DE2118056A1

DE2118056A1 - Membranpumpe

Info

Publication number: DE2118056A1
Application number: DE19712118056
Authority: DE
Inventors: Der Anmelder Ist
Original assignee: N} strom, Ernst Holger Bertil, Dully, Bursinel (Schweiz)
Priority date: 1970-04-15
Filing date: 1971-04-14
Publication date: 1971-11-04
Also published as: CH520874A; NL7105052A; GB1311901A; FR2089633A5; SE7104802L; CA954376A; NO130738C; NO130738B; US3741687A

Description

Dr.-lng. E. BERKENFELO · Dipl.-Ing. H. BERKENFELD, Patentanwälte, Köln Anlage Aktenzeichen

zur Eingabe vom 10. April 1971 VA// Name d. Anm. ERNST HOLGER BERTIL

NYSTROEH

Hembranpumpe

Die Erfindung betrifft Membranpumpen.

Die Pumpe ist gemäß der Erfindung gekennzeichnet durch einen Behälter mit einem Einlaß und einem Auslaß, durch eine Membran, die mindestens einen Teil einer Wand des Behälters bedeckt und die beweglich ist, um abwechselnd Flüssigkeit durch den Einlaß in den Behälter zu saugen und Flüssigkeit durch den Auslaß aus dem Behälter zu verdrängen, sowie durch eine Membran, welche dazu dient, den Einlaß zu öffnen und zu schließen bzw. den Auslaß zu öffnen und zu schließen.

Line oder mehrere Membranen können verwendet werden, um mindestens einen Teil einer Wand des Behälters zu bedecken, sowie um den Einlaß und den Auslaß zu öffnen und zu schließen.

Die Membran ist vorzugsweise beweglich entsprechend Veränderungen des Drucks des Mediums auf der dem Behälter gegenüberliegenden Seite. Der Druck des Mediums kann beispielsweise Öldruck, Luftdruck, V/asserdruck usw. sein.

Lei einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung wird der auf die Membran einwirkende Druck durch eine oder mehrere (vorzu^nweise zwei) Strahlpumpen erzeugt.

Lei Anwendungen, in denen das zu pumpende Medium einer Strömung ο inc-ε anderen Mediums zugesetzt werden soll, kann das andere Medium das Medium in der Strahlpumpe sein.

Die ijruckänderungen werden vorzugsweise erzielt, indem der Druck

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auf der dem Behälter gegenüberliegenden Seite der Membran in den dem Behälter, dem Einlaß und dem Auslaß gegenüberliegenden Be^ reichen abwechselnd erhöht und gesenkt wird.

Der Druck₃ der auf der gegenüberliegenden Seite der Membran während der Unterdrucksetzung und der Drucklosmachung erforderlich ist, hängt von der Verwendung ab, für welche die Pumpe bestimmt ist. Wenn der Einlaß der Pumpe eine Flüssigkeit unter einem bestimmten Druck aufnimmt, dann muß der für die Drucklosmachung erforderliche Druck unterhalb dieses Drucks der Flüssigkeit liegen. Wenn beispielsweise Wasser gepumpt werden soll und der Wasserspiegel unter atmosphärischem Druck steht und zwei Meter unterhalb des Einlasses der Pumpe liegt, dann muß der für die Drucklosmachung erforderliche Druck theoretisch weniger als 0,8 des atmosphärischen Druckes und in der Praxis noch etwas weniger betragen, und zwar um die Saugwirkung der Pumpe zu überwinden. Wenn andererseits die Flüssigkeit am Einlaß einen Druck

von 2 kp/cm aufweist, dann kann der für die Drucklosmachung erforderliche Druck höher sein als der atmosphärische Druck und

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nahezu, aber weniger als 2 kp/cm betragen.

Außerdem iauß der für die Unterdrucksetzung erforderliche Druck höher sein als der Druck der Flüssigkeit am Auslaß der Pampe.

Die v/ahlweise Unterdrucksetzung und Drucklosmachung der Kammern kann durch verschiedene Verfahren gesteuert werden, zum Beispiel durch die Verwendung von Ventilen (gewöhnlich Solenoidventilen) und Schalteinrichtungen, oder bei einer besonders bevorzugten Ausführungsform durch Verwendung der bekannten Verfahren der fluid logics (oder fluidics). Die vorliegende Erfindung verwendet ein Ventil der beschriebenen Art, in welchem die Kammern unter Druck gesetzt und drucklos gemacht v/erden unter Verwendung der Fluidistor-Technik.

Bei einer Ausführungsform wird der Behälter als ein ausgehöhlter Abschnitt, in einem kompakten Teil ausgebildet. Zwei v/eitere ausgehöhlte Abschnitte oder Hohlräume werden ebenfalls in dem kom-

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pakten Teil ausgebildet (auf der gleichen Seite wie der Behälter oder auf der entgegengesetzten Seite) und mit dem Behälter clurch Durchlässe verbunden. Die v/eiteren ausgehöhlten Abschnitte- -/eisen auch zusätzliche Durchlässe auf, Vielehe in dieselben münden zwecks Verbindung mit einer Quelle des Mediums und/oder mit einer Auslaßstelle. Indem der Druck in den Bereichen auf der gegenüberliegenden Seite der Membran abwechselnd und nacheinander gehoben und gesenkt wird, wird das Medium veranlaßt, in die drei ausgehöhlten Abschnitte oder Hohlräume zu strömen.

Indem ein glatter oder stromlinienförmiger Weg durch die Pumpe für das zu pumpende Medium vorgesehen wird, kann eine Pumpe mit geringer Wirbelbildung erhalten wierden. Sine solche Pumpe ist von großem V/ert beim Pumpen von Blut durch den menschlichen Körper. Andere Anwendungen der Pumpe gemäß der Erfindung sind Laboratoriumspumpen und Pumpen für die Zuführung von Chemikalien, beispielsweise die Beimischung von Chemikalien in Schwimmbecken und die Beimischung von Düngemittel zu Wasser für Bewässerungsanlagen.

nachstehend werden beispielsweise Ausführungsformen der Erfindung genauer beschrieben unter Bezugnahme auf die Zeichnungen, in welchen zeigt:

Fi^. 1 eine auseinandergezogene schaubildliche Ansicht einer Pumpe gemäß einer Ausführungsform der Erfindung,

Fig. 2 im Grundriß einen Teil einer Pumpe gemäß einer abgeänderten Ausführungsform der Erfindung,

Fig. 3 eine auseinandergezogene schaubildliche Ansicht einer Pumpe gemäß einer anderen Ausführungsform der Erfindung,

Fig. 4 eine auseinandergezogene schaubildliche Ansicht einer Pumpe gemäß noch einer anderen Ausführungsform der Erfindung,

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Fig. 5 im Querschnitt eine Pumpe gemäß einer weiteren Ausführungsform der Erfindung.

Gemäß Fig. 1 besteht die dargestellte Pumpe aus zwei kompakten Teilen 10 und 12, zwischen welchen eine Membran 14 angeordnet ist. In der Darstellung ist der Teil 10 relativ zu dem Teil 12 und der Membran 14 etwas verdreht, um die Vorderseite 15 deutlich zu zeigen. Der Teil 10 enthält einen Behälter 16, der auf der Vorderseite 16 des Teils 10 als ein Hohlraum ausgebildet ist. Ein Einlaß 18 erstreckt sich zwischen der Vorder- und Rückseite des Teils 10 und ist von einem ringförmigen Kanal 20 umgeben, der auf der Vorderseite 15 des Teils 10 ausgebildet ist. Eine ähnliche Anordnung besteht aus einem Auslaß 22 und einem ringförmigen Kanal 24, die ebenfalls im Teil 10 vorgesehen sind. Eine Reihe von Durchlässen 26 verbindet jeden der ringförmigen Kanäle 20, 24 mit dem Behälter 16. Der Teil 12 ist mit einem Hoiüraum 28 versehen, der dem Behälter 16 gegenüberliegt, wenn die Pumpe zusammengesetzt ist. Eine Blindbohrung 30 erstreckt sich in den Teil 12 und zwei Strahlpumpen 32, 34 sind mit der Blindbohrung 30 verbunden. Die Bereiche stromabwärts von den Verengungen in den Strahlpumpen 32, 34 sind mit Kammern 33 bzw. 35 verbunden, welche auf der Vorderseite des Teils 12 ausgebildet sind. Die Kammer 33 steht mit dem Hohlraum 28 durch eine Bohrung

37 mit sehr kleinem Querschnitt in Verbindung. In der v/and des Hohl«raumes 28 ist ein Schlitz 29 ausgebildet, der mit der Bohrung 37 verbunden ist. Ein (schematisch dargestelltes) Dreivrc£- ventil 36 verbindet entweder die Strahlpumpe 32 oder die Strahlpumpe 34 v/ahlweise mit einer Auslaßleitung 38. Das Dreiwegventil wird durch eine (schematisch dargestellte') Schalteinrichtung 40 betätigt.

Bei der dargestellten Ausführungsform werden die Teile 10, 12 und die Membran 14 beispielsweise durch Muttern und Bolzen 42 zusammengehalten.

Im Betrieb wird zuerst die Strahlpumpe 32 mit der Auslaßleitung

38 verbunden und ein Medium strömt durch die Bohrung 30 und die

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Strahlpumpe 32 zur Auslaßleitung 38. Ein Bereich niedrigen Drucks wird dadurch in der Kammer 33 erzeugt. Die Membran 14 wird daher vom Einlaß 18 weggezogen, so daß der Einlaß geöffnet und gleichzeitig ein Bereich niedrigen Drucks rund um den !■Jini aß erzeugt wird. Der niedrige Druck saugt das zu pumpende I-Isdium von einer (nicht dargestellten) Quelle durch den Einlaß 18 und in den ringförmigen Kanal 20. Die Bohrung 37, welche die Hammer 33 mit dem Hohlraum 28 verbindet, weist einen äußerst kleinen Querschnitt auf und erzeugt einen Bereich niedrigen Drucks innerhalb des Kohlraums 28 kurz nach der Erzeugung des 33rcichs niedrigen Drucks in der Kammer 33. Der niedrige Druck im Hohlraum 2G saugt die Membran 14 in den Hohlraum 28, so daß der Behälter 16 vergrößert wird und Medium aus dem Kanal 20 durch den Durchlaß 26 in den Behälter 16 gesaugt wird. Während dieses Zeitraumes erzeugt eine Ansammlung von Medium in der Bohrung 30 rechts von der Strahlpumpe 32 einen Bereich hohen Drucks in der Kammer 35, welcher auf die Membran 14 einwirkt, um den Auslaß 22 geschlossen zu halten. Das durch die Schalteinrichtung 40 betätigte Dreiwegventil verbindet dann die Strahlpumpe

34 mit der Auslaßleitung 38, während gleichzeitig die Verbindung der Strahlpumpe 32 mit der Auslaßleitung 38 unterbrochen wird. Dadurch wird in der Kammer 35 ein Bereich niedrigen Drukkes erzeugt, welcher die Membran an dieser Stelle in die Kammer

35 saugt. Der ringförmige Kanal 24 wird daher einer Druckverringerung unterworfen, so daß Medium aus dem Behälter 16 durch den Durchlaß 2b in den ringförmigen Kanal 24 gesaugt wird. Die Ansammlung von Medium in der Bohrung 30 erzeugt nunmehr einen bereich hohen Drucks in der Kammer 33, welcher durch Einwirkung auf die Membran 14 den Einlaß 18 schließt. Infolge der Verbindung zwischen dem Hohlraum 28 und der Kammer 33 wird im Hohlraum 20 ein Bereich hohen Drucks erzeugt kurz nach der Erzeu- ■jz&z des Bereichs hohen Drucks in der Kammer 33. Dieser Bereich ixohcn Drucks im Hohlraum 28 drückt die Membran 14 in den Behälter 1o, so daß das Medium aus dem Behälter 16 durch den Durchlaß 26 in den ringförmigen Kanal 24 und dann durch den Auslaß 22 verdrängt wird. Das durch die Schalteinrichtung 40 betätigte Droiv/egventil stellt abwechselnd die Verbindung der Auslaß-

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leitung 38 mit den Strahlpumpen 32 und 34 in einer pulsierenden I/eise her und erzeugt dadurch eine Pumpwirkung durch den Behälter 16.

Die Teile 10 und 12 können durch eine Anordnung ersetzt v/erden, in welcher die Strömung vom Einlaß 18 zum Auslaß 22 durch den Bshälter eine stromlinienförmige Strömung oder mindestens eine Strömung mit sehr geringer ¥irbelbildung ist» Eine solche Anordnung ist in Fig. 2 dargestellt. Bei dieser Anordnung ist der Weg zwischen dem Einlaß 18 durch den Behälter 16 zum Auslaß 22 durch die Form des im Teil 10 ausgebildeten Hohlraums geglättet. Selbstverständlich muß bei dieser Anordnung die Ausbildung des Teils 12 entsprechend angepaßt v/erden.

Die in Fig. 3 dargestellte Pumpe besteht aus zwei kompakten Seilen ^Q₁ 52, zwischen welchen eine Membran 54 angeordnet ist. Der Teil 50 enthält einen Behälter 56, der als ein Hohlraum auf der Vorderseite 58 des Teils 50 ausgebildet ist. Zwei kleinere Hohlräume 60, 62 sind ebenfalls auf der Vorderseite 58 des Teils 50 ausgebildet. In der Wand des Behälters 56 ist ein Schlitz 64 ausgebildet und Durchlässe 66, 68 verbinden den Schlitz 64 mit den Hohlräumen 60 bzw, 62. Die Hohlräume 60, 62 sind mit weiteren Durchlässen 70, 72 versehen, welche diese Hohlräume mit den —s· Seitenflächen des Teils 50 verbinden.

Der Teil 52 ist mit drei Hohlräumen 74, 76, 78 versehen, welche den Hohlräumen 56» 60 und 62 genau gegenüberliegen, wenn die Pumpe zusammengesetzt ist. Die Hohlräume 74, 76, 78 sind mit Ventilen 80, 82, 84 über Durchlässe 86, 88, 90 verbunden, Die Ventile 80, 82, 84 können die Durchlässe 86, 88, 90 über Leitungen 92 wahlweise mit einer Vakuumquelle oder einer Druckquelle verbinden. Jedes der Ventile 80, 82, 84 wird mittels einer Schalteinrichtung 94 betätigt. Die beiden kompkakten Teile und die Membran werden durch Muttern und Bolzen 96 zusammengehalten.

Im Betrieb sind die Ventile derart koordiniert, daß sich zu irgendeinem Zeitpunkt der Hohlraum 74 in dem gleichen Zustand fce-

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findet (das heißt mit einer Druck- oder Valcuumquelle verbunden ist) wie einer der anderen Hohlräume 76 und 78. Die Wirkungsweise wird unter Bezugnahme auf den Fall beschrieben, in dem sich der Hohlraum 74 in dem gleichen Zustand wie der Hohlraum 78 befindet. Venn von dem Zustand ausgegangen wird, in welchem die Ventile 80 und 84 die Durchlässe 86 und 90 (und somit die Hohlräume 74 und 78) mit einer Druckquelle verbinden, so daß der Durchlaß 72 geschlossen und das Volumen des Behälters 56 auf ein Ilindestmaß herabgesetzt ist,bzw. in welchem das Ventil 82 den Durchlaß 88 (und somit den Hohlraum 76) mit einer Vakuumquelle verbindet, so daß der Durchlaß 70 offen ist, ergibt sich folgende Wirkungsweise:

Unter dem Einfluß der Schalteinrichtungen 94 werden die Stellungen der drei Ventile umgekehrt, so daß die Durchlässe 86, SO mit einer Vakuumquelle verbunden werden und der Durchlaß 88 mit einer Druckquelle verbunden wird. Dadurch wird der Durchlaß 70 geschlossen, der Durchlaß 72 geöffnet und das Volumen des Behälters-56 vergrößert. '.Jährend dieses Teils der Wirkungsweise wird Medium durch, cen Durchlaß 72 angesaugt und gelangt durch den Hohlraum 62 und den Durchlaß 08 in den Behälter 56. Die Schalteinrichtungen kehren dann die Stellung der drei Ventile wieder um, so daß der Durchlaß 72 geschlossen und der Durchlaß 70 geöffnet wird. Das Volumen des Behälters 56 wird verkleinert und das im Behälter 5b vorhandene Medium gelangt über den Durchlaß 66 und den Hohlraum 68 in den Durchlaß 70. Um einen sehr gleichmäßigen Pumpvorgang zu erzielen oder wenn der Behälter 56 klein ist, kann die Wirkung des Ventils 80 relativ zu jener des Ventils 84 etwas verzögert werden.

Die in Fig. 4 dargestellte Pumpe entspricht jener gemäß Fig. 3 mit der Ausnahme, daß die Hohlräume 56, 60, 62 v/eggelassen sind und die Durchlässe 66, 68, 70, 72 sich bis zur Oberfläche 58 des Teils 50 erstrecken. Bei dieser Anordnung besteht der Behälter daher aus den Durchlässen 66 und 68, welche miteinander verbunden sind 4— und einen gemeinsamen Teil 67 aufweisen. Das Volumen zwischen der Membran 54 und der Oberfläche 58 wird erzeugt, wenn

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die Membran in den Hohlraum 74 gesaugt wird. Bei dieser Anordnung kann die Kapazität der Pumpe bis zu jener der Pumpe gemäß Fig. 3 gesteigert oder auf irgendeine andere Weise verändert werden, indem das Volumen des Hohlraums 74 verändert wird. Der Vorteil dieser Anordnung besteht darin, daß die Größe des Teils 50 verringert werden kann. Der Teil 50 ist einer der Bestandteile, welche mit dem zu pumpenden Medium in Berührung kommen und welcher aus einem Material hergestellt werden muß, das für das zu pumpende Medium inert ist. Solche Materialien können kostspielig sein (zum Beispiel wenn Teflon verwendet wird) und die Großenverringerung des Teils 50 ermöglicht daher Kostenersparnisse. Der andere Bestandteil, welcher mit dem zu pumpenden Medium in Berührung kommt, ist die Membran. Diese kann zweckmäßig aus Viton hergestellt werden.

Die in Fig. 5 gezeigte Anordnung ist ähnlich jener gemäß Fi^. 3 mit der Ausnahme, daß die Hohlräume 60, 62 auf der dem Behälter 56 gegenüberliegenden Seite des Teils 50 ausgebildet sind,'während die Hohlräume 76, 78 in einem dritten Teil 98 ausgebildet sind., der vom Teil 50 durch eine zweite Membran 100 getrennt ist. Die Wirkungsweise der Pumpe gemäß Fig. 5 ist die gleiche-, wie in Verbindung mit Fig. 3 beschrieben wurde.

Gewunschtenfalls können entweder die Hohlräume 76, 78 oder die Hohlräume 60, 62 weggelassen werden«

Die Anordnung gemäß Fig„ 5 kann eine gleichmäßigere Strömung als die Anordnungen gemäß den Figuren 1, 3 und 4 ergeben.

Bei den Anordnungen gemäß Fig. 3, 4 oder 5, bei welchen die Pumpe zum Dosieren der Zusätze für Schwimmbecken benutzt werden soll, kann die Saugwirkung der gewöhnlich in dem Schwimmbecken · verwendeten- Umlaufpumpe ausgenützt werden, um die Vakuumquelle für die Ventile 80, 82, 84 zu bilden, während der Auslaßdruck 'der Umlaufpumpe als Druckquelle für die Ventile 30, 82, 84 dienen kann.

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Die oben erwähnten Schalteinrichtungen können entweder elektronisch oder mechanisch betätigt werden. Die elektronisch betätigten Schalteinrichtungen umfassen beispielsweise mit dem Triac und Thyristor versehene Schalteinrichtungen und ihre Schaltfrequeiiz wird durch eines oder mehrere Potentiometer verändert, Mechanisch betätigte Schalteinrichtungen umfassen beispielsweise Motorschalter, deren Schaltfrequenz durch Veränderung der Drehzahl des Motors verändert werden kann.

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Die in den Zeichnungen dargestellten Anordnung/können viele Abänderungen erfahren. Bei der in Fig. 3 gezeigten Anordnung kann beispielsweise das Vent'il 80 weggelassen werden, und der Durchlaß 85 kann entweder mit dem Durchlaß 88 oder mit dem Durchlaß 90 verbunden werden, je nach der gewünschten Pumpe-richtung. Da die zwischen dem Durchlaß 86 und den Durchlässen 88 oder 90 hergestellte Verbindung viel kleiner ist als der Durchlaß 86,4 kann eine ähnliche Wirkung wie bei der Verzögerung der Wirkung des Ventils 80 erzielt werden. Eine verzögernde Wirkung kann auch ersielt werden, indem ein Ventil in der Verbindung zwischen dem Durchlaß 86 mit dem Durchlaß 88 oder dem Durchlaß 90 angeordnet wird, wobei sich das Ventil nur in einer Pachtung öffnet und nur, wenn ein vorherbestimmter Druck erreicht ist. Dieser vorherbestimmte Druck kann so gewählt i^erden, daß der Einlaß zur Pumpe stets entweder geöffnet oder geschlossen ist, bevor der vorherbestimmte Druck an diesem Ventil erreicht wird.

«ine andere mögliche Abänderung der Anordnungen gemäß den Figuren 1 bis 3 besteht darin, daß die drei Kohlräume in dem einen oder anderen der Teile 10 und 12 oder im Teil 52 weggelassen werden. In diesem Fall wird die Kapazität der Pumpe verringert, wenn das Volumen des Hohlraumes 56, 6Θ 16 oder 28 auf der anderen Seite nicht entsprechend vergrößert wird.

Bei einer v/eiteren Abänderung können die Teile 10, 12 oder 50, 52 anders als eben ausgebildet sein. Dieselben können beispielsweise gekrümmt, kugelförmig oder winklig sein.

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Gewünschtenfalls braucht sich die Membran nur über den Bereich der Hohlräume zu erstrecken und muß nicht den ganzen Bereich . zwischen den Teilen 50, 52 oder 50, 54 bedecken.

Bei allen in den Zeichnungen dargestellten Anordnungen wird die Unterdrucksetzung und die Drucklosmachung durch Ventile (gewöhnlich Solenoidventile) gesteuert, die durch Schalteinrichtungen betätigt werden. Die Schalteinrichtung und/oder das Ventil kann gewünschtenfalls durch eine Anordnung ersetzt werden, welche die Verfaliren der fluid logics (oder fluidics), zum Beispiel die Fluidistor-Technik verwendet.

Die Kapazität der Pumpe gemäß der Erfindung hängt unter anderem davon ab, wie oft die Schalteinrichtungen pro Zeitperiode schalten. Jedesmal, wenn das Volumen des Pumpenbehälters abnimmt, wird die Pumpflfissigkeit aus der Pumpe herausgedrückt, und öedesmal, wenn das Volumen des Pumpenbehälters zunimmt, wird dieser Vorgang unterbrochen. In vielen Fällen ist dieses Pulsieren des Pumpvorganges nicht von Bedeutung. Um einen gleichmäßigeren Pumpvorgang zu erzielen, ist es möglich, die Pumpe mit zwei oder mehr zusammenwirkenden Pumpenbehältern auszurüsten, we- von denen jeder mit seinem eigenen Einlaß- und Auslaßmembranventil versehen ist.

Patentansprüche ;

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Claims

Dr.-Ing. E. BERKENFELD · Dipl.-lng. H. BERKENFELD, Patentanwalt·, Koto

Ankle· Altanztidwn

« 10, April 1971 vA// Nom.d.A„m. ERNST HOLGER BERTIL

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PATENTANSPRÜCHE

[1·) Pumpe, gekennzeichnet durch einen Behälter (16, 56) mit ^einem Einlaß (26, 66, 68) und einem Auslaß (26, 66, 68), durch eine Membran (54), die mindestens einen Teil einer Wand des Behälters bedeckt und die beweglich ist, um abwechselnd Flüssigkeit durch den Einlaß (26, 66, 68) in den Behälter (16, 56) zu saugen und Flüssigkeit durch den Auslaß (26, 66, 68) aus dem Behälter (16, 56) zu verdrängen, sowie durch eine Membran (54, 100), Vielehe dazu dient, den Einlaß (26, 66, 68) zu öffnen und zu schließen, bzw. den Auslaß (26, 66, 68) zu öffnen und zu schließen.

2. Pumpe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß eine einzige Membran (54) mindestens einen Teil einer Wand des Behälters bedeckt und dazu dient, den Einlaß zu Öffnen und zu schließen bzw. den Auslaß zu öffnen und zu schließen.

5. Pumpe nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die oder jede Membran (54, 100) beweglich ist entsprechend den Veränderungen des Drucks des Mediums auf der dem Behälter (16, 56) gegenüberliegenden Seite derselben.

4. Pumpe nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der auf die oder jede Membran (54, 100) einwirkende Druck des Mediums durch eine oder mehrere Strahlpumpen erzeugt wird.

5. Pumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß der Behälter (16, 56) als ein ausgehöhlter Abschnitt in einem kompakten Teil (10, 50) ausgebildet ist, dass

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mindestens zwei weitere ausgehöhlte Abschnitte (60, 62) ebenfalls in dem kompakten Teil ausgebildet sind, daß die weiteren ausgehöhlten Abschnitte (60, 62) mit dem Behälter (16, 56) und mit den Außenwänden des kompakten Teils durch Durchlässe (18, 26, 22, 66, 68, 70, 72) verbunden sind, und daß eine Membran (54, 100) sich quer zum Behälter und zu jedem der beiden weiteren ausgehöhlten Abschnitte erstreckt.

6. Pumpe nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß ausgehöhlte Abschnitte (74, 76, 78), welche dem Behälter und den beiden weiteren ausgehöhlten Abschnitten entsprechen und von denen jeder wahlweise mit einer Druckquelle und einer Vakuumquelle verbunden werden kann.? In einem oder mehreren weiteren kompakten Teilen (52-, 98) ausgebildet sind_P die auf der dem Behälter und den beiden "weiteren ausgehöhlten Abschnitten im ersten kompakten Teil (10, 50) gegenüberliegenden Seite der Membran oder der Membranen (54-, 100) angeordnet sind»

7a Pumpe .nach Anspruch 5 oder S₀ dadurch gekennzeichnet, daß der Behälter (16_S 56) auf einer den beiden weiteren ausgehöhlten JLöschnitten (6O₅ 62) gegenüberliegenden Seite des kompakten Teiles (1O₉ 50) ausgebildet istj, dai3 eine erste Membran (54) mindestens einen Teil einer Wand des Behälters bedeckt und daß eine zweite Membran dazu dient₅ den Einlaß und den Auslaß zu öffnen und zu schließen.

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