DE2105280A1

DE2105280A1 - Vergutungsbeleg

Info

Publication number: DE2105280A1
Application number: DE19712105280
Authority: DE
Inventors: John Antthony Thrussmgton Gray William Hugh Oadby Leicester Fawcett (Groß britanmen)
Original assignee: Rank Organization Ltd
Current assignee: Rank Organization Ltd
Priority date: 1970-02-04
Filing date: 1971-02-04
Publication date: 1971-08-19
Also published as: NL7101449A; GB1292717A; US3706485A; SU409448A3; CA931031A; DE2105280B2; AU2495771A; FR2079243B1; JPS5618921B1; FR2079243A1; DE2105280C3

Description

L/474

The Rank Organization Limited, London, SW.1,

England

Vergütungsbelag.

Die Erfindung betrifft einen Vergütungsbelag mit einer auf ein transparentes Substrat aufgebrachten Innenschicht, einer Aussenschicht und einer oder mehreren Zwischenschichten«

Vergütungsbeläge werden auf transparente Substrate, wie (([ zum Beispiel Teile optischer Systeme aufgebracht, um für Licht einer bestimmten Wellenlänge oder einer Anzahl von Wellenlängen eine Reflexverminderung an der Substratoberfläche zu erreichen· Gewöhnlich ist es wünschenswert, eine Reflexion von der Substratoberfläche bei mehr als einer Wellenlänge zu vermindern, beispielsweise in einem Wellenlängenband.

Es wurden bereits Vergütungsbeläge mit zwei oder drei Einzelschichten vorgeschlagen. Der zweischichtige Belag enthält Aussen- und Innenschichten mit einer Dicke von Λ/4 bzw» Λ/2, wobei λ eine Wellenlänge ist, die innerhalb einer Bandbreite liegt, über welche die Reflexverminderung erfolgen soll. Der dreischichtige Belag besitzt dagegen allge- % mein Schichten mit einer Dicke von X/4, λ/2 bzwe 3 λ/4. Diese zwei- und dreischichtigen Beläge sind aber nur begrenzt brauchbar, und zwar vor allem deswegen, weil eine niedrige Reflexionsamplitude nur über eine beschränkte Bandbreite erreicht wird. Im Falle des dreischichtigen Belages ist ausserdem die G-esamtbelagdicke so groß, daß ein beträchtliches Risiko einer Lichtabsorption im Belag besteht.

Obwohl einige dreischichtigen Beläge bei senkrechtem Lichteinfall bei drei verschiedenen Wellenlängen theoretisch eine Reflexion der Größe Null aufweisen können, hat sich in der

109834/1 1S7

7105280

Praxis gezeigt, daß die Maxima und Minima der Reflexionsamplitude durch eine Mittelwertbildung eingeebnet werden. Dies geschieht in Folge der Integration der einen Bildpunkt bildenden verschiedenen Strahlen mit verschiedenen Einfallwinkeln, bei deren Durchlauf durch die verschiedenen vergüteten Oberflächen, wie sie gewöhnlich in einem optischen System vorhanden sind.

Eine schwerwiegende Folge der beim Aufbringen von Vergütungsbelägen unvermeidbaren Fehler und Toleranzen besteht darin, daß der Verlauf des resultierenden spektralen Reflexionsvermögens so verschoben werden kann, daß er etwas ausserhalb des erforderlichen Spektralbereiches liegt. Infolgedessen fallen stärkere Reflexionen des Belages in den Seitenbändern der Wellenlängenbänder minimalen Reflexionsvermögens, die theoretisch ausserhalb des Spektralbereiches liegen, für den der Belag vorgesehen ist, bis zu einem gewissen Grad in diesem Bereich, wo sie die spektrale Durchlässigkeit beeinträchtigen und als Folge der Reflexion vom Belag zu unerwünschten Reflex- oder Geisterbildern oder zu einer erhöhten Überstrahlung und Verschleierung führen.

Ein Hauptzweck der Erfindung besteht darin, einen Belag anzugeben, bei welchem die Reflexion über einen weiten Spektralbereich auf sehr kleinen Werten gehalten wird, die integrierte Reflexion also klein ist, so daß die Einflüsse von Herstellungsfehlern weit weniger schwerwiegend sind_e Dies ist auch von Vorteil bei ähnlichen Spektralverschiebungen in Folge von Änderungen der Gleichmäßigkeit des Belages an stark gekrümmten oder großflächigen Oberflächen und unabhängig von der Gleichmäßigkeit des Belages bei wesentlichen Schwankungen des Einfallwinkels.

Die Erfindung schafft einen Vergütungsbelag mit einer auf ein transparentes Substrat aufgebrachten Innenschicht, einer Aussenschicht und wenigestens drei Zwischenschichten mit zunehmend kleinerem Brechungsindex, die zwischen den Innen- und Aussenschichten aufeinanderfolgend angeordnet sind.

109834/1157

"■3*"

Die optische Dicke der Aussen- und der Innenschicht beträgt jeweils im wesentlichen X/4 und die optische Gesamtdicke des Belages beträgt im wesentlichen A . X ist hierbei eine Referenzwellenlänge, die innerhalb eines Wellenlänrenbandes liegt, über welches die Reflexverminderung erfolgen soll.

Die Anzahl der Zwischenschichten kann sehr groß sein. In diesem Fall können sie in Wirklichkeit durch einen Niederschlag einer einzigen inhomogenen Zusammensetzung mit zunehmend kleiner werdendem Brechungsindex gebildet sein.

In anderer Hinsicht schafft die Erfindung einen Vergütungsbelag mit einer auf ein transparentes Substrat aufgebrachten Innenschicht, einer Aussenschicht und einer inhomogenen Zwischenschicht, die einen abgestuften Brechungsindex besitzt, der zunehmend von der Innenschicht zur Aussenschicht kleiner wird. Die optische Dicke der Aussen- und Innenschichten beträgt jeweils etwa λ/4, und die optische Gesamtdicke des Belages beträgt etwa X. X ist wieder eine Referenzwellenlänge, die innerhalb eines Wellenlängenbandes liegt, über welches die Reflexverminderung erfolgen soll.

Ein Belag gemäß der Erfindung erlaubt eine grössere Flexibilität beim Entwurf als bekannte Vergütungsbeläge, weil die Beschränkungen hinsichtlich der Brechungsindizes der Schichten nicht so schwerwiegend sind,, Ferner kann irgendein gegebener Belagentwurf in Verbindung mit einem Substrat eines beliebigen Brechungsindex verwendet werden, wie es in Systemen vorkommen kann, die im Bereich des sichtbaren Lichtes arbeiten. Hierfür muß lediglich der Index der unmittelbar an das Substrat angrenzenden Schicht geändert werden. Es wurde auch gefunden, daß sowohl die Brechungsindizes als auch die Dicken der Schichten vom Optimalwert in relativ grossem Maße variieren können. Im Zusammenhang mit der grösseren

1 0 9 B 3 U I 1 1 5 7

Bandbreite ergibt dies Beläge, die nicht nur eine grössere Herstellungstoleranz erlauben, sondern auch, untör sich ändernden Bedingungen arbeiten können. Da die Gesamtdicke des Belages auf eine Wellenlänge reduziert ist, wird · schließlich auch das Absorptionsrisikp verringert.

Die erwähnte Referenzwellenlänge liegt typisch an oder nahe bei der harmonischen Mitte des genannten 'Wellenlängenbandes.

Der Brechungsindex der Aussenschicht sollte zwischen 1,25 und 1,45 betragen.

Bei einem bevorzugten Ausführungsbeispiel ist der Brechungsindex der Innenschicht ungefähr gleich

η on, , wobei η der Brechungsindex des Substrates und n_T der°Brechungsindex der Aussenschicht ist. In der Praxis

liegt der Brechungsindex der Innenschicht zwischen 1 1

7 7

O,9n_ «el und 1,1η « η_τ einschließlich.

& ^ho ^s -"ο

Es kann eine Anzahl N von Zwischenschichten vorgesehen sein, die ausgehend von der unmittelbar an die Aussenschicht I angrenzenden äussersten Zwischenschicht I₁ mit !.j, L₂ ··· ^w bezeichnet sind. Vorzugsweise haben die äusserste Zwischenschicht bzw. die innerste Zwischenschicht Brechungsindizes n_T bzw© n_T , welche folgenden Beziehungen

1 N

genügen:

3,5(i,2n_L - 1,0) + 0,02N>n_L >2,8 (i,2n_L -1,0)+0,02N ο N ο

(D wenn 5 ^J- N /"" 2

oder 3,33(i,24n -1,00) V n_T ">- 2,72(1,24n_T - 1,00)

wenn U "> 5 ;

1 0 H ■-' U / 1 1 S 7

>n_L ^2,8(1,2n_L -1,0)-0,02N ο 1 ο

wenn 5 > N > 2 (3)

oder 3,55(1,16n_ -1,00) >n_T >2,90(1,16n_T -1,00)

ο 1 ο

wenn N /► 5 » (4)

- n_T

_T ^_{T T} ( _T ¹O ^N ^hl ^ 3000 ^o

wenn 5 >N>2 (5)

oder 0,30^. (n, -n_L ) >0,u5

™ ^Χ wenn N >5 (6)

Die Brechungsindizes der Zwischenschichten haben solche Nominalwerte, daß die Differenz zwischen den Brechungsindizes von jeweils zwei "benachbarten Zwischen schichten im wesentlichen überall die gleiche ist.

Wenn die optische Dicke jeder Schicht T-. ist, so gilt gemäß obiger Definition:

i = J$_+ 1

^i -X

i = 0
Die optische Dicke der Atissen- und Innenschichten,

also T- bzw« ϊ·™τ₊χ» i-^s^ nominell jeweils gleich

ο
und diejenige der jeweiligen Zwischenschichten T_T «.· T

^Ll beträgt nominell jeweils Λ/2Ν·

Die Werte für die Brechungsindizes in einem Belag gemäß der Erfindung sind nicht so kritisch, wie es sich bei bekannten Belägen als notwendig erwiesen hat«. Beispielsweise muß der wirkliche zahlenmäßige Abstand der Indizes

%bis einschließlich n_x der Zwischenschichten nicht ^Ll
gleichmäßig sein, und ebensowenig müssen die entsprechenden Dicken T^ bis einschließlich T- gleich sein, falls die

1 0 9 B 3 U I 1 1 5 7

-6-Bedingnng n_T ^S-Ji₇. \ «»« \il eingehalten ist.

Besonders wesentlich ist die Indexdifferenz (n_T - n_T ).

Noch auf ein weiteres vorteilhaftes Merkmal sei hingewiesen. Sollte ein Material mit dem richtigen Wert von n_T nicht verfügbar sein, so ist es möglich, ein Material

ΤΓ+1
zu verwenden, dessen Index um wenige Prozent höher oder niedriger liegt, falls der Bereich n~ "bis n, angehoben

und ausgedehnt bzw. gesenkt und verkürzt wird. Das Ausmaß wird empirisch ermittelt. Die Leistungsfähigkeit bleibt erhalten.

Die folgenden Gleichungen, in denen Werte für die bevorzugten Brechungsindizes für die innersten und äussersten Zwischenschichten angegeben werden, wurden durch theoretische Studien hergeleitet:

für N ^ 5 n_T = 3,750 n, - 3,125+ ΒΓ(17-1ϊ).η⁵ϋ_η /_Tx

JM o 156Ö

und n_L = 3,750 η_£ - 3,125 - N(17-N).n³L₀ (II)

¹ °

für N > 5 n_T = 3,75On_T - 3,025 (III)

und n_T = 3,750 U_x - 3,225 (IV)

^l ^ho

Theoretisch könnte jeder Wert von N^>2 bis zu einer Grenze gewählt werden, welche die Annäherung der Schichtdicken an die Molekular abmessungen setzt (H ^^ 250)· Für K ^> 5 wird jedoch ein Plateauzustand erreicht, wie aus den Gleichungen (III) und (IV) ersichtlich ist, die unabhängig von N sindo Wie jeder Fachmann weiß, werden die praktischen Probleme mit zunehmendem N immer schwerwiegender, und wenn die Indexänderung von einer Schicht zur nächsten abnimmt, können die Tc^sc.^edenen diskreten Schichten als eine einzige inhomogene Schicht angesehen werden, deren Index sich noch gemäß den oben dargelegten Bedingungen mit der Dicke

10S834/1157

abstuft bzw. ändert. Die offensichtliche Zunahme des praktischen Aufwandes für große Werte von N bietet nun eine Möglichkeit zur praktischen Realisierung der Erfindung. Beispielsweise können einige Materialien, wie etwa TiO so unter variierenden Bedingungen aufgedampft werden, daß sich ein abgestufter Brechungsindex ergibt. Stattdessen kann auch ein Verfahren der gemeinsamen Aufdampfung durch zwei Quellen angewandt werden, bei welchem die Aufbringungsraten der beiden Quellen so variiert werden, daß sich die erforderliche Abstufung ergibt.

Die folgenden Beispiele zeigen die spektrale Leistungsfähigkeit typischer Beläge gemäß der Erfindung© Diese Beläge sind für die Unterdrückung von Reflexionen über den Wellenlängenbereich 380 bis 720 Millimikron (n„m_e) bestimmt und geeignet. Dieser Spektralbereich wird in der gewünschten zulässigen Weise in optischen Systemen ausgenutzt, die beispielsweise im sichtbaren Wellenlängenbereich von 400 bis 700 nm. arbeiten.

Beispiel 1

Superstrat (Luft) Schicht Lo (aussen)

Brechungsindex Optische

Dicke

Mögliches Schicht-Material

^L7

Ί0 Ί1

1,0

1,38

1,95

1,97

1,99

2,01

2,03

2,05

2,07

2,09

2,11 2,13 2,15

Massiv

O,O455A O,O455X Ο,Ο455Λ Ο,Ο455λ Ο,Ο455Λ Ο,Ο455λ Ο,Ο455Λ (aufgedampft

^variieren"

Ο,Ο455Λ

10933/. /1157

L₁₂(innen)
Substrat

1,66 1,45 Ο,25λ Massiv X= 495 nm

Beispiel 2

Wie Beispiel 1, jedoch:

L₁₂ (innen)
Substrat

1,86 1,81 Massiv =495nm

ITcI₀O,

Beispiel 3

Superstrat
Schicht Lq

¹I

^J7 ^J8

Substrat

(Luft)
(aussen)

(innen)

Bre chung s ind ex

1,0

1,38

2,08

2,10

2,12

2,14

2,16

2,18

2,20

2,22

2,24

2,26

2,28

2,30

2,32

1,75 1,52 Optische Picke

Massiv 0,25.N 0,0385λ\ O,O385X \ Ο,Ο385λ ! 0,0385Λ / 0,0385Λ / 0,0385λ/ 0,0385Λ 0,0385Λ 0,0385λ Ο,Ο385Λ Ο,Ο385Λ 0,0385Λ 0,0385Λ,

Mögliches

S chi chtmat eri al

MgF,

Massiv Λ= 495 nm

TiO

(aufgedampft unter variierenden Bedingungen)

MgO

0 9

1 1 S

Beispiel 4	Substrat	(Luft)	1,0
Superstrat		(aussen)	1,38
Schicht Lq		1,97
¹I		1,98
		1,99
^L3		2,00
^L4		2,01
^L5		2,02
^L6		2,03
L₇		2,04
%		2,05
^L9	. (innen)	1,66
		1,52

Massiv O,25A O,O556>\ O.O556X O,O556X Ο,Ο556Λ

Ο,Ο556λ Ο,Ο556Λ 0,0556X O,O556X Ο,25λ Massiv X= 495 nm

MgF

Ο,Ο556λ y (aufgedampft

unter variierenden Bedingungen)

Al₂O₅

Beispiel 5	Substrat	(Luft)	1,0
Superstrat		(aussen)	1,58
Schicht Lq		1,98
		2₉O5
L₂		2,12
		1,75
^L4		1,60

Massiv

Massiv J\.= 495 nm

MgF₂ GeO₂ ZrO₂ TiO

MgO

Im Beispiel 1 ist die Zahl der Zwischenschichten groß (U=Il)₀ Im Effekt bilden die Zwischenschichten eine einzige inhomogene Schichte

Der Brechungsindex n^ der äussersten Schicht L_Q

beträgt 1,38 und derjenige für das Substrat beträgt 1,45· Der Brechungsindex der Innenschicht (N+1) ergibt sich aus der Beziehung:

Π57

«ΙΟ

^g ₁ ¹O

Somit ist n_T = η_τ /^_* 1,45^?» 1,38 = 1,66 Τ1 ^L12

Dieser Wert liegt im Bereich zwischen

1 1

1,1 n. » η und 0,9 n_{T o} η

Die Brechungsindizes der Zwischenschichten ergeben sich aus den Gleichungen (III) und (IV):

n_T = 3,75 β 1,38 - 3,025 = 2,15 und n_T = 3,75 . 1,38 - 3,225 = 1,95 Dies entspricht den Ungleichungen (2) und (4).

Bei diesem Beispiel ist ^ = 495 nm, welcher Wert innerhalb der Betriebsbandbreite von 380 bis 720 nm liegt.

Sie Zwischenschichten können als eine Anzahl diskreter Schichten mit sich aunehmend änderndem Brechungsindex, beispielsweise gemäß der Aufstellung in Beispiel 1 angesehen werden,. Stattdessen können die Zwischenschichten auch als eine einzige inhomogene Schicht angesehen werden, deren kontinuierlich abgestufter Brechungsindex einen Gesamtbereich (n_T - n_T ) um einen zentralen Brechungsindex überspannt.

% ¹¹I
Im Beispiel 1 können also die Zwischenschichten als eine einzige inhomogene Schicht mit einem Brechungsindexbereich 2,05 - 0,10 ausgedrückt werden.

Es kann, gezeigt werden, daß irgendeine gegebene Belagstruktur für alle Substratbrechungsindizes im Bereich von 2,00>ng"> 1,40, wofür lediglich der Index n_T gemäß der Gleichung (V) geändert wird, ohne daß die Leistungsfähigkeit iierabgeiiatzt wird. Dies geht aus Beispiel 2 hervor, bei welchem die Grundstruktur des Beispiels 1 für ein Substrat

1 0 3 3 :u / 1 1 5 7

mit sehr viel höherem Brechungsindex (1,81) angewandt wird. Aus Gleichung (V) ergibt sich, daß der neue Wert

füi/n_T gleich 1,86 ist.
^L3

Beispiel 3 erläutert ein weiteres Merkmal der Erfindung. Um einen abgestuften Brechungsindexbereich auszunutzen, der in der Praxis zur Verfugung steht, aber höher ist als der durch die Gleichungen (ill) und (IV) vorgeschriebene Bereich, wird die Methode angewandt, den Wert von n_T über

^LN+1

den durch die Gleichung (V) vorgeschriebenen Wert hinaus geeignet zu erhöhen.

Der Wert n_T = 1,70 gemäß Gleichung (V) wird in Wirklichkeit auf theoretisch 1,75 erhöhte

Der Wert von n_L =2,15 gemäß Gleichung (ill) wird in Wirklichkeit aux den für praktische Zwecke geeigneten Wert 2,32 erhöht, und

der Wert n^ = 1,95 gemäß Gleichung (IV) wird in Wirklichkeit entsprechend praktischer Zweckmässigkeit auf 2,08 erhöhte

Ebenso wird der Bereich n_x - n_T von 0,20 auf

H ^Ll 0,24 ausgedehnt.

Beispiel 4 zeigt den umgekehrten Pail wie Beispiel 3, wobei der Bereich abgestufter Brechungsindizes erniedrigt und verkürzt und n_T geeignet verringert worden ist.

In diesem speziellen Pail ißt der Bereich n_T - n_T von 0,20 auf 0,08 verringert worden, ein Maß,

das größer ist als die GesamtSenkung des Bereiches, dessen Zentrum von 2,05 auf 2,01 gesenkt wurde, so daß der tatsächliche Wert n_T in Wirklichkeit etwas erhöht worden ist.

1
Alle Werte fallen jedoch in die durch die Ungleichungen

1 0 S a 3 '. /115

(2), (4)> (6) angegebenen Bereiche.

Beispiel 5 zeigt einen Anwendungsfall mit N=J, bei welchem die Zwischenschichten individuelle gesonderte Schichten sind. Es ist auch ersichtlich, daß die Dicken dieser Zwischenschichten, die nominell gleich sind, von diesem Nominalwert abweichen können, otme daß die Leistungsfähigkeit mehr als vernachlässigbar beeinträchtigt wirdo

Ähnlich kann auch die Indexgleichmäßigkeit ohne Beeinträchtigung der Leistungsfähigkeit schwanken

Die den oben angegebenen Beispielen 1 bis 5 zu entnehmenden günstigen Spektraleigenschaften eines Vergütungsbelages gemäß der Erfindung sind entsprechend in den Figuren 1 bis 5 der Zeichnung zusammen mit den integrierten Reflexionswerten für diese Beispiele dargestellte Zum Vergleich sind auch die äquivalenten Kurven des Reflexionsvermögens R für optimale achromatische Beläge eingetragen (unterbrochene Linien): Diese letztgenannten Beläge weisen Schichten der Dicke

X/4, χ/2 und 5 X/4- auf· Man wird feststellen, daß es im zweiten Beispiel (Figo 2) keine realisierbare achromatische Lösung gibt, weil die Brechungsindizes der zweiten Schicht zu hoch sind, um praktisch verfügbar zu sein.

10S834/1157

Claims

Patentansprüohe.

LtVergütungsbelag mit einer auf ein transparentes Substrat aufgebrachten Innenschicht, einer Aussenschicht und mehreren Zwischenschichten, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen den Innen- und Aussenschichten aufeinanderfolgend mindestens drei Zwischenschichten mit zunehmend kleinerem Brechungsindex angeordnet sind, und daß die optische Dicke der Aussen- und der Innenschicht jeweils im wesentlichen X/4 und die optische Gesamtdicke des Belages im wesentlichen X betragen, wobei Λ eine Referenzwellenlänge ist, die innerhalb eines Wellenlängenbandes liegt, über welches die Reflexverminderung erfolgen soll.

2ο Vergütungsbelag nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß eine große Anzahl von Zwischenschichten in Wirklichkeit durch einen Niederschlag einer einzigen inhomogenen Zusammensetzung mit zunehmend kleiner werdendem Brechungsindex gebildet ist.

3· Vergütungsbelag nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Referenzwellenlänge an oder nahe bei der harmonischen Mitte des Wellenlängenbandes liegt·

4e Vergütungsbelag nach einem der Ansprüche 1 bis 3» dadurch gekennzeichnet, daß der Brechungsindex der Aussenschicht zwischen 1>25 und 1,4-5 beträgt.

5· Vergütungsbelag nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Differenz zwischen den Brechungsindizes von jeweils zwei benachbarten Zwischenschichten im wesentlichen gleich ist»

109834/1157

-H-

6. Vergütungsbelag nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet,

daß der Brechungsindex der Innenschicht ungefähr gleich 1

η ο n_T ist, wobei η der Brechungsindex des Substrates

und n, der Brechungsindex der Aussenschicht sind, und νότο
zugsweise innerhalb des Bereiches

1
•κ

(0,9-1,1) η . η liegt»
⁶ ο

7. Vergütungsbelag nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß eine Anzahl N von Zwischenschichten vorgesehen sind, die ausgehend von der unmittelbar an die Aussenschicht L angrenzenden äussersten Zwischenschicht L- mit L₁, L_o»»»Lt,_t bezeichnet sind und daß die äusserste Zwischenschicht bzw«, die innerste Zwischenschicht L^. Brechungsindizes n_L bzw» n,. haben, welche folgenden Beziehungen genügen:

3,5(1,2n - 1,0)+ 0,02N >n. ^2,8(1,2n - 1₉0)

^ ^Λθ,Ο2Ν ° (1)

wobei

oder 3,35 (1,24n_L -1,00)^. n. ^ 2,72(1„24n_L -1,00)

wobei N^ 5 5 (2)

3,5(1,2n_T -l,0)-0,02N>n_T >2,8 (1,2 n_T -1,0)-0,02N -"o ¹¹I ^ ^ho

wobei 5^·Ν^>2 (3)

oder 3,55(i,i6n_L -1,0O)^n₁ ^2,90(l,16n_L -1,00)

wobei N^>5 ; (4)

N(17-N) ο n³ _T ">(n_T - il. ) >N(17-N). n⁵ _T 5ÖÖ \V \ η ^ 3ÖÖÖ ¹O

wobei
oder O^^i

wobei NJ>5 (6)

1098 3 4/1157

8. Vergütungsbelag mit einer auf ein transparentes Substrat aufgebrachten Innenschiclit, einer Aussenschicht und einer Zwischenschicht, dadurch gekennzeichnet, daß die Zwischenschicht inhomogen ist und einen abgestuften Brechungsindex besitzt, der zunehmend von der Innenschicht zur Aussenschicht kleiner wird, und daß die optische Dicke der Aussen- und Innenschichten jeweils etwa X /4 beträgt und die optische Gesamtdicke des Belages etwa >. beträgt, wobei Λ eine Referenzwellenlänge ist, die innerhalb eines Wellenlangenbandes liegt, über welches die Reflexverminderung erfolgen soll.

9· Vergütungsbelag nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Belag auf ein Substrat aufgebracht wird, welches einen Brechungsindex zwischen 1,40 und 2,00 aufweist.

1D9834/11S7

Λ6

Leerseite