DE2042754B2

DE2042754B2 - Fluidmeßeinrichtung

Info

Publication number: DE2042754B2
Application number: DE2042754A
Authority: DE
Inventors: Richard Norman Laakaniemi; Norbert Theodore Schmitz
Original assignee: Johnson Service Co
Current assignee: Johnson Service Co
Priority date: 1969-08-28
Filing date: 1970-08-28
Publication date: 1974-05-02
Also published as: US3616809A; DE2042754A1; DE2042754C3; CA924645A; GB1325343A; FR2059333A5

Description

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Die Erfindung betrifft eine Fluidmeßeinrichtung, bei der das Signal eines von einer FluidspeisequeUe beaufschlagten Meßfühlers über Widerstände

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in einen Differenzverstärker geleitet und dort mit dem Signal einer Bezugsdruckquelle verglichen wird.

Fluidmeßeinrichtungen dienen der Messung und Umformung physikalischer Meßgrößen, die die Eingangssignale von Regel- oder Steuerkreisen bilden. Die Umformung der physikalischen Meßgrößen in die Parameter der Fluidmeßeinrichtung erfolgt mit Hilfe des Meßfühlers, dessen Ausgangssignal in einen Differenzverstärker mit einem Bezugssignal verglichen wird, wobei die beiden Signale addiert oder subtrahiert werden. Am Ausgang des Differenzverstärkers kann dann das verstärkte Differenzsignal abgenommen und dem Regel- bzw. Steuerkreis zugeführt werden.

Derartige Fluidmeßeinrichtungen sind bekannt (vgl. USA.-Patentschrift 3 461S96). Sie arbeiten allerdings verhältnismäßig langsam und liefern fehlerhafte Ausgangssignale, weil die Funktionen der einzelnen Elemente des Systems durch Temperatur- und Druckschwankungen der Umgebung gestört werden. Ihre Empfindlichkeit ist deshalb begrenzt. Das gilt auch für Ausführungsformen, bei denen Widerstände in Form einer Wheatstone'schen Brückenschaltung zusammengeschaltet sind (vgl. Literaturstelle »Product Engineering« vom 19.5. 1969, S. 112 und 113).

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine-Fluidmeßeinrichtung anzugeben, mit der die von den Meßfühlern aufgenommenen Signale schnell und unbeeinflußt durch Temperatur- und Druckschwankungen in der Umgebung verarbeitet werden. Anders ausgedrückt, soll eine Fluidmeßeinrichtung angegeben werden, die eine Kompensation für Temperatur- und Druckschwankungen der Umgebung und damit eine große Ansprechempfindlichkeit besitzt.

Die erfindungsgemäße Lösung dieser Aufgabe besteht darin, daß zwischen FluidspeisequeUe und Bezugsdruckquelle Abgleichzweige gebildet sind, die durch Anschlußklemmen in je zwei Abschnitte unterteilt sind, die Meßfühler an die Anschlußklemmen angeschlossen und die Anschlußklemmen über den Differenzverstärker miteinander verbunden sind, und daß in den Abschnitten drei Widerstände mit wenigstens einem linearen und einem nichtlinearen Widerstand vorhanden sind, und der erste Widerstand in Serie zu den parallelliegenden beiden anderen Widerständen angeordnet ist.

Diese Fluidmeßeinrichtung arbeitet sehr schnell und störungsfrei, weil durch das Netzwerk der in Abschnitte unterteilten Abgleichszweige und die Anordnung von linearen und nichtlinearen Widerständen im Netzwerk temperatur- und druckbestimmte Störungen aus der Umgebung kompensiert werden. Das Netzwerk kompensiert diese Störungen selbsttätig, weil die Abgleichzweige identisch aufgebaut sind und so gegeneinandergeschaltet sind, daß die Störungen unmittelbar eliminiert werden. Das hat zur Folge, daß der Differenzverstärker auch in seinem empfindlichsten Ansprechbereich noch aussagekräftige Ausgangssignale liefert. Es können also hochempfindliche Differenzverstärker, wie z.B. Prallstrahlmodulatoren, eingesetzt werden, deren Ansprechempfindlichkeit sich voll ausnutzen läßt. Die Linearität in der Kennlinie des Differenzverstärkers können durch entsprechenden Abgleich der nichtlinearen Widerstände im Netz weit ausgeglichen werden, so daß die Übertragungscharakteristik der Fluidmeßeinrichtung über einen weiten Bereich linear ist.

Nach bevorzugter Ausführungsform sollen die

Meßfühler aus laminare Strömung liefernden Widerstandsröhren bestehen. Diese arbeiten in einem weiten Bereich linear.

Eine einfache Ausführungsform ist dadurch gekennzeichnet, daß der lineare Widerstand als Kapillare und der nichtlineare Widerstand als Blende ausgebildet ist.

Zweckmäßigerweise sollte der Differenzverstärker aus einem Prallstrahlmodulator mit zwei einander gegenüberliegenden Düsen bestehen, die mit den Anschlußklemmen verbunden sind. Der Prallstrahlmodulator hat eine extrem hohe Verstärkung und kann daher brauchbare Ausgangssignale erzeugen. Außerdem kann dadurch der Störpegel am Ausgang auf ein Minimum herabgesetzt werden. Ein Prallstrahlmodulator kann auch eine Vielzahl unterschiedlicher Eingänge besitzen, so daß mehrfache Summierungen verwirklicht werden können.

Werden nach weiterer Ausgestaltung der Erfindung an jede Anschlußklemme mehrere Meßfühler angeschlossen, dann besteht die Möglichkeit, unterschiedliche Empfindlichkeiten des Systems zu verwirklichen oder störende Parameter, die die Meßgenauigkeit beeinflussen, zu kompensieren.

Die Empfindlichkeit der Fluidmeßeinrichtung wird verbessert, wenn der Ausgang des Differenzverstärkers über einen weiteren Verstärker mit einem Temperaturregler für das Gehäuse des Meßfühlers verbunden ist. Damit werden Temperaturschwankungen am Meßfühler, die die Qualität der abgegebenen Meßsignale beeinträchtigen, kompensiert.

Die einzelnen Abschnitte lassen sich vorteilhaft zu einer modifizierten Wheatstone'schen Brücke zusammenschalten, wobei wenigstens in einem der mit der Fluidspeisequelle verbundenen Abschnitte ein regelbarer Widerstand zur Sollwerteinstellung vorhanden ist, während die beiden anderen Abschnitte mit eigenen Bezi.gsdruckquellen verbunden sind.

Nach der Erfindung wird eine zuverlässige und genau arbeitende Fluidmeßeinrichtung geschaffen, die gegen Schwankungen der Umgebungstemperatur und des Umgebungsdruckes kompensiert ist und mit der sich eine Vielzahl von zustandsabhängigen Fluidsignalen kombinieren lassen.

Eine bevorzugte Ausführungsform der Erfindung soll nun an Hand der Zeichnungen als Beispiels näher erläutert werden; es zeigt

Fig. 1 ein SchaitUld e^;ner Fluidmeßeinrichtung nach der Erfindung mit verstellbaren Drosseln für die Solhvertregelung,

Fig.2 eineder Fig. 1 ähnlicheSchaltungmitDrucksteuereinrichtungen zum Regeln des Sollwertes, wobei die Schaltung in ein Schleifenregeisystem gelegt ist.

Insbesondere in F i g. 1 ist eine abgeglichene Fluidschaltung 1 mit mehreren Zweigen mit einem Paar gemeinsamer Anschlußklemmen 2 und 3 und einer Ausgangsleitung 4 dargestellt. Bei der dargestellten Ausführungsform der Erfindung sind als Meßfühler temperaturempfindliche Fluidwiderstandselemente5 und 6, beispielsweise Kapillarröhrenwiderstände oder Kapillarröhrendrosseln, die für eine laminare Strömung sorgen, jeweils mit den Anschlußklemmen 2 und 3 verbunden. Das Ausgangssignal an der Leitung 4 ist direkt in Beziehung mit der Temperatur der Umgebung gesetzt, die auf die EIemente5,6 einwirkt, die schematisch in Gehäuseblocks 7 dargestellt sh'd.

Die Schaltung umfaßt ein modifiziertes Wheatstoneorückensystem mit vier ähnlichen Abschnitten 8,9, 10 und 11, wobei die oberen beiden Abschnitte 8 und 9 an einer Verbindungsstelle 12 mit einer Drucklieferleitung 13, beispielsweise e-'ner Luftquelle und die unteren beiden Abschnitte 10 und 11 getrennt an zugeordnete Signale oder Bezugsdruckquellen 14 angeschlossen sind, um den Eingangsfluidspeiseanschluß zu vervollständigen.

Ein summierender Prallstrahlmodulator 15 ist zwischen das andere Paar von Verbindungspunkten der Schaltung 1 zwischengeschaltet, die entsprechend mit den gemeinsamen Anschlußklemmen 2 und 3 für die temperaturempfindlichen Elementes, 6 angschlossen sind und so die gemeinsamen Anschlüsse der Schaltung 1 bilden.

Da jeder der Abschnitte 8,9. 10 und 11 im wesentlichen ähnlich nach der dargestellten Ausführungsform aufgebaut ist. wird der erste Abschnitts genauer beschrieben, wobei die entsprechenden Elemente der anderen drei Abschnitte 9, 10 und 11 durch ähnliche Bezugszeichen identifiziert sind und die verschiedenen Abschnitte durch eirfache, doppelte und dreifache Indizes hervorgehoben sind.

Der Abschnitte der Schaltung 1 umfaß, eine primäre, auf einen Drucksolhvert einstellbare Drossel 16, die schematisch als verstellbare Öffnung angedeutet ist. Beispielsweise kann es sich bei der verstellbaren Drossel 16 um ein Stiftventil mit einem verstellbaren Eingang 17 handeln, wie schematisch durch einen Pfeil angedeutet, um den Druckabfall durch die Öffnungen einzustellen und daher den Speisedruck über den Abschnitt 8 zur Anschlußklemme 2 herzustellen. Die verstellbare Drossel 16 ist in Reihe mit einer die Umgebungstemperatur und den Umgebungsdruck kompensierenden Schaltung gelegt, wobei die notwendige Reihen-Para'Ielkombination linearer Drosseln und Widerstände vorgesehen ist. Die dargestellte Schaltung umfaßt einen Kapiilarröhrenwiderstand 18 parallel zu einer fernen Blende 19. Nach der dargestellten Ausführungsform erfolgt die Sollwerteinstellung in einem oder beiden der Abschnitte 8 und 9, indem die verstellbaren Drosseln 16 und 16' eingestellt werden, die beide gewünschtenfalls fest sein können. Die verstellbare Drossel 16 und 16', beispielsweise das Stiitventil, hat eine lineare und eine nichtlineare Funktion. Wird nur ein Widerstandselement verwendet, so können die Parallelkomponenten in der kompensierenden Schaltung im gegenüberliegenden Abschnitt so gewählt sein, daß die Charakteristik der verstellbaren Drossel innerhalb der Schaltung bei jeder gegebenen Einstellung d^ps Stiftventils kompensiert wird. Um Änderungen zu kompensieren, die mit der Einst<_'':-ng des Ventils zusammenwirken, können Fluidkompensaüonselemcnte in den anderen Abschnitten 10 und 11 vorgesehen s^in.

Nach der dargestellten Ausführungsform sind die beiden Abschnitte 10 und 11 in ähnlicher Weise aufgebaut, um eine Ausgangsschaltung zu erzeugen. Jeder Abschnitt 10 und 11 umfaßt in ähnlicher Weise die notwendige Reihen-Parallelkombination aus linearen und nichtlinearen Widerständen, um die kompensierenden Schaltungen zu schaffen. Die Abschnitte 10 und 11 sind nach der Darstellung an gesonderten Druckquellen 14 angeschlossen, von denen jede eine gemeinsame Bezugseinrichtung, eine aus einer Vielzahl von Bezugseinrichtungen oder ein Signaldruck sein kann. Die Meßfühler 5 und 6 sind in

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ähnlicher Weise an individuelle Druckquellen 14 an- schieben der Prallstellung vom Sammler 22 und re-

geschlosscn, die den gewünschten Bezugs- oder Si- duzicrt den Ausgangsdruck in der Leitung 4 und lie-

gnaldruck an die Meßfühler 5 und 6 geben. fcrt so ein gegenwirkendes Signal.

Die Meßfühlers und 6 können von jeder ge- Ändert sich die Temperatur der Meßfühler5 und 6

wünschten Konstruktion sein, die für die gewünschte 5 in der gleichen oder in unterschiedlichen Richtungen,

laminare Strömung sorgt. Beispielsweise können sie so ändert sich das Ausgangssignal entsprechend der

lineare Kapillarröhreneinrichtungen sein, wie sie ge- algebraischen Summierung der Temperaturänderun-

nauer im Artikel »Fluidic Resistors«, veröffentlicht in gen. Nunmehr kann daher eine direkt wirkende, eine

»Fluidic Quarterly, Bd. 1, Nummer3 vom April umgekehrt wirkende oder eine Einheit mit summier-

1968 durch Paul N. Suren son und Norbert Ί. io tem Ansprechvermögen entsprechend den Ausle-

Schmitz beschrieben wurden. Wie dort beschrie- gungsanforderungcn geschaffen werden,

ben, gibt es für jeden Röhrendurchmesser nur eine Das zweckmäßige Ansprechen eines Meßfühlers 5

Röhreiilänge, die für einen linearen Widerstand für oder 6 kann eingestellt werden, indem die Einstellung

irgendeine gegebene Temperatur sorgt. eines in Reihe geschalteten verstellbaren Wider-

Das eine Ende des Meßfühlers 5 ist mit der Be- 15 Standselementes 23 geändert wird, um die relativen

zugsquelle 14 und das gegenüberliegende Ende des Empfindlichkeiten der Elemente zu verstellen.

Meßfühlers 5 mit der gemeinsamen Anschluß- Die Druckquellc 14 kann, wie vorher erwähnt,

klemme 2 der Brückenschaltung 1 verbunden. Der eine gemeinsame Signalquelle oder individuelle

Meßfühlern ist in ähnlicher Weise mit der Anschluß- Fluidi.ignalquellen für die jeweiligen Abschnitte der

klemme 3 verbunden. Die Meßfühler 5 und 6, die auf 20 Fluidschaltung bilden. Beispielsweise kann ein

der gegenüberliegenden Seite der Schaltung 1 darge- Fcuchtigkeits-Druck-Signalvvandler an ein oder meh-

stellt sind, werden hierdurch mit den unabhängigen rere der Abschnitte der Schaltung angeschlossen wer-

und abhängigen Widerständen des summierenden den und dadurch ein Ausgangssignal proportional

Prallstrahlmodulators 15 verbunden, »ler über die zum Feucluigkeitszustand liefern. Natürlich kann je-

Anschlußklemmen 2 und 3 gelegt ist. Der summie- 25 der andere Zustand, der sich in einem Druck oder in

rende Prallstrahlmodulator 15 ist schematisch so einer Temperatur umwandeln läßt, durch die Schal-

dargcstellt, daß er ein Paar sich gegenüberstehender tung <iurch die Verwendung der Drucksignalverbin-

Düsen 20 und 21 aufweist, die für ein Paar nicht dar- dung oder der temperaturempfindlichen Elemente er-

»cstelltcr Prallströme sorgen. Ein Sammler 22 sam- mittelt werden.

melt das aus den Prallströmen resultierende Fluid 30 Die dargestellte Brückenschaltung nach F i g. 1 und erzeugt insbesondere einen Ausgang, der in Be- kann, wobei die verschiedenen Meßfühler an sich geziehung zu der Stellung der Prallströme bezüglich des genübcrliegende Seiten angeschlossen sind, natürlich Sammlers 22 steht. Der summierende Prallstrahimo- mit nur einem oder mehreren direkt wirkenden Meßdulator 15 bildet so einen Signalkomparator und er- fühlein mit nur einem oder mehreren entgegengesetzt zeugt einen Ausgang, der in Beziehung zur algebra- 35 wirkenden Meßfühlern oder mit irgendeiner Kombiischen Summe der Signale an den AnschluBklcm- nation hiervon verbunden sein. Weiterhin sind nach men 2 und 3 steht. Die Beschreibung einer bevorzug- der Darstellung die zustandsempfindlichen Meßfühten Konstruktion und die Theorie der Arbeitsweise ler 5 und 6 parallel zu den Primärwiderständen der des summierenden Modulators ist genauer in der Abschnitte 8,9, 10 und 11 gelegt; somit können die USA.-Patentschrift 3 272 215 auseinandergesetzt. 40 Primiirwidcrstände den Meßfühler bilden. Die Emp-Beim Vorhandensein von Strömung durch die findlichkeit für Umgebungsdruck und -temperatur ir-Brücke bei Sollwerttemperatur stellt sich ein be- gendeincr Brückenschaltung 1 kann ohne weiteres stimmter Ausgang an der Leitung4 ein. Wenn die eingestellt werden, indem die relativen Werte der Temperatur irgendeines oder beider Meßfühler 5 kompensierenden Widerstände verändert werden und 6 sich verändert, so ändert sich der Druck an der 45 oder indem Anzahl und Anschluß einer Reihe und entsprechenden Anschlußklemme 2 und 3 mit einer oder paralleler Widerstände verändert werden. Die resultierenden Änderung an der Leitung 4. Empfindlichkeit sowohl für Druck wie für Tempcra-

Der temperaturempfindliche, mit der Düse 20 tür kann weiter modifiziert werden, indem r^:ne Komvcrbundcne Meßfühler5 sorgt für ein direkt wirken- bination von linearen oder nicht linearen Widerstandes Ansprechen, wobei der Fluidausgangsdnick in 5° den verwendet wird. Es wurde gefunden, daß durch der Leitung 4 steigt, wenn die Temperatur in der geeignete Einstellung der Widerstände die Empfind-Umgebung des Meßfühlers 5 steigt. Mit zunehmender lichkeiten gleich, kleiner oder größer als Null geTemperatur des jeweiligen Gehäuses 7 nimmt der macht: werden können. Weiterhin kann die Umge-Widerstandswert des entsprechenden Meßfühlers 5 bungstemperaturempfindlichkeit unabhängig von der zu. Dieser widersetzt sich im wesentlichen der Strö- 55 Umgebungsdruckempfindlichkeit über einen begrenzmung von der Anschlußklemme 2 zur Bezugsdruck- ten Bereich verändert werden. Im allgemeinen wird quelle 14 und erhöht dadurch das Eingangssignal an mit den parallelliegenden Meß- oder Fühlerwiderder unabhängigen Düse 20 des summierenden Prall- ständen die Ausgangsdruckänderung bezüglich der Strahlmodulators 15. Als Ergebnis verschiebt sich die ermittelten Temperaturänderung für jeden Wider-Prallage gegen den Sammler 22 und das Ausgangssi- 60 stand etwa im umgekehrten Verhältnis zum Widergnal nimmt zu und erzeugt ein direkt wirkendes An- standswert des jeweiligen parallelgeschalteten Meßsprechen. Widerstandes liegen.

Sollte andererseits die Temperatur in der Nähe Weiterhin wird mit zunehmender Anzahl von pareines Meßfühlers 6 zunehmen, so stellt sich eine ent- ausgeschalteten Elementen die Empfindlichkeit gesprechende Strömungswirkung bei einem gesteigerten 65 gen eine Änderung in einem Element entsprechend Druck an der gegenüberliegenden Verbindungs- vermindert werden, da die Änderung ein kleinerer stelle 3 ein. die an die abhängige Düse 21 des Modu- Teil des an der Verbindungsstelle auftretenden Gelators 15 aegeben wird. Dies führt zu einem Ver- samtwiderstandes ist.

Die Schaltung kann auch verwendet werden, um einen direkten Signalausgang zu liefern od^r sie kann in ein Schleifcnregelsystem, wie in F i g. 2 dargestellt, eingeschlossen sein.

Nach F i g. 2 ist eine Brückenschaltung 24 vorgesehen, die ähnlich der in F i g. 1 gezeigten ist, jedoch mit Druckreglern an Stelle der verstellbaren Drosseln nach F i g. 1 arbeitet. Die Schaltung 24 ist nach F ι g. 2 in die Verstärkerschleife eines Regelsystems ium Regeln der Umgebung7 in der Nähe eines druckme«cnden Meßfühlers 6 eingeschaltet. Entsprechende Meßfühler in den Fig. I und 2 sind daher mit ähnlichen Bezugszeichen versehen.

Insbesondere nach F i g. 2 sind Druckregler 25 und 25' in die jeweiligen Abschnitte 8 und 9 eingeschalte:. Der Druckregler 25 ist verstellbar, um die Einstellung des Sollwertes des Systems zu ermöglichen. Eine kompensierende Drossel 26 ist nach der Darstellung in Reihe zwischen die Regler 25 und den Pritnärividerstand 18 geschaltet. Eine kompensierende Blende 19 ist parallel zum Primärwiderstand 18, wie in F i g. 1 gezeigt, geschaltet.

Nach der in F i g. 2 dargestellten Ausführungsform ist ein einziger, direkt wirkender temperaturempfindlicher Meßfühler 5 mit der Anschlußklemme 2, und ein entgegengesetzt wirkender temperaturempfindlicher Meßfühler 6 ist mit der Anschlußklemme 3 verbunden.

Der Ausgang des summierenden Prallstrahlmodulators 15 ist seinerseits mit einem Temperaturregler 27 irgendeiner geeigneten Konstruktion eingeschaltet und mil .-iner geeigneten Konditionierungseinrichtung 28 verbunden, die die Temperatur des umgebenden Gehäuses 7 für den Meßfühler 5 modifiziert. Der Ausgang des Reglers 27 ist derart, daß die Temperatur der Umgebung auf den Sollwert durch die Konditionierungseinrichtung 28 in Abhängigkeit von Abweichungen der Temperaturen in den verschiedenen Gehäusen 7 von einem gewünschten Niveau rückgcstellt wird.

So entspricht die Arbeitsweise der Schaltung grundsätzlich der vorher beschriebenen.
Im Betrieb liefert, wenn die Temperatur der geregelten Temperatur variiert, der Regler 27 einen Ausgang, wodurch die Tempratur auf ihren Sollwert rückgeführt wird. Sollte die Temperatur in der Umgebung des Meßfühlers 5 auf der anderen Seile der

ίο Schaltung! zunehmen, so nimmt auch der Druck im summierenden Prallstrahlmodulator 15 entsprechend zu. Der gesteigerte, an den Regler 27 gelegte Ausgangsdruck sorgt dafür, daß der Reglerausgangsdruck zunimmt und dadurch die Temperaturkonditionierungseinrichtung veranlaßt, die den Meßfühler 6 umgebende Temperatur zu erhöhen. Die Temperatur wird gesteigert, bis das Fehlersignal über den Anschlußklemmen 2,3 des Modulators 15 sehr klein entsprechend der bekannten Funktionsversüirkcr-

2u theorie wird. So wird die neue, den Meßfühler 6 umgebende Temperatur erhöht. Allgemein wird dies als Meister-Unte.rmeisterregelung bezeichnet.

Wie nach der Ausführungsform der F i g. 1 können Anzahl und Anordnung der Meßfühler 5 und 6 vari-

:s5 iert werden, um jede gewünschte direkte Wirkung, Umkehrwirkung oder differentielle Wirkung in Abhängigkeit auf ein oder mehrere Temperaturbedingungen zu liefern.

Im Hinblick auf die wesentliche Ähnlichkeit in

;|o den Operationen der beiden Schaltungen wird üie verwendete Schaltung im allgemeinen der Verfügbirkeit und Oualität der Bauteile zugeordnet. Die Verwendung 'lies Schaltkreises mit Drosseln ist in :.cwisser Weise mehr einer Änderung ausgesetzt. ^i;e

j5 vom Stiftventil und Drosseländerungen herrüh :r. Dagegen ist der Doppelregler mehr den Änderung :ii ausgesetzt, die normalerweise in einer Fluiddru^- stcuereinrichtung auftreten.

Hierzu 1 Blatt Zeichnungen

409518/202

Claims

Patentansprüche:

1. Fluidmeßeinrichtung, bei der das Signal eines von einer FluidspeisequeUe beaufschlagten Meßfühlers über Widerstände in einen Differenzverstärker geleitet und dort mit dem Signal einer Bezugsdruckquelle verglichen wird, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen FluidspeisequeUe und Bezugüclruckquelle (14) Abgleichzweige (8,9; 9, 11) gebildet sind, die durch Anschlußklemmen (2,3) in je zwei Abschnitte (8, 10; 9, 11) unterteilt sind, die Meßfühler (5,6) an die Anschlußklemmen (2,3) angeschlossen und die Anschlußklemmen (2,3) über den Differenzverstärker (15) miteinander verbunden sind, und daß in den Abschnitten (8,9; 10, 11) drei Widerstände (16,18, 19) mit wenigstens einem linearen (18) und einem nichtlinearen Widerstand (19) vorhanden sind, end der erste Widerstand (16) in Serie zu den parallelliegenden beiden anderen Widerständen (18, Ii¹) angeordnet ist.

2. Fluidmeßeinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Meßfühler (5,6) aus laminare Strömung liefernden Widerstandsröhren bestehen.

3. Fluidmeßeinrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß der lineare Widerstand (18) als Kapillare und der nichtlineare Widerstand (19) als Blende ausgebildet ist.

4. Fluidmeßeinrichtung nach den Ansprüchen 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Differenzverstärker (15) aus einevn Prallstrahlmodulator mit zwei einander gegenüberliegenden Düsen (20, 21) besteht, die mit den Anschlußklemmen (2, 3) verbunden sind.

5. Fluidmeßeinrichtung nach den Ansprüchen 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß an jede Anschlußklemme (2,3) mehrere Meßfühler (5,6) angeschlossen sind.

6. Fluidmeßeinrichtung nach den Ansprüchen 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß der Ausgang des Differenzverstärkers (15) über einen weiteren Verstärker (27) mit einem Temperaturregler (28) für das Gehäuse (7) des Meßfühlers (6) verbunden ist.

7. Fluidmeßeinrichtung nach den Ansprüchen 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Abschnitte (8,9, 10, 11) zu einer modifizierten Wheatstone'schen Brücke zusammengeschaltet sind, und daß wenigstens in einem der mit der FluidspeisequeUe verbundenen Abschnitte (8,9) ein regelbarer Widerstand (25) zur Sollwerteinstellung vorhanden ist, während die beiden anderen Abschnitte (10, 11) mit eigenen Bezugsdruckquellen (14) verbunden sind.