DE204182C - - Google Patents
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- G01N31/00—Investigating or analysing non-biological materials by the use of the chemical methods specified in the subgroup; Apparatus specially adapted for such methods
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Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE204182T |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DE204182C true DE204182C (esLanguage) |
Family
ID=5780523
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DENDAT204182D Active DE204182C (esLanguage) |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| DE (1) | DE204182C (esLanguage) |
| FR (1) | FR386294A (esLanguage) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4872947A (en) * | 1986-12-19 | 1989-10-10 | Applied Materials, Inc. | CVD of silicon oxide using TEOS decomposition and in-situ planarization process |
| US4892753A (en) * | 1986-12-19 | 1990-01-09 | Applied Materials, Inc. | Process for PECVD of silicon oxide using TEOS decomposition |
-
0
- DE DENDAT204182D patent/DE204182C/de active Active
-
1908
- 1908-01-16 FR FR386294A patent/FR386294A/fr not_active Expired
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4872947A (en) * | 1986-12-19 | 1989-10-10 | Applied Materials, Inc. | CVD of silicon oxide using TEOS decomposition and in-situ planarization process |
| US4892753A (en) * | 1986-12-19 | 1990-01-09 | Applied Materials, Inc. | Process for PECVD of silicon oxide using TEOS decomposition |
| USRE36623E (en) * | 1986-12-19 | 2000-03-21 | Applied Materials, Inc. | Process for PECVD of silicon oxide using TEOS decomposition |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| FR386294A (fr) | 1908-06-09 |
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