 befestigt, welche so ausgebildet und anneordnet ist, daß sie aus dem Licht der Lichtquelle 71 eine BiIdinfornation, beispielweise in Form eines Lichtpunktes, auf die Lichtempfangs fläche eines photoelektrischen Uandlerelenents 73 projiziert. Dieses V'andlerelement 73 umfaßt vorzugsweise ein Element, das auf photoelektrischem VJege eine elektromotorische Kraft erzeugt-, indem es Licht in ein elektrisches Signal, vorzugsweise eine elektromotorische .Kraft, umwandelt, das die Verschiebung, des Griffes 20" aus dessen Ausgangspunkt erfaßt und in eine X- und eine Y-I-'onvponente aufteilt. In dieser. Zusammenhang sei darauf hingewiesen, daß ein Zentrum O¹ der T.ichterpfannsfläche des photoelektrischen V.'andlcrelements 73 in Übereinstimmung mit dem Zentruir des Griffes 20" angeordnet ist. Daher wird, wie die Zeichnung veranschaulicht, die Verschiebung des Griffes 20¹' und die damit, verbundene Verschiebung der Lichtquelle 71 durch die Verschiebung einer Lichtabbildung Q

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auf der Li chtenp fangs fläche gegenüber eiern Punkt O' erfaßt, und zwar als Verschiebungskonponente in der X-Richtung bzw. als Verschiehungskomponente in der Y-Richtung, wobei jede dieser Komponenten in ein elektrisches Signal umgewandelt wird, das mit einer Steuereinrichtung 75 verstärkt und in die Servomotoren 9 und 10 in Form eines opannungssignals eingespeist wird. Auf diese Weise kann der Tisch 1 in der X- und Y-Richtung (she. Pig. 3) angetrieben v/erden. Bei diesem Betrieb, der ohne die Notv^endigkeit einer Drehung erfolgt, kann der Tisch 1 mittels der Betätirungseinrichtuncr 20" und der Steucrsignaierzeugungseinrichtunr 73 > die in Fig. 8 dargestellt sind, angetrieben bzw. verschoben werden, wodurch der Aufbau der Lageeinstelleinrichtung vereinfacht wird.

mit der in Fig. 3 gezeigte Eetütigungsgriff 20" beim Aufhören der Betätigungskraft automatisch in seine Ausgangsstellung zurückkehrt, sind elastische mittel Bla, Sib, 8lc und 8ld (letzteres ist nicht dargestellt), beispielsweise Federn, vorgesehen, von denen ,je ein Ende am Griff 20" befestigt ist, während das andere Ende an jeweils einem Halteteil 80a, 80b, 80c und 8Od (letzteres ist nicht dargestellt) der Befestigungsgrundplatte Jh angebracht ist.

Gemäß der Erfindung wird die versetzte Lage des aus seinem TIrsprungspunkt bzw. aus seiner Ruhelage bewegten Betätigungsgriffes in eine der X-, der Y- und der B-Richtung entsprechende Komponente aufgeteilt, so daß ein elektrisches

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Signal erzeugt wird, mit dem der mit einer Kontaktplatte be- · ladene Tisch angetrieben werden kann, derart, daß er nur durch die Eetätigung des Griffes in einer gewünschten Richtung bewegt.wird, so daß auf diese Weise der Ausrichtungsvorgang aufgrund einer außerordentlich einfachen Betätigung ausführbar ist. Weiterhin ist lediglich eine elektrische Verbindung zwischen der Position des Griffes und der Position des Tisches erforderlich, so daß beide an jeweils geeigneten Orten getrennt vorgesehen sein können. Demgemäß ist eine Fernbedienung bzw. -steuerung möglich, insbesondere dann, wenn man das Ausrichtungs- bzw. Einstellungsbeobaehtungsinstrument durch einen Fernsehrnonitor ergänzt.

Zusammengefaßt betrifft die Erfindung eine Lageeinstelleinrichtung zum Einstellen bzw. Ausrichten eines Gegenstandes, insbesondere einer Kontaktplatte, eines Substrats für eine gedruckte Schaltung o.dgl., die vorzugsweise in einer Schablonenrmster-Druckeinrichtunp·.-verwendbar ist. Diese Lageeinstelleinrichtung ist reit einer Antriebseinrichtung versehen, die den auf einem Tisch befindlichen Gegenstand, beispielsweise die Kontaktplatte, das Substi^at für eine gedruckte Schaltung o. dgl. in einer vorbestimmten festen Ebene linear bewegen u..ci drehen kann. Getrennt von diesen¹ Tisch ist ein handbetätirter Griff vorgesehen, dor in einer geeigneten Richtung in der gleichen Ebene linear bewegt oder gedreht werden kann, '.feiterhin ist eine Einrichtung zum Erfassen bzw. Feststellen der Bewegung des Griffes vorgesehen: ein elektrisches Steuersignal von dieser letzt-

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genannten Einrichtung bewirkt, daß die Antriebsvorrichtung der Bewegung; des Griffes folgt und den Tisch, auf den der Gegenstand gelegt ist, verschiebt bzw. verdreht, wodurch der Gegenstand in einer bestimmten Lage ausgerichtet werden kann, insbesondere in eine solche Lage, in der ein stationäres Schablonenmuster mit einem auf deir: Gegenstand, beispielsweise der Kontaktplatte o. dgl., ausgebildeten gedruckten Muster übereinstimmt bzw. zusammenpaßt.

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Claims

Patentansprüche

ί 1.j Einrichtung zur Lageeinstellung für die Ausrichtung eines Gegenstandes und eines Bezugsobjekts, insbesondere zum Ausbilden einer Abbildung des Musters des Bezugsobjekts auf dem Gegenstand, mit einer Halte- bzv7. Lagerungseinrichtung, welche den Gegenstand bewegbar hiilt bzw. trSgt, und mit einer Antriebseinrichtung zuir Bewegen der Haltebzw. Lagerung.seinrichtung, dadurch gekennzeichnet, daß eine Betätigungseinrichtung (6, 20, 20', 20") in räumlicher Beziehung zur Halte- bzw. Lagerungseinrichtung (1) vorgesehen und in einer geeigneten Richtung in einer gleichen bzw. festen Ebene aus einer¹ Bezugspunkt heraus verlagerbar ist; wobei eine Urnwandlungseinrichtung (G., G^₃ G_n, G_n , G G₁₇, G_Tnt; GxI, Gx2, GyI, Gy2, GoI, Go2; 73) zur Umwandlung der Größe und Richtung der Verlagerung aus dem Bezugspunkt der Betätigungseinrichtung in ein elektrisches Signal vorgesehen ist; und wobei die Antriebseinrichtung (9, 10, 11) ein elektrisches Signal von der Urm-and lungseinrichtung aufnimmt and bex^irkt, daß die Haltebzw. Lagerungseinrichtung entsprechend der ^verlager\mr unr¹ der Richtung der Verlagerung der Betätigungseinrichtung bewegt bzw. angetrieben wird.
2. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Betätigungseinrichtung eine Rückführeinrichtung (12, 13, 1'!, 15), die zun automatischen Zurückbringen in die Bezugslage bzw. an den Bezugspunkt dient,

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wenn eine auf die Betätigungseinrichtung einwirkende Betätigungskraft aufhört-.
3. Einrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Ur.wandlungseinrichtung Spannunp.s- bzw. Dehnungsmesser (G^₃ G₃, G_p, Gp, Gp, Gg,; GxI, Gx 2, GyI, Gy2j GoI, Go2) umfaßt, welche die Verlagerung der Betätigungseinrichtung als Belastung feststellen und ein dem Betrag der -Belastung entsprechendes elektrisches Signal erzeugen.
4. Einrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Uiwandiungseinrichtung eine Einrichtung (73) zum Erzeugen einer der -Verla-gerung der Betätigungseinrichtung entsprechenden elektromotorischen Kraft umfaßt.
5. Einrichtung nach Anspruch 1, 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß die ümwandlunrseinrichtung Brückenschaltungen (7, 7a,7b, 7c) zum Erzeugen eines der Verlagerung der Betätigungseinrichtung entsprechenden Spannungssignals umfaßt.
6. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Umwandlungseinrichtunr eine erste Signalerzeugungseinrichtung (G.? G^, G_n, G~; GxI, Rx2,

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GyI, Gy2) zum Feststellen des Betrages und der Dichtung der linearen Bewegung aus dom Bezugspunkt der Betätigungsein-

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richtung heraus und zu deren Umwandlung in ein elektrisches Signal aufweist, sowie eine zweite Signalerzeugungseinrichtung (G_E, Gg₁; GoI, C-o2) zum Peststellen des Betrag.es und der Richtuno der Drehbewegung in bzw. aus dem Bezugspunkt der Betätigungseinrichtung und zu deren Umwandlung, in ein elektrisches Signal.
7. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Antriebseinrichtung, eine erste Antriebsvorrichtung (9, 10) zum linearen Bewegen der Halte- bzw. Lagerungseinrichtung und eine zweite Antriebsvorrichtung (11) zum Drehen der Halte- bzw. Lagerungseinrichtung aufweist, wobei beide Antriebsvorrichtunr;en einzeln betätigbar sind.
B. Einrichtung, nach Anspruch 6 oder 7> dadurch gekennzeichnet, daß die erste Signalerzeugungseinrichtunp; erste Signaler zeugungsGlerr.ente (0», G_ß; GxI, 0x2) und zweite Signalerzeugun-'sclemente (G,,., G_n; GyI, Gy2) umfaßt, welche die lineare Verlagerung eier betätigungseinrichtung als Verlaf,erur„rskonpor:onten in zwen unter rechtem Winkel zueinander stehenden Richtungen feststellt und ein diesen entsprechendes elektrisches Signal erzeugt.
9. Einrichtung nach Anspruch 7 oder 8, dadurch gekennzeichnet, dn°- die erste Antriebsvorrichtung ein orstocj Antriehselorror.t (9) und ein.zweites /.ntriebselement (10) zuK 7-evreron der Halte- bzw. Lagerungseinrichtunr in

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zwei irn rechten Winkel zueinander stehenden Richtungen aufweist, wobei diese Elemente einzeln betätigbar sind.

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