DE2105280A1 - Vergutungsbeleg - Google Patents
VergutungsbelegInfo
- Publication number
- DE2105280A1 DE2105280A1 DE19712105280 DE2105280A DE2105280A1 DE 2105280 A1 DE2105280 A1 DE 2105280A1 DE 19712105280 DE19712105280 DE 19712105280 DE 2105280 A DE2105280 A DE 2105280A DE 2105280 A1 DE2105280 A1 DE 2105280A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- layer
- refractive index
- layers
- coating
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 86
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 21
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 20
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 17
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 15
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 claims description 4
- 230000007423 decrease Effects 0.000 claims description 3
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 claims 1
- 239000002244 precipitate Substances 0.000 claims 1
- 230000011514 reflex Effects 0.000 claims 1
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 9
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 238000012935 Averaging Methods 0.000 description 1
- 229910005793 GeO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 230000000593 degrading effect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 1
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 230000031700 light absorption Effects 0.000 description 1
- 230000008520 organization Effects 0.000 description 1
- 238000001556 precipitation Methods 0.000 description 1
- 230000000717 retained effect Effects 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
- C03C17/3411—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions with at least two coatings of inorganic materials
- C03C17/3417—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions with at least two coatings of inorganic materials all coatings being oxide coatings
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
- C03C17/3411—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions with at least two coatings of inorganic materials
- C03C17/3429—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions with at least two coatings of inorganic materials at least one of the coatings being a non-oxide coating
- C03C17/3447—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions with at least two coatings of inorganic materials at least one of the coatings being a non-oxide coating comprising a halide
- C03C17/3452—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions with at least two coatings of inorganic materials at least one of the coatings being a non-oxide coating comprising a halide comprising a fluoride
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B1/00—Optical elements characterised by the material of which they are made; Optical coatings for optical elements
- G02B1/10—Optical coatings produced by application to, or surface treatment of, optical elements
- G02B1/11—Anti-reflection coatings
- G02B1/113—Anti-reflection coatings using inorganic layer materials only
- G02B1/115—Multilayers
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Geochemistry & Mineralogy (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Laminated Bodies (AREA)
- Surface Treatment Of Optical Elements (AREA)
- Optical Filters (AREA)
Description
L/474
The Rank Organization Limited, London, SW.1,
England
Die Erfindung betrifft einen Vergütungsbelag mit einer auf ein transparentes Substrat aufgebrachten Innenschicht,
einer Aussenschicht und einer oder mehreren Zwischenschichten«
Vergütungsbeläge werden auf transparente Substrate, wie (([
zum Beispiel Teile optischer Systeme aufgebracht, um für Licht einer bestimmten Wellenlänge oder einer Anzahl von Wellenlängen
eine Reflexverminderung an der Substratoberfläche zu erreichen· Gewöhnlich ist es wünschenswert, eine Reflexion
von der Substratoberfläche bei mehr als einer Wellenlänge zu vermindern, beispielsweise in einem Wellenlängenband.
Es wurden bereits Vergütungsbeläge mit zwei oder drei Einzelschichten vorgeschlagen. Der zweischichtige Belag enthält
Aussen- und Innenschichten mit einer Dicke von Λ/4
bzw» Λ/2, wobei λ eine Wellenlänge ist, die innerhalb einer Bandbreite liegt, über welche die Reflexverminderung
erfolgen soll. Der dreischichtige Belag besitzt dagegen allge- %
mein Schichten mit einer Dicke von X/4, λ/2 bzwe 3 λ/4.
Diese zwei- und dreischichtigen Beläge sind aber nur begrenzt brauchbar, und zwar vor allem deswegen, weil eine niedrige
Reflexionsamplitude nur über eine beschränkte Bandbreite erreicht wird. Im Falle des dreischichtigen Belages ist ausserdem
die G-esamtbelagdicke so groß, daß ein beträchtliches Risiko
einer Lichtabsorption im Belag besteht.
Obwohl einige dreischichtigen Beläge bei senkrechtem Lichteinfall bei drei verschiedenen Wellenlängen theoretisch
eine Reflexion der Größe Null aufweisen können, hat sich in der
109834/1 1S7
7105280
Praxis gezeigt, daß die Maxima und Minima der Reflexionsamplitude durch eine Mittelwertbildung eingeebnet werden.
Dies geschieht in Folge der Integration der einen Bildpunkt bildenden verschiedenen Strahlen mit verschiedenen
Einfallwinkeln, bei deren Durchlauf durch die verschiedenen vergüteten Oberflächen, wie sie gewöhnlich in einem optischen
System vorhanden sind.
Eine schwerwiegende Folge der beim Aufbringen von Vergütungsbelägen
unvermeidbaren Fehler und Toleranzen besteht darin, daß der Verlauf des resultierenden spektralen
Reflexionsvermögens so verschoben werden kann, daß er etwas ausserhalb des erforderlichen Spektralbereiches liegt.
Infolgedessen fallen stärkere Reflexionen des Belages in den Seitenbändern der Wellenlängenbänder minimalen Reflexionsvermögens,
die theoretisch ausserhalb des Spektralbereiches liegen, für den der Belag vorgesehen ist, bis zu
einem gewissen Grad in diesem Bereich, wo sie die spektrale Durchlässigkeit beeinträchtigen und als Folge der Reflexion
vom Belag zu unerwünschten Reflex- oder Geisterbildern oder zu einer erhöhten Überstrahlung und Verschleierung führen.
Ein Hauptzweck der Erfindung besteht darin, einen Belag anzugeben, bei welchem die Reflexion über einen weiten
Spektralbereich auf sehr kleinen Werten gehalten wird, die integrierte Reflexion also klein ist, so daß die Einflüsse
von Herstellungsfehlern weit weniger schwerwiegend sinde
Dies ist auch von Vorteil bei ähnlichen Spektralverschiebungen
in Folge von Änderungen der Gleichmäßigkeit des Belages an stark gekrümmten oder großflächigen Oberflächen und unabhängig
von der Gleichmäßigkeit des Belages bei wesentlichen Schwankungen des Einfallwinkels.
Die Erfindung schafft einen Vergütungsbelag mit einer auf ein transparentes Substrat aufgebrachten Innenschicht,
einer Aussenschicht und wenigestens drei Zwischenschichten mit zunehmend kleinerem Brechungsindex, die zwischen den
Innen- und Aussenschichten aufeinanderfolgend angeordnet sind.
109834/1157
"■3*"
Die optische Dicke der Aussen- und der Innenschicht beträgt jeweils im wesentlichen X/4 und die optische Gesamtdicke
des Belages beträgt im wesentlichen A . X ist hierbei eine Referenzwellenlänge, die innerhalb eines
Wellenlänrenbandes liegt, über welches die Reflexverminderung erfolgen soll.
Die Anzahl der Zwischenschichten kann sehr groß sein. In diesem Fall können sie in Wirklichkeit durch einen
Niederschlag einer einzigen inhomogenen Zusammensetzung mit zunehmend kleiner werdendem Brechungsindex gebildet
sein.
In anderer Hinsicht schafft die Erfindung einen Vergütungsbelag mit einer auf ein transparentes Substrat aufgebrachten
Innenschicht, einer Aussenschicht und einer inhomogenen Zwischenschicht, die einen abgestuften Brechungsindex
besitzt, der zunehmend von der Innenschicht zur Aussenschicht kleiner wird. Die optische Dicke der Aussen- und Innenschichten
beträgt jeweils etwa λ/4, und die optische Gesamtdicke des Belages beträgt etwa X. X ist wieder eine Referenzwellenlänge,
die innerhalb eines Wellenlängenbandes liegt, über welches die Reflexverminderung erfolgen soll.
Ein Belag gemäß der Erfindung erlaubt eine grössere Flexibilität beim Entwurf als bekannte Vergütungsbeläge,
weil die Beschränkungen hinsichtlich der Brechungsindizes der Schichten nicht so schwerwiegend sind,, Ferner kann irgendein
gegebener Belagentwurf in Verbindung mit einem Substrat eines beliebigen Brechungsindex verwendet werden, wie es
in Systemen vorkommen kann, die im Bereich des sichtbaren Lichtes arbeiten. Hierfür muß lediglich der Index der unmittelbar
an das Substrat angrenzenden Schicht geändert werden. Es wurde auch gefunden, daß sowohl die Brechungsindizes als
auch die Dicken der Schichten vom Optimalwert in relativ grossem Maße variieren können. Im Zusammenhang mit der grösseren
1 0 9 B 3 U I 1 1 5 7
Bandbreite ergibt dies Beläge, die nicht nur eine grössere
Herstellungstoleranz erlauben, sondern auch, untör sich
ändernden Bedingungen arbeiten können. Da die Gesamtdicke des Belages auf eine Wellenlänge reduziert ist, wird ·
schließlich auch das Absorptionsrisikp verringert.
Die erwähnte Referenzwellenlänge liegt typisch an
oder nahe bei der harmonischen Mitte des genannten 'Wellenlängenbandes.
Der Brechungsindex der Aussenschicht sollte zwischen
1,25 und 1,45 betragen.
Bei einem bevorzugten Ausführungsbeispiel ist der Brechungsindex der Innenschicht ungefähr gleich
η on, , wobei η der Brechungsindex des Substrates und
nT der°Brechungsindex der Aussenschicht ist. In der Praxis
liegt der Brechungsindex der Innenschicht zwischen 1 1
7 7
O,9n_ «el und 1,1η « ητ einschließlich.
& ho s -"ο
Es kann eine Anzahl N von Zwischenschichten vorgesehen sein, die ausgehend von der unmittelbar an die Aussenschicht
I angrenzenden äussersten Zwischenschicht I1 mit
!.j, L2 ··· ^w bezeichnet sind. Vorzugsweise haben die
äusserste Zwischenschicht bzw. die innerste Zwischenschicht Brechungsindizes nT bzw© nT , welche folgenden Beziehungen
1 N
genügen:
3,5(i,2nL - 1,0) + 0,02N>nL
>2,8 (i,2nL -1,0)+0,02N
ο N ο
(D wenn 5 ^J- N /"" 2
oder 3,33(i,24n -1,00) V nT ">- 2,72(1,24nT - 1,00)
wenn U "> 5 ;
1 0 H ■-' U / 1 1 S 7
>nL ^2,8(1,2nL -1,0)-0,02N
ο 1 ο
wenn 5 > N > 2 (3)
oder 3,55(1,16n_ -1,00)
>nT >2,90(1,16nT -1,00)
ο 1 ο
wenn N /► 5 » (4)
- nT
T ^T T ( T
1O ^N hl ^ 3000 ^o
wenn 5 >N>2 (5)
oder 0,30^. (n, -nL ) >0,u5
™ Χ wenn N
>5 (6)
Die Brechungsindizes der Zwischenschichten haben
solche Nominalwerte, daß die Differenz zwischen den Brechungsindizes von jeweils zwei "benachbarten Zwischen
schichten im wesentlichen überall die gleiche ist.
Wenn die optische Dicke jeder Schicht T-. ist, so
gilt gemäß obiger Definition:
i = J$_+ 1
^i -X
i = 0
Die optische Dicke der Atissen- und Innenschichten,
Die optische Dicke der Atissen- und Innenschichten,
also T- bzw« ϊ·™τ+χ» i-s^ nominell jeweils gleich
ο
und diejenige der jeweiligen Zwischenschichten TT «.· T
und diejenige der jeweiligen Zwischenschichten TT «.· T
Ll beträgt nominell jeweils Λ/2Ν·
Die Werte für die Brechungsindizes in einem Belag gemäß
der Erfindung sind nicht so kritisch, wie es sich bei bekannten Belägen als notwendig erwiesen hat«. Beispielsweise
muß der wirkliche zahlenmäßige Abstand der Indizes
%bis einschließlich nx der Zwischenschichten nicht
Ll
gleichmäßig sein, und ebensowenig müssen die entsprechenden Dicken T^ bis einschließlich T- gleich sein, falls die
gleichmäßig sein, und ebensowenig müssen die entsprechenden Dicken T^ bis einschließlich T- gleich sein, falls die
1 0 9 B 3 U I 1 1 5 7
-6-Bedingnng nT ^S-Ji7. \ «»« \il eingehalten ist.
Besonders wesentlich ist die Indexdifferenz (nT - nT ).
Noch auf ein weiteres vorteilhaftes Merkmal sei hingewiesen. Sollte ein Material mit dem richtigen Wert von
nT nicht verfügbar sein, so ist es möglich, ein Material
ΤΓ+1
zu verwenden, dessen Index um wenige Prozent höher oder niedriger liegt, falls der Bereich n~ "bis n, angehoben
zu verwenden, dessen Index um wenige Prozent höher oder niedriger liegt, falls der Bereich n~ "bis n, angehoben
und ausgedehnt bzw. gesenkt und verkürzt wird. Das Ausmaß wird empirisch ermittelt. Die Leistungsfähigkeit bleibt erhalten.
Die folgenden Gleichungen, in denen Werte für die bevorzugten Brechungsindizes für die innersten und äussersten
Zwischenschichten angegeben werden, wurden durch theoretische Studien hergeleitet:
für N ^ 5 nT = 3,750 n, - 3,125+ ΒΓ(17-1ϊ).η5ϋη /Tx
JM o 156Ö
und nL = 3,750 η£ - 3,125 - N(17-N).n3L0 (II)
1 °
für N > 5 nT = 3,75OnT - 3,025 (III)
und nT = 3,750 Ux - 3,225 (IV)
^l ho
Theoretisch könnte jeder Wert von N^>2 bis zu einer
Grenze gewählt werden, welche die Annäherung der Schichtdicken an die Molekular abmessungen setzt (H ^^ 250)· Für
K ^> 5 wird jedoch ein Plateauzustand erreicht, wie aus den
Gleichungen (III) und (IV) ersichtlich ist, die unabhängig von N sindo Wie jeder Fachmann weiß, werden die praktischen
Probleme mit zunehmendem N immer schwerwiegender, und wenn die Indexänderung von einer Schicht zur nächsten abnimmt,
können die Tc^sc.^edenen diskreten Schichten als eine einzige
inhomogene Schicht angesehen werden, deren Index sich noch gemäß den oben dargelegten Bedingungen mit der Dicke
10S834/1157
abstuft bzw. ändert. Die offensichtliche Zunahme des
praktischen Aufwandes für große Werte von N bietet nun eine Möglichkeit zur praktischen Realisierung der Erfindung.
Beispielsweise können einige Materialien, wie etwa TiO so unter variierenden Bedingungen aufgedampft
werden, daß sich ein abgestufter Brechungsindex ergibt. Stattdessen kann auch ein Verfahren der gemeinsamen
Aufdampfung durch zwei Quellen angewandt werden, bei welchem
die Aufbringungsraten der beiden Quellen so variiert werden, daß sich die erforderliche Abstufung ergibt.
Die folgenden Beispiele zeigen die spektrale Leistungsfähigkeit typischer Beläge gemäß der Erfindung© Diese Beläge
sind für die Unterdrückung von Reflexionen über den Wellenlängenbereich 380 bis 720 Millimikron (n„me) bestimmt
und geeignet. Dieser Spektralbereich wird in der gewünschten zulässigen Weise in optischen Systemen ausgenutzt, die beispielsweise
im sichtbaren Wellenlängenbereich von 400 bis 700 nm. arbeiten.
Superstrat (Luft) Schicht Lo (aussen)
Brechungsindex Optische
Dicke
Mögliches Schicht-Material
L7
Ί0 Ί1
1,0
1,38
1,95
1,97
1,99
2,01
2,03
2,05
2,07
2,09
2,11 2,13 2,15
Massiv
O,O455A O,O455X
Ο,Ο455Λ Ο,Ο455λ Ο,Ο455Λ Ο,Ο455λ Ο,Ο455Λ (aufgedampft
variieren"
Ο,Ο455Λ
10933/. /1157
L12(innen)
Substrat
Substrat
1,66 1,45 Ο,25λ Massiv X= 495 nm
Wie Beispiel 1, jedoch:
L12 (innen)
Substrat
Substrat
1,86 1,81 Massiv =495nm
ITcI0O,
Superstrat
Schicht Lq
Schicht Lq
1I
J7
J8
Substrat
(Luft)
(aussen)
(aussen)
(innen)
Bre chung s ind ex
1,0
1,38
2,08
2,10
2,12
2,14
2,16
2,18
2,20
2,22
2,24
2,26
2,28
2,30
2,32
1,75 1,52 Optische Picke
Massiv 0,25.N 0,0385λ\
O,O385X \ Ο,Ο385λ !
0,0385Λ / 0,0385Λ / 0,0385λ/ 0,0385Λ
0,0385Λ 0,0385λ Ο,Ο385Λ Ο,Ο385Λ 0,0385Λ
0,0385Λ,
Mögliches
S chi chtmat eri al
MgF,
Massiv Λ= 495 nm
TiO
(aufgedampft unter variierenden Bedingungen)
MgO
0 9
1 1 S
Beispiel 4 | Substrat | (Luft) | 1,0 |
Superstrat | (aussen) | 1,38 | |
Schicht Lq | 1,97 | ||
1I | 1,98 | ||
1,99 | |||
L3 | 2,00 | ||
L4 | 2,01 | ||
L5 | 2,02 | ||
L6 | 2,03 | ||
L7 | 2,04 | ||
% | 2,05 | ||
L9 | . (innen) | 1,66 | |
1,52 | |||
Massiv O,25A O,O556>\
O.O556X O,O556X
Ο,Ο556Λ
Ο,Ο556λ Ο,Ο556Λ 0,0556X
O,O556X Ο,25λ Massiv X= 495 nm
MgF
Ο,Ο556λ y (aufgedampft
unter variierenden Bedingungen)
Al2O5
Beispiel 5 | Substrat | (Luft) | 1,0 |
Superstrat | (aussen) | 1,58 | |
Schicht Lq | 1,98 | ||
29O5 | |||
L2 | 2,12 | ||
1,75 | |||
L4 | 1,60 | ||
Massiv
Massiv J\.= 495 nm
MgF2 GeO2
ZrO2 TiO
MgO
Im Beispiel 1 ist die Zahl der Zwischenschichten groß (U=Il)0 Im Effekt bilden die Zwischenschichten eine
einzige inhomogene Schichte
Der Brechungsindex n^ der äussersten Schicht LQ
beträgt 1,38 und derjenige für das Substrat beträgt 1,45·
Der Brechungsindex der Innenschicht (N+1) ergibt sich aus
der Beziehung:
Π57
«ΙΟ
g 1 1O
Somit ist nT = ητ /^_* 1,45?» 1,38 = 1,66
Τ1 L12
Dieser Wert liegt im Bereich zwischen
1 1
1,1 n. » η und 0,9 nT o η
Die Brechungsindizes der Zwischenschichten ergeben sich aus den Gleichungen (III) und (IV):
nT = 3,75 β 1,38 - 3,025 = 2,15
und nT = 3,75 . 1,38 - 3,225 = 1,95 Dies entspricht den Ungleichungen (2) und (4).
Bei diesem Beispiel ist ^ = 495 nm, welcher Wert innerhalb der Betriebsbandbreite von 380 bis 720 nm liegt.
Sie Zwischenschichten können als eine Anzahl diskreter
Schichten mit sich aunehmend änderndem Brechungsindex, beispielsweise gemäß der Aufstellung in Beispiel 1 angesehen
werden,. Stattdessen können die Zwischenschichten auch als
eine einzige inhomogene Schicht angesehen werden, deren kontinuierlich abgestufter Brechungsindex einen Gesamtbereich
(nT - nT ) um einen zentralen Brechungsindex überspannt.
% 11I
Im Beispiel 1 können also die Zwischenschichten als eine einzige inhomogene Schicht mit einem Brechungsindexbereich 2,05 - 0,10 ausgedrückt werden.
Im Beispiel 1 können also die Zwischenschichten als eine einzige inhomogene Schicht mit einem Brechungsindexbereich 2,05 - 0,10 ausgedrückt werden.
Es kann, gezeigt werden, daß irgendeine gegebene Belagstruktur für alle Substratbrechungsindizes im Bereich
von 2,00>ng"> 1,40, wofür lediglich der Index nT
gemäß der Gleichung (V) geändert wird, ohne daß die Leistungsfähigkeit iierabgeiiatzt wird. Dies geht aus Beispiel 2 hervor,
bei welchem die Grundstruktur des Beispiels 1 für ein Substrat
1 0 3 3 :u / 1 1 5 7
mit sehr viel höherem Brechungsindex (1,81) angewandt
wird. Aus Gleichung (V) ergibt sich, daß der neue Wert
füi/nT gleich 1,86 ist.
L3
L3
Beispiel 3 erläutert ein weiteres Merkmal der Erfindung. Um einen abgestuften Brechungsindexbereich auszunutzen,
der in der Praxis zur Verfugung steht, aber höher ist als der durch die Gleichungen (ill) und (IV) vorgeschriebene Bereich,
wird die Methode angewandt, den Wert von nT über
LN+1
den durch die Gleichung (V) vorgeschriebenen Wert hinaus geeignet zu erhöhen.
Der Wert nT = 1,70 gemäß Gleichung (V) wird in
Wirklichkeit auf theoretisch 1,75 erhöhte
Der Wert von nL =2,15 gemäß Gleichung (ill)
wird in Wirklichkeit aux den für praktische Zwecke geeigneten Wert 2,32 erhöht, und
der Wert n^ = 1,95 gemäß Gleichung (IV) wird
in Wirklichkeit entsprechend praktischer Zweckmässigkeit auf 2,08 erhöhte
Ebenso wird der Bereich nx - nT von 0,20 auf
H Ll 0,24 ausgedehnt.
Beispiel 4 zeigt den umgekehrten Pail wie Beispiel
3, wobei der Bereich abgestufter Brechungsindizes erniedrigt und verkürzt und nT geeignet verringert worden ist.
In diesem speziellen Pail ißt der Bereich
nT - nT von 0,20 auf 0,08 verringert worden, ein Maß,
das größer ist als die GesamtSenkung des Bereiches, dessen
Zentrum von 2,05 auf 2,01 gesenkt wurde, so daß der tatsächliche Wert nT in Wirklichkeit etwas erhöht worden ist.
1
Alle Werte fallen jedoch in die durch die Ungleichungen
Alle Werte fallen jedoch in die durch die Ungleichungen
1 0 S a 3 '. /115
(2), (4)> (6) angegebenen Bereiche.
Beispiel 5 zeigt einen Anwendungsfall mit N=J,
bei welchem die Zwischenschichten individuelle gesonderte Schichten sind. Es ist auch ersichtlich, daß die Dicken
dieser Zwischenschichten, die nominell gleich sind, von diesem Nominalwert abweichen können, otme daß die Leistungsfähigkeit
mehr als vernachlässigbar beeinträchtigt wirdo
Ähnlich kann auch die Indexgleichmäßigkeit ohne Beeinträchtigung der Leistungsfähigkeit schwanken
Die den oben angegebenen Beispielen 1 bis 5 zu entnehmenden günstigen Spektraleigenschaften eines Vergütungsbelages gemäß der Erfindung sind entsprechend in den Figuren
1 bis 5 der Zeichnung zusammen mit den integrierten Reflexionswerten für diese Beispiele dargestellte Zum Vergleich sind auch
die äquivalenten Kurven des Reflexionsvermögens R für optimale achromatische Beläge eingetragen (unterbrochene Linien):
Diese letztgenannten Beläge weisen Schichten der Dicke
X/4, χ/2 und 5 X/4- auf· Man wird feststellen, daß es
im zweiten Beispiel (Figo 2) keine realisierbare achromatische Lösung gibt, weil die Brechungsindizes der zweiten Schicht zu
hoch sind, um praktisch verfügbar zu sein.
10S834/1157
Claims (1)
- Patentansprüohe.LtVergütungsbelag mit einer auf ein transparentes Substrat aufgebrachten Innenschicht, einer Aussenschicht und mehreren Zwischenschichten, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen den Innen- und Aussenschichten aufeinanderfolgend mindestens drei Zwischenschichten mit zunehmend kleinerem Brechungsindex angeordnet sind, und daß die optische Dicke der Aussen- und der Innenschicht jeweils im wesentlichen X/4 und die optische Gesamtdicke des Belages im wesentlichen X betragen, wobei Λ eine Referenzwellenlänge ist, die innerhalb eines Wellenlängenbandes liegt, über welches die Reflexverminderung erfolgen soll.2ο Vergütungsbelag nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß eine große Anzahl von Zwischenschichten in Wirklichkeit durch einen Niederschlag einer einzigen inhomogenen Zusammensetzung mit zunehmend kleiner werdendem Brechungsindex gebildet ist.3· Vergütungsbelag nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Referenzwellenlänge an oder nahe bei der harmonischen Mitte des Wellenlängenbandes liegt·4e Vergütungsbelag nach einem der Ansprüche 1 bis 3» dadurch gekennzeichnet, daß der Brechungsindex der Aussenschicht zwischen 1>25 und 1,4-5 beträgt.5· Vergütungsbelag nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Differenz zwischen den Brechungsindizes von jeweils zwei benachbarten Zwischenschichten im wesentlichen gleich ist»109834/1157-H-6. Vergütungsbelag nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet,daß der Brechungsindex der Innenschicht ungefähr gleich 1η ο nT ist, wobei η der Brechungsindex des Substratesund n, der Brechungsindex der Aussenschicht sind, und νότο
zugsweise innerhalb des Bereiches1
•κ(0,9-1,1) η . η liegt»
6 ο7. Vergütungsbelag nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß eine Anzahl N von Zwischenschichten vorgesehen sind, die ausgehend von der unmittelbar an die Aussenschicht L angrenzenden äussersten Zwischenschicht L- mit L1, Lo»»»Lt,t bezeichnet sind und daß die äusserste Zwischenschicht bzw«, die innerste Zwischenschicht L^. Brechungsindizes nL bzw» n,. haben, welche folgenden Beziehungen genügen:3,5(1,2n - 1,0)+ 0,02N >n. ^2,8(1,2n - 190)^ ^Λθ,Ο2Ν ° (1)wobeioder 3,35 (1,24nL -1,00)^. n. ^ 2,72(1„24nL -1,00)wobei N^ 5 5 (2)3,5(1,2nT -l,0)-0,02N>nT >2,8 (1,2 nT -1,0)-0,02N -"o 11I ^ howobei 5^·Ν^>2 (3)oder 3,55(i,i6nL -1,0O)^n1 ^2,90(l,16nL -1,00)wobei N^>5 ; (4)N(17-N) ο n3 T ">(nT - il. ) >N(17-N). n5 T 5ÖÖ \V \ η ^ 3ÖÖÖ 1Owobei
oder O^^iwobei NJ>5 (6)1098 3 4/11578. Vergütungsbelag mit einer auf ein transparentes Substrat aufgebrachten Innenschiclit, einer Aussenschicht und einer Zwischenschicht, dadurch gekennzeichnet, daß die Zwischenschicht inhomogen ist und einen abgestuften Brechungsindex besitzt, der zunehmend von der Innenschicht zur Aussenschicht kleiner wird, und daß die optische Dicke der Aussen- und Innenschichten jeweils etwa X /4 beträgt und die optische Gesamtdicke des Belages etwa >. beträgt, wobei Λ eine Referenzwellenlänge ist, die innerhalb eines Wellenlangenbandes liegt, über welches die Reflexverminderung erfolgen soll.9· Vergütungsbelag nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Belag auf ein Substrat aufgebracht wird, welches einen Brechungsindex zwischen 1,40 und 2,00 aufweist.1D9834/11S7Λ6Leerseite
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
GB5397/70A GB1292717A (en) | 1970-02-04 | 1970-02-04 | Improvements relating to anti-reflection coatings |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE2105280A1 true DE2105280A1 (de) | 1971-08-19 |
DE2105280B2 DE2105280B2 (de) | 1980-01-24 |
DE2105280C3 DE2105280C3 (de) | 1980-09-18 |
Family
ID=9795385
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE2105280A Expired DE2105280C3 (de) | 1970-02-04 | 1971-02-04 | Antireflexbelag |
Country Status (9)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US3706485A (de) |
JP (1) | JPS5618921B1 (de) |
AU (1) | AU2495771A (de) |
CA (1) | CA931031A (de) |
DE (1) | DE2105280C3 (de) |
FR (1) | FR2079243B1 (de) |
GB (1) | GB1292717A (de) |
NL (1) | NL7101449A (de) |
SU (1) | SU409448A3 (de) |
Families Citing this family (44)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3958042A (en) * | 1971-04-05 | 1976-05-18 | Agency Of Industrial Science & Technology | Method for manufacture of reflection-proof film |
US3804491A (en) * | 1971-08-16 | 1974-04-16 | Olympus Optical Co | Multilayer reflection proof film |
DE2334875C2 (de) * | 1972-07-10 | 1982-03-25 | Minolta Camera K.K., Osaka | Vierschichtiger Antireflex-Belag für ein optisches Glassubstrat |
US3809459A (en) * | 1972-10-13 | 1974-05-07 | Asahi Optical Co Ltd | Antireflection coating for an inner surface of cemented lenses |
US3984581A (en) * | 1973-02-28 | 1976-10-05 | Carl Zeiss-Stiftung | Method for the production of anti-reflection coatings on optical elements made of transparent organic polymers |
US4308316A (en) * | 1977-04-04 | 1981-12-29 | Gordon Roy G | Non-iridescent glass structures |
US4187336A (en) * | 1977-04-04 | 1980-02-05 | Gordon Roy G | Non-iridescent glass structures |
FR2439167A1 (fr) * | 1978-10-20 | 1980-05-16 | Gordon Roy Gerald | Verres couches non irises |
NL191759C (nl) * | 1978-10-20 | 1996-07-02 | Gordon Roy Gerald | Niet-iriserende glasconstructie. |
NL8301824A (nl) * | 1983-05-24 | 1984-12-17 | Philips Nv | Optisch element bestaande uit een doorzichtig substraat en een antireflectieve bekleding voor het golflengtegebied in het nabije infrarood. |
US4966437A (en) * | 1988-04-19 | 1990-10-30 | Litton Systems, Inc. | Fault-tolerant anti-reflective coatings |
US5173368A (en) * | 1988-09-14 | 1992-12-22 | Pilkington Visioncare Holdings, Inc. | Solution-applied antireflective coatings |
DE69008242T2 (de) * | 1989-06-06 | 1994-11-03 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | Wärmeabsorbierendes Glas. |
US5104692A (en) * | 1990-04-20 | 1992-04-14 | Pilkington Visioncare Holdings, Inc. | Two-layer antireflective coating applied in solution |
JP2991554B2 (ja) * | 1990-11-09 | 1999-12-20 | 旭光学工業株式会社 | 広波長域ゴースト防止光学系 |
US5662395A (en) * | 1995-06-07 | 1997-09-02 | Nova Solutions, Inc. | Underdesk computer desk structure with antireflecting viewing window |
AU7166096A (en) * | 1995-09-26 | 1997-04-17 | McDonnell, Douglas | Anti-reflective coating |
US5751466A (en) * | 1996-01-11 | 1998-05-12 | University Of Alabama At Huntsville | Photonic bandgap apparatus and method for delaying photonic signals |
US6428894B1 (en) * | 1997-06-04 | 2002-08-06 | International Business Machines Corporation | Tunable and removable plasma deposited antireflective coatings |
US6262830B1 (en) | 1997-09-16 | 2001-07-17 | Michael Scalora | Transparent metallo-dielectric photonic band gap structure |
US5907427A (en) | 1997-10-24 | 1999-05-25 | Time Domain Corporation | Photonic band gap device and method using a periodicity defect region to increase photonic signal delay |
US6028693A (en) * | 1998-01-14 | 2000-02-22 | University Of Alabama In Huntsville | Microresonator and associated method for producing and controlling photonic signals with a photonic bandgap delay apparatus |
US6304366B1 (en) | 1998-04-02 | 2001-10-16 | Michael Scalora | Photonic signal frequency conversion using a photonic band gap structure |
US6396617B1 (en) | 1999-05-17 | 2002-05-28 | Michael Scalora | Photonic band gap device and method using a periodicity defect region doped with a gain medium to increase photonic signal delay |
AU7734900A (en) | 1999-09-30 | 2001-04-30 | Mark J. Bloemer | Efficient non-linear phase shifting using a photonic band gap structure |
US6414780B1 (en) | 1999-12-23 | 2002-07-02 | D'aguanno Giuseppe | Photonic signal reflectivity and transmissivity control using a photonic band gap structure |
US6339493B1 (en) | 1999-12-23 | 2002-01-15 | Michael Scalora | Apparatus and method for controlling optics propagation based on a transparent metal stack |
US6497957B1 (en) | 2000-10-04 | 2002-12-24 | Eastman Kodak Company | Antireflection article of manufacture |
WO2004053959A1 (ja) * | 2002-12-10 | 2004-06-24 | Nikon Corporation | 光学素子及びその光学素子を用いた投影露光装置 |
SG133589A1 (en) * | 2003-08-26 | 2007-07-30 | Nikon Corp | Optical element and exposure device |
US8149381B2 (en) * | 2003-08-26 | 2012-04-03 | Nikon Corporation | Optical element and exposure apparatus |
US6954256B2 (en) * | 2003-08-29 | 2005-10-11 | Asml Netherlands B.V. | Gradient immersion lithography |
US7924397B2 (en) * | 2003-11-06 | 2011-04-12 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Anti-corrosion layer on objective lens for liquid immersion lithography applications |
US7460206B2 (en) * | 2003-12-19 | 2008-12-02 | Carl Zeiss Smt Ag | Projection objective for immersion lithography |
JP2006073053A (ja) * | 2004-08-31 | 2006-03-16 | Tdk Corp | 光記録媒体 |
JP2007326357A (ja) * | 2006-05-10 | 2007-12-20 | Fujifilm Corp | 積層フィルム及び画像表示装置 |
US7561250B2 (en) * | 2007-06-19 | 2009-07-14 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus having parts with a coated film adhered thereto |
US20150077646A1 (en) * | 2013-09-17 | 2015-03-19 | Apple Inc. | Touch Sensitive Display With Graded Index Layer |
KR20160013485A (ko) * | 2014-07-25 | 2016-02-04 | 삼성디스플레이 주식회사 | 터치 패널 및 그 제조방법 |
US9841616B1 (en) | 2014-08-22 | 2017-12-12 | Sunlight Photonics Inc. | Mobile system incorporating flexible and tunable anti-reflective skin and method of use |
US11042047B1 (en) | 2014-08-22 | 2021-06-22 | Sunlight Aerospace Inc. | Mobile system incorporating flexible and tunable optically reflective skin and method of use |
US9391700B1 (en) | 2015-06-16 | 2016-07-12 | Sunlight Photonics Inc. | Integrated optical receiver skin |
US9983423B2 (en) * | 2015-09-22 | 2018-05-29 | Apple Inc. | Touch sensitive display with graded index layer |
CN111580697A (zh) * | 2020-05-09 | 2020-08-25 | 上海天马微电子有限公司 | 一种复合膜、触控板及显示装置 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2478385A (en) * | 1946-12-07 | 1949-08-09 | Libbey Owens Ford Glass Co | Multilayer low light reflecting film |
FR1110967A (fr) * | 1953-10-31 | 1956-02-20 | Procédé de préparation de systèmes laminairement dispersés et ayant une structure primaire fibreuse ou totalement dispersée | |
US3185020A (en) * | 1961-09-07 | 1965-05-25 | Optical Coating Laboratory Inc | Three layer anti-reflection coating |
US3432225A (en) * | 1964-05-04 | 1969-03-11 | Optical Coating Laboratory Inc | Antireflection coating and assembly having synthesized layer of index of refraction |
US3463574A (en) * | 1967-06-26 | 1969-08-26 | Perkin Elmer Corp | Multilayer antireflection coating for low index materials |
-
1970
- 1970-02-04 GB GB5397/70A patent/GB1292717A/en not_active Expired
-
1971
- 1971-01-29 SU SU1626152A patent/SU409448A3/ru active
- 1971-02-03 NL NL7101449A patent/NL7101449A/xx unknown
- 1971-02-03 AU AU24957/71A patent/AU2495771A/en not_active Expired
- 1971-02-04 FR FR7103835A patent/FR2079243B1/fr not_active Expired
- 1971-02-04 US US112785A patent/US3706485A/en not_active Expired - Lifetime
- 1971-02-04 JP JP421471A patent/JPS5618921B1/ja active Pending
- 1971-02-04 CA CA104447A patent/CA931031A/en not_active Expired
- 1971-02-04 DE DE2105280A patent/DE2105280C3/de not_active Expired
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
FR2079243B1 (de) | 1975-01-17 |
FR2079243A1 (de) | 1971-11-12 |
CA931031A (en) | 1973-07-31 |
DE2105280B2 (de) | 1980-01-24 |
NL7101449A (de) | 1971-08-06 |
AU2495771A (en) | 1972-08-10 |
DE2105280C3 (de) | 1980-09-18 |
JPS5618921B1 (de) | 1981-05-02 |
GB1292717A (en) | 1972-10-11 |
US3706485A (en) | 1972-12-19 |
SU409448A3 (de) | 1973-11-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE2105280A1 (de) | Vergutungsbeleg | |
DE2144242C2 (de) | Optisches Filter | |
DE2052346C2 (de) | Mehrschichtfilter | |
DE2341359C3 (de) | Aus einer Mehrzahl von einfachen oder zusammengesetzten lambda/4-Schichten bestehender reflexionsvermindernder | |
DE2927856C2 (de) | Mehrschichten-Antireflexbelag | |
EP0120408A2 (de) | Verfahren zur Beschichtung eines transparenten Substrates | |
DE3009533A1 (de) | Verfahren zur herstellung eines reflexverminderndenmehrschichtenbelages und optischer koerper mit reflexverminderndem mehrschichtenbelag | |
DE2827258A1 (de) | Elektrooptische anzeigevorrichtung, insbesondere fluessigkristallanzeige | |
DE102014113077B4 (de) | Dielektrischer Spiegel für Hochleistungs-Laserpulse | |
DE4132902C2 (de) | Flüssigkristallanzeige | |
DE2338019C3 (de) | Verfahren zur Herstellung nur der aus einem zu Inhomogenitäten neigenden Material bestehenden Lambda-Halbe-Schicht eines Anticeflexionsfilms | |
DE2600615C2 (de) | Im Bereich zwischen 2,5 und 4 μ m Wellenlänge absorptionsfreies reflexionsverminderndes Mehrfachschichtsystem auf einer hochbrechenden infrarotdurchlässigen Unterlage | |
DE1913901C3 (de) | Kaltlichtspiegel mit teilweise aus Silizium bestehenden Schichten, der einen Reflexionskoeffizienten von über 90% aufweist | |
DE3783450T2 (de) | Kathodenstrahlroehre mit antireflektionsschicht. | |
DE2457474B2 (de) | Verfahren zur herstellung von reflexmindernden mehrfachschichten und durch das verfahren hergestellter optischer koerper | |
DE2347525C3 (de) | Sonnenschutzglas | |
DE1901977A1 (de) | Perot-Fabry-Interferenzfilter | |
DE112016000959T5 (de) | Antireflexfilm und Verfahren zu dessen Herstellung und optisches Bauelement | |
AT300401B (de) | Entspiegelungsbelag | |
DE4100820C2 (de) | Vielschicht-Entspieglungsbelag | |
EP0231478B1 (de) | Teildurchlässiges optisches Filter und Verfahren zu seiner Herstellung | |
DE758767C (de) | UEberzug aus mindestens drei Schichten von verschiedener Brechungszahl fuer einen nichtmetallischen Gegenstand zur Verminderung von dessen Oberflaechenreflexion | |
DE2217968C3 (de) | Verfahren zur Herstellung von Interferenzschicht-Spektralteilern | |
DD295935A5 (de) | Breitbandiger strahlteiler | |
DE2350231C3 (de) | Antireflexbelag |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C3 | Grant after two publication steps (3rd publication) | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |