DE2214212B2 - Verfahren zum Bearbeiten von Uhrensteinen und anderen kleinen Werkstücken aus hartem Material und Anordnung zur Durchführung des Verfahrens - Google Patents
Verfahren zum Bearbeiten von Uhrensteinen und anderen kleinen Werkstücken aus hartem Material und Anordnung zur Durchführung des VerfahrensInfo
- Publication number
- DE2214212B2 DE2214212B2 DE2214212A DE2214212A DE2214212B2 DE 2214212 B2 DE2214212 B2 DE 2214212B2 DE 2214212 A DE2214212 A DE 2214212A DE 2214212 A DE2214212 A DE 2214212A DE 2214212 B2 DE2214212 B2 DE 2214212B2
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- spikes
- spike
- modulator
- laser beam
- laser
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/10—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
- H01S3/106—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating by controlling devices placed within the cavity
- H01S3/107—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating by controlling devices placed within the cavity using electro-optic devices, e.g. exhibiting Pockels or Kerr effect
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/36—Removing material
- B23K26/38—Removing material by boring or cutting
- B23K26/382—Removing material by boring or cutting by boring
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/36—Removing material
- B23K26/40—Removing material taking account of the properties of the material involved
-
- G—PHYSICS
- G04—HOROLOGY
- G04D—APPARATUS OR TOOLS SPECIALLY DESIGNED FOR MAKING OR MAINTAINING CLOCKS OR WATCHES
- G04D3/00—Watchmakers' or watch-repairers' machines or tools for working materials
- G04D3/0069—Watchmakers' or watch-repairers' machines or tools for working materials for working with non-mechanical means, e.g. chemical, electrochemical, metallising, vapourising; with electron beams, laser beams
- G04D3/0071—Watchmakers' or watch-repairers' machines or tools for working materials for working with non-mechanical means, e.g. chemical, electrochemical, metallising, vapourising; with electron beams, laser beams for bearing components
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/10—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
- H01S3/105—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating by controlling the mutual position or the reflecting properties of the reflectors of the cavity, e.g. by controlling the cavity length
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K2103/00—Materials to be soldered, welded or cut
- B23K2103/50—Inorganic material, e.g. metals, not provided for in B23K2103/02 – B23K2103/26
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/10—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
- H01S3/10038—Amplitude control
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/10—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
- H01S3/11—Mode locking; Q-switching; Other giant-pulse techniques, e.g. cavity dumping
- H01S3/1123—Q-switching
- H01S3/115—Q-switching using intracavity electro-optic devices
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/10—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
- H01S3/11—Mode locking; Q-switching; Other giant-pulse techniques, e.g. cavity dumping
- H01S3/1123—Q-switching
- H01S3/117—Q-switching using intracavity acousto-optic devices
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
- Lasers (AREA)
Description
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren
zum Bearbeiten von Uhrensleinen und anderen kleinen Werkslücken aus hartem Material mittels Laserstrahlen,
bei welchem dem Werkstück mindestens ein mehrere Spikes aufweisender I.ascrstrahlenimpuls
zugeführt wird, dessen Leistung bei seinem Beginn am höchsten ist.
Das Bohren von Werkstücken mittels Laserstrahl^ ist bereits seit mehreren Jahren wohlbekannt. Groß
Schwierigkeiten bereitet es aber, Löcher von regel mäßiger, insbesondere zylindrischer Form zu erhal
ten, die genauen Toleranzen entsprechen, wie die insbesondere beim Bohren von Uhrensteinen erfor
derlich ist, damit der Aufwand für das Grandissage bei welchem bekanntlich das Loch noch etwas ver
größen und poliert wird, nicht zu groß wird.
ίο Es ist bekannt, daß es beim Schweißen von Werk
stücken mittels Laserstrahlen zweckmäßig wäre, eim
während der Dauer des Laserimpulses veränderlichi Leistung vorzusehen, wobei zu Beginn des Laser
impulses die Leistung am höchsten sein sollte. Eii geringfügiges Verdampfen des Werkstoffes am An
fang des Schweißvorganges ist günstig, damit aucl Zonen unterhalb der ursprünglichen Werkstückober
fläche unmittelbar von den Laserstrahlen erwärm werden. Das Werkstück wird dadurch aufgeschmol
zo zen. Um das Verdampfen des Werkstoffes im weite
ren Verlauf des Laserimpulses zu vermeiden, müßt« die Leistung allmählich abnehmen.
Es ist ferner bekannt, daß beim Bohren von Werkstücken mittels Laserstrahlen die Lochtiefe mit stei-
;5 gender Energie des Laserimpulses zunimmt, wöbe
der Laserimpulsenergie jedoch eine obere Grenze gesetzt
ist, da die entstehende Wolke des verdampfter Bohrkernmaterials zunehmende Energie des Laserimpulses
absorbiert. Es ist deshalb bekannt, die ge· wünschte Lochtiefe und den gewünschten Lochdurchmesser
durch die Anwendung mehrerer aufeinanderfolgender Laserimpulse niedrigerer Energie zi
erzielen.
Es hat sich jedoch gezeigt, daß es mit den bekannten Verfahren nicht möglich ist, in kleinen Werkstücken
aus hartem Material, insbesondere in Uhrensteinen, mittels Laserstrahlen Löcher reproduzierbai
zu bohren, welche die geforderte Maßhaltigkeit und Regelmäßigkeit aufweisen. Aufgabe der Erfindung ist
es demnach, ein Verfahren zu schaffen, bei welchem es selbst mit einem einzigen Laserstrahlcnimpuls.
dessen Leistung bei seinem Beginn am höchsten ist, möglich ist, im Werkstück ein Loch zu bohren, da>
einerseits die gewünschten Abmessungen, insbesondere Lochtiefe, andererseits aber auch die geforderte
Regelmäßigkeit, das heißt zylindrische Form und glatte Wand, aufweist. Anders ausgedrückt liegt die
Aufgabe der Erfindung in der Schaffung eines solchen Verfahrens, bei dem ein Laserstrahlenimpuls eine zui
Erzielung der nötigen Materialverdampfung ausreichende Leistung aufweist, jedoch einen solchen
Verlauf hat, daß im Bohrloch auftretende Materialdämpfe die zu erzielende Maßgenauigkeit des Bohrlochs
nicht beeinträchtigen können.
Das erfindungsgemäße Verfahren beruht auf dei Erkenntnis, daß in erster Linie die Form der bisher
verwendeten Laserstrahlenimpulse für die Unzulänglichkeit der bekannten Verfahren verantwortlich
ist. In Fig. 1 ist ein Laserlichtimpuls üblicher ArI dargestellt, wobei die Intensität / des Ausgangsstrahles
eines Laserresonators in Funktion der Zeit / aufgetragen
ist. Der Impuls setzt sich aus einer Reihe von Spikes I zusammen, die in ganz unregelmäßiger
Weise über die Impulsdauer tp verteilt sind und in
f>5 ebenfalls unregelmäßiger Reihenfolge bald größere
und bald kleinere Spitzenintensitäten aufweisen. Wenn ein sehr starker Spike auf das Werkstück fällt,
so wird plötzlich sehr viel Material verdampft oder
verflüssigt, wobei Tropfen oder sogar kleine feste Teilchen aus dem sich bildenden Loch herausgeschleudert
werden. Als Folge zu großer Erhitzung und schlagartiger Rückstoßimpulse auf das Werkstück
bilden sich kleine Wulste und Risse in der Umgebung des Bohrloches. Reduziert man die mittlere
Intensität des Impulses, so kommt man bald zu der Grenze, bei welcher der Bohrvorgang nur mit
einer größeren Anzahl von Impulsen oder praktisch überhaupt nicht mehr durchgeführt werden kann.
Bei einem eingangs genannten Verfahren werden erfindungsgemäß innerhalb des Laserstrahlenimpulses
Spikes ganz bestimmter Form erzeugt. Das erfindungsgemäße Verfahren ist dadurch gekennzeichnet,
daß zum Bohren des Uhrensteins bzw. des Werk-Stücks im Laserstrahlenimpuls mittels Anregung eines
in einem einzigen transversalen Mode schwingenden Laserstrahls ein erster Spike erzeugt wird, dessen
Spitzenintensität wesentlich größer als diejenige aller nachfolgenden Spikes im Lasersirahlenimpuls ist, und
daß diese nachfolgenden, abnehmende oder gleiche Spitzenintensitäten aufweisenden Spikes mittels eines
Modulators mit praktisch konstanter Periode erzeugt werden, wobei die Periode derart ausreichend lang
festgelegt wird, daß ein Entweichen des durch einen der Spikes verdampften Bohrkernmaterials aus dem
Bohrloch ermöglicht ist, bevor der nächste Spike eintrifft.
Dadurch, daß die Spitzenintensität des ersten Spikes wesentlich größer als diejenige aller nachfolgenden
Spikes ist, wird bewirkt, daß bei transparenten Werkstücken, z. B. Rubinen, das Material überhaupt beginnt,
Strahlen zu absorbieren, und daß bei metallischen Werkstücken der Reflcxionskoeffizient der
äußersten Schicht stark herabgesetzt wird, was ebenfalls die Absorption der nachfolgenden Spikes erhöht.
Mit Vorteil isi. die Energie des ersten Spikes mindestens dreimal so groß wie diejenige der folgenden
Spikes.
Die Gleichmäßigkeit der nachfolgenden Spikes ver- 4p
hindert das Auftreten der vorgängig erwähnten Wulst- und Rißbildung. Infolge der kurzen Aufheizdauer
jedes einzelnen Spike werden keine thermisch erzeugten Störungen wie Risse, Spannungen usw. im
umgebenden Grundmaterial erzeugt. Während der kurzen Einwirkungsdauer kann sich die Wärmeleitung
gar nicht auswirken, wogegen bei der bekannten Anwendung mehrerer aufeinanderfolgender Laserstrahlenimpulse
die unerwünschten thermischen Nebenell'ekte praktisch unvermeidbar sind. Ein wei- so
terer Vorteil des erfindungsgemäßen Verfahrens liegt darin, daß durch die Einwirkung von getrennten
Spikes innerhalb eines Laserstrahlenimpulses das verdampfte Material ungehindert aus dem sich bildenden
Loch entweichen kann, wogegen bei den bekannten Verfahren das aufgeheizte Material bei der
Einwirkung unregelmäßiger und zum Teil überlagerter Spikes schon im flüssigen Zustand aus dem Loch
getrieben wird, so daß bei der Ablagerung des flüssigen Materials Unregelmäßigkeiten im oder um das
Loch herum auftreten und beim Austreiben starke, im Grundmaterial Schäden verursachende Rücksloßimpulse
entstehen.
Vorzugsweise wird dafür gesorgt, daß die Energie der auf ilen ersten Spike iolgenden Spikes genügt, um
jeweils eine Schicht des Bohrkernmaterials zu verdampfen, wobei das Zeitintervall zwischen diesen
Siiikes ausreichend ist. um ein Entweichen des erzeugten
Dampfes aus dem entstehenden Bohrloch vor dem Eintreffen des näcnsten Spike zu gestatten.
Mit Vorteil beträgt hierzu die Energie der auf den ersten Spike folgenden Spikes etwa 1 m Joule, ihre
Dauer etwa 0,5 usec, das Spikeintervall etwa 3 usec und die Spitzenintensität der Spikes weniger als
10» W/cm-'.
Die Intensität des Laserstrahlenimpuises kann zwischen den Spikes auf Null fallen oder nicht. In
letzterem Fall erscheinen die Spikes als einer Grundintensität überlagerte Schwingungen von abnehmender
oder gleicher Amplitude. Aufeinanderfolgende Impulse solcher Art kann man in äußerst stabil gebauten
Laseranordnungen erhalten und den Bohrvorgang erst dann auslösen, wenn man durch Betrachtung
der Impulse in einem Oszilloskop feststellt, daß sie die gewünschte Gestalt haben. Vorzugweise
verwendet man jedoch einen Modulator, um die Periode der auf den ersten Spike folgenden Spikes
festzulegen.
Die Erfindung bezieht sich auch auf eine Anordnung zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens,
welche gekennzeichnet ist durch einen für einen einzelnen Transversalschwingungsmode ausgebildeten
Laserresonator und einen diesem zugeordneten Modulator, welcher durch Modulierung der
Laserschwingungen die Periode der Spikes im Laserstrahlenimpuls festlegt.
Der Modulator kann aus einer Kerrzelle oder einer Pockelszelle bestehen, der ein Polarisationsfilter zugeordnet
ist. Eine weitere Möglichkeit besteht darin, als Modulator einen sättigbaren Absorber vorzusehen.
Ferner kann als Modulator ein akustischoptischer Modulator oder ein Piezokristall vorgesehen
werden, an welchem einer der Resonatorspiegel befestigt ist.
Mit dem erfindungsgemäßen Verfahren und der Anordnung zur Durchführung dieses Verfahrens
können sämtliche bekannten Materialien sauber bearbeitet werden, also insbesondere transparente oder
stark reflektierende, sehr harte oder sprüde Werkstoffe. Neuartige Werkstoffe, wie Halbleiter oder
Magnetwerkstoffe, z. B. SmCO3, weisen sehr ungewöhnliche
mechanische und optische Eigenschaften auf. Ihre Bearbeitung mit dem erfindungsgemäßen
Verfahren gelingt aber, im Gegensatz zu den bekannten Verfahren, ohne weiteres.
An Hand der Zeichnung werden nachfolgend Ausführungsbeispiele iles Verfahrens nach der Erfindung
und der Anordnung zu dessen Durchführung erläutert. Es zeigt
F i g. 1 einen üblichen Laserstrahlenimpuls,
F i g. 2 einen beim erfindungsgemäßen Verfahren anwendbaren Laserstrahlenimpuls,
F i g. 3 einen anderen beim erfindungsgemäßen Verfahren anwendbaren Laserstrahlenimpuls,
F i g. 4 ein Schema des Bohrvorganges,
Fig. 5 ein Diagramm zur Erläuterung der Einwirkung
der ersten Spikes auf durchsichtiges Material. /. R. einen Rubin,
F i g. 6 einen Laserresonator mit interner Modulation mittels Kerrzelle od. dgl. und
F i g. 7 einen Laserresonator mit interner Modulation mittels Piezokristall.
In F i g. 2 ist ein Laserstrahlenimpuls dargestellt der sich zum Bohren von Rubinen eignet, wobei du
Darstellung natürlich stark idealisiert ist.
Man sieht, daß der Impuls sich aus zahl reicher
Spikes 1 zusammensetzt, deren Zeitdauer rs et\v;i
0.5 |is beträgt. Das Zeitintervall ι, /.wischen zwei aufeinanderfolgenden
Spikes ist etwa gleich 3 |is. Die Periode τ der Spikes ist somit r, t /, 3,5 |is. Die
Dauer tr, des Impulses betragt z. B. etwa 110 |is. Hierzu
wird bemerkt, daß sowohl is als I1, nicht an der
Basis, sondern in halber 1 lohe des Spikes bzw. des Impulses gemessen sind. Damit sich der Impuls zum
Bohren von aus Rubin bestehenden Uhrensieinen eignet, ist es wichtig, daß die Spikeslange iy relativ
kurz ist, z.B. etwa 0,5 bis 2 μ» beträgt; daß ;!ie
Spikesenergie genügend groß ist, z. B. 1 in Joule beträgt. Das Spikesinlervall i, wird genügend groß
gewählt, damit das Material, das beim Auftrelfen
eines Spikes verdamplt wird, aus dem bereits gebildeten Teil der Bohrung entweichen kann, bevor der
nächste Spike eintrifft. Andererseits soll fs nicht so
groß sein, dalJ die Wärmeleitung im Kubin eine merkbare Rolle spielen kann. Ferner soll die maximale
Spikeintensität nicht zu groß sein, z. B. Λ< 10'1WZCm2, um die Urzeugung von Schockwellen
oder nichtlinearen optischen Prozessen zu vermeiden.
In F ig. 4 ist auf der linken Seite schematisch ein
Bohrloch 2 gezeigt, auf dessen Grund gerade der fünfte Spike eines Laserliehtimpulses eintrifft, wobei
die Auttrelfpunkte der einzelnen Spikes durch Kieuze markiert sind. Die Dicke der durch jeden
Spike verdampften Maleiialsehicht ist mit ν bezeichnet und der Durchmesser des Loches mit ti. Rechts
in Fig. 4 sind die Aullrellpunkle der Spikes und diese Spikes I, bis I. selbst in Funktion der Zeit dargestellt,
entsprechend einer kinemalographischen Aufnahme des Bohi\organges in Richtung senkrecht
zum Strahl 3 unter gleichzeitiger Aufnahme des Impulses in einem Oszillographen. Die Oberfläche des
Rubins ist mit 4 bezeichnet. Die Pfeile 5 deuten das iEntweichen des durch den Spike I^ verdampften
Materials an. Jeder neu eintreffende Spike trilTt im Bohrloch 2 auf keinen Dampf mehr, der zerstreuend
auf das Laseistrahlenbündel wirken würde.
Da der Rubin durchsichtig ist, also einen viii klei
neu Liehiabsoiplionskoeffizienten hat. ist es nicht
ohne weiteres klar, wie es überhaupt möglich ist, dall
er mit einem Liehtsirahl verdampft weiden kann. Der Grund hierfür ist darin gefunden worden, daß der
Alv-orptionskoefli/ieni // des Rubins und ähnlicher
Ldelsleine temperaturabhängig ist, und zwar gemäß einer IExponentialfunktion
i/(7) Ae'
worin '/' die aliMilute Temperatur des Materials und A
und λ M.-itenalkonstanten bedeuten Für die Konstanten
A und -, sind aus experimentellen Daten die Werte
ι; ; 1 · 10:1 bis 4 · 10·'
A : -610:i bis 2 · 10:'
A : -610:i bis 2 · 10:'
(, si(j. MeIIl worden.
hi I ig. 5 sind die Intensität /,„ eines aiii den Rubin
cinlalK-ndeii Spikes und die Intensität /„,,„ des aus
demselben austretenden Spikes in Funktion der Zeit l dargestellt um! ferner auch der Verlauf des Absorplion
skoeffizienten /( und derjenige der Temperatur T
des vom Spike getroffenen Materials. Bei der Zimmertemperatur Tn ist ■/ nahezu Null (z. B. etwa 1" ο pro
Zentimeter I'robendickc), so daß /,„„ mit /,„ praktisch
zusammenfällt. Wenn sich das Material aber durch die sehr kleine Absorption doch etwas erwärmt,
nimmt // rasch zu, was eine sich sehr rasch steigende
Zunahme der Absorption und damit auch der MatcrialtemperaUir
I zur F'olge hat. Bei der Schmelztemperatur l\ weist die Kurve 7 eine kleine Stufe
auf, die sehr rasch überschritten wird, imd bei der
Verdampfungstemperatur'/',. eine etwas längere Stufe.
Der letzte ansteigende Ast der /-Kurve, der dem Zustand überhitzten Dampfes entspricht, kommt praktisch
nicht mehr in Betracht, weil der Dampf gemäß den Pfeilen 5 von Fig. 4 aus dem Bohrloch 2 entweicht.
Warum von einem Spike nur ein sehr kleines Volimienclcment verdampft wird, ist im Absorptionsgesclz
begründet, worin .v die Hindringtiefe eines Lichtstrahls
in das Material bedeutet und /(.v) die Intensität an
der Stelle .v.
Berechnet man aus obigem Gesetz und aus den an Hand von F"ig. 5 erläuterten Beziehungen für u
und '/' den Temperalurveiiauf im Material unter der
Auftreffstelle des Strahles, so stellt sich heraus, daß sich praktisch die ganze Wärmeentwicklung in einer
ganz dünnen Schicht von etwa 20// Dicke konzentriert. Die Dicke dieser Schicht ist im wesentlichen
durch das Bohrmaterial gegeben, darum ist es von ausschlaggebender Bedeutung, daß die l.asereniission,
d. h. die Spikesenergie, Spikesdauer und Spikcsab stand und Pulsform an die !Eigenschaft des Bohr
materials angepaßt wird. Aus obigem erklärt sich die bereits au Hand von F i g. 4 erläuterte Tatsache,
daß jeder Spike I nur eine Schicht des Bohrkernmaterials abbaut, deren Dicke ν somit etwa 20» beträgt.
Die Anzahl der Spikes, die zum Bohren eines durchgehenden Loches erforderlich ist, und damit
auch die Impulsdauer In hängen somit hauptsächlich
von der Länge der gewünschten Bohrung ab.
Zur F.inlcilung des Bohrprozesses an der relativ rauhen, stark streuenden Oberlliichc 4 ist es vorteilhall, wenn tier erste Spike I1 wesentlich größer isi
als die folgenden und z. B. etwa 3- bis 5mal so groß. !Eine große !Energie des ersten Spikes kann dadurch
erzielt werden, daß mau für den Auskopplungsspie
gel des Lasenesonators einen hohen Rellexionsk'ocffizienlen
vorsieht.
In F" i g. 3 ist ein Laserüchtimpuls gezeigt, der
sich ebenfalls vorzüglich zum Bohren von maßhalli-
;o gen Löchern eignet. Fs ist ersichtlich, daß die Spitzenintensität der auf den ersten sehr großen Spike I
folgenden Spikes I.,, I, ... rasch abnimmt und daß die Intensität der Strahlen zwischen diesen Spikes
nicht auf Null fällt, so daß sich das Bild einer auf einer Grundintensität I1, überlagerten Schwingung
von rasch abklingender Amplitude ergibt. Bei Verwendung eines solchen Impulses wird das Material
des Bohrkerns mindestens am Anfang des Bohrvorganges ebenfalls siehtweise abgetragen.
Wahrscheinlich setzt sich die schichtweise Abtragung aber auch während desjenigen Teiles des Impulses
fiirt, der praktisch keine überlagerte Schwingung
mehr zeigi und zwar deshalb, weil die Strahlen kurzzeitig von dem aus dem Bohrloch entweichenden
Materialdampf absorbiert werden und erst nach Fnt
weichung desselben auf eine neue Matcrialschichi
fallen und dieselbe verdampfen, worauf sich das Spiel wiederholt.
In Fig. 6 ist eine Anordnung gezeigt, mit der
Impulse nach Fig. 2 oder 3 erzielt werden können.
Ein Laserresonator 6 weist einen Laserstab 7 auf,
der in üblicher Weise zwischen zwei Spiegeln 8 und 9 angeordnet ist. Zwischen dem Stab 7 und dem Spiegel
9 sind noch eine Kerrzellc 10 und ein Polarisationsfilter 11 angeordnet. Der Nutzstrahl 12, der zum
Bohren benutzt wird, tritt zum Spiegel 8 aus, der einen recht hohen Rellexionskoeffizienlcn von z. B.
etwa 80 bis 90% hat, um einen starken ersten Spike zu erzielen. Die Pumpmitlcl, z. B. eine Blitzlichtlampe,
mit welcher der Stab 7 bestrahlt wird, sind nicht dargestellt. Der Kcrrzelle 10, ist an eine Wechselstromquelle
13 von einstellbarer Frequenz angeschlossen, deren Frequenz /,„ der gewünschten Wie-
1,
entspre-
derholungsperiodc τ der Spikes 1,,,
chend, d. h. /,„ ~ gewählt wird. Durch die Kcrrzelle 10, wird die Polarisation des durch sie hindurchgehenden Strahles geändert, so daß die Intensität der vom Polarisationsfilter 11 durchgelassenen, zwischen den Spiegeln hin und her reflektierten Strahlen und somit auch die Intensität des Nutzstrahles 12 mit der Frequenz /„, moduliert wird, was die periodische Bildung der Spikes I2, I3 . . . mit <!er Periode τ zur Folge hat. Bei großer Modulationssteil'e ergeben sich Impulse der in F i g. 2 gezeigten Art und bei geringerer 'liefe ein Einschwingvorgang der in Fig. 3 gezeigten Art. An Stelle einer Kerrzclle kann auch eine Pockclszclle oder ein sättigbarcr Absorber benutzt werden.
chend, d. h. /,„ ~ gewählt wird. Durch die Kcrrzelle 10, wird die Polarisation des durch sie hindurchgehenden Strahles geändert, so daß die Intensität der vom Polarisationsfilter 11 durchgelassenen, zwischen den Spiegeln hin und her reflektierten Strahlen und somit auch die Intensität des Nutzstrahles 12 mit der Frequenz /„, moduliert wird, was die periodische Bildung der Spikes I2, I3 . . . mit <!er Periode τ zur Folge hat. Bei großer Modulationssteil'e ergeben sich Impulse der in F i g. 2 gezeigten Art und bei geringerer 'liefe ein Einschwingvorgang der in Fig. 3 gezeigten Art. An Stelle einer Kerrzclle kann auch eine Pockclszclle oder ein sättigbarcr Absorber benutzt werden.
Die Anordnung nach F i g. 7 unterscheidet sich von derjenigen nach Fig. 6 lediglich dadurch, daii
als Modulator ein Piezokristall ID2 vorgesehen ist,
auf dem der Spiegel 9 montiert ist. Der Spiegel 9 wird daher im Rhythmus der Modulationsfrequenz
hin und her bewegt, so daß sich der Abstand zwischen den Spiegeln 8 und 9 ändert. Im Verlaufe
einer Spiegclschwingung treten nacheinander verschiedene Eigenschwingungen des Resonators auf,
so daß, obwohl obige Bezeichnung /,„ ■-■ nicht
mehr gilt, es trotzdem durch passende Wahl von /„,
möglich ist, eine gewünschte Spikcsperiodc r zu erzwingen.
Als Modulator 10 kann man auch einen akustischoptischen
Modulator benutzen, d.h. einen Modulator mit einem optischen Medium, durch das die Laserstrahlen
hindurchgehen und in welchem stehende Schallwellen erzeugt werden, deren Frequenz moduliert
wird, so daß die Strahlen im Rhythmus dieser Frequenz abgelenkt werden, was zu einer Amplitudenmodulation
des Nutzstrahlcs führt
Die Erfindung ist selbstverständlich nicht auf eins
ao Bohren von Uhrenslcincn beschränkt. Nach demselben
Verfahren können auch andere, insbcsonileu:
auch metallische Werkstücke gebohrt werden. !>'<'
jeweils erforderliche Größe und zeitliche Reihenfolge der Spikes bzw. der aus ihnen zusammengesetzt πι
as Impulse kann auf Grund der an Hand von Fij.·.?
erläuterten Zusammenhänge berechnet bzw. ab.r.i schätzt oder experimentell ermittelt werden. Hein1
Bohren von gewissen metallischen Werkstücken z. B. Spinndüsen, kann es eventuell erwünscht sein
besondere Lochformen zu erzielen. Während im ;·!!
gemeinen die Verwendung von nur im transversal·'! Grundmode schwingenden Laserstrahlen crwünscl·
ist, kann in diesem Falle die Verwendung eines >>
einem höheren transversalen Mode schwingend
Laserstrahles zweckmäßig sein.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen
«09 508/2
Claims (8)
1. Verfahren zum Bearbeiten von Uhrensteinen oder anderen kleinen Werkstücken aus hartem
Material mittels Laserstrahlen, bei welchem dem Werkstück mindestens ein mehrere Spikes aufweisender
Laserstrahlenimpuls zugeführt wird, dessen Leistung bei seinem Beginn am höchsten
ist, dadurch gekennzeichnet, daß zum Bohren des Uhrensteins bzw. des Werkstücks im
Laserstrahlenimpuls mittels Anregung eines in einem einzigen transversalen Mode schwingenden
Laserstrahls ein erster Spike erzeugt wird, dessen Spitzenintensität wesentlich größer als diejenige
aller nachfolgenden Spikes im Laserstrahleninipuls
ist, und daß diese nachfolgenden, abnehmende oder gleiche Spitzenintensitäten aufweisenden
Spikes mittels eines Modulators mit praktisch konstanter Periode erzeugt werden, wobei die
Periode derart ausreichend lang festgelegt wird, daß ein Entweichen des durch einen der Spikes
verdampften Bohrkernmaterials aus dem Bohrloch ermöglicht ist, bevor der nächste Spike eintrifft.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Energie der auf den ersten
Spike folgenden Spikes etwa 1 m Joule beträgt, ihre Dauer etwa 0,5 Lisec, das Spikeintervall etwa
3 (isec und ihre Spitzenintensität kleiner als 10!) W/cm-ist.
3. Verfahren nach den Ansprüchen 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Energie des
ersten Spikes mindestens dreimal so groß ist wie diejenige der folgenden Spikes.
4. Anordnung zur Durchführung des Verfahrens nach einem der Ansprüche 1 bis 3, gekennzeichnet,
durch einen für einen einzelnen Transversalschwingungsmode ausgebildeten Laserresonator
(6) und einen diesem zugeordneten Modulator (JO1, 10.,), welcher durch Modulierung der
Laserschwingungen die Periode (τ) der Spikes im Laserstrahlenimpuls festlegt.
5. Anordnung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß der Modulator (JO1) aus einer
Kerrzelle oder Pockelszelle besteht, der ein Polarisationsfilter
(IJ) zugeordnet ist.
6. Anordnung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß als Modulator (JO1) ein sättigbarer
Absorber vorgesehen ist.
7. Anordnung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß ein akustisch-optischer Modulator
(JO1) vorgesehen ist.
8. Anordnung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß als Modulator (JO.,) ein Piezokristall
vorgesehen ist, an welchem einer der Resonatorspiegel (8) befestigt ist.
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CH455071A CH532993A (de) | 1971-03-29 | 1971-03-29 | Verfahren zum Bohren von Uhrensteinen mittels Laserstrahlen und Anordnung zur Durchführung des Verfahrens |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE2214212A1 DE2214212A1 (de) | 1972-10-12 |
DE2214212B2 true DE2214212B2 (de) | 1974-02-21 |
DE2214212C3 DE2214212C3 (de) | 1974-09-19 |
Family
ID=4278162
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE2214212A Granted DE2214212B2 (de) | 1971-03-29 | 1972-03-23 | Verfahren zum Bearbeiten von Uhrensteinen und anderen kleinen Werkstücken aus hartem Material und Anordnung zur Durchführung des Verfahrens |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS574436B1 (de) |
CA (1) | CA943192A (de) |
CH (2) | CH455071A4 (de) |
DE (1) | DE2214212B2 (de) |
FR (1) | FR2131695A5 (de) |
GB (1) | GB1373181A (de) |
IT (1) | IT949991B (de) |
NL (1) | NL173927C (de) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2711889A1 (de) * | 1977-03-18 | 1978-09-21 | Kernforschungsanlage Juelich | Verfahren zum ausheben von kanaelen in werkstuecken mit hilfe von laserpulsen und vorrichtung zur durchfuehrung dieses verfahrens |
DE2814044A1 (de) * | 1977-04-07 | 1978-10-19 | United Technologies Corp | Verfahren zum herstellen eines loches in einem werkstueck mit hilfe von laserstrahlung |
DE19802127C1 (de) * | 1997-09-24 | 1999-04-15 | Mitsubishi Electric Corp | Laserbearbeitungsverfahren |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CH599827A5 (de) * | 1975-10-02 | 1978-05-31 | Lasag Ag | |
GB1601355A (en) * | 1977-05-03 | 1981-10-28 | Boc Ltd | Lasers |
JPS604629U (ja) * | 1983-06-18 | 1985-01-14 | 有限会社 馬渡コンクリ−ト工業 | 土止め板 |
US4930901A (en) * | 1988-12-23 | 1990-06-05 | Electro Scientific Industries, Inc. | Method of and apparatus for modulating a laser beam |
JP6682146B2 (ja) * | 2016-12-12 | 2020-04-15 | 住友重機械工業株式会社 | レーザパルス切出装置及びレーザ加工方法 |
-
1971
- 1971-03-29 CH CH455071D patent/CH455071A4/xx not_active IP Right Cessation
- 1971-03-29 CH CH455071A patent/CH532993A/de unknown
-
1972
- 1972-03-08 IT IT21573/72A patent/IT949991B/it active
- 1972-03-10 NL NLAANVRAGE7203251,A patent/NL173927C/xx not_active IP Right Cessation
- 1972-03-14 GB GB1181572A patent/GB1373181A/en not_active Expired
- 1972-03-23 DE DE2214212A patent/DE2214212B2/de active Granted
- 1972-03-28 CA CA138,386FILED*7A patent/CA943192A/en not_active Expired
- 1972-03-28 FR FR7210906A patent/FR2131695A5/fr not_active Expired
- 1972-03-29 JP JP3085372A patent/JPS574436B1/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2711889A1 (de) * | 1977-03-18 | 1978-09-21 | Kernforschungsanlage Juelich | Verfahren zum ausheben von kanaelen in werkstuecken mit hilfe von laserpulsen und vorrichtung zur durchfuehrung dieses verfahrens |
DE2814044A1 (de) * | 1977-04-07 | 1978-10-19 | United Technologies Corp | Verfahren zum herstellen eines loches in einem werkstueck mit hilfe von laserstrahlung |
DE19802127C1 (de) * | 1997-09-24 | 1999-04-15 | Mitsubishi Electric Corp | Laserbearbeitungsverfahren |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CH455071A4 (de) | 1972-08-15 |
DE2214212A1 (de) | 1972-10-12 |
NL173927B (nl) | 1983-11-01 |
CA943192A (en) | 1974-03-05 |
CH532993A (de) | 1972-08-15 |
FR2131695A5 (de) | 1972-11-10 |
NL7203251A (de) | 1972-10-03 |
IT949991B (it) | 1973-06-11 |
GB1373181A (en) | 1974-11-06 |
NL173927C (nl) | 1984-04-02 |
JPS574436B1 (de) | 1982-01-26 |
DE2214212C3 (de) | 1974-09-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE68918068T2 (de) | Vorrichtung zum Schneiden oder Verdampfen von Material und verschiedenen Stoffen unter Anwendung der Laserwirkung. | |
DE3126953C2 (de) | Verfahren zur thermischen Behandlung der Oberfläche von Werkstücken mittels eines linear polarisierten Laserstrahls | |
DE10156343A1 (de) | Verfahren zur Bearbeitung eines Glassubstrats | |
DE2214212C3 (de) | ||
DE2814044A1 (de) | Verfahren zum herstellen eines loches in einem werkstueck mit hilfe von laserstrahlung | |
DE2640450A1 (de) | Verfahren zum einstellen der frequenz-temperaturcharakteristik eines quarzoszillators | |
DE2335495B2 (de) | Verfahren und vorrichtung zum abstimmen der eigenfrequenz mechanischer schwingkoerper aus piezoelektrischem kristall | |
DE2900728C2 (de) | ||
DD288933A5 (de) | Verfahren zur lasermaterialbearbeitung mit dynamischer fokussierung | |
DE1772530B2 (de) | Vorrichtung zur erzeugung hochfrequenter akustischer schwingungen in form kurzer akustischer impulse hoher energie | |
DE2644014A1 (de) | Verfahren zum abtragen von material mittels laserstrahlen und anordnung zum durchfuehren des verfahrens | |
DE19715702A1 (de) | Verfahren zum selektiven Abtragen einer oder mehrerer Schichten | |
DE2934407A1 (de) | Verfahren zur loet- oder schweissverbindung eines bauteils mit einem substrat mittels kurzwelliger elektromagnetischer strahlung, insbesondere laserstrahlung und einrichtung zur durchfuehrung des verfahrens | |
DE19920813A1 (de) | Vorrichtung zum Materialabtragen bei Werkstücken mittels Laserstrahl | |
CH455071A (fr) | Dispositif destiné à envoyer dans l'oeil une radiation monochromatique dans un but thérapeutique | |
EP0776492B1 (de) | Vorrichtung zur erzeugung einer modenhomogenisierten laserstrahlung | |
DE102020123789A1 (de) | Verfahren zum Trennen eines Werkstücks | |
DE10250015B3 (de) | Adaptive, rückkopplungsgesteuerte Materialbearbeitung mit ultrakurzen Laserpulsen | |
DE3936716C2 (de) | Vorrichtung zur Beeinflussung von Material durch gepulste Lichteinstrahlung sowie Verwendung hierzu | |
CH547159A (de) | Verfahren zum bohren von werkstuecken mittels laserstrahlen und anordnung zur durchfuehrung des verfahrens. | |
DE102021204578A1 (de) | Verfahren zum Einschreiben polarisationsbeeinflussender Nanostrukturen in ein transparentes Material | |
EP3854515A1 (de) | Verfahren zur bearbeitung sprödharter materialien | |
DE10232815B4 (de) | Verfahren zur Modifizierung von dielektrischen Materialeigenschaften | |
DE102013109479B3 (de) | Verfahren und Laseranordnung zum Bearbeiten eines Werkstücks mit einem gepulsten Laserstrahl | |
DE4212372C2 (de) | Optisches Element mit ferroelektrischer Mikrodomäneninversion und Verfahren zu seiner Herstellung |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C3 | Grant after two publication steps (3rd publication) | ||
E77 | Valid patent as to the heymanns-index 1977 | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |