DE2133129C3 - Hygroskopischer Kristall mit einer gut haftenden Deckschicht, vorzugsweise einer Vergütungs- oder Spiegelschicht - Google Patents

Hygroskopischer Kristall mit einer gut haftenden Deckschicht, vorzugsweise einer Vergütungs- oder Spiegelschicht

Info

Publication number
DE2133129C3
DE2133129C3 DE19712133129 DE2133129A DE2133129C3 DE 2133129 C3 DE2133129 C3 DE 2133129C3 DE 19712133129 DE19712133129 DE 19712133129 DE 2133129 A DE2133129 A DE 2133129A DE 2133129 C3 DE2133129 C3 DE 2133129C3
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
layer
crystal
coating
well
hygroscopic
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
DE19712133129
Other languages
English (en)
Other versions
DE2133129A1 (de
DE2133129B2 (de
Inventor
Hans Dipl.-Phys. Dr. Mahlein
Rudolf Oberbacher
Karl-Heinz Zeitler
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Siemens AG
Original Assignee
Siemens AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Siemens AG filed Critical Siemens AG
Priority to DE19712133129 priority Critical patent/DE2133129C3/de
Priority to CH567872A priority patent/CH537591A/de
Priority to FR7221996A priority patent/FR2144672A1/fr
Priority to NL7208851A priority patent/NL7208851A/xx
Priority to IT2631172A priority patent/IT960159B/it
Priority to BE785697A priority patent/BE785697A/xx
Priority to LU65644D priority patent/LU65644A1/xx
Publication of DE2133129A1 publication Critical patent/DE2133129A1/de
Publication of DE2133129B2 publication Critical patent/DE2133129B2/de
Application granted granted Critical
Publication of DE2133129C3 publication Critical patent/DE2133129C3/de
Expired legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C23C14/10—Glass or silica
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/02—Pretreatment of the material to be coated
    • C23C14/024—Deposition of sublayers, e.g. to promote adhesion of the coating
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/03—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on ceramics or electro-optical crystals, e.g. exhibiting Pockels effect or Kerr effect
    • G02F1/0305—Constructional arrangements

Description

20
Die Erfindung betrifft hygroskopische optische Kristalle mit einer gut haftenden Deckschicht, vorzugsweise einer Vergütungs- oder Spiegelschicht. Solche Kristalle werden in der Lasertechnik benötigt. Man verwendet sie unter anderem als elektrooptische Güteschalter für Riesenimpulslaser und als Modulatoren. Als Beispiel können Kaliumhydrogenphosphat-Einkristalle dienen. Diese KDP-Kristalle werden wegen ihrer guten elektrooptischen Eigenschaften verwendet. Wegen ihrer starken Hygroskopizität müssen die Kristalloberflächen allerdings gegen Feuchtigkeit geschützt werden. Diesen Schutz bieten in geringerem Maße bei diesen in der Lasertechnik verwendeten KDP-Kristallen unter anderem Vergütungsschichten, die zur Reflexionsminderung aufgebracht werden. Man benötigt niedrigbrechende Aufdampfmaterialien. Dazu eignet sich bei Verwendung von KDP-Kristallen MgF2. Aufdampfverfahren von MgF2 auf Kristallen sind bekannt.
40
Ein Nachteil direkt aufgebrachter Deckschichten auf hygroskopischen Kristallen besteht darin, daß die Haftfestigkeit dieser Schichten auf diesen Kristallen zu gering ist, da die in den Kristall eindringende Feuchtigkeit diesen an der Grenzfläche zwischen dem Kristall und der Schicht auflöst und dadurch die Haftfestigkeit verlorengeht.
Aufgabe der Erfindung ist es deshalb, eine Anordnung vorzuschlagen, weiche die Haftfestigkeit der Deckschichten auf hygroskopischen Kristallen erhöht.
Die Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß zwischen der Kristalloberfläche und der Deckschicht zur Erhöhung der Haftfestigkeit eine Glasschicht angeordnet ist. Diese besitzt nämlich eine wesentlich geringere Porosität und schützt damit primär die Kristalloberfläche und verleiht weiterhin wegen der Nicht-Hygroskopizität von Glas der Deckschicht eine größere Haftfestigkeit, so daß diese sich nicht mehr ablösen kann.
Die Glasschicht besitzt vorteilhafterweise eine Dicke von der Größenordnung μιτι.
Die Herstellung dieser Schichtenfolge geschieht insbesondere so, daß auf die polierte und gereinigte Kr;-staiioberfläche die Glasschicht durch Elektronenstrahlverdampfung aufgebracht wird und auf diese die Deckschicht aufgedampft wird.
In der Figur ist eine KDP-Kristalloberfläche 1 dargestellt, die vor dem Aufbringen einer Glasschicht 2 poliert worden ist. Diese Glasschicht 2 muß beim Herstellungsverfahren des vergüteten hygroskopischen KDP-Kristalls unmittelbar nach dem Polieren der Kristalloberfläche aufgebracht werden. Die Glasschicht 2 beträgt dabei einige μ. Auf dieser Glasschicht 2 ist dann durch bekannte Verfahren eine MgF2-Vergütungsschicht 3 aufgebracht, welche beispielsweise eine optische Dicke von Ά der Wellenlänge des hindurchlaufenden monochromatischen Lichtes besitzt.
Auch alle anderen hygroskopischen Kristalle, die mit einer dünnen Schicht bedampft werden sollen, können auf diese Weise mit einer Zwischenschicht versehen werden, welche die Haltbarkeit der dünnen Schicht auf der Oberfläche des Kristalls erhöht.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen

Claims (3)

Patentansprüche:
1. Hygroskopischer optischer Kristall mit einer gut haftenden Deckschicht, vorzugsweise einer Vergütungs- oder Spiegelschicht, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen der Kristalloberfläche und der Deckschicht zur Erhöhung der Haftfestigkeit eine Glasschicht angeordnet ist.
2. Kristall nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Glasschichn eine Dicke von der Größenordnung μιτι besitzt.
3. Verfahren zur Aufbringung der Deckschicht auf einem hygroskopischen Kristall, dadurch gekennzeichnet, daß auf die Kristalloberfläche eine Glasschicht durch Elektroiienstrahlverdampfung aufgebracht wird und auf diese eine Deckschicht aufgedampft wird.
DE19712133129 1971-07-02 1971-07-02 Hygroskopischer Kristall mit einer gut haftenden Deckschicht, vorzugsweise einer Vergütungs- oder Spiegelschicht Expired DE2133129C3 (de)

Priority Applications (7)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19712133129 DE2133129C3 (de) 1971-07-02 1971-07-02 Hygroskopischer Kristall mit einer gut haftenden Deckschicht, vorzugsweise einer Vergütungs- oder Spiegelschicht
CH567872A CH537591A (de) 1971-07-02 1972-04-18 Hygroskopischer Kristall mit einer gut haftenden Deckschicht, vorzugsweise einerVergütungs- oder Spiegelschicht
FR7221996A FR2144672A1 (en) 1971-07-02 1972-06-19 Hygroscopic optical crystal - for lasers with outer (anti)reflecting coating bonded to crystal by glass layer
NL7208851A NL7208851A (de) 1971-07-02 1972-06-27
IT2631172A IT960159B (it) 1971-07-02 1972-06-28 Cristallo igroscopico con uno strato di copertura ben aderente preferibilmente con uno strato di bonifica o speculare
BE785697A BE785697A (fr) 1971-07-02 1972-06-30 Cristal hygroscopique a couche de revetement adherent, formant de preference un revetement anti-reflet ou reflechissant
LU65644D LU65644A1 (de) 1971-07-02 1972-06-30

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19712133129 DE2133129C3 (de) 1971-07-02 1971-07-02 Hygroskopischer Kristall mit einer gut haftenden Deckschicht, vorzugsweise einer Vergütungs- oder Spiegelschicht

Publications (3)

Publication Number Publication Date
DE2133129A1 DE2133129A1 (de) 1973-01-25
DE2133129B2 DE2133129B2 (de) 1975-05-07
DE2133129C3 true DE2133129C3 (de) 1976-01-08

Family

ID=5812568

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19712133129 Expired DE2133129C3 (de) 1971-07-02 1971-07-02 Hygroskopischer Kristall mit einer gut haftenden Deckschicht, vorzugsweise einer Vergütungs- oder Spiegelschicht

Country Status (7)

Country Link
BE (1) BE785697A (de)
CH (1) CH537591A (de)
DE (1) DE2133129C3 (de)
FR (1) FR2144672A1 (de)
IT (1) IT960159B (de)
LU (1) LU65644A1 (de)
NL (1) NL7208851A (de)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3991234A (en) * 1974-09-30 1976-11-09 American Optical Corporation Process for coating a lens of synthetic polymer with a durable abrasion resistant vitreous composition
DE3110981C2 (de) * 1981-03-20 1983-06-30 Messerschmitt-Bölkow-Blohm GmbH, 8000 München Optischer Körper für ein Lidar-System

Also Published As

Publication number Publication date
NL7208851A (de) 1973-01-04
CH537591A (de) 1973-05-31
IT960159B (it) 1973-11-20
DE2133129A1 (de) 1973-01-25
FR2144672B1 (de) 1979-01-12
LU65644A1 (de) 1972-10-25
FR2144672A1 (en) 1973-02-16
DE2133129B2 (de) 1975-05-07
BE785697A (fr) 1972-10-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0059260B1 (de) Laserspiegel, insbesondere Laser-Polygonspiegel
DE3611852C2 (de)
DE2615605C2 (de) Scheibenförmiger Informationsträger und Verfahren zu seiner Herstellung
DE2912943A1 (de) Infrarot-reflektor
DE3148447A1 (de) Fluessigkristall-anzeigevorrichtung mit zwei verdrillten nematischen schichten
DE3902596C2 (de)
DE3927087C2 (de)
DE3125717A1 (de) Reflektierendes datenspeicher- und aufzeichungsmedium
DE2710629C2 (de)
EP0700879A1 (de) Kratzfeste Beschichtung aus Aluminiumoxid auf einem Glas-Substrat und Verfahren zu ihrer Herstellung
DE3518637C2 (de) Optischer Artikel mit verbesserter Hitzefestigkeit
DE3909654C2 (de) Reflexionsvermindernder Film für optische Teile aus Kunststoff
DE10034158C2 (de) Reflexionsmindernde Beschichtung aus einem Wechselschichtsystem unterschiedlicher Schichtmaterialien mit jeweils niedrigerem und höherem Brechungsindex
DE2133129C3 (de) Hygroskopischer Kristall mit einer gut haftenden Deckschicht, vorzugsweise einer Vergütungs- oder Spiegelschicht
DE4124937C2 (de) Verfahren zur Herstellung eines optischen Interferenzschichtsystems
DE3014597C2 (de) Verfahren zur Änderung der Reflexionseigenschaften von Oberflächen optischer Teile, insbesondere von Brillenlinsen
DE102006011973A1 (de) Spiegel mit einer Silberschicht
DE10134157B4 (de) Bauelement mit ultrapräziser Oberfläche und Verfahren zu seiner Herstellung
DE19541014A1 (de) Antireflexschichtsystem und Verfahren zur Herstellung eines Antireflexschichtsystems
DE2548904C3 (de) Verfahren zur Herstellung von lichtfiltrierendem, Wärme bzw. Radiostrahlen reflektierendem oder elektrisch beheizbarem organischen Triplexglas
DE1045612B (de) Verfahren zum Herstellen einer mit einem Film ueberzogenen und gehaerteten Glasscheibe
DE2414421C3 (de) Neutralgraufilter
CH600354A5 (en) Mirror with aluminium substrate
DE19606812C2 (de) Verfahren zur Herstellung von interferenzoptischen Bauteilen und nach dem Verfahren hergestelltes Bauteil
DE102012002591A1 (de) Nichtpolarisierender Strahlteiler

Legal Events

Date Code Title Description
C3 Grant after two publication steps (3rd publication)
E77 Valid patent as to the heymanns-index 1977
8339 Ceased/non-payment of the annual fee