DE2254651C3 - Verfahren zur Herstellung von dünnen magnetischen Oxidschichten - Google Patents

Description

a) auf einem Substrat aus einem wärmebeständigen Glas, das kein Natrium, Kalium oder Blei enthält, oder aus Kupfer oder Titan durch Aufdampfen eine dünne Eisenschicht oder eine dünne Schicht einer Eisenlegierung, die aus Eisen und mindestens einem der Elemente ¹^ Kobalt, Nickel, Mangan und Molybdän, besteht, mit einer Dicke von 0,3 bis 2 μπι bildet,

b) diese Schicht mit einer wäßrigen Lösung von 10 bis 20 Mol/l Natriumhydroxid, welche nicht weniger als 0,5 Mol/l eines Oxydationsmittels ^ao enthält, bei einer Temperatur von 60 bis 130'C 1 bis 5 h lang behandelt, und

c) die auf· diese Weise gebildete dünne Oxidschicht bei einer Temperatur von 1200 bis 1450 C in Luft wärmebehandelt und sie hierauf ^a5 einer Reduktion in einer Wasserstoffatmosphäre bei einer Temperatur von 350 bis 400" C und anschließend einer weiteren Oxydation in Luft bei einer Temperatur von 100 bis 550° C unterwirft.

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2. Abwandlung des Verfahrens nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß man an Stelle der Verfahrensstufe c) die dünne Oxidschicht in Luft bei einer Temperatur von 300 bis 1450 C wärmebehandelt und hierauf die auf diese Weise behandelte Schicht allmählich in einem Inertgas, wie Argon oder Stickstoff, in einem Ofen mit einer Abkühlgeschwindigkeit von 5 bis 10'C/min abkühlt.

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Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren tür Herstellung von dünnen magnetischen Oxidschichlen durch Oxydation und Wärmebehandlung von dünnen Eisenschichten oder dünnen Schichten aus Eisenlegierungen, die auf Substraten gebildet sind.

In der Zeitschrift J. Applied Physics, Bd. 32, Nr. 3, März 1961, S. 44S bis 45S, wird ein Verfahren zur Erzeugung von magnetischen Schichten durch Aufdampfen von Eisen- oder Eisenlegierungsschichten und anschließende Oxydation beschrieben.

Mit diesem Verfahren wird jedoch keine ausreichende Reproduzierbarkeit erreicht und außerdem ist dieses Verfahren sehr kompiiziert.

Gemäß dem aus der deutschen Auslegeschrift 11 83 546 bekannten Verfahren wird eine Fe₃O₄-Schicht auf der Eisenoberfläche durch ein herkömmliches Oxydationsverfahren gebildet. Dieses Verfahren führt jedoch ebenfalls nicht zu befriedigenden Ergebnissen, wie durch Vergleichsversuche mit dem erfindungsgemäßen Verfahren gezeigt werden konnte.

Aus der deutschen Auslegeschrift 13 00861 ist ein Verfahren zur Herstellung eines ferromagnetischen Eisenoxids und aus der deutschen Offenlegungsschrift 21 00 390 ein Verfahren zur Herstellung von einem Oxid des dreiwertigen Eisens bekannt. Diese Veröffentlichungen beschreiben gemeinsame Ausfäüungs Prozesse und die magnetische Schicht wird hierdurcl durch eine Lösungs-Lösungs-Wechselwirkung erzeugt Magnetit (Fe₃O₄), Maghämit 0'-Fe₂O₃) und Goethi (a-FeOOH) werden in der Lösung durch Zugabi eines Oxydationsmittels zu einem löslichen Eisensal; und durch Kontrolle des pH-Werts ausgefällt. Dies« beiden Verfahren weisen jedoch gewisse Nachteile auf Ferner wurde zur Herstellung von magnetischer Platten bzw. Scheiben bereits ein elektrolytisches Ver fahren vorgeschlagen, mit dem auf einem Substra dünne magnetische Schichten aus Co-P-Legierungen Ni-Co-Legierungen u. dgl. mit einer Dicke vor 0,3 μπι erzeugt werden können. Dieses Verfahren weisi jedoch die folgenden Nachteile auf:

1 Die elektrolytisch hergestellten dünnen Schichter können Ungleichmäßigkeiten in ihrer Legierungszusammensetzung aufweisen.

2 Das Haftvermögen der dünnen Schichten an dem Substrat ist gering und die Härte der Legierung niedrig und folglich ist die Widerstandsfähigkeil des magnetischen Mediums gegenüber Beschädigungen durch den Magnetkopf gering.

3 Die elektrolytisch hergestellte dünne Schicht ist aus feinen Legierungsteilchen zusammengesetzt und kann in Folge der oxydierenden Atmosphäre u. dgl. eine Verschlechterung erleiden.

4 Die Textur der elektrolytisch hergestellten dünnen Schicht befindet sich in einem Nichtgleichgewichtszustand, so daß sich die Eigenschaften im Verlauf der Zeit verändern können.

In jüngster Zeit hat sich die Nachfrage nach Datenspeichergeräten, die mit einer magnetischen Scheibe, einer magnetischen Trommel, magnetischen Bändern u. dgl. ausgerüstet sind, und damit die Nachfrage nach verbesserten Verfahren zur Herstellung dünner magnetischer Eisenoxidschichten erhöht.

Die Aufgabe der Erfindung besteht deshalb darin, ein Verfahren zur Herstellung von dünnen magnetischen Oxidschichten zu schaffen, die gegenüber dem Stand der Technik Verbesserungen der bei Verwendung für magnetische Aufzeichnungsträger mit hoher Speicherdichte wesentlichen Eigenschaften aufweisen, nämlich eine verringerte Schichtdicke sowie eine Verbesserung der magnetischen Eigenschaften, der Packungsdichte des magnetischen Materials in der Aufzeichnungsträgerschicht und der mechanischen Festigkeit.

Diese Aufgabe wird nach der Erfindung dadurch gelöst, daß man

a) auf einem Substrat aus einem wärmebeständigen Glas, das kein Natrium, Kalium oder Blei enthält, oder aus Kupfer oder Titan durch Aufdampfen eine dünne Eisenschicht oder eine dünne Schicht einer Eisenlegierung, die aus Eisen und mindestens einem der Elemente Kobalt, Nickel, Mangan und Molybdän besteht, mit einer Dicke von 0,3 bis 2 μίτι bildet,

b) diese Schicht mit einer wäßrigen Lösung von 10 bis 20 Mol/l Natriumhydroxid, welche nicht weniger als 0,5 Mol/l eines Oxydationsmittels enthält, bei einer Temperatur von 60 bis 130⁰C 1 bis 5 h lang behandelt, und

c) die auf diese Weise gebildete dünne Oxidschicht bei einer Temperatur von 1200 bis 1450⁰C in Luft wärmebehandelt und sie hierauf einer Reduktion in einer Wasserstoffatmosphäre bei einer Tempe-

ratur von 350 bis 400³C und anschließend einer weiteren Oxydation in Luft bei einer Temperatur von 100 bis 550⁰C unterwirft.

Als für die Aufgabenlösung vorteilhafte und förder- |che Weiterbildungen sind weitere Verfahrensmerkmale gi dem Unteranspruch 2 genannt.

Das Verfahren nach der Erfindung wird nachstehend fci der Reihenfolge seiner drei Verfahrensstufen im einzelnen erläutert:

a) Beschichtung eines Substrats mit einer dünnen Eisen- oder Eisenlegierungsschicht:

Als Substrat können keramische Stoffe, insbesondere Aluminiumoxid, hitzebeständige Antialkaligläser §nd antialkalische, unmagnetische Metalle, z. B. Titan, !tupfer'-u. dgl., verwendet werden.

Das Beschichtungsverfahren schließt Verdampfungs- »erfahren und elektrolytische Beschichtung ein.

Das Verdampfungsverfahren kann gemäß bekannten Verfahren durchgeführt werden, wobei es zur Verbesjerung des Haftvermögens des verdampften Metalls »n dem Substrat wünschenswert ist, die Temperatur des Substrats auf 150 bis 500 C zu erhöhen. Um eine Schicht mit der gewünschten Teilchengröße zu erzielen, wird eine Verdampfungsgeschwindigkeit von 10 bis 50 A/sec bevorzugt.

Auch die elektrolytische Beschichtung kann auf herkömmliche Weise erfolgen, d. h., ein aus unmagnetischem Metall, wie Kupfer oder Titan, bestehendes Substrat wird in ein Bad einer wäßrigen Eisensulfitlösung eingetaucht, wodurch eine gleichmäßige dünne Eisenschicht, die ein hohes Haftvermögen besitzt, erzeugt werden kann.

b) Umwandlung in eine Oxidschicht durch Behandlung mit einer wäßrigen Alkalilösung:

Bevorzugt wird eine wäßrige Lösung aus 10 bis 25 Mol/I, vorzugsweise 20 Mol/l, Natriumhydroxid, die nicht weniger als 0,5 Mol/l, vorzugsweise 3 Mol/l, eines Oxydationsmittels enthält, als Behandlungsbad verwendet. Das Oxydationsmittel in der wäßrigen Natriumhydroxidlösung dient zur Förderung der Auflösung des Eisens und zur Förderung der Oxydation des auf gelösten Fe⁺². Demnach wird dreiwertiges Eiten Fe⁺³ in der Lösung erzeugt und Fe^+a und Fe⁺³ werden gemeinsam auf der Schichtoberfläche in Form von Fe₃O₄ abgeschieden.

Als Oxydationsmittel können Natriumnitrit, Natriumnitrat und Jod Verwendung finden, wobei insbesondere Natriumnitrit bevorzugt ist. Für den Fall, daß die Konzentration des Oxydationsmittels geringer als 0,5 Mol/l ist, wird das Haftvermögen de erzeugten dünnen Oxidschicht gering.

Die Konzentration von Natriumhydroxid beträgt vorzugsweise 10 bis 25 Mol/l, wobei im Fall von weniger als 10 Mol/l die Reaktion langsam verläuft und das Elektrodenpotential der Schicht unstabil ist, während im Fall von mehr als 25 Mol/l das Elektrodenpotential der Schicht gering wird und die Auflösung der Schicht erfolgt, weshalb diese Konzentrationen nicht bevorzugt sind.

Die bevorzugte Behandlungstemperatur beträgt 60 bis 130°C. Eine Temperatur von weniger als 60 C erfordert eine lange Behandlungszeit, während eine höher als 130⁰C liegende Temperatur die Auflösung der zu behandelnden Schicht in Folge der alkalischen Substanz hervorruft.

Die Behandlungszeit hängt von der Behandlungstemperatur ab, beträgt jedoch vorzugsweise 1 bis 5 h.

Bei einer Behandlungszeit von weniger als 1 h kann das gewünschte Ziel nicht erreicht werden, während eine Behandlung von mehr als 5 h die Auflösung der erzeugten dünnen magnetischen Schicht hervorruft, weshalb diese Zeiten nicht wünschenswert sind.

Wenn das zur Beschichtung verwendete Metall eine Eisenlegierung darstellt, die zumindest eines der Elemente Kobalt, Nickel, Mangan uad Molybdän enthält, können vorteilhafte Ergebnisse durch Zugabe einer

ίο Verbindung dieser Metalle zu der wäßrigen Alkalilösung erhalten werden. Wenn beispielsweise das zur Beschichtung verwendete Metall eine Fe—Co-Legierung darstellt, wird es bevorzugt, wasserfreies Kobalthydroxid der wäßrigen Alkalilösung zuzufügen.

c) Bildung einer gesinterten Oxidschicht durch Hitzelr-handlung:

Die gemäß der vorstehenden Stufe b) durch Behandlung mit einer wäßrigen Alkalilösung erzeugte dünne Oxidschicht wird einer Hitzebehandlung aus-

ao gesetzt, wodurch das Haftvermögen an dem Substrat beträchtlich verbessert und die mechanische Festigkeit, wie z. B. der Widerstand gegen Beschädigungen durch den Magnetkopf erhöht wird, so daß die gesinterten dünnen magnetischen Oxidschichten ausgezeichnete

Eigenschaften aufweisen und daher zur magnetischen Aufzeichnung mit hoher Speicherdichte gut geeignet sind.

Die Hitzebehandlung kann in den in den Patentansprüchen angegebenen zwei Varianten durchgeführt werden:

el Die bei der Behandlung mit der wäßrigen Alkalilösung erzeugte Oxidschicht wird in Luft bei einer Temperatur von 1200 bis 1450 C gesintert, anschließend in Wasserstoffatmosphäre bei einer Tempe-

ratur von 350 bis 400° C reduziert und danach in Luft bei einer Temperatur von 100 bis 550 C weiter oxydiert. Bei einer derartigen Behandlung der Oxidschicht wird der Magnetit in 0-Fe₂O₃ übergeführt und die die Schicht bildenden Teilchen werden dicht. Dadurch wird die Packungsdichte erhöht, die Schicht haftet stark an dem Substrat und die mechanische Festigkeit wird betjächtlich erhöht. Wenn die derart gebildete, gesinterte Schicht in einer Wasserstoffatmosphäre bei einer Temperatur von 350 bis 40O⁰C reduziert wird,

wird 0-Fe₂O₃ in Fe₃O₄ umgewandelt. Das derart erzeugte Fe₃O₄ zeigt bei Röntgenuntersuchung die gleiche Struktur wie das Fe₃O₄ in der bei der Behandlung mil der wäßrigen Alkalilösung erzeugten Schicht, besitzt jedoch in Folge der vorstehend beschriebenen Sinte-

rungsstufe ein verbessertes Haftvermögen an dem Substrat und eine sehr viel höhere mechanische Festigkeit. Bei der anschließenden weiteren Oxydation diesei Schicht wird Fe₃O₄ teilweise unter Erzeugung einei aus Fe₃O₄ und /-Fe₂O₃ bestehender Feststofflösun§

oxydiert oder insgesamt unter Bildung von y-Fe₂O_; oxydiert, wodurch eine magnetische Schicht mit hervorragenden magnetischen Eigenschaften erzeugt wird Eine auf diese Weise hergestellte dünne magnetisch« Oxidschicht mit einer Größe von 10mm · 5 mm und einei Dicke von 0,8 μηι wies bei Messung in einem magne· tischen Wechselfeld mit einer Frequenz von 50 Hz unc einer maximalen Feldstärke von 5000 Oe folgende Eigenschaften auf:

Koerzitivfeldstärke (//_c) ... 300 bis 1000 Oersted

Remanenz (B_r) 2000 bis 3000 Gauss

Rechteckigkeitsverhältnis

(BrIB,) 0,7 bis 0,9

Diese dünne magnetische Oxidschicht weist somit ausgezeichnete magnetische Eigenschaften auf und besitzt eine hohe Aufzeichnungsdichte.

C.2 Die bei der Behandlung mit wäßriger Alkalilösung erzeugte Oxidschicht wird in Luft bei einer Temperatur von 300 bis 1450⁰C, vorzugsweise 1200 bis !450°C, wärmebehandelt und anschließend allmählich in einem Inertgas, wie Argon oder Stickstoff, in einem Ofen mit einer Geschwindigkeit von 5 bis 10°C/min abgekühlt, um die dünne magnetische Oxidschicht, die die gewünschten magnetischen Eigenschaften aufweist, zu erzeugen.

Darüber hinaus kann, wenn die Kobalt enthaltende dünne magnetische Oxidschicht mit der wäßrigen Alkalilösung behandelt und anschließend einer Hitzebehandlung unterworfen und allmählich in einem Ofen oder in einem Magnetfeld von 1000 bis 2000 Oersted abgekühlt wird, das Rechteckigkeitsverhältnis verbessert werden.

In der Zeichnung zeigt

Fig. 1 die Abhängigkeit der Dicke der beim Oxydieren einer Eisenlegierung erzeugten Oxidschicht von der Behandlungszeit. Wie man deutlich erkennt, wird auch nach langer Behandlungszeit eine Schichtdicke von 1,5 μπι nicht überschritten.

Fig. 2 die Beziehung der NaNO_E-Konzentration zu dem Elektrodenpotential der gebildeten Schicht bei einer NaOH-Konzentration von 10 Mol/l bzw. 25 Mol/l, wobei der Bereich des flachen Elektrodenpotentials die Bildung von stabilem Magnetil, der eine hohe Adhäsion aufweist, bedeutet.

Fig. 3 eine magnetische Hysteresiskurve der in Beispiel 1 erhaltenen dünnen magnetischen Oxidschicht.

Für das Verfahren der Erfindung werden nachstehend einige Ausführungsbeispiele angegeben.

Beispiel 1

Eine Eisenschicht mit einer Dicke von 1 μΐϊΐ wurde auf einem Keramik-Aluminiumoxid-Substrat mit einer Oberflächenrauhigkeit von 0,3 μπι durch Verdampfung bei einer Substrattemperatur von 150' C in einem Vakuum von 10* bis 10 ^x Torr erzeugt. Die Eisenschicht wurde in einer wäßrigen Lösung von 20 Mol/l Natriumhydroxid und 3 Mol/l Natriumnitrit bei 90C während 3 h zur Bildung einer Eisenoxidschicht eingetaucht. Anschließend wurde die Eisenoxidschicht in I uft bei 1200 C während 30 min gesintert, sodann in einer Wasserstoffatmosphäre bei 400 C während 3 h reduziert und hiernach in Luft bei 250⁰C während 1 h oxydiert, wodurch eine schwarze, glänzende, dünne magnetische Oxidschicht entstand. Durch Röntgenstrukturanalyse wurde bestätigt, daß diese dünne magnetische Oxidschicht eine Spinellstruktur aufwies und eine aus Fe₃O₄ und 7-Fe₂O₃ zusammengesetzte Feststofflösung darstellte. Die dünne magnetische Oxidschicht besaß folgende Eigenschaften: H_c = 460 Oersted, Br — 2700 Gauss, BrJB, = 0,75. Fig. 3 zeigt die magnetische Hysteresiskurve dieser dünnen magnetischen Oxidschicht. Die Oberflächenrauhigkeit der derart erhaltenen dünnen magnetischen Schicht war jener des Substrats gleich und betrug 0,3 μπι. Die dünne magnetische Schicht zeigte eine starke Haftfestigkeit an dem Substrat und hervorragende mechanische Festigkeit

Beispiel 2

Eine Eisenschicht mit einer Dicke von 0,5 μπι wurde auf einem Substrat, wie es in Beispiel 1 verwendet

wurde, in der gleichen Weise wie in Beispiel 1 beschrieben ist, erzeugt. Die Eisenschicht wurde in eine wäßrige Lösung aus 10 Mol/l Natriumhydroxid und 3 Mol/l Natriumnitrit bei 80'C während 2 h zur BiI-dung einer schwarzen Eisenoxidschicht eingetaucht und anschließend in gleicher Weise, wie es in Beispiel 1 beschrieben ist, zur Erzeugung einer dünnen magnetischen Oxidschicht hitzebehandelt. An dieser Schicht wurde H_c = 400 Oersted, B_r = 2200 Gauss, B_r\B_s = 0,75 gemessen und außerdem ein hervorragendes Haftvermögen, das dem Haftvermögen der gemäß Beispiel 1 hergestellten dünnen magnetischen Oxidschicht ähnlich war, festgestellt.

Beispiel 3

Die gemäß Beispiel 2 auf das Substrat aufgebrachte dünne Eisenschicht wurde mit einer wäßrigen Alkalilösung in gleicher Weise wie in Beispiel 2 behandelt und anschließend in einer Wasserstoffatmosphäre bei ao 410 C reduziert, wobei eine hervorragende dünne magnetische Oxidschicht, die sehr stark an dem Substrat haftete, erhalten wurde. An dieser dünnen magnetischen Oxidschicht wurden H_e — 320 Oersted, Br = 2000 Gauss, B_T\B, - 0,7 gemessen.

Beispiel 4

Die gemäß Beispiel 1 hergestellte dünne Eisenschicht wurde in eine wäßrige Lösung aus 20 Mol/l Natriumhydroxid und 3 Mol/l Natriumnitrit bei 120"C während 2 h zur Bildung einer schwarzen Oxidschicht eingetaucht und anschließend in gleicher Weise, wie es in Beispiel 1 beschrieben ist, unter Erhalt einer dünnen magnetischen Oxidschicht mit H_e = 430 Oersted, B_r = 2400 Gauss, BrIB₁ — 0,73 hitzebehandelt. Die anderen Eigenschaften waren die gleichen wie jene der dünnen magnetischen Oxidschicht, die gemäß Beispiel 1 erhalten wurde.

Beispiel 5

Die gemäß Beispiel 1 hergestellte dünne Eisenschicht wurde in eine wäßrige Lösung aus 20 Mol/l Natriumhydroxid und 0,5 Mol/l Natriumnitrit bei 70 C während 4,5 h eingetaucht und anschließend in gleicher Weise, wie es in Beispiel 1 beschrieben ist, hitzebehandelt, wobei eine dünne magnetische Oxidschicht erhalten wurde, deren magnetische und mechanische Eigenschaften und deren Haftvermögen der in Beispiel 1 erhaltenen dünnen magnetischen Oxidschicht gleicr waren.

so Wenn die dünne Eisenschicht mit einer wäßriger Alkalilösung, die kein Natriumnitrit enthielt, behan delt wurde, wies die dünne magnetische Oxidschich ein schlechtes Haftvermögen auf.

Beispiel 6

Eine Fe—Co-Legierung mit einem Kobaltgchalt voj 10% wurde durch Verdampfung unter den gleichei Bedingungen, wie sie in Beispiel 1 beschrieben sind mit einer Schichtdicke von 1,5-μΐη auf einem Keramik

substrat mit einer Oberflächenrauhigkeit von 0,3 \lv aufgebracht. Anschließend wurde die Schicht in ein wäßrige Alkalilösung, die 15 Mol/l Natriumhydroxid 3 Mol/l Natriumnitrit und 0,1 Mol/l wasserfreie Kobalthydroxid enthielt, bei 90⁰C während 3 h eingc

taucht, in Luft bei 1200⁰C während 30 min behandel in Wasserstoffatmosphäre bei 38O°C reduziert, b< 300" C in einer, eine kleine Sauerstoffmenge entha tenden Argonatmosphäre behandelt und anschließen

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allmählich im Ofen unter Erhalt einer dünnen magnetischen Schicht, die ein ausgezeichnetes Haftvermögen und gute mechanische Eigenschaften aufwies, abgekühlt. Die entstandene dünne magnetische Schicht besaß folgende Eigenschaften: H_e = 700 Oersted, Br = 3000 Gauss, B_r\B_s = 0,85.

wurden in der gleichen Weise, wie es in Beispiel 6 beschrieben ist, durchgeführt. Die entstandene Oxidschicht wurde in Luft bei 1450 C während 30 min gehalten und anschließend allmählich mit einer Ge-5 schwindigkeit von 10"C/min in einer Argonatmosphäre im Ofen unter Erhalt einer dünnen magnetischen Schicht mit ausgezeichneten Haft- und mechanischen Eigenschaften abgekühlt. Die Schicht besaß folgende Eigenschaften: H_c = 1000 Oersted, B_r = 3000 Gauss.

Beispiet 7

Auf einem Glassubstrat, das eine Oberflächenrauhigkeit von 0,01 μπι aufwies, wurde eine dünne Silber- io B_rjB_t = 0,9.
tchicht mit einer Dicke von 0,2 μηι und anschließend .
in einer wäßrigen Eisensulfatlösung auf der Silber- Bei spie

ichicht eine Eisenschicht mit einer Dicke von 2 μπι Eine Eisenschicht mit einer Dicke von 0,8 μιη wurde

aufgebracht. Diese Anordnung wurde anschließend in auf ein scheibenförmiges Aluminiumoxidsubstrat, da;

eine wäßrige Lösung aus 20 Mol/l Natriumhydroxid 15 eine Oberflächenrauhigkeit von 0,1 μπι besaß, durch

und 3 Mol/l Natriumnitrit bei 80°C während 3 h Verdampfung bei einer Substrattemperatur von 200⁰C

eingetaucht, bei 600⁰C gesintert und sodann in der in einem Vakuum von I0~^e bis 10-'Torr aufgebracht

gleichen Weise, wie es in Beispiel 1 beschrieben ist, Anschließend wurde die Eisenschicht in eine wäßrige

unter Erhalt einer hervorragenden dünnen magneti- Lösung aus 20 Mol/l Natriumhydroxid und 1 Mol/

«chen Schicht hitzebehandelt, die folgende Eigenschaf- ao Natriumnitrit bei 90⁰C während 1,5 h eingetaucht

ten aufwies: H_e = 520 Oersted, B_T = 2800 Gauss, in Luft bei 1200⁰C während 3 h gesintert, in Wasser

Br/Bs = 0,72. stoff atmosphäre bei 360⁰C während 3 h reduziert unc

10 anschließend in Luft bei 250⁰C herausgenommen. Ei

Beispiel 8 entstand eine scheibenförmige, dünne magnetisch!

Die Bildung einer Fe—Co-Legierungsschicht und »5 Oxidschicht mit einer sehr hohen AufzeichnungsdichU

die Behandlung mit einer wäßrigen Alkalilösung von 640 bit/mm.

Hierzu 3 Blatt Zeichnungen

Claims (1)

Patentansprüche:

1. Verfahren zur Herstellung von dünnen magnetischen Oxydschichten durch Oxydation und s Wärmebehandlung von dünnen Eisenschichten oder dünnen Schichten aus Eisenlegierungen, die auf Substraten gebildet sind, dadurch gekennzeichnet, daß man