DE2105280B2

DE2105280B2 - Antireflexbelag

Info

Publication number: DE2105280B2
Application number: DE2105280A
Authority: DE
Inventors: John Anthony Thrussington Fawcett; William Hugh Oadby Gray
Original assignee: The Rank Organisation Ltd., London
Priority date: 1970-02-04
Filing date: 1971-02-04
Publication date: 1980-01-24
Also published as: AU2495771A; DE2105280C3; US3706485A; SU409448A3; JPS5618921B1; FR2079243A1; GB1292717A; CA931031A; FR2079243B1; NL7101449A; DE2105280A1

Description

7. Antireflexbelag nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Schichten auf ein Substrat aufgebracht sind, welches einen Brechungsindex zwischen 1,40 und 2,00 aufweist.

Die Erfindung betrifft einen Antireflexbelag nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1.

Antireflexbeläge (Vergütungsbeläge), die z. B. auf transparente Teile optischer Systeme aufgebrach¹, werden, sollen zur Reflexverminderung an der Oberfläche ihres Substrates für Licht einer bestimmten Wellenlänge oder gewöhnlich eines mehr oder weniger breiten Wellenlängenbandes dienen.

Es sind bereits Antireflexbeläge mit zu ei oder drei Einzelschichten bekannt. Der bekannte zweischichtige Belag enthält Außen- und Innenschichten mit einer Dicke von A/4 bzw. A/2, wobei A eine Wellenlänge ist, die innerhalb der Bandbreite liegt, über welche die Reflexverminderung erfolgen soll. Der dreischichtige Belag besitzt dagegen Schichten mit einer Dicke von A/4, A/2 bzw. 3A/4. Diese zwei- und dreischichtigen Beläge sind aber nur begrenzt brauchbar, weil eine niedrige Reflexionsamplitude nur über eint zu geringere Bandbreite erreicht wird. Im Falle des dreischichtigen Belages ist außerdem die Gesamtbelagdicke so groß, daß ein beträchtliches Risiko einer Lichtabsorption im Belag besteht.

Aus der US-PS 34 32 225 ist ein Antireflexbelag der eingangs genannten An bekannt, der aus einer A/4 dicken Außenschicht mit niedrigem Brechungsindex, einer A/2 dicken Zwischenschicht mit durchgehend hohem Brechungsindex und einer wiederum A/4 dicken Innenschichtanordnung besteht. Die Innenschichtanordnung besteht ihrerseits aus zwei dünnen Teilschichten, von denen die innere einen relativ hohen und die äußere einen relativ niedrigen Brechungsindex hat Dadurch wird im Vergleich mit anderen Dreischichtbelägen, bei denen eine direkte Beziehung zwischen den Indizes des Substrates und der InnenscMcht eingehalten werden muß, eine gewisse Freizügigkeit bei der Wahl der Innenschicht erreicht.

Obwohl einige der bekannten mehrschichtigen Beläge bei senkrechtem Lichteinfall bei verschiedenen Wellenlängen theoretisch eine Reflexion der Größe Null aufweisen können, hat sich in der Praxis gezeigt, daß die Maxima u"d Minima der Reflexionsamplitude durch eine Mittelwertbildung eingeebnet werden. Dies geschieht in Folge der integration der einen Bildpunkt bildenden verschiedenen Strahlen mit verschiedenen Einfallwinkeln bei deren Durchlauf durch die verschiedenen vergüteten Oberflächen, wie sie gewöhnlich in einem optischen System vorhanden sind. Ferner besteht eine schwerwiegende Folge der beim Aufbringen von Vergütungsbelägen unvermeidbaren Fehler und Toleranzen darin, daß der Verlauf des resultierenden spektralen Reflexionsvermögens so verschoben werden kann, daß er etwas außerhalb des erforderlichen Spekiralbereiches liegt. Infolgedessen fallen stärkere Reflexionen des Belages in den Seitenbänderp, die theoretisch außerhalb des Spektralbereiches liegen, für den der Belag vorgesehen ist, bis zu einem gewissen Grad in diesen Bereich, wo sie die spektrale Durchlässigkeit beeinträchtigen und als Folge der Reflexion vom Belag zu unerwünschten Reflex- oder Geisterbildern oder zu einer erhöhten Überstrahlung und Verschleierung führen.

Es ist ferner bereits bekannt, daß man inhomogene Schichten mit sich kontinuierlich änderndem Brechungsindex erzeugen kann, z. E. unter Verwendung einer Aufdampfungsquelle, die ein G.misch aus zwei Stoffen enthält, deren Mischungsverhältnis geändert wird (Journ. Opt. Soc. Am. 53, Juli 1963, S. 8£0), oder unter Verwendung von zwei verschiedenen Aufdampfung;· quellen. In beiden Fällen kann man die Anfangsund Endindices einfach und zuverlässig durch die Aufdampfungsbedingungen einstellen.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen Antireflexbelag anzugeben, bei dem die Reflexion über einen weiteren Spektralbereich als bisher, nämlich von 380 bis 720 nm, auf den für die Praxis erforderlichen kleinen Werten gehalten wird, insbesondere unter 2%.

Diese Aufgabe wird durch die kennzeichnenden Merkmale der Ansprüche 1,2 bzw. 4 gelöst.

Durch den hier beschriebenen Antireflexbelag wird eine befriedigende Reflexverminderung über ein relativ breites Wellenlängenband erreicht, an oder nahe bei dessen Mitte in der Regel die Referenzweilenlä.ge liegt. Die Erfindung hat daher den Vorteil, daß die unvermeidbaren Einflüsse von Herstellungsfehlern weit weniger schwerwiegend sind als bei den bekannten Belägen. Dies ist auch von Vorteil bei Spektralverschiebungen infolge von Änderungen der Gleichmäßigkeit des Belages an stark gekrümmten oder großflächigen Oberflächen und — unabhängig von der Gleichmäßigkeit des Belages — bei wesentlichen Schwankungen des Einfallwinkels.

Da die Beschränkungen hinsichtlich der Brechungsindizes der Schichten nicht so schwerwiegend sind, erlaubt der hier beschriebene Antireflexbelag eine größere Flexibilität beim Entwurf als bekannte Vergütungsbeläge. Ferner kann ein bereits vorliegender Belag der beschriebenen Art in Verbindung mit einem Substrat eines beliebigen Brechungsindex verwendet werden, wie es ui Systemen vorkommen '<ann, die im Bereich des sichtbaren Lichtes arbeiten Hierfür muß lediglich der Brechungsindex der unmittelbar an das Substrat angrenzenden Schicht geändert werden. t.s wurde auch gefunden, daß sowohl die Brechungsindizes als auch die Dicken der Schichten vom Optimalwert in relativ großem Maße variieren können. Im Zusammenhang mit der größeren Bandbreite ergibt dies Beläge, die nicht nur eine größere Herstellungstoleranz erlauben, sondern auch unter sich ändernden Bedingungen arbeiten können. Da die Gesamtdicke des Belages auf eine Wellenlänge reduziert ist, ist schließlich auch das Absorptionsrisiko gering.

Von den NZwischenschichten, die ausgehend von der

unmittelbar an die Außenschicht /^, angrenzenden äußersten Zwischenschicht L₁ mit L₁, L₂ ... Ls bezeichnet sind, haben also die äußerste Zwischenschicht bzw. die innerste Zwischenschicht Brechungsindizes n,., bzw. m _v welche folgenden Beziehungen genügen:

3.5(l.2»i,._o- 1.0) + 0.02/V > n_lfi> 2.XII.2»,,, 1.0) ι 0.02/V wenn 5 > /V > 2

3.33 11.24», _(i 1.(K)) · »,_v ■ 2.72 11.24», _n 1.00)

ViCiiii Λ ■ 5:

3.5 (1.2 fr, ₀ 1.01 0.02 .V ■ ii, , ■ 2.K (l.2;i, „ 1.01 0.02 Λ wenn 5 · Λ -2

3.55 (I.Uwi, LOO) · », _t ■ ■ 2.4ΟΙΙ.ΙΛ», _(| 1.00) Wi¹IiIi Λ · 5:

Λ (17 ,Vl , V(IV Vl ,

wenn 5 ■ Λ Γ

0.30 · (», _ν »_(|| ■ 0.05 uenii Λ ■

Die Brechungsindizes der Zwischenschichten haben vorzugsweise solche Nominalwerts;, daß die Differenz zwischen den Brechungsindizes von jeweils zwei benachbarten Zwischenschichten im wesentlichen überall die gleiche ist.

Wenn die optische Dicke jeder Schicht Ti, ist. so gilt gemäß obiger Definition:

Σ τ,,

Die optische Dicke der Außen- und Innenschichten, also Ti₁, bzw. Ti v. i, ist nominell jeweils gleich A/4, und diejenige der jeweiligen Zwischenschichten Ti, ... Ti _v beträgt nominell jeweils λ/2Ν.

Die Werte für die Brechungsindizes in einem Belag gemäß der Erfindung sind nicht so kritisch, wie es sich bei bekannten Belägen als notwendig erwiesen hat. Beispielsweise muß der wirkliche zahlenmäßige Ab stand der Indizes n,_N bis einschließlich ηι_Λ der Zwischenschichten nicht gleichmäßig sein, und ebensowenig müssen die entsprechenden Dicken 7", _s bis einschließlich Ti, gleich sein, falls die Bedingung

■ "ι

s ι

'' ι

eingehalten ist. Besonders wesentlich ist die Indexdifferenz

ei,

'.v

,I₁,).

Noch auf ein weiteres vorteilhaftes Merkmal sei hingewiesen. Sollte ein Material mit dem richtigen Wert von π/ν.ι nicht verfügbar sein, so ist es möglich, ein Material zu verwenden, dessen Index um wenige Prozent höher oder niedriger liegt, falls der Bereich n, _s bis Π/, angehoben und ausgedehnt bzw. gesenkt und verkürzt wird. Das Ausmaß wird empirisch ermittelt. Die Leistungsfähigkeit bleibt erhalten.

Die folgenden Gleichungen, in denen Werte für die bevorzugten Brechungsindizes für die innersten und äußersten Zwischenschichten angegeben werden, wurden durch theoretische Studien hergeleitet:

für N < 5
und

für Λ' > 5
und

n_h = 3.750n,._o- 3.125 '(17-N)-1560

= 3.75On_to- 3.025

η,., = 3.750n,_ ₀- 3,225 (IV)

Theoretisch könnte jeder Wert von N> 2 bis zu einer Grenze gewählt werden, welche die Annäherung der Schichtdicken an die Molekularabmessungen setzt (TV» 250). Für /V>5 wird jedoch ein Plateauzustand erreicht, wie aus den Gleichungen (III) und (IV) ersichtlich ist, die unabhängig von N sind. Wie jeder Fachmann weiß, werden die praktischen Probleme mit zunehmendem N immer schwerwiegender. Wenn die Indexänderung von einer Schicht zur nächsten abnimmt, können die verschiedenen diskreten Sch^;"hten aber als eine einzige inhomogene Schicht angesehen werden, deren Index sich noch gemäß den oben dargelegten Bedingungen mit der Dicke ändert; statt einer Zunahme des praktischen Aufwandes für große Werte von /V bietet sich also hier eine vorteilhafte Möglichkeit zur Realisierung der Erfindung. Beispielsweise können einige Materialien, wie etwa TiO, so unter variierenden Bedingungen aufgedampft werden, daß der Brechungsindex den gewünschten kontinuierlich abgestuften Verlauf hat. Statt dessen kann auch ein Verfahren der gemeinsamen Aufdampfung durch zwei Quellen angewandt werden, bei welchem die Aufbringungsraten der beiden Quellen so variiert werden, daß sich die erforderliche Abstufung ergibt.

Die folgenden Beispiele zeigen die spektrale Leistungsfähigkeit typischer Beläge gemäß der Erfindung. Diese Beläge sind für die Unterdrückung von Reflexio nen über den Wellenlängenbereich 380 bis 720 Millimikron (n. m.) bestimmt und geeignet. Dieser Spektralbereich wird in der gewünschten zulässigen Weise in optischen Systemen ausgenutzt, die beispielsweise im sichtbaren Wellenlängenbereich von 400 bis 700 nm. arbeiten.

Beispiel I

Brechungsindex Optische Dicke

Mögliches Schichl-Matcriiil

Superstrat (l.ul't)	Substrat	1.0
Schicht /.,, (außen)	I.3X
/-ι	1,95
	1.97
Λ,	1.99
L,	2.01
!.,	2.03
l.„	2.05
L-	2,07
/-S	2.09
	2.11
/-h.	2.13
	2.15
/-ι: (innen)	1.66
1.45

Massiv
0.25 >■
0.0455 λ
0.0455 >■
0,0455 >■
0.0455 /
0.0455 >■
0.0455 Λ
0.0455 >■
0.0455 >■
0.0455 >■
0.0455 >■
0.0455 >■
0,25 λ
Massiv
/. - 495 nm

MgF-,

IiO

(aufgedampft unter variierenden Bedingungen)

ANO,

	Substrat	1. jedoch:	Beispiel	2	0,25/1
Wie Beispiel		innen)			Massiv
L₁₂ (			1,86		;. = 495 nm
	1,81

Nd₃O,

Beispiel 3 Brechungsindex Optische Dicke

Mögliches Schichtmaterial

Superstrat (Luft) 1,0

Schicht L₀ (außen) 1,38

Massiv
0,25 λ

MgF₂

FortseUiiim

a.

As A,

A₁, Am

A,, (innen)

Substrat

Superstrat (Luft) Schicht /.„ (außen) A,

A;

A₁ L,

/.„

As A,

Au, (innen) Substrat

Superstrat (Luft) Schicht A₁, (außen)

A₁

L₂

L₃

A₄ Substrat

Irechungsinclex Optische Dicke	0,0385 λ	Mögliches Schicht-
	0,0385 λ	material
2,08	0,0385 λ
2,10	0,0385 λ
2,12	0.0385 λ
2,14	0,0385 λ
2,16	0,0385 λ
2,18		FiO
2,20	0,0385 λ	(aufgedampft unter
	0,0385 λ	variierenden Hedin
2,22	0,0385 /	gungen)
2,24	0.0385 λ
2.28	0,0385 λ
2.30
2,32
1,75		MgO
1,52


1,0
1,38		MgF,
1,97
1.98
1.99
2,(X)		/r().
2,01		(aufgedampft unter
	0,25 /	variierenden
2,02	Massiv	Bedingungen)
2,03	/. 495 ηm
2,(K	Beispiel 4
2,05	Massiv
1.66	0,25 λ	AU),
1,52	0,0556 λ
	0,0556 λ
	0.0556 λ
1,0	0,0556 /
1,38	0,0556 /	MgF,
1,98		CeO,
2,05	0,0556 λ	ZrO,
2,12	0,0556 /	TiO
1,75	0,0556 λ	MgO
1,60	0.0556 ;.










0,25 ;.
Massiv
λ = 495 nm
Beispiel 5
Massiv
0,25 λ
0,14A
0,18/1
0,18/1
0,25/1
Massiv
λ = 495 nm

Im Beispiel 1 ist die Zahl der Zwischenschichten groß (N=M). Im Effekt bilden die Zwischenschichten eine einzige inhomogene Schicht

Der Brechungsindex /Jz₀ der äußersten Schicht L₀ beträgt i,38 und derjenige für das Substrat beträgt 1,45.

Der Brechungsindex der Innenschicht f/V+ 1) ergibt sich aus der Beziehung:

"ι.

W+1

ist

Dieser Wer! liegt im Bereich /wischen

ι Ll »,.„· n„ 2

Die lirechiingsindi/es iler Zwischenschichten ergeben sich aus ilen Gleichungen (III) und (IVl:

ii, _v-: .1,75 ■ L.IX .1.025 2.15

175 ■ I. IS .1225

Dies ent· pricht den Ungleichungen (2) ur;d (4).

Bei diesem Beispiel ist A = 495nm, welcher Wert innerhalb der Betriebsbandbreite von 380 bis 720 nm liegt.

Die Zwischenschichten können als eine Anzahl diskreter Schichten mit sich zunehmend änderndem Brechungsindex, beispielsweise gemäß der Aufstellung in Beispiel 1 angesehen werfen. Statt dessen können die Zwischenschichten auch als eine einzige inhomogene Schicht angesehen werden, deren kontinuierlich abgestufter Brechungsindex einen Gesamtbereich

um einen zentralen Brechungsindex überspannt.

Im Beispiel I können also die Zwischenschichten als eine einzige inhomogene Schicht mit einem Brechungsindexbereich 2,05+ 0,10 ausgedrückt werden.

Es kann gezeigt werden, daß irgendeine gegebene Belagstruktur für alle Substratbrechungsindizes im Bereich von 2,00>ng> 1,40, wofür lediglich der Index η/ _v , ι gemäß der Gleichung (V) geändert wird, ohne daß die Leistungsfähigkeit herabgesetzt wird. Dies geht aus Beispiel 2 hervor, bei welchem die Grundstruktur des Beispiels 1 für ein Substrat mit sehr viel höherem Brechungsindex (1,81) angewandt wird. Aus Gleichung (V) ergibt sich, daß der neue Wert für n/; gleich 1,86 ist.

Beispiel 3 erläutert ein weiteres Merkmal der Erfindung. Um einen abgestuften Brechungsindexbereich auszunutzen, der in der Praxis zur Verfugung steht, aber höher ist als der durch die Gleichungen (111) und (IV) vorgeschriebene Bereich, wird die Methode angewandt, den Wert von ni__N., über den durch die Gleichung (V) vorgeschriebenen Wert hinaus geeignet zu erhöhen.

Der Wert /i/._l4 = 1,70 gemäß Gleichung (V) wird in Wirklichkeit auf theoretisch 1,75 erhöht.

Der Wert von Π/,, = 2,15 gemäß Gleichung (111) wire in Wirklichkeit auf den für praktische Zwecke geeigneten Wert 2,32 erhöht, und

der Wert n,, = 1,95 gemäß Gleichung (IV) wird in Wirklichkeit entsprechend praktischer Zweckmäßigkei! auf 2.08 erhöht.

Ebenso wird Bereich n, _v-n,, von 0.20 auf 0.24 ausgedehnt.

Beispiel 4 zeigt den umgekehrten Fall wie Beispiel 3, wobei der Bereich abgestufter Brechungsindizes erniedrigt und verkürzt und n<. . , geeienet verringert worden ist.

In diesem speziellen Fall ist der Bereich n, _v - n,, von 0,20 auf 0.08 verringert worden, ein Maß, das größer ist als die Gesamtsenkung des Bereiches, dessen Zentrum von 2,05 auf 2,01 gesenkt wurde, so daß der tatsächliche Wer¹, πι ι in Wirklichkeit etwas erhöht worden ist. Alle Werte fallen jedoch in die durch die Ungleichungen (2). (4), (6) angegebenen Bereiche.

Beispiel 5 zeigt einen Anwendungsfall mit N = 3. bei welchem die Zwischenschichten individuelle gesonderte Schichten sind. Es ist auch ersichtlich, daß die Dicken dieser Zwischenschichten, die nominell gleich sind, von diesem Nominalwert abweichen können, ohne daß die Leistungsfähigkeit mehr als vernachlässigbar beeinträchtigt wird.

Ähnlich kann auch die Indexgleichmäßigkeit ohne Beeinträchtigung der Leistungsfähigkeit schwanken

Die den oben angegebenen Beispielen 1 bis 5 zu entnehmenden günstigen Spektraleigenschaiten eines Vergütungsbelages gemäß der Erfindung sind entsprechend in den Fig.] bis 5 der Zeichnung zusammen nut den integrierten Reflexionswerten für diese Beispiele dargestellt. Zum Vergleich sind auch die äquivalenten Kurven des Reflexionsvermögens R für optimale achromatische Beläge eingetragen (untere, ochene Linien): Diese letztgenannten Beläge weisen Schichten der Dicke λ/4. λ/2 und 3 λ/4 auf. Man wird feststellen. daß es im zweiten Beispiel (Fig. 2) keine realisierbare achromatische Lösung eibt, weil die Brechungsindizes der zweiten Schicht /u hoch sind, um praktisch verfügbar zu sein.

llisjiYti .^ IiI.ill /eiclini'iiüeii

Claims

Patentansprüche:

1. Antireflexbelag mit einer auf ein transparentes Substrat aufgebrachten Innenschicht der Dicke A/4 und einer zwischen der Innenschicht und einer Außenschicht der Dicke A/4 befindlichen Zwischenschichtanordnung, wobei die optische Gesamtdicke des Belages im wesentlichen A beträgt und A eine Referenzwellenlänge ist, die innerhalb eines Wellenlängenbandes liegt. Ober welche die Reflexverminderung erfolgen soll, dadurch gekennzeichnet, daß die Zwischenschichtanordnung eine Anzahl N>3 Zwischenschichten enthält, deren Brechungsindex von der Innenschicht zur Außenschicht hin fortschreitend kleiner wird; daß der Brechungsindex Rl₀ der Außenschicht zwischen 1,25 und 1,45 beträgt;

daß der Brechungsindex der innenschicht im Bereich zwischen

1,1 ιι,,ΐ ■ n,,₀

liegt, wobei n_e der Brechungsindex des Substrates ist; und daß die unmittelbar an die Außenschicht angrenzende äußerste Zwischenschicht L\ und die innerste Zwischenschicht L_n Brechungsindizes η,_Λ bzw. /j/._N haben, welche 5>N>2 folgenden Beziehungengenügen:

3,5 (1,2ii,._n- 1,0) + 0,02/V > ιι,._ν> 2,8{l,2/i,.₍₎- 1,0) + <),<)2/V; 3,5{!,2^.₍₎ · !,0)-0.02.\' > ;:,., > 2,8 (1,2h,.,, 1,0) 0.(!2,V;

/V (17 -N) j

500 '"'•ο-'"'*-

2. Antireflexbelag mit einer auf ein transparentes Substrat aufgebrachten Innenschicht der Dicke A/4 und einer zwischen der Innenschicht und einer Außenschicht der Dicke A/4 befindlichen Zwischenschichtanordnung, wobei die optische Gesamtdicke des Belage· im wesentlichen A beträgt und A eine Referenzwellenlänge ist, die innerhalb eines Wellenlangenbandes liegt, über weiche die Reflexverminderung erfolgen soil, dadurch gekennzeichnet, daß die Zwischenschichtanordnung eiiie Anzahl 30>/V>5 Zwischenschichten enthält, deren Brechungsindex von der Innenschicht zur Außenschicht hin fortschreitend kleiner wird;
daß der Brechnungsindex nt„ der Außenschicht

zwischen 1,25 und 1,45 beträgt;

daß der Brechungsindex der Innenschicht im Bereich

liegt, wobei n^der Brechungsindex des Substrates ist; und daß die unmittelbar an die Außenschicht angrenzende äußerste Zwischenschicht L, und die innerste Zwischenschicht L_n Brechungsindizes n/, bzw. ni_N haben, welche folgenden Beziehungen genügen:

.l.V1(l,24/i,._o- 1.00! > n,._N> 2.72 (1.24/1,. „- 1.00); 3.55(l,l6;i,._o- 1.00 > /;,., > 2.^li0(l.l6»,.₁₎ 1.00):

0.M) >

3. Antireflexbelag nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Außenschicht aus Magnesiumfluorid (MgF2) mit einem Brechungsindex (Hi_n) von 1,38 besteht.

4. Antireflexbelag mit einer auf ein transparentes Substrat aufgebrachten Innenschicht der Dicke λ/4 und einer zwischen der Innenschicht und einer Außenschicht der Dicke A/4 befindlichen Zwischenschichtanordnung, wobei die optische Gesamtdicke des Belages im wesentlichen A beträgt und A eine Referenzwellenlänge ist, die innerhalb eines Wellenlängenbandes liegt, über welche die Reflexverminderung erfolgen soll, dadurch gekennzeichnet, daß der Brechungsindex n/_fl der Außenschicht zwischen 1,25 und 1,45 beträgt;

daß der Brechungsindex der Innenschicht im Bereich zwischen

1.1 H₁₁

liegt, wobei n_yder Brechungsindex des Substrates ist; und daß die Zwischenschichtanordnung durch einen einzigen Niederschlag einer inhomogenen Zusammensetzung mit kontinuierlich kleiner werdendem Brechungsindex gebildet ist, wobei der Brechungsindex Hl_n der Zwischenschichtanordnung an der Grenzfläche zur Innenschicht und der Brechungsindex π/., dieser Zwischenschichtanordnung an der Grenzfläche zur Außenschicht folgende Beziehungen erfüllt:

3..1.1(l.24/i,,_o- I₁(M)) > n,._N> 2,72(1.24/1,^- 1,00); .1.55(1,16/!,._o- 1,00) - /I_1-1 > 2.90 (1.16/!,.„- 1,(M)); 0.30 > Ui,._N- «,,) > 0.05.

5. Antireflexbelag nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Differenz zwischen den Brechungsindizes von jeweils zwei benachbarten Zwischenschichten im wesentlichen gleich ist

6. Antireflexbelag nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Brechungsindex der Innenschicht ungefähr gleich