DE202012002333U1

DE202012002333U1 - Antriebsvorrichtung für den Substrattransport in einer Vakuumbehandlungsanlage

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Publication number: DE202012002333U1
Application number: DE201220002333
Authority: DE
Original assignee: Von Ardenne Anlagentechnik GmbH
Current assignee: Von Ardenne Asset GmbH and Co KG
Priority date: 2012-03-05
Filing date: 2012-03-05
Publication date: 2012-03-22
Anticipated expiration: 2022-03-06

Abstract

Antriebsvorrichtung (1) für den Substrattransport (13) in einer aus Anlagenkammern (16) bestehenden Vakuumbehandlungsanlage (15), wofür die Vakuumbehandlungsanlage (15) ein Transportmittel aufweist, das Transportmittel in mindestens zwei Transportbänder (2, 2') unterteilt ist, dem Transportband (2) mindestens zwei Transportrollen (12) dadurch zugehörig sind, dass diese Transportrollen (12) aufgrund einer mechanischen Kopplung gleiche Drehrichtung und -geschwindigkeit aufweisen, wobei die Drehbewegung der Transportrollen (12) für den Transport (13) der Substrate in der Anlagenkammer (16) sowie in der Vakuumbehandlungsanlage (15) vorgesehen ist, wobei eine Wand (9) der Vakuumbehandlungsanlage (15) vorgesehen ist, um Innen (10) mit subatmosphärischen Druck und Außen (11) mit atmosphärischen Druck voneinander zu trennen, wobei einer Transportrolle (12) Innen (10) jeweils ein Transportrad (3) Außen (11) zugeordnet ist und das Transportrad (3) mit einer Transportwelle (4) zur Übertragung der Drehbewegung auf die Transportrolle (12) vorgesehen ist, wobei die Antriebsvorrichtung (1) mindestens ein Antriebsmittel (14), mindestens...

Description

Die Erfindung betrifft eine Antriebsvorrichtung für den Substrattransport in einer Vakuumbehandlungsanlage. Dabei ist die Antriebsvorrichtung für die Übertragung einer Drehbewegung von ein oder mehreren Antriebseinheiten auf Transportrollen vorgesehen. Der Fokus dieser Lösung liegt auf dem variablen Gruppieren von Transportrollen und Antriebseinheiten, was an einer aus austauschbaren Modulen bestehenden Vakuumbehandlungsanlage von Vorteil ist.
Es besteht eine hier genannte Vakuumbehandlungsanlage aus mehreren Anlagenkammern. Bei der Anlagenkammer handelt es sich um einen mechanisch stabilen Behälter, der subatmosphärischen Druck im Inneren zulässt. Im überwiegenden Teil einer im Betrieb befindlichen Vakuumbehandlungsanlage herrscht Vakuum vor.
Zur Vakuumbehandlung gehören allgemein Verfahren zum Reinigen des Substrates, zum Erwärmen oder Abkühlen des Substrates und Verfahren zum Auf- und/oder Abtragen von Schichten auf ein bzw. von einem Substrat. Beispiele für solche Verfahren sind Plasmaätzen, Tempern, Magnetronsputtern, Elektronenstrahlverdampfen usw. Wird ein Substrat dabei im Ergebnis beschichtet, spricht man von Vakuumbeschichtung.
Die Vakuumbeschichtung bietet sich für Substrate verschiedenster Formen an. Neben Werkzeug- und Motorteilen kommen beispielsweise auch Brillengläser oder Autoscheiben in Betracht. Verbreitet ist die Beschichtung flacher Substrate. Flache Substrate sind üblicherweise entweder bandförmig oder scheibenförmig: rund oder rechteckig.
Die geradlinig aufgestellte so genannte in-line-Anlage mit horizontaler oder vertikaler Lage der zu behandelnden Substrate ist für flache großflächige Substrate wie beispielsweise Glasscheiben weithin bekannt. Neben solchen Anlagen für die Behandlung diskreter Substrate sind Anlagen für die Behandlung von so genannten Endlossubstraten wie Folien- oder Metallbändern bekanntermaßen im produktiven Einsatz. Die äußere Form einer solchen Anlage und somit die Aneinanderreihung und Aufstellung der Anlagenkammern gibt maßgeblich ein Transportpfad, auf welchem die einzelnen Substrate oder das Endlossubstrat durch die Anlage bewegt werden, vor. Für unflexible Materialien wie Glasscheiben ist zumeist der Transportpfad in einer Transportebene angelegt und ein geradliniger Transport vorgesehen. Alternativ angelegte Transportpfade können je nach der Art des Substrates gekrümmte oder andere Formen aufweisen. Letztlich sorgen Transportmittel für die Ausgestaltung des Transportpfades.
Weiterhin unterscheiden sich Vakuumbehandlungsanlagen danach, wie das Substrat in die oder aus der Anlage gelangt. Es kommen so genannte Batch-Anlagen ebenso in Betracht wie so genannte Air-to-Air-Anlagen. Während in Batch-Anlagen ein Substratvorrat eingebracht, die Anlage evakuiert, das Substrat darin behandelt, die Anlage belüftet und der behandelte Substratvorrat der Anlage entnommen wird, sieht eine Durchlaufbehandlung mit Air-to-Air-Anlagen das kontinuierliche oder das diskontinuierliche Ein- und Ausschleusen des Substrates in die bzw. aus der Vakuumbehandlungsanlage vor.
Verfahren der Vakuumbeschichtung weisen, wie bereits angedeutet, zumeist mehrere Teilschritte auf, was die Ausführung der Behandlungsmittel und deren Abfolge entlang des Transportpfades einer Vakuumbehandlungsanlage reflektiert. Hohe qualitative Anforderungen an die Beschichtung machen es wie beispielsweise bei Herstellung von Architekturglas oder Photovoltaikelementen erforderlich, die zumeist bruchempfindlichen Substrate auf einem exakt ausgerichteten Transportpfad so zu transportieren, dass diese in zeitlicher Folge stets entweder eine vorbestimmte Position einnehmen oder präzise mit einer vorgegebenen Geschwindigkeit bewegt werden. Andernfalls kann es zum Stau oder Bruch von Substraten kommen und die Produktion ist über Stunden unterbrachen.
Dem Transportportmittel und insbesondere den Transportrollen kommt daher hinsichtlich der Substratbewegung bzw. des Substrattransports eine besondere Bedeutung zu, da es darauf ankommt, die Substrate in einzelnen Abschnitten entweder zu beschleunigen, anzuhalten, in exakte Position zu bringen oder mit konstanter Geschwindigkeit zu bewegen und das gegebenenfalls in Vor- und Rückrichtung alternierend. Abhängig von der Abmessung eines Substrates in der Transportrichtung, muss es folglich innerhalb einer Vakuumbehandlungsanlage Abschnitte mit in Transportrichtung hintereinanderliegenden Transportrollen geben, die gleiche Drehrichtung und -geschwindigkeit annehmen können.
Ein solcher Abschnitt wird hier als Transportband bezeichnet. Ein Vertreter in derartigen Anlagen ist das so genannte Passing-Band.
Transportbänder zu bilden, ist insofern möglich, indem jede Transportrolle mit einem separaten Antrieb in der Art eines Motors versehen wird und die Beeinflussung der Drehrichtung und -geschwindigkeit über die Motoren elektrisch erfolgt oder so, dass eine Gruppe von Transportrollen mechanisch über Riemen- oder Ketten mit einem Motor verbunden angetrieben ist. Letztere Lösungen lassen noch die Wahl zu, ob die Riemen- oder Ketten außerhalb oder innerhalb der Anlagenkammer angelegt ist. Dahingegen werden Motoren bevorzugt außerhalb der Anlagenkammer angebracht. Der Kompromiss in den aufgezeigten Lösungen besteht darin, entweder die Anzahl der Antriebseinheiten respektive der Motoren und die der Drehdurchführungen zu verringern, was Riemen- oder Ketten innerhalb der Anlagenkammer notwendig macht, oder möglichst viele prozessstörende sowie störanfällige Bauteile nicht innerhalb sondern außerhalb der Anlagenkammer anzusiedeln.
Der Gedanke der Erfindung greift nunmehr, den Stand der Technik auf, bei dem auf die einzelne Transportrolle eine mechanische Drehbewegung, die ein Antriebsmittel wie beispielsweise ein Motor außerhalb der Anlagenkammer erzeugt, übertragen wird. Es ist üblich, dafür mechanische Drehdurchführungen und ähnliche Mittel, die beispielsweise magnetisch koppeln, in die Wand der Anlagenkammer einzusetzen. Weiter soll hier auf den so genannten Einzelrollenantrieb, was genau einen Antrieb/Motor pro Transportrolle meint, verzichtet werden. Ein einzelnes Antriebsmittel müsste gleichermaßen mindestens zwei und vorzugsweise mehrere Transportrollen drehen. Als Übertragungsmittel kommen dabei Riemen, Ketten oder Dergleichen in Betracht.
Das dem Ziel der Erfindung zugrunde liegende technische Problem besteht nunmehr darin, die Konfiguration, d. h. die Ausgestaltung der Übertragungs- und Antriebsmittel dahingehend so zu vereinfachen, dass diese aus einer Art Baukastensystem zu bedienen ist, was die Anforderung nach variabler Gruppierung von Transportrollen sowie Antriebsmitteln in Transportbändern erfüllt.
Aufgabe der Erfindung ist es, eine geeignete Antriebsvorrichtung zu schaffen.
Die Aufgabe wird durch die Vorrichtung mit den Merkmalen des Anspruchs 1 sowie durch eine Antriebseinheit mit den Merkmalen des Anspruchs 16 gelöst. Vorteilhafte Ausgestaltungsformen der Erfindung sind Gegenstand von Unteransprüchen.
Die gattungsgemäße Antriebsvorrichtung ist für den Substrattransport in einer aus Anlagenkammern bestehenden Vakuumbehandlungsanlage vorgesehen. Dafür weist die Vakuumbehandlungsanlage ein Transportmittel, das in mindestens zwei Transportbänder unterteilt ist, auf. Dem Transportband sind somit definitionsgemäß mindestens zwei Transportrollen dadurch zugehörig, dass diese Transportrollen aufgrund einer mechanischen Kopplung gleiche Drehrichtung und -geschwindigkeit aufweisen. Die Drehbewegung der Transportrollen ist für den Transport der Substrate in der Anlagenkammer sowie in der Vakuumbehandlungsanlage vorgesehen. Zudem ist eine Wand der Vakuumbehandlungsanlage vorgesehen, um Innen mit subatmosphärischen Druck und Außen mit atmosphärischen Druck voneinander zu trennen.
Einer Transportrolle Innen ist jeweils ein Transportrad Außen zugeordnet und das Transportrad mit einer Transportwelle ist zur Übertragung der Drehbewegung auf die Transportrolle vorgesehen.
Die gattungsgemäße Antriebsvorrichtung weist mindestens ein Antriebsmittel, mindestens ein Übertragungsmittel und Transporträder eines Transportbandes auf. Das Antriebsmittel in der Art eines Elektromotors weist ein Antriebsrad auf. Das Übertragungsmittel in der Art eines Riemens ist zur Übertragung der Drehbewegung zwischen den Rädern, somit von einem Antriebsrad zu mindestens einem Transportrad vorgesehen.
Kennzeichnend für die Antriebsvorrichtung ist, dass diese mindestens zwei Übertragungsmittel aufweist, dass das jeweilige Übertragungsmittel zur Übertragung der Drehbewegung von einem ersten Rad zu einem zweiten Rad vorgesehen ist, dass das erstes Rad entweder ein Antriebs- oder ein Transportrad und das zweite Rad ein Transportrad ist und dass auf der Transportwelle neben dem ersten Transportrad mindestens ein nebengeordnetes Transportrad angelegt ist.
Im Ergebnis wird so die Drehbewegung vom Antriebsrad mit dem ersten Übertragungsmittel an ein Transportrad und von diesem Transportrad mindestens einmal an ein nebengeordnetes Transportrad sowie von diesem nebengeordneten Transportrad mittels eines weiteren Übertragungsmittels an ein Transportrad der benachbarten Transportwelle übertragen.
In weiterer Ausgestaltung der Erfindung sind die Transporträder einer Transportwelle zu einem Bauteil zusammengefasst ausgeführt.
In weiterer Ausgestaltung der Erfindung sind die Räder in Form und Durchmesser gleich ausgeführt.
In weiterer Ausgestaltung der Erfindung weisen jeweils benachbarte Transportwellen zueinander einen gleichen Abstand auf.
In weiterer Ausgestaltung der Erfindung weist ein Transportband Transportwellen, die mindestens zwei Anlagenkammern zugehörig sind, auf und die Transportwelle einer Anlagenkammer ist dieser dadurch zugehörig, dass die der Transportwelle zugeordnete Transportrolle in der Anlagenkammer angeordnet ist.
In weiterer Ausgestaltung der Erfindung sind Räder und Übertragungsmittel derart in Übertragungsebenen angeordnet, dass in einer Übertragungsebene mindestens einmal ein erstes Rad, ein zweites Rad und ein Übertragungsmittel, das die zwei Räder verbindet, angelegt sind, wobei die zwei Rotationsachsen dieser Räder zueinander parallel sind und die Übertragungsebene orthogonal zu den Rotationsachsen ausgerichtet ist.
In weiterer Ausgestaltung der Erfindung sind für ein Transportband drei Übertragungsebenen vorgesehen, wobei die erste und die zweite Übertragungsebene für die Übertragung der Drehbewegung zwischen Transporträdern und die dritte Übertragungsebene für die Übertragung der Drehbewegung zwischen mindestens einem Antriebsrad und mindestens einem Transportrad vorgesehen sind.
In weiterer Ausgestaltung der Erfindung wechselt die Übertragung der Drehbewegung benachbarter Transporträder alternierend zwischen der ersten und der zweiten Übertragungsebene.
In weiterer Ausgestaltung der Erfindung sind die jeweiligen Übertragungsebenen mehrerer Transportbänder gleich.
In weiterer Ausgestaltung der Erfindung liegen die Rotationsachsen der Transporträder und Transportwellen in einer als Transportwellenebene bezeichneten Ebene.
In weiterer Ausgestaltung der Erfindung liegen die Rotationsachsen sowohl eines Antriebsrades als auch des mit diesem Antriebsrad verbundenen Transportrades in einer als Antriebswellenebene bezeichneten Ebene.
In weiterer Ausgestaltung der Erfindung sind Transportwellenebene und Antriebswellenebene rechtwinklig zueinander mit einer Scheitellinie, die die Rotationsachse des Transportrades in der Antriebswellenebene ist, gestellt.
In weiterer Ausgestaltung der Erfindung sind die Übertragungsmittel mit Spannmitteln versehen.
In weiterer Ausgestaltung der Erfindung sind mehrere Antriebsmittel für ein Transportband vorgesehen.
In weiterer Ausgestaltung der Erfindung sind die Antriebsmittel elektrisch derart gekoppelt, dass deren Antriebsräder gleiche Drehgeschwindigkeiten aufweisen.
Eine zudem erfindungswesentliche Antriebseinheit einer erfindungsgemäßen Antriebsvorrichtung ist dadurch gekennzeichnet, dass die Antriebseinheit in deren äußeren Abmessungen und insbesondere in deren Breite so beschaffen ist, dass unterhalb der Transportwelle eine erste Antriebseinheit und unterhalb der benachbarten Transportwelle eine zweite Antriebseinheit anbringbar ist.
In weiterer Ausgestaltung der Erfindung ist die Breite kleiner, als der Abstand zweier nebeneinanderliegender Transportwellen.
In weiterer Ausgestaltung der Erfindung weist die Antriebseinheit Mittel zu deren Befestigung auf, die zum lösbaren Verbinden mit der Anlagenkammer vorgesehen sind.
Maßgebender Vorteil der Erfindung ist die gewonnene hohe Flexibilität hinsichtlich der Konfiguration von Transportbändern, wobei hier unter Konfiguration die Gruppierung von Transportrollen und Antrieben zu verstehen ist. Der Anzahl der Transportrollen in einem Transportband sind somit zunächst keine Grenzen gesetzt. Es gelingt auch vergleichsweise einfach ein Transportband über mehrere Anlagenkammern übergreifend anzulegen und durch die Variation von Antrieben die notwendige Antriebsleistung bereitzustellen. Dazu lassen sich auch Antriebe mit unterschiedlicher technischer Charakteristik einsetzen, wenn es darum geht, mittels der Transportbänder ein nach Taktzyklen arbeitendes Transportregime auszubilden. Demnach werden in Abschnitten der Vakuumbehandlungsanlage die Substrate orts- und zeitpräzise beschleunigt, bewegt und abgebremst, was primär über die Bewegung der Transportrollen erfolgt, jedoch von den Antriebsmitteln herrührt.
Die erfindungsgemäße Antriebsvorrichtung erfüllt diese hohen Anforderungen.
Für die genannte Konfiguration oder auch für nachträgliche Anpassungen ist es zunächst nicht erforderlich die Vakuumbehandlungsanlage zu öffnen. Solche Arbeiten lassen sich problemlos von außen erledigen. Die Übertragungsmittel wie Ketten oder Riehen sind, da diese eine einheitliche Länge aufweisen, beliebigen an den Rädern einsetzbar, wodurch keine Sonderanfertigungen mehr notwendig sind. Die Antriebsmittel wie Elektromotoren befinden sich vorteilhafterweise außerhalb der Anlagenkammer bzw. Vakuumbehandlungsanlage, nur ist die Anzahl der Antriebsmittel genau im erforderlichen Maß angelegt. Zudem lassen sich die Antriebsmittel oder auch Antriebseinheiten in einer Art „Reservestellung” vorhalten, falls das aufgrund von Umstellungen der Vakuumbehandlungsanlage auf ein geändertes Substratformat notwendig wird. Hilfreich ist auch die frei wählbare Positionierung der Antriebsmittel entlang des Transportbandes, um Antriebskräfte möglichst ortsnah den besonders beanspruchten Transportrollen bereitzustellen und um Zugkräfte an den Übertragungsmitteln möglichst gleich zu verteilen.
Zu Letzterem bietet sich die erfindungsgemäße Antriebseinheit durch deren äußerliche Beschaffenheit insofern an, da sich unterhalb jeder Transportwelle eine Antriebseinheit anbringen lässt.
Es lassen sich somit nunmehr Vakuumbehandlungsanlagen konstruieren und fertigen, die auf finale Produktionserfordernisse wie das Substratformat, zeitliches Durchlaufverhalten, Taktzeiten usw. durch die genannte Konfiguration anpassbar sind, ohne dass Bauteile im großen Umfang verändert werden müssen, was deutliche ökonomische Vorteile schafft.
Nachfolgend soll die Erfindung anhand eines Ausführungsbeispiels näher beschrieben werden. Dazu sind in den Zeichnungen wie folgt dargestellt:
1 seitliche Ansicht eines Teiles einer Vakuumbehandlungsanlage mit Antriebsvorrichtung
2 räumliche Darstellung der Antriebsvorrichtung
Aus der 1 geht durch eine Strichlinie angedeutet hervor, dass sich die Antriebsvorrichtung 1 an einer Vakuumbehandlungsanlage 15 befindet, die aus Anlagenkammern 16 besteht, von denen hier drei abgebildet sind. Zwei der Anlagenkammern 16 sind im Trennbereich 8 miteinander verbunden. Gezeigt sind weiter zwei Transportbänder 2 und 2'.
Eine Minimalvariante stellt das Transportband 2' rechts im Bild dar. Dieses Transportband 2' ist für den Antrieb von zwei hier nicht dargestellten Transportrollen vorgesehen, was aber aus den zwei Transportwellen 4 mit Transporträdern 3 ersichtlich wird. Über ein Übertragungsmittel 6 sind die zwei Transporträder 3 miteinander verbunden. Zwischen beiden befindet sich ein Spannmittel 5. Ein weiteres Übertragungsmittel 6 verbindet das Antriebsrad 7 mit einem Transportrad 3.
Am Transportband 2 links im Bild ist eine Antriebseinheit 17 mit dem Antriebsmittel 14, was hier ein Elektromotor ist, und dem Antriebsrad 7 dargestellt. Eine derartige Antriebseinheit 17 kann durchaus mehrfach an einem Transportband 2 vorgesehen sein. Aufgrund der Breite der Antriebseinheit 17 wäre unterhalb jeder Transportrolle eine Solche vorsehbar, wobei sich so auch eine Art Einzelrollenantrieb schaffen ließe, was jedoch kein fokussiertes Anliegen der Erfindung ist.
Mit der Antriebsvorrichtung 1 werden somit acht Transportrollen angetrieben, deren Transportwellen 4 zu erkennen sind. Es ist auch nicht zwingend erforderlich, dass zwischen einer Transportwelle 4 und einer Transportrolle eine mechanische Verbindung besteht. Es sind Kopplungen mit beispielsweise magnetischen Mitteln realisierbar, wenn auf Durchführungen verzichtet werden soll.
Auf jeder Transportwelle 4 befinden sich drei Transporträder 3. Zwei Transporträder 3 verbindet jeweils ein Übertragungsmittel 6 miteinander, das durch ein Spannmittel 5 gestrafft ist. Beim Übertragungsmittel 6 handelt es sich hier um einen Zahnriemen, wobei übliche Ketten- und Riementriebe ebenso zur Anwendung kommen können. Die Ausführung des Spannmittels 5 sieht ein Rad vor, das mit einer Spannkraft beaufschlagt den Zahnriemen hier nach unten drückt. Ein Spannmittel 5' anderer Art ist an der Antriebseinheit 17 vorgesehen. Hierdurch wird der Abstand zwischen den beiden Achsen vergrößert. Dabei unterstützt das Eigengewicht des Motors 14 die Spannwirkung. Antriebseinheiten sind in der Regel im Ganzen leicht zu entfernen oder anzubringen, was eine einsprechende Halterung unterstützt. Zudem lässt sich unterhalb jeder Transportwelle eine Antriebseinheit anbringen.
Aus der 2 geht die vorhergehend gezeigte Antriebsvorrichtung 1 in einer räumlichen Ansicht hervor. Anhand derer lassen sich insbesondere Transportrollen 12 sowie die Lagebeziehungen der Übertragungsmittel 6 und Transporträder 3 zeigen. Um ein Gesamtbild näher zu bringen, ist mit einer Strich-Punkt-Linie die Wand 9 angedeutet, wobei damit nur ein Teil der Anlagenkammer gezeigt sein soll. Da Anlagenkammern bekanntermaßen rechteckige Behälter sind, sind Solche insgesamt und so auch die Wand 9 zumindest umseitig bezüglich der Vakuumbehandlungsanlage geschlossen. Die Transportrolle 12, die hier ebenso anteilig gezeigt ist, erstreckt sich im Regelfall nahezu über die gesamte Breite der Anlagenkammer. Angrenzend zur Wand herrschen Innen 10 und Außen 11 verschiedene Druckverhältnisse vor, wobei es sich Innen 10 überwiegend um Vakuum und Außen 11 um Normaldruck handelt. Innen 10 liegen hier nicht dargestellte Substrate auf den Transportrollen 12 auf, wovon üblicherweise mehrere vorhanden sind. Mit jeder Transportwelle 4 wird eine Transportrolle 12 gedreht, was in diesem Fall zehn Transportrollen 12 wären. Angedeutet ist zudem mit dem Pfeil der Transport 13 der Substrate. Dieser Pfeil macht sowohl die Lage der flächigen Substrate als auch beispielhaft die Richtung des Transportes 13 deutlich.
Auf jeder Transportwelle 4 und 4' sind zunächst drei Transporträder 3 vorgesehen, wobei diese zusammengefasst als ein Bauteil ausgeführt sind. Das vereinfacht Fertigung und Montage. Durch die Übertragungsmittel 6 wird jedoch deutlich, wo sich die Transporträder 3 befinden. Um diese Anordnung etwas zu abstrahieren, sind drei als Übertragungsebenen bezeichnete Ebenen vorstellbar, die orthogonal zu den Transportwellen 4 und 4' ausgerichtet dort liegen, wo diese an der jeweiligen Transportwelle 4 jeweils eines der drei genannten Transporträder 3 schneiden. In diesen drei Übertragungsebenen sind auch die Übertragungsmittel 6 angeordnet. Somit ist eine erste und zweite Übertragungsebene für die Übertragung der Drehbewegung mittels der Übertragungsmittel 6 von Transportwelle 4 zu Transportwelle 4' vorgesehen. Die dritte Übertragungsebene bleibt der Übertragung vom Antriebsrad zur Transportwelle 4 vorbehalten. Das Beispiel in der 2 macht auch deutlich, wie die Übertragungsmittel 6 von Transportwelle 4 zu Transportwelle 4' alternierend zwischen der ersten und der zweiten Übertragungsebene wechseln.
Die Drehbewegung geht in der Antriebseinheit 17 vom Antriebsmittel 14 und dessen Antriebsrad 7 aus. Das Übertragungsmittel 6' gibt die Drehbewegung primär an das Transportrad 3 auf Transportwelle 4 in der dritten Übertragungsebene weiter. Auf dieser Transportwelle 4 sind gleichermaßen auch die übrigen nebengeordneten Transporträder 3 und 3' sowie die Transportrolle 12 in eine Drehbewegung versetzt. Es folgt, dass an der besagten Transportwelle 4 diese Drehbewegung in der ersten und zweiten Übertragungsebene an die jeweils benachbarte Transportwellen 4' weitergegeben wird. Die Übertragung zur Transportwellen 4' vollzieht sich in der zweiten Übertragungsebene und zwar ausgehend von dem Transportrad 3' der Transportwelle 4 zum Transportrad 3'' der Transportwelle 4' usw. Die Spannmittel 5 und 5' sorgen dafür, das Übertragungsmittel 6 straff auf dem jeweiligen Rad sitzt. Deutlich wird auch, dass die Übertragungsmittel 6 und 6', die hier in zwei Ausführungen vorliegen, jeweils gleich lang sind. Die erste kürzere Ausführung ist die, die an den Transporträdern 3' und 3'' vorgesehen ist, und die zweite Ausführung verbindet Antriebsrad 7 mit dem Transportrad 3.
Der Trennbereich 8 zeigt die Grenze zwischen zwei Anlagenkammern 16 an.
Um ein weiteres hier nicht dargestelltes Beispiel vorzuschlagen, besteht nach dem Gedanken der Erfindung die Möglichkeit, Übertragungsebenen so anzulegen, dass diese zwar parallel zueinander jedoch nicht mehr orthogonal zu den Achsen ausgerichtet sind. Von Transportwelle zu Transportwelle wäre stets deren erstes Transportrad mit dem zweiten Transportrad verbunden usw. Dazu müssten jedoch Transporträder konisch ausgeführt sein.
Bezugszeichenliste

1: Antriebsvorrichtung
2: Transportband
3: Transportrad
4: Transportwelle
5: Spannmittel
6: Übertragungsmittel
7: Antriebsrad
8: Trennbereich
9: Wand
10: Innen
11: Außen
12: Transportrolle
13: Transport
14: Antriebsmittel
15: Vakuumbehandlungsanlage
16: Anlagenkammer
17: Antriebseinheit

Claims

Antriebsvorrichtung (1) für den Substrattransport (13) in einer aus Anlagenkammern (16) bestehenden Vakuumbehandlungsanlage (15), wofür die Vakuumbehandlungsanlage (15) ein Transportmittel aufweist, das Transportmittel in mindestens zwei Transportbänder (2, 2') unterteilt ist, dem Transportband (2) mindestens zwei Transportrollen (12) dadurch zugehörig sind, dass diese Transportrollen (12) aufgrund einer mechanischen Kopplung gleiche Drehrichtung und -geschwindigkeit aufweisen, wobei die Drehbewegung der Transportrollen (12) für den Transport (13) der Substrate in der Anlagenkammer (16) sowie in der Vakuumbehandlungsanlage (15) vorgesehen ist, wobei eine Wand (9) der Vakuumbehandlungsanlage (15) vorgesehen ist, um Innen (10) mit subatmosphärischen Druck und Außen (11) mit atmosphärischen Druck voneinander zu trennen, wobei einer Transportrolle (12) Innen (10) jeweils ein Transportrad (3) Außen (11) zugeordnet ist und das Transportrad (3) mit einer Transportwelle (4) zur Übertragung der Drehbewegung auf die Transportrolle (12) vorgesehen ist, wobei die Antriebsvorrichtung (1) mindestens ein Antriebsmittel (14), mindestens ein Übertragungsmittel (6) und Transporträder (3) eines Transportbandes (2) aufweist, wobei das Antriebsmittel (14) in der Art eines Elektromotors ein Antriebsrad (7) aufweist, wobei das Übertragungsmittel (6) in der Art eines Riemens zur Übertragung der Drehbewegung zwischen den Rädern (7, 3), somit von einem Antriebsrad (7) zu mindestens einem Transportrad (3) vorgesehen ist, dadurch gekennzeichnet, dass die Antriebsvorrichtung (1) mindestens zwei Übertragungsmittel (6) aufweist, dass das jeweilige Übertragungsmittel (6) zur Übertragung der Drehbewegung von einem ersten Rad zu einem zweiten Rad vorgesehen ist, dass das erstes Rad entweder ein Antriebs- (7) oder ein Transportrad (3) und das zweite Rad ein Transportrad (3, 3') ist und dass auf der Transportwelle (4) neben dem ersten Transportrad (3) mindestens ein nebengeordnetes Transportrad (3') angelegt ist, sodass die Drehbewegung vom Antriebsrad (7) mit dem ersten Übertragungsmittel (6') an ein Transportrad (3) und von diesem Transportrad (3) mindestens einmal an ein nebengeordnetes Transportrad (3') sowie von diesem nebengeordneten Transportrad (3') mittels eines weiteren Übertragungsmittels (6) an ein Transportrad (3'') der benachbarten Transportwelle (4') übertragen wird.
Antriebsvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Transporträder (3, 3') einer Transportwelle (4) zu einem Bauteil zusammengefasst ausgeführt sind.
Antriebsvorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Räder (3, 7) in Form und Durchmesser gleich ausgeführt sind.
Antriebsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1, 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, dass jeweils benachbarte Transportwellen (4, 4') zueinander einen gleichen Abstand aufweisen.
Antriebsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass ein Transportband (2) Transportwellen (4) aufweist, die mindestens zwei Anlagenkammern (16) zugehörig sind, und die Transportwelle (4) einer Anlagenkammer (16) dadurch zugehörig ist, dass die der Transportwelle (4) zugeordnete Transportrolle (12) in der Anlagenkammer (16) angeordnet ist.
Antriebsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass Räder (3, 7) und Übertragungsmittel (6) derart in Übertragungsebenen angeordnet sind, dass in einer Übertragungsebene mindestens einmal ein erstes Rad (3), ein zweites Rad (3') und ein Übertragungsmittel (6), das die zwei Räder (3, 3') verbindet, angelegt sind, wobei die zwei Rotationsachsen dieser Räder (3, 3') zueinander parallel sind und die Übertragungsebene orthogonal zu den Rotationsachsen ausgerichtet ist.
Antriebsvorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass für ein Transportband (2) drei Übertragungsebenen vorgesehen sind, wobei die erste und die zweite Übertragungsebene für die Übertragung der Drehbewegung zwischen Transporträdern (3', 3'') und die dritte Übertragungsebene für die Übertragung der Drehbewegung zwischen mindestens einem Antriebsrad (7) und mindestens einem Transportrad (3) vorgesehen sind.
Antriebsvorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Übertragung der Drehbewegung benachbarter Transporträder (3', 3'') alternierend zwischen der ersten und der zweiten Übertragungsebene wechselt.
Antriebsvorrichtung nach einem der Ansprüche 6, 7 oder 8, dadurch gekennzeichnet, dass die jeweiligen Übertragungsebenen mehrerer Transportbäder (2, 2') gleich sind.
Antriebsvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Rotationsachsen der Transporträder (3, 3', 3'') und Transportwellen (4, 4') in einer als Transportwellenebene bezeichneten Ebene liegen.
Antriebsvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Rotationsachsen sowohl eines Antriebsrades (7) als auch des mit diesem Antriebsrad verbundenen Transportrades (3) in einer als Antriebswellenebene bezeichneten Ebene liegen.
Antriebsvorrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass Transportwellenebene und Antriebswellenebene rechtwinklig zueinander mit einer Scheitellinie, die die Rotationsachse des Transportrades (3) in der Antriebswellenebene ist, gestellt sind.
Antriebsvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Übertragungsmittel (6, 6') mit Spannmitteln (5, 5') versehen sind.
Antriebsvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass mehrere Antriebsmittel (14) für ein Transportband (2) vorgesehen sind.
Antriebsvorrichtung nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, dass die Antriebsmittel (14) elektrisch derart gekoppelt sind, dass deren Antriebsräder (7) gleiche Drehgeschwindigkeiten aufweisen.
Antriebseinheit (17) einer Antriebsvorrichtung gemäß einem der Ansprüche 1 bis 15, dadurch gekennzeichnet, dass die Antriebseinheit in deren äußeren Abmessungen und insbesondere in deren Breite so beschaffen ist, dass unterhalb der Transportwelle (4) eine erste Antriebseinheit (17) und unterhalb der benachbarten Transportwelle (4') eine zweite Antriebseinheit anbringbar ist.
Antriebseinheit nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, dass die Breite kleiner ist, als der Abstand zweier nebeneinanderliegender Transportwellen (4, 4').
Antriebseinheit nach einem der Ansprüche 16 bis 17, dadurch gekennzeichnet, dass die Antriebseinheit Mittel zu deren Befestigung aufweist, die zum lösbaren Verbinden mit der Anlagenkammer vorgesehen sind.