DE2236907C3

DE2236907C3 - Gasdruckmesser

Info

Publication number: DE2236907C3
Application number: DE2236907A
Authority: DE
Inventors: Robert Lausanne Waadt Favre (Schweiz)
Original assignee: Individual
Current assignee: Individual
Priority date: 1971-08-05
Filing date: 1972-07-27
Publication date: 1978-03-02
Also published as: DE2236907A1; US3789666A; DE2236907B2

Description

Die Erfindung bezieht sich auf einen Gasdruckmesser mit einem mechanischen Resonator, der einen Hohlraum umschließt, welcher über eine dünne Bohrung mit dem Gas in Verbindung steht, dessen Druck gemessen werden soll, wobei die Resonanzfrequenz des Resonators vom Gasdruck abhängig ist.

Ein derartiger Gasdruckmesser mit einem mechanischen Resonator ist bekannt (DE-OS 16 48 427), bei dem die Resonanzfrequenz eines mechanisch schwingenden Systems, das durch eine auf einem Stück Wellrohr befestigte träge Masse und durch die Federwirkung des Wellrohrs sowie durch das im Wellrohr vorhandene Gas, dessen Druck gemessen werden soll, gebildet wird, ein Maß für den zu messenden Druck darstellt. Es schwingt also ein einzelner mechanischer Resonator unter Komprimierung des Gases, dessen Druck gemessen werden soll, und zwar gegen eine steife unbewegliche Wandung eines doppelhäusigen Systems. Das schwingende System befindet sich in einem Hohlraum eines Körpers, in dem ein Elektromagnet angeordnet ist, durch den die aus magnetisierbarem Material bestehende träge Masse in Schwingungen versetzt wird. Die Schwingungen werden mit einem Oszillator angeregt, in dessen Rückkopplungszweig eine piezoelektrische Scheibe angeordnet sein kann.

Ein weiterer bekannter Gasdruckmesser (US-PS 35 03 263) eignet sich zur Messung des absoluten Druckes, wenn der Hohlraum evakuiert ist. Steht der Hohlraum unter einem bestimmten Druck, dann kann mit diesem Gasdrucksensor nur die Druckdifferenz zwischen dem Druck im Hohlraum und dem außen auf den Resonator einwirkenden Druck gemessen werden. Im Zentrum jeder der beiden elastischen Membranen ist bei dem bekannten Gasdruckmesser eine ferromagnetische Scheibe befestigt, in deren Nähe ein permanenter Magnet starr angeordnet ist. Auf die beiderseits des

Resonators angeordneten permanenten Magneten sind Spulen gewickelt, von denen eine an das Gitter einer Triode und die andere an die Anode der Triode angeschlossen ist. Die an die Anode angeschlossene Spule, die in Reihe mit einem Frequenzmeßgerät geschaltet ist, wird von einer Spannungsquelle gespeist.

Die beiden Membranen des Resonators des bekannten Gasdruckmessers werden in Abhängigkeit von der Größe des zu messenden Drucks verformt. Als Folge der Verformung ergibt sich eine andere Mtmbransteifigkeit, von der die Resonanzfrequenz beeinflußt wird. Die Übertragung der Schwingungen von einer elastischen Membran auf die andere erfolgt beim Resonator des bekannten Gasdruckmessers im Falle des evakuierten Hohlraums ausschließlich über die zwischen den '5 Membranen angeordneten Wände durch eine mechanische Koppelung.

Ein weiterer bekannter Gasdruckmesser (DE-OS 17 73 491) enthält zwei Hohlräume, die durch eine Metallmembran voneinander getrennt sind. Während ²^ ein Hohlraum das Referenzvakuum bzw. einen Referenzdruck aufweist, ist der andere Hohlraum vom Druck des zu messenden Gases beaufschlagt. Je nach der Höhe des zu messenden Druckes wird die Membran mehr oder weniger stark verformt. Dabei verändert sich ihre Steifigkeit, die in einer bestimmten Beziehung zur Resonanzfrequenz sieht. Zur Kraftübertragung auf die Membran ist ein Magnet und eine stromdurchtlossene Spule vorgesehen, von der eine Kraft auf den Magneten ausgeübt wird. Die Membran ist an einer rohrförmigen 3" Tragvorrichtung angeschweißt, die an einem Basisbluck befestigt ist. Die Tragvorrichtung und der Basisblock befinden sich im Innern eines hohlen Gehäusekörpers.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen Gasdruckmesser der eingangs erwähnten Gattung derart weiterzuentwickeln, daß bei möglichst einfachem Aufbau und geringem Gewicht eine sehr hohe Meßgenauigkeit über einen großen Arbeitsbereich erreicht werden kann.

Die Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß der Resonator zwei elastische, rückgekoppelt oszillierende, pneumatisch gekoppelte Membranen aufweist, die diesen Hohlraum im wesentlichen umschließen.

Rückgekoppelt oszillierend bedeutet dabei, daß die primär angeregte Membran pneumatisch die zweite Membran in Schwingung versetzt, wobei die zweite Membran eine Spannung induziert, die den Schwingungserreger der ersten Membran beeinflußt. Dadurch wird eine rückgekoppelte Oszillation erzielt.

Pneumatisch gekoppelt bedeutet dabei, daß die zweite Membran über das zwischen den Membranen liegende Luftpolster in Schwingung versetzt wird. Dies im Gegensatz zur mechanischen Kopplung zweier Membranen entsprechend der US-PS 35 03 263, bei der die zweite Membran über die die Membranen verbindenden Seitenwände in Schwingung versetzt wird.

Diese Anordnung, die aus wenigen und konstruktiv einfachen Teilen besteht, enthält keine evakuierten, («1 gasdicht zu verschließenden Hohlräume. Bei der Fertigung fallen daher weniger Arbeitsgänge an. Ein wesentlicher Vorteil der Anordnung ist somit durch die Möglichkeit einer wirtschaftlichen Herstellung gegeben. Weiterhin ist die erfindungsgemäße Anordnung nicht <\s den von einem Druckunterschied zwischen Umgebung und Hohlraum erzeugten Beanspruchungen ausgesetzt. Die Wandstärken müssen deshalb nicht so stark bemessen sein wie bei bekannten Resonatoren, die den Druckbeanspruchungen widerstehen müssen. Durch die geringere Wandstärke der erfindungsgemäßen Anordnung ergibt sich als weiterer Vorteil eine Gewichtseinsparung.

Bei der erfindungsgemäßer. Anordnung ist keine am Ende eines federnden Wellrohrs befestigte träge Masse erforderlich. Zur Beschleunigung einer derartigen trägen Masse müssen große magnetische Kräfte aufgebracht werden, die nur von einem starken und entsprechend schweren Magneten erzeugt werden können. Demgegenüber weist die erfindungsgernäße Anordnung ein erheblich geringeres Gewicht auf.

Werden mit evakuierten Hohlräumen ausgestattete Resonatoren für Messungen in einem großen Druckbereicii benutzt, dann treten bei größeren Drücken durch die ins Innere der Hohlräume gerichteten Verformungen je nach dem Aufbau des Gasdruckmessers größere bzw. kleinere Abstände zwischen den die Schwingungen anregenden und messenden Elementen auf. Dadurch ergeben sich geringere Meßempfindlichkeiten. Demgegenüber weist die erfindungsgemäße Anordnung in einem Druckbereich, der zwischen dem in Bodennähe herrschenden Druck und einem in der Größenordnung von 0,01 Atmosphären liegenden Druck eine Genauigkeit von wenigen Prozent auf. Die erfindungsgemäße Anordnung kann daher besonders vorteilhaft in meteorologischen Sonden verwendet werden, bei denen einerseits eine hohe Meßgenauigkeit verlangt wird und andererseits sowohl leichte Druckmeßgeräte erforderlich sind, um die von der Sonde erreichbare Höhe nicht zu vermindern, als auch auf wirtschaftlich herstellbare Geräte Wert gelegt wird, da Sonden nach dem Einsatz häufig nicht mehr auffindbar sind.

Ausgestaltungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen gekennzeichnet.

Die Erfindung wird im folgenden anhand von in einer Zeichnung dargestellten Ausführungsbeispielen näher erläutert.

Es zeigt

F i g. 1 einen Teil eines Gasdruckmessers von vorne, teilweise im Schnitt,

Fig. 2 eine Hälfte eines Gasdruckmessers von der Seite,

F i g. 3 schematisch eine elektronische Schaltungsanordnung zur Aufrechterhaltung der Schwingung mit einer Einrichtung zur Stabilisierung der Schwingungsamplitude,

Fig. 4 ein Diagramm, das eine typische Beziehung zwischen der in Ordinatenrichtung aufgetragenen Frequenz und dem in Abszissenrichtung aufgetragenen Druck veranschaulicht,

F i g. 5 eine Seitenansicht einer anderen Ausführungsform eines Gasdruckmessers,

Fig. 6 die in Fig. 5 dargestellte Anordnung in Draufsicht.

Bei dem in Fig. 1 gezeigten Druckmeßgerät besteht der mechanische Resonator im wesentlichen aus kreisseitenförmigen, im Profil gewellten, elastischen Membranen 1 und 2, die an ihrem äußeren Rand durch einen Ring 3 miteinander verbunden sind. Die Membranen I, 2 und der Ring 3 umgeben einen Hohlraum 4.

Jcie der beiden Membranen 1,2 ist in ihrem Zentrum mit einer Masse 7 bzw. 8 verbunden, die einen Teil eines Transducers bildet. Die beiden Massen 7,8 schwingen in Gegenphase zueinander, damit das dynamische Gleichgewicht des aus den Massen 7, 8, den Membranen I, 2

und dem Ring 3 bestehenden Resonators aufrechterhalten wird.

Die Elastizität dieses Resonators beruht einerseits auf den Membranen selbst und andererseits auf dem im Raum 4 eingeschlossenen Gas. Der Einfluß des Gasdrucks auf die Frequenz ist um so größer als die letztgenannte, elastische Komponente von »pneumatischem« Ursprung im Verhältnis zur ersteren, die auf einem »mechanischen« Ursprung beruht, größer ist.

Dem Fachmann auf dem einschlägigen Gebiet ist es ,₀ bekannt, daß ein Resonator elastisch mit seinem Träger verbunden sein muß, wenn der Einfluß der Beschaffenheit des den Resonator tragenden Bodens auf die Resonanzfrequenz so weit wie möglich ausgeschaltet werden soll. Deshalb ist bei den in der Zeichnung dargestellten Anordnungen eine elastische Verbindung 5 des Resonators mit einem Support 6 vorgesehen.

Ein elektrodynamischer Transducer klassischer Bauart setzt sich im wesentlichen zusammen aus:

20

— einem Anker 7 bzw. 8 aus Weicheisen, der beweglich ist,

— einem Permanentmagneten 9 bzw. 10, der mit dem Anker fest verbunden ist,

— einer feststehenden Zwischenspule 11 bzw. 12, die mit einem Support 13 bzw. 14 fest verbunden ist.

Eine elektrische Spannung, die an die Ausgänge der Spule 11 angelegt ist, ruft eine Axialkraft auf die Membran 1 hervor. Umgekehrt erzeugt die axiale Bewegung der Membran in bezug auf den Support 13 eine elektrische Spannung an den Ausgängen der Spule 11 gemäß Gesetzen, die in der Elektrodynamik bekannt sind.

Indem in die eine Spule das verstärkte Signal eingegeben wird, das in der anderen Spule induziert wurde, kann eine Schwingung mit der Resonanzfrequenz der Membranen des Resonators aufrechterhalten werden.

Aus der F i g. 2, die eine Hälfte bestimmter Elemente des Resonators in Seitenansicht zeigt, ist eine Analogie des Resonators mit einem Aneroidbarometer erkennbar, wenn von den zusätzlichen Vorrichtungen abgesehen wird.

in der Fig.3 ist schematisch eine Schaltungsanordnung zur Aufrechterhaltung einer Schwingung gezeigt, die durch den Resonator gemäß F i g. 1 und 2 gesteuert wird.

Die an der Spule 11 abgegriffene Spannung wird in einem Transistor 15 verstärkt, der als Verstärker mit einer Gegenkopplung ausgestattet ist. Weiter gelangt die verstärkte Spannung zu einem Transistor 16, bevor sie wieder der Spule 12 zugeleitet wird, die hier die Rolle einer »motorischen« Spule spielt. Bei genügender Verstärkung und Berücksichtigung der relativen Phasen kommt der Resonator in eine sich selbst aufrechterhaltende Schwingung, wobei die Membranen 1 und 2 in Gegenphase zueinander schwingen.

Die Amplitude dieser Schwingung wird durch den Transistor 17 stabilisiert Dies geschieht dadurch, daß, sobald die Spannungsspitze auf der Basis des Transistors ein für die Umschaltung des Transistors in den leitenden Zustand ausreichend hohes Niveau erreicht hat, die Spannung, die über die Anschlußstelle 18 zur motorischen Spule 12 gelangt, durch den leitenden Zustand des Transistors 17 sehr rasch abfällt Deshalb kann der Strom in der Spule 12 nicht mehr weiter ansieigen. Hierdurch ergibt sich eine Stabilisierung der Schwingungsamplitude.

An die Schaltungsanordnung sind in geeigneter Weise an sich bekannte Mittel 19 angeschlossen, die eine Information in Abhängigkeit von der Resonanzfrequenz liefern oder die Resonanzfrequenz messen und gegebenenfalls anzeigen, wobei die Resonanzfrequenz für den zu messenden Gasdruck repräsentativ ist.

Bei der Verwendung in meteorologischen Sonden zur Aufzeichnung des atmosphärischen Drucks als Funktion der Höhe muß der Innenraum 4 des Resonators lediglich mit der Luft der Umgebung verbunden sein, wobei es aber zur Vermeidung einer erheblichen Dämpfung der Resonanzschwingung erforderlich ist, daß die in den Fig.] und 2 an der Stelle 22 gezeigte Verbindung einen großen aerodynamischen Widerstand aufweist. Diese Verbindung muß deshalb aus einem Kanal von sehr engem Querschnitt bestehen oder aus einem Kanal, der mit einem porösen Material ausgestopft ist. Es kann jedoch auch ein Kanal mit einem Sperrhahn vorgesehen sein, der jeweils für die Zeitdauer einer Messung zu schließen ist.

Bei der Verwendung zur Messung irgendeines Druckes können die folgenden beiden Fälle in Betracht gezogen werden:

Falls das »tote« Volumen des Gasdruckmessers sehr klein gehalten werden soll, wird der Hohlraum 4 allein dem zu messenden Druck unterworfen, der über den Kanal 22 eingeführt wird. Die Membranen erfahren dann eine Verformung in der Weise, daß der gemessene Druck nahe beim Umgebungsdruck bleiben muß.

Falls das tote Volumen nicht von Bedeutung ist, kann der Gasdruckmesser in einem Hilfsgehäuse eingeschlossen sein, innerhalb welchem der zu messende Gasdruck herrscht, der dann sowohl von außen wie auch von innen auf den Resonator wirkt wie im Falle der Messung des atmosphärischen Druckes. Wohlverstanden ist in diesem Falle das »tote« Volumen größer als im vorhergehenden Fall, da es ja auch das Volumen des Resonators mit demjenigen des Hilfsgehäuses umfaßt. Der gemessene Druck kann in diesem Fall irgendeine Größe haben.

Für die beiden Ausführurigsarten ergeben sich verschiedene Eichkurven, wobei die Empfindlichkeit beim zweiten Ausführungsbeispiel größer ist.

Die Fig.4 gibt eine typische Eichkurve einer Ausführungsform für die Messung eines Druckes wieder, der zwischen Null und dem normalen atmosphärischen Druck variiert. Eine Teilung auf der Druckskala kann beispielsweise 150 Torr (mm Hg) bedeuten, während eine Teilung der Frequenzskala beispielsweise für 50 Hz gilt. Man ersieht aus dieser Kurve, daß die Empfindlichkeit gegen die kleinen Drücke hin zunimmt. Dies wirkt sich für die Messung deiselben günstig aus.

Falls ein Gasdruckmesser im Betrieb, etwa in meteorologischen Sonden, großen Temperaturveränderungen ausgesetzt wird, ist es erforderlich, die Membranen 1 und 2 aus einer wärmekompensierenden Legierung herzustellen. Derartige Legierungen sind im Handel erhältlich. Bei Verwendung einer solchen Legierung wird der Temperatureinfluß auf die Resonanzfrequenz praktisch eliminiert

Es kann in gewissen Fällen erwünscht sein, die Möglichkeit zu haben, die Nennresonanzfrequenz eines derartigen Gasdruckmessers in engen Grenzen (weniger als 1 %) zu verstellen. Eine mit großer Empfindlichkeit ansprechende Verstellung läßt sich durch Einwirkung eines äußeren axialen Magnetfeldes auf die Anker der Transducer erreichen, wobei dieses Magnetfeld

durch eine Hilfsspule erzeugt wird, die mit einem regulierbaren Strom gespeist wird. Es ist auch möglich, auf die Phase der aufrechterhaltenen Schwingung einzuwirken.

Bei der praktischen Anwendung des Gasdruckmessers kann es vorkommen, daß ein Druck als Funktion der Zeit integriert werden soll. Ein Beispiel ist die Ermittlung des Volumens eines Gases, das eine Venturidüse durchströmt. Eine solche Anwendung findet sich beispielsweise in der Medizin bei der Bestimmung des Atemvolumens (Pneumotachograph) oder bei der Messung der pu!monalen Nachgiebigkeit. Der erfindungsgemäße Gasdruckmesser eignet sich besonders gut zum Einsatz bei der Integration einer solchen zyklisch variierenden Größe. Die Integrationsdauer wird dabei durch einen Vergleich der Dauer der Verschiebung der Schwingungsphase der Resonanzfrequenz gegenüber der Phase einer Bezugsfrequenz bestimmt. Als Mittel zur Bildung des Integrals kann eine der möglichen Ausführungsformen verwendet werden, in denen die für den zu messenden Gasdruck repräsentative Resonanzfrequenz verarbeitet wird.

Der erfindungsgemäße Gasdruckmesser erhält seine hohe Präzision, Stabilität und Einfachheit durch den mechanischen Resonator. Solche Resonatoren haben auf dem Gebiet der Zeitmessung eine große Verbreitung gefunden, was durch die grundlegenden Eigenschaften bedingt ist, die oben erwähnt werden. Die Bestimmung eines Gasdruckes mit einer Genauigkeit von 10-³, ja sogar 10"⁴, stellt keine Probleme.

Die Messung eines Gasdrucks von nur etwa 100 Torr mit einem Gasdruckmesser gemäß den F i g. 1 bis 3 hat einen Störeinfluß ergeben, der in zwei unterschiedlichen Resonanzfrequenzen für den gleichen Druck zu sehen ist, wobei eine äußerst große Dämpfung auftritt. Dieses Verhalten dürfte darauf zurückzuführen sein, daß bei »hohem« Gasdruck die beiden Membranen 1 und 2 einer erheblichen Kopplung pneumatischer Art unterworfen sind, wogegen bei niedrigem Gasdruck die auf einen gemeinsamen Stützfuß 5 zurückzuführende Kopplung mechanischen Ursprungs Bedeutung gewinnt.

Es wurde gefunden, daß die Störerscheinung durch eine zusätzliche direkte mechanische Kopplung eliminiert wird, die durch mindestens eine Zusatzfeder erzeugt wird, die auf die zentralen Teile der Membranen einwirkt.

Die F i g. 5 und 6 zeigen eine Weiterbildung des Resonators nach den F i g. 1 und 2, bei der zwei

■ 5 Zusatzfedern vorgesehen sind. Diese sind mit 20 bzw. 21 bezeichnet und als U-förmig gebogene Blattfedern ausgebildet, wobei die freien Enden der Blattfederschenkel auf den Ankern 7 und 8 befestigt sind. Im übrigen ist der Resonator nach den F i g. 5 und 6 gegenüber demjenigen gemäß den F i g. 1 und 2 unverändert.

Die optimale Elastizitätskonstante der Hilfsfedern 20, 21 hat einen Wert, der in der gleichen Größenordnung liegt wie jener der Membranen 1 und 2.

Die Hilfsfedern können anders ausgebildet und im Hohlraum 4 eingeschlossen sein. Auch bei der Anordnung im Hohlraum können sie als U-förmige Blattfedern oder möglicherweise als ,Spiral- oder Schraubenfedern ausgebildet sein, die in der Achse des Resonators oder symmetrisch in bezug auf dieselbe angeordnet sind.

Diese Hilfsfeder oder -federn sind unerläßlich, falls der Gasdruckmesser bei Gasdruckwerten von etwa 100 Torr benutzt werden soll, wie dies z. B. in stratosphärisehen Sonden der Fall ist.

Hierzu 2 Blatt Zeichnungen

Claims

Patentansprüche:

1. Gasdruckmesser mit einem mechanischen Resonator, der einen Hohlraum umschließt, welcher über eine dünne Bohrung mit dem Gas in Verbindung steht, dessen Druck gemessen werden soll, wobei die Resonanzfrequenz des Resonators vom Gasdruck abhängig ist, dadurch gekennzeichnet, daß der Resonator zwei elastische, rückgekoppelt oszillierende, pneumatisch gekoppelte Membranen (1, 2) aufweist, die diesen Hohlraum (4) im wesentlichen umschließen.

2. Gasdruckmesser nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß jede der beiden Membranen (1, '5 2) einen U-förmigen Anker (7; 8) aus Weicheisen trägt, der in der Mitte mit einem Permanentmagneten (9; 10) verbunden ist, den eine Spule (11; 12) umschließt, deren Induktivität durch die Verschiebung des Permanentmagneten (9; 10) infolge der Membranbewegungen veränderbar ist und welche einen Bestandteil eines Oszillators bildet.

3. Gasdruckmesser nach den Ansprüchen 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß die beiden Membranen (i, 2) am Umfang über einen Ring (3) zusammengehalten sind und daß der Resonator an einer Trägerplatte (6) über eine elastische Verbindung (5) befestigt ist, welche den Einfluß der Materialbeschaffenheit der Trägerplatte (6) auf die Resonanzfrequenz weitgehend ausschaltet.

4. Gasdruckmesser nach den Ansprüchen 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Membranen (1, 2) aus einer wärmekompensierenden Legierung bestehen, die den Temperatureinfluß auf die Resonanzfrequenz eliminiert.

5. Gasdruckmesser nach den Ansprüchen 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß den Resonator ein Gehäuse umschließt, in dem der zu messende Druck herrscht, der sowohl innerhalb der Membranen (1,2) den Hohlraum (4) als auch außen die Membranen (1, 2) druckbeaufschlagt.

6. Gasdruckmesser nach den Ansprüchen 2 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Spulen (11,12) fest mit Ständern (13, 14) verbunden sind, die an der Trägerplatte (6) im Abstand zu den Membranen (1, 2) befestigt sind.

7. Gasdruckmesser nach den Ansprüchen 2 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß die mechanischen Schwingungen einer der Membranen (1, 2) in der einen Spule (11 bzw. 12) eine elektrische Spannung induzieren, die über Transistoren (15, 16) des Oszillators verstärkt der zweiten Spule (12 bzw. 11) zuführbar sind, deren elektrische Spannung die zweite Membran (2 bzw. 1) in mechanische Schwingungen versetzt, wodurch der Resonator mit der Resonanzfrequenz schwingt, die über die Schwingungen des Oszillators einstellbar ist.

8. Gasdruckmesser nach Anspruch 1 oder einem der folgenden, dadurch gekennzeichnet, daß Mittel zur Integration eines kurzzeitig oder zyklisch veränderlichen Druckes über einen Zeitraum vorgesehen sind, der durch einen Vergleich der Dauer der Verschiebung der Schwingungsphase der Resonanzfrequenz gegenüber der Phase einer Bezugsfrequenz bestimmbar ist.

9. Gasdruckmesser nach Anspruch 2 oder einem der folgenden, dadurch gekennzeichnet, daß im Oszillator ein Transistor (17) zur Begrenzung der

Stromamplitude vorgesehen ist

10. Gasdruckmesser nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß eine zusätzliche direkte mechanische Kopplung der Membranen (1,2) vorgesehen ist

11. Gasdruckmesser nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß die mechanische Kopplung aus zwei Federn (20, 21) besteht, die außen an den zentralen Teilen der Membranen (1,2) befestigt sind und diese umfassen.

12. Gasdruckmesser nach den Ansprüchen 10 und

11, dadurch gekennzeichnet, daß die Federn (20, 21) als U-förmig gebogene Blattfedern ausgebildet sind, deren Enden auf den Ankern (7,8) befestigt sind.

13. Gasdruckmesser nach den Ansprüchen 10 bis

12, dadurch gekennzeichnet, daß die Elastizitätskonstante der Federn (20, 21) die gleiche Größenordnung wie diejenige der Membranen (1,2) aufweist.

14. Gasdruckmesser nach den Ansprüchen 10 bis

13, dadurch gekennzeichnet, daß die Federn (20,21) im rechten Winkel zu den Ständern (13, 14) angeordnet sind.

15. Gasdruckmesser nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß die mechanische Kopplung aus im Hohlraum (4) vorgesehenen U-förmigen Blatt-, Spiral- oder Schraubenfedern besteht, die in der Achse des Resonators oder in bezug auf diese symmetrisch angeordnet sind.