DE2033954A1 - Massenspektrometer Einlaßsystem - Google Patents

Massenspektrometer Einlaßsystem

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DE2033954A1 DE19702033954 DE2033954A DE2033954A1 DE 2033954 A1 DE2033954 A1 DE 2033954A1 DE 19702033954 DE19702033954 DE 19702033954 DE 2033954 A DE2033954 A DE 2033954A DE 2033954 A1 DE2033954 A1 DE 2033954A1
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    • H01J49/00Particle spectrometers or separator tubes
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Description

  • Massenspektrometer-Einlaßsysteni Die Erfindung betrifft ein nach dem Prinzip des einstufigen Düsenseparators aufgebautes Einlaßsystem für ein Massenspektrometer. Das Einlaßsystem bildet zusammen mit dem Massenspektrometer einen substanzspezifischen Detektor für Analysengeräte.
  • In Forschung und Technik werden zur Lösung physikalischer und physikalisch-chznischer Fragestellungen Gaschromatographen, Differentialthermoanalysatoren, thermogravimetrische Apparaturen und Infrarotspektrometer in steigendem Umfang als Analysengeräte eingesetzt. Bei all diesen Geräten fehlt aber in der Regel eine substanzspezifische Anzeige der zur Untersuchung gelangenden Substanzen. So werden zwar im Gaschromatographen Substanzgemische getrennt, jedoch keine Identifizierung der getrennten Fraktionen durchgeführt bzw. kein Nachweis erbracht, ob die Trennung vollständig erfolgt ist. Bei der Differentialthermoanalyse werden Enthalpieänderungen beim Aufheizprozess registriert; Dabei erhält man jedoch keine Information, welchen Mikroprozessen diese Enthalpieänderungen zuzuordnen sind. So kann man zum Beispiel bei der Differentialthermoanalyse von teilkristallinen Hochpolymeren nicht entscheiden ob die Enthalpieänderungen Konformationsänderungen (Aufschm kristalliner Bereiche) zuzuschreiben sind, oder zum Austreiben von Lösungsmittel- oder Monomerresten benötigt werden. Bei thermogravimetrischen Analysengeräten werden Gewichtsänderungen beim Aufheizvorgang aufgezeichnet, Uber die Art der abgespaltenen Substanzen wird jedoch ebenfalls keine Aussage getroffen. Mit Hilfe von Infrarotspektro metern können aufgrund der registrierten typischen IR-Schwingungsbanden nur Rückschltisse auf das Vorhandensein bestimmter Atomgruppen, Atombindungen.oder Atomkonfigurationen im Molekül gezogen werden.
  • Es ist bekannt, bei den obengenannten Analysengeräten ein.
  • Massenspektrometer als substanzspezifischen Detektor zu verwenden. Das Massenspektrometer ermöglicht nämlich durch die Messung des Molekulargewicht es und/oder charakteristischer Atomgruppen bzw. Atome, wie sie beim Ionisierungsprozeß in der Ionenquelle des Massenspektrometers entstehen, eine substanzspezifische Detektion, d.h. eine Identifizierung der eingegebenen Substanzen oder Substanzgemische.
  • Speziell für die Kombination von Gaschromatographie-Massenspektroskopie liegen im wesentlichen zwei Aufgabengebiete vor: 1. Im Rahmen der Konstitutionsaufklärung dient der Gaschromatograph ledigklich als Vortrenner zur Gewinnung reinster Ausgangssubstanzen. Die eigentliche Strukturaufklärung wird mit dem nachgeschalteten hochauflösenden Massenspektrometer durchgeführt.
  • 2. Bei analytischen Aufgaben bleibt der Gaschromatograph in seiner analytischen Grundfunktion erhalten. Ihm wird ein Massenspektrometer als substanzepezifischer Detektor zur Lösung folgender Aufgaben nachgeschaltet: a) Identifizierung unbekannter gaschromatographischer Fraktionen.
  • b) Prüfung, ob in gaschromatographisch einheitlich erscheinenden Fraktionen eine oder mehrere ungetrennte Fraktionen enthalten sind.
  • c) Aufklärung von sogenannten tailing-Effekten.
  • d) Optimale Wahl der Umschaltzeiten bei der präparativen Gaschromatographie.
  • Besonders kritische Anforderungen werden in den analytischen Laboratorien der chemischen, insbesondere der petrochemischen Industrie gestellt. Die unter 2a) bis d) erwähnten Aufgaben sollen hier in möglichst kurzer Zeit gelöst werden. Verwendet man zu diesem Zweck eine fest gekoppelte Gaschromatographie-Massenspektrometer-Einheit, wie sie kommerziell verfügbar ist, so führt dies bei der Produktionskontrolle zu untragbar langen Wartezeiten. Der Gaschromatograph muß nämlich bei jeder neuen Anwendung an einem BetrieMskontroll-Gaschromatographen hinsichtlich der Säule, der festen und der flüssigen Phase, der Temperatur und des Trägergases erst auf jene Bedingungen eingestellt werden, wie sie an dem Betriebskontroll-Gaschromatographen vorliegen. Nur unter diesen Voraussetzungen können dann vergleichbare Ausgangs- und Meßbedingungen (gleichartige Auftrennung der Fraktionen und bekannte Retentionszeiten) ereicht werden.
  • Eine weitere Schwierigkeit bei der Kopplung von Analysengeräten mit Massenspektrometern besteht darin, daß die verschiedenen Analysengeräte mit unterschiedlichen Trägergassorten und unterschiedlich großen Gasmengenflüssen betrieben werden müssen, während die herkömmlichen Einlaßsysteme an Massenspektrometern jeweils nur für eine Gasart und einen bestimmten Gasmengenfluß optimal angepaßt sind. Ähnliche Schwierigkeiten ergeben sich auch bei der Verwendung mehrerer gleichartiger Analysengeräte, wenn diese von verschiedenen Herstellern stammen. Diese Anforderungen treten insbesondere in Laboratorien auf, in denen ein Massenspektrometer als substanzspezifischer Detektor wechselwelee schnell an Analysengeräte unterschiedlichen Typs angekoppelt werden oll.
  • Die Aufgabe der Erfindung besteht nun darin9 ein Einlaßsystem für Massenspektrometer zu entwickeln, so daß ein schneller Anschluß an Analysengeräte unterschiedlichen Typs ermöglicht wird. Außerdem soll dieses System bei unterschiedlichen Trägergasarten und Trägergasmengenm flüssen jeweils optimal angepaßt werden können.
  • Diese Aufgabe wird dadurch gelöst, daß als Einlaßsystem ein einstufiger Düsenseparator verwendet wird, bei dem der Abstand der Eintrittsdüse von der Abschälerdüse einstellbar ist.
  • Vorteilhaft is t der Gasdruck im Zwischenraum zwischen Eintrittsdüse und Abschälerdüse mit Hilfe eines regelbaren Ventiles ebenfalls einstellbar, das zwischen Düsenseparator und Vakuumpumpe angeordnet ist. Außerdem ist an dem Düsenseparator zusätzlich ein regelbares Eckventil angeschlossen.
  • Gemäß einer besonders zweckmäßigen Ausführung der Erfindung bildet der Düsenseparator zusammen mit einem Kleinmassenspektromet er, vorzugsweise einem Ho chfrequenzmass enspektrometer, dem Vakuumsystem und den dazugehörigen Meß- und Registriergeräten eine kompakte und leicht bewegliche Baueinheit. Das Pumpensystem fiir das Massenspektrometer besteht dabei zweckmäßig aus einer Diffusionspumpe mit Peltierbaffle.
  • Gemäß einer alternativen Ausführung besteht das Pumpensystem für das Massenspektrometer aus einer schwingungsfrei gelagerten Turbomolekularpumpe, die einen internen, mit einem Peltierelement versehenen Kühlwasserkreislauf zur Kühlung der Rotorlager besitzt.
  • Die besonderen Vorteile der Erfindung liegen in der hohen Flexibilität und Anpassungsfähigkeit des substanæspezifischen Detektors an die beschriebenen Analysengeräte.
  • Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung ist in der Zeichnung dargestellt und wird im folgenden näher beschrieben. Es zeigen: Figur 1 den Düsenseparator, Figur 2 den Einbau des Düsenseparators in das Vakuumsystem, Figur 3 den Gesamtaufbau des substanzspezifischen Detektors und Figur 4 ein Beispiel zur Erläuterung der Arbeitsweise des substanzspezifischen Detektors in Verbindung mit einem Gaschromatographen.
  • Im folgenden wird zunächst der Aufbau des Ddsenseparators beschrieben. Das aus der Eintrittsdüse 1 mit sehr hoher Geschwindigkeit in den Zwischenraum 2 austretende Gasgemisch entmischt sich in bekannter Weise in diesem Raum.
  • Das Gasgemisch besteht dabei aus dem Trägergas und den in ihm enthaltenen Gasen bzw. Dämpfen, die zur Messung gelangen sollen. Die Entmischung im Zwischenraaam 2 beruht darauf, daß die leichten Gaskomponenten (Trägergase, Helium oder Wasserstoff) schnell nach allen Seiten diffundieren, die schweren Gase (Meßgase bzw. dämpfe)dagegen relativ eng gebündelt bleiben. Die Abschälerdüse 3 nimmt daher bevorzugt die zu messenden Gase bzw. Dämpfe auf. Die aufgenommene Menge wird durch den Durchmesser und Abstand der Düsen 1 und 3, den Druck im Raum 2 und durch die Druckverhältnisse im Vakuumsystem, im Massenspektrometer und im Analysengerät bestimmt.
  • Der gegenseitige Abstand der Düsen 1 und 2 ist mit Hilfe der von außen zugänglichen Schrauben 4 in gewissen Grenzen einstellbar, die durch die Elastizität des zur Abdichtung dienenden Vitilanringes 5 gegeben sind. Diese Konstruktion bietet den Vorteil, daß die Düsen 1 und 2 auch während des Betriebes relativ zur Separatorlängsachse zentriert werden können.
  • Die Zentrierung erfolgt dabei in einfacher Weise durch ungleichmäßige Einstellung der Schrauben 4.
  • Der Düsenseparator ist mit den drei Anschlußstutzen 6,7 und 8 versehen. Der Anschluß 6 führt zum Massenspektrometer, der Anschluß 7 zum Vakuumsystem und der Anschluß 8 zum Analysengerät. Diese Anschlußleitung besteht z.B. aus einer nahtlosen beheizbaren Stahlkapillare, die mittels einer Schnellschlußkupplung (z.B. swagelok-Kupplung) den Anschluß an das betreffende Analysengerät ermöglicht. Zwischen Massenspektrometer und Düsenseparator 9 befindet sich ein einstellbares Leckventil 10 und ein zusätzliches Absperrventil 11 (Figur 2), Mit Hilfe des Leckventiles 10 läßt sich ein optimaler Druck in der Ionenquelle cles Massenspektrometers einregulieren.
  • Der günstigste Druckbereich liegt e.cwa zwischen 10-5 und 10-6 Torr. Das Absperrventil 11 ermöglicht einen fortlaufenden Betrieb des Massenspektrometers, auch dann, wenn infolge von Störungen oder Umbauten die anderen Systeme stillgelegt sind. An den zum Analysengerät führenden Anschluß 8 schließ sich die Einlaßkapillare 12 an. Das nich-t vom Massenspektrometer aufgenommene Gas wird huber den Anschluß 7 und ein regelbares Ventil 13 vom Vak.uumsystem abgesaugt. Der gesamte Düsenseparator 9 ist einschließlich der Ventile 10, 11 und 13, entsprechend den Separatorarbeitstemperaturen und den Vakuumausheizbedingungen bis etwa 200°C ausheizbar.
  • Die optimale Anpassung des Einlaßsystemes bei konstanter Pumpleistung erfolgt mit Hilfe des Regelventiles 18 und der Abstandseinstellung der Düsen 1 und 2. Eingehende Messungen haben gezeigt, daß diese konstruktiv recht einfache Lösung zu befriedigenden Separatorleistungen führt Die oeparatorleistung ist dabei durch die erzielbare Anreicherung (Volumenverhältnis des Meßgases zum Trägergas vor und nach dem Separator), die Ausbeute (prozentuale Menge, des in die Ionenquelle eintretenden Meßgases, bezogen auf die vom Analysengerät kommende Gasmenge) und die Massendiskriminierung (bevorzugte Anreicherung der schweren Meßgase bzw. -dämpfe gegenüber den leichteren) in dem anstehenden Gasmengenflußbereich von 2 bis 1()0 ml min definiert.
  • Es ist naheliegend, bei höheren Betriebstemperaturen oder zur Erzielung größerer Düsenabstandsänderungen anstelle des Vitilandichtungsringes eine flexible Metallmembran oder einen dehnbaren Metallfederungskörper zu verwenden.
  • In Figur 3 ist der prinzipielle Gesamtaufbau des substanzspezifischen Detektors dargestellt. Die elektrischen Bau einheiten sind in einem Meßschrank auf einem fahrbaren Untersatz 14 untergebracht. Ganz !l)en befindet sich der Oszillograph 15 zur Sichtkontrolle des Massenspektrums.
  • Unmittelbar darunter liegt die Bedienungseinheit 16 des Massenspektrometers. Hier werden der Massenbereich, die EinpfI ndlichke-I t, die Auflösung und die Abtas tgeschwiudlgkeit des Spektrums eingestellt Im Einschub 17 ist ein Schnellschreiber (z .B. ein Lichtpunktlinienschreiber) untergebracht.
  • Ein weiterer Linienschreiber im Einschub 19 dient zur Aufzeichnung des zeitlichen Verlaufs des Totalionenstroms.
  • Die Schaltung für die NullpunktunterdrXickung des Linienschreibers 18 ist ebenfalls im Einschub 19 antergebracht .
  • Dagegen erfolgt die Unterdrückung der Trägergasanzeige im Einschub 16. Zu diesem Zweck wird der Totalionenstrom erst oberhalb des Massenladungsquo tienten des Trägergases ree gistri,ert. Zum Beispiel beträgt der Massenladungsquotient m m für Helium e = 4 und für Wasserstoff e = 2. Die Registrierung setzt dann erst oberhalb dieser Werte ein. Der Einschub 19 enthält auch eine Umscblatvorrichtung zur wahlweisen Registrierung de Totalionenstromes und des Massenspektrums.
  • Bei der Registrierung- des Nassenspektrums wird der im Einschub 16 vorgewählte Massenbereich mit einstellbarer scan-Geschwindigkeit, Empfindlichkeit und Auflösung mittels des Schnellschreibers im Einschub 17,gegebenenfalls in mehreren Spuren mit abgestufter Empfindlichkeit,registriert. Im Einschub 20 befinden sich die allgemeinen Bedienungs- und Anzelgeelemente für das Vakuumsystem, der Heizregler für die getrennte Beheizung von Einlaßkapillare 9 Einlaßteil, Ionenquelle und Sekundärelektronenverviel.facher 9 sowie die Hauptschalter und Sicherungen. Im Einschub 21 ist die zweistufige Vorpumpe für das Einlaßsystem und die zweistufige Vorpumpe für die Diffusionspumpe untergebracht.
  • Seitlich am Meßschrank ist die luftgekühlte Diffusionspumpe 22 angebracht, die huber das luftgekühlte Peltierbaffle 23 mit dem kombinierten System 24 Ionenquelle-Iiochvakuummeßrdhre-Düsenseparator verbunden ist. Daran schließt sich das Vierpolsystem 25 eines Quadrupolmassenspektrometers an. Zur lonenanzeige dient ein Sekundärelektronenvervielfacher 26 oder ein Faraday-Auffänger mit nachgeschaltetem Elektromet-erverstärker 27. Das Quadrupolmassenspektrometer besitzt bei hoher Empfindlichkeit eine gute Auflösung in dem hier vorgesehenen Massenbereich. Außerdem ist es infolge seines kompakten Aufbaues und geringen Gewichtes besonders gut als Einbausystem geeignet.
  • Neben der Verwendung luftgekühlter Diffusionspumpen hat sich wegen der volligen Ölfreiheit auch der Einsatz von Turbomolekularpumpen auf der Hochvakuumseite bewährt. Allerdings bedürfen die Rotorlager eier Wasserkühlung. Hier genügt ein interner Kühlwasserkreislauf, in dem als Wärmeaustauscher ein Peltier-Kühlelement eingebaut ist. Wegen der auftretenden Schwingungen muß allerdings bei der Verwendung von Turbomolekularpumpen zusätzlich auf eine schwingungsisolierte lagerung der Pumpe geachtet werden.
  • Zur Erläuterung der Arbeitsweise des substanzspezifischen Detektors in Kopplung mit einem Gaschromatographen ist in Figur 4 ein Ausschnitt aus einem Totalionenstromdiagramm aufgezeichnet.
  • Die beiden Banden A und B charakterisieren zwei vom Gaschromatographen getrennte Fraktionen. An den mit a, b, c,d und e bezeichneten Stellen wurden die Massenspektren der jewsKls in diesem Augenblick in der Ionenquelle befindlichen Eluate im vorgewählten Massenbereich registriert. Stimmen die Massenspektren von a, b und c überein, so liegt bei A eine einheitliche Fraktion vor'. Die Massenspektren können dann direkt zur Identifizierung der Substanz ausgewertet werden. Ist dagegen das Massenspektrum an der Stelle a von dem Massenspektrum an der Stelle c vers-chieden, so liegen zwei oder mehrere ungetrennte Substanzen in der Fraktion A vor. Auch hier kann dann nach einem speziellen Auswerteverfahren eine Identifizierung der Substanzen vorgenommen werden. In der Fraktion B zeigt das Diagramm einen unsymmetrischen Verlauf.
  • Zur Klärung, ob es sich um einen tailing-Effekt handelt oder ob in der Fraktion B zwei schlecht getrennte Substanzen vorliegen, werden an den Stellen d und e Massenspektren registriert und ausgewer-tet.

Claims (6)

Paten-tansprtiche:
1. Einlaßsystem für ein Massenspektrometer als substanzspezifischer Detektor1 für Analysengeräte, bestehend aus einem einstufigen Düsenseparator, dadurch gekennzeichnet, daß der Abstand der Eintrittsdüse (1) von der Abschälerdüse (3) einstellbar ist.
2. Sínlaßsystem nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Gasdruck im Zwischenraum zweischen-Ein-trittsdüse (1) und Abschälerdüse (3) mit Hilfe eines zwischen Düsenseparator (9) und Vakuumpumpe angeordneten regelbaren Ventiles (13) einstellbar ist.
3. Einlaßsystem nach Anspruch 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß an den Düsenseparator ein regelbares Leckventil (1C) angeschlossen ist.
4. Einlaßsystem nach Anspruch 1 bis 3, dadurch gekennzeichrlet, daß der Düsenseparator (9) zusammen mit einem Kleinniassenspektrometer (25), vorzugsweise einem Hochfrequenzmassenspektrometer , dem Vakuumsystem (21,22,23) und den dazugehörigen Meß-und Registriergeräten (15,16,17,18b19,20) eine kompakte und leicht bewegliche Baueinheit bildet.
5. Einlaßsystem nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß das Pumpensystem für das Massenspektrometer aus einer luStgekühlten Diffusionspumpe (22) mit Peltierbaffle (23) besteht.
6. Einlaßsystem nach Anspruch 4, dadurch- gekennzeichnet, daß das Pumpensystem für das Massenspektrometer aus einer schwingungsfrei gelagerten Turbomolekularpumpe besteht, die einen internen, mit einem Peltierelement versehenen Kühlwasserkreislauf zur Kühlung der Rotorlager besitzt.
L e e r s e i t e
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DE2033954B2 DE2033954B2 (de) 1975-06-19
DE2033954C3 DE2033954C3 (de) 1976-01-29

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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WO1997036177A1 (de) * 1996-03-27 1997-10-02 Balzers Aktiengesellschaft Anordnung zum verbinden eines tiefdruckeinganges eines gasanalysegerätes

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1997036177A1 (de) * 1996-03-27 1997-10-02 Balzers Aktiengesellschaft Anordnung zum verbinden eines tiefdruckeinganges eines gasanalysegerätes
US6310340B1 (en) 1996-03-27 2001-10-30 Unaxis Balzers Aktiengesellschaft Arrangement for connecting a low-pressure inlet of a gas analyzer

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