DE202004011666U1

DE202004011666U1 - Gasentladungslaser, insbesondere Excimerlaser und F2-Laser, mit Staubentfernung und Gasreinigung

Info

Publication number: DE202004011666U1
Application number: DE200420011666
Authority: DE
Original assignee: Lambda Physik AG
Current assignee: Lambda Physik AG
Priority date: 2004-07-24
Filing date: 2004-07-24
Publication date: 2004-10-21
Anticipated expiration: 2014-07-25

Abstract

Gasentladungslaser, insbesondere ein Excimerlaser oder ein F₂-Laser, mit
– mindestens einer Laserkammer, und
– mindestens einem Elektrofilter, das eine vorzugsweise symmetrische Elektrodenanordnung aus mindestens einer ersten Elektrode und mindestens einer zweiten Elektrode, zwischen denen ein elektrisches Feld aufgebaut werden kann, aufweist und in dem sich im Elektrodenzwischenraum ein Gas befindet, dadurch gekennzeichnet, dass durch Anlegen von Spannung an die Elektroden in Form von hochfrequenten Hochspannungsimpulsen sehr kurzer Dauer, sogenannte Impulskorona, Staubteilchen aus dem Gas entfernt werden und gleichzeitig organische und anorganische Substanzen aus dem Gas entfernt werden.

Description

Hintergrund der Erfindung
Die Erfindung betrifft einen Gasentladungslaser, insbesondere einen Excimerlaser und F₂-Laser, und sie betrifft insbesondere das Binden von Staub in einem solchen Laser und die Gasreinigung.
Stand der Technik
Gepulste Laser 10, insbesondere sogenannte Excimerlaser (einschließlich Exciplexlaser) und F₂-Laser, weisen eine mit Lasergas gefüllte Laserkammer 2 auf, in der zwei Elektroden 4 üblicherweise parallel zur optischen Achse eines Laserresonators angeordnet sind (siehe 1a). Der Laserresonator besteht im einfachsten Fall aus einer Laserkammer 2 und zwei Spiegeln 6 und 7. Der Spiegel 6 hat einen Reflektionsgrad von 100%. Der Spiegel 7 hat einen Reflektionsgrad von kleiner als 100% und stellt somit den Auskoppelspiegel dar. Der Laserstrahl 14 tritt durch den Spiegel 7 aus dem Laser 10 aus. Die Elektroden 4 dienen der sogenannten Hauptentladung des Lasers. Zwischen ihnen wird eine Gasentladung gezündet. Dabei werden Hochspannungskondensatoren (nicht gezeichnet) durch eine Spannungsversorgung 8 aufgeladen und durch einen geeigneten Schalter (nicht gezeichnet) über die Elektroden entladen. Somit können Laserpulse einer bestimmten Repetitionsrate erzeugt werden. Um eine effektive Anregung des Lasergases für die Gasentladung zu erreichen, erfolgt vor dem Einsetzen der Hauptentladung eine Vorionisierung. Auch die Vorionisierung wird häufig mittels gesonderter, Elektroden durchgeführt, zwischen denen ein Funke gezündet wird. Weitere Details zu gepulsten Lasern sind im Stand der Technik hinreichend bekannt.
Während des Betriebs kommt es zu einer Abtragung von Elektrodenmaterial. Dies wird als Elektrodenabbrand bezeichnet. Die physikalischen und chemischen Ursachen des Elektrodenabbrandes sind vielfältig und zum Teil auch noch nicht vollständig verstanden. Insbesondere treten, je nach Art des Lasergases und der Entladung, Zerstäubungserscheinungen („Sputtern") und auch chemische Reaktionen auf, die durch das Entladungsplasma verursacht sind.
Beim Abbrand der Elektroden und der Zündstifte entstehen Staubpartikel. Die Staubpartikel führen zu Staubablagerungen, was insbesondere im Bereich der Laseroptiken 6 und 7 unerwünscht ist. Die durch den Staub hervorgerufene Verunreinigung des Gasgemisches kann die Strahlqualität deutlich verschlechtern. Insbesondere für einen Langzeitbetrieb des Lasers ist es erforderlich, die Verschmutzungen aus dem Lasergas zu entfernen, damit die Spezifikationen des Lasers eingehalten werden.
Im Stand der Technik sind diverse Ausführungsformen für elektrostatische Filter in Excimerlasern bekannt (z.B. DE 32 12 928 C2 , EP 1 128 498 A2 , US 5,027,366 ). Nachteilig im Stand der Technik ist, daß nicht genügend Staub aus dem Lasergas entfernt werden kann.
Die für den Excimerlaserbetrieb notwendigen Gase werden zwar in einer hinreichenden Reinheit von diversen Gaslieferanten zur Verfügung gestellt, aber es lässt sich durch den Aufbau des Excimerlasers und durch dessen Betrieb nicht komplett ausschließen, dass gasförmige Verunreinigungen in die Laserröhre gelangen oder dort entstehen. Durch diese Verunreinigungen im Lasergas wird die Gaslebensdauer negativ beeinflusst und die Leistungsdaten des Lasers können außerhalb der Spezifikationen liegen. Der Wechsel des verunreinigten Gases ist zum einen kostenintensiv und zum anderen kommt es durch die Standzeit des Lasers zum Produktionsausfall, was beim Systembetreiber zu Umsatzausfällen führt.
Insgesamt ist also bisher das Problem der Entfernung des Staubs aus der Laserröhre und die Reinigung des Lasergases unbefriedigend gelöst.
Der Erfindung zugrundeliegendes Problem
Es ist Aufgabe der Erfindung, bei einem Gasentladungslaser die Lebensdauer des Lasergases und der Auskoppelfenster zu verlängern.
Erfindungsgemäße Lösung
Zur Lösung dieses Problems schlägt die Erfindung einen Gasentladungslaser, insbesondere einen Excimerlaser und F₂-Laser vor, mit:

– einer Laserkammer 2,
– einem Filter zur Staubabscheidung und zur Gasreinigung

Der Begriff der Laserkammer ist mit dem ebenfalls verwendeten Begriff der Laserröhre identisch.
Die Erfindung macht sich die Erkenntnis zu Nutze, daß sich der Staub in der Laserkammer bevorzugt im Bereich der Elektroden und Zündstifte bildet.
Das Filter 12, im Folgenden Elektrofilter 12 genannt, sollte daher in der Nähe des Entstehungsortes des Staubs angeordnet werden oder die Gasströmung so ausgelegt sein, daß das verunreinigte Lasergas direkt in das Elektrofilter 12 geleitet wird (siehe 1b). Auch ein Ableiten des mit Staub versehenen Lasergases in ein Elektrofilter 12 außerhalb der Laserröhre durch geeignete Rohrleitungen 16 ist möglich (siehe 1c). Hierzu kann eine Pumpe 18 (z.B. Umwälzpumpe) angeschlossen werden, die einen Teil oder die gesamte Menge des Lasergases durch das Elektrofilter 12 umwälzt. Sofern die Druckdifferenz zwischen der Laserröhre und dem außerhalb der Laserröhre angebrachten Elektrofilter 12 ausreichend groß ist, kann auf eine Pumpe verzichtet werden. Diverse Ventile 20 können zur Absperrung der Rohrleitungen 16 benutzt werden.
Schematisch ist ein möglicher Aufbau des Elektrofilters 12 in 1d zu sehen. An dieser Stelle soll auf den Aufbau der Laserröhre an sich nicht eingegangen werden, da dieser im Stand der Technik ausreichend beschrieben ist. Bei dieser Konfiguration handelt es sich um ein Filter bestehend aus zwei parallelen Metallplatten (Niederschlagselektroden) 24 und mehreren Elektroden 22. Die Elektroden 22 befinden sich in der Mitte zwischen diesen Metallplatten 24. In einer weiteren bevorzugten Ausführungsform sind mehrere Filter hintereinander oder parallel zueinander geschaltet, wodurch die Gasreinigung noch effizienter wird. Die Metallplatten 24 werden mit Masse verbunden und die Elektroden 22 werden mit einer Hochspannungsquelle 28 verbunden. Die Hochspannungsquelle 28 liefert typischerweise einige 10 kV. Infolge der hohen elektrischen Feldstärke bildet sich an der Oberfläche der Elektroden 22 eine Koronaentladung aus. Durch die angelegte Spannung fließt zwischen den Metallplatten 24 und den Elektroden 22 ein Strom aus Elektronen und Ionen. Energiereiche Elektronen können über inelastische Stöße Gasmoleküle ionisieren. Die Gasmoleküle sind nach solch einem Stoß negativ aufgeladen. Die negativ geladenen Gasmoleküle werden von den positiv geladenen Niederschlagselektroden 24 angezogen und bewegen sich im Hochspannungsfeld auf diese zu. Auf diesem Weg stoßen die negativ geladenen Gasmoleküle an die vorbeiströmenden Staubteilchen, die sich im Lasergas befinden und geben ihre Ladung an die Staubteilchen ab. Die negativ aufgeladenen Staubteilchen werden von den positiv geladenen Niederschlagselektroden 24 angezogen, werden dort entladen und bleiben haften. Bei diesem Aufbau ist das Bauelement 26 nicht vorhanden. Das verunreinigte Gas 36 tritt an einer Stelle des Elektrofilters 12 ein und verlässt das Elektrofilter 12 als gereinigtes Gas 38 wieder.
Dies ist der klassische Aufbau eines Elektrofilter 12 für die Staubentfernung aus strömenden Gasen, wie sie zum Beispiel in Excimerlasern oder in der Großindustrie für die Staubentfernung bei Kohlekraftwerken benutzt wird. In 1d ist die Strömungsrichtung des Lasergases durch das Filter kenntlich gemacht. Durch das Elektrofilter 12 werden die Staubpartikel abgelagert, nicht aber Gaskomponenten. Hierdurch ändert sich also die Gaszusammensetzung nicht.
In 2 ist eine weitere bevorzugte Ausführungsform dargestellt, wie sie zum Beispiel in den Lasern der Fa. Lambda Physik AG benutzt wird. Dieses Filter 12 umfasst eine erste Elektrode 30 und eine zweite Elektrode 32, zwischen denen ein inhomogenes elektrisches Feld aufgebaut werden kann. Hierzu wird an die Elektroden eine Hochspannung angelegt. Die Elektrode 30 ist dabei vorteilhaft ein Metalldraht oder ein Metallstab, der über isolierte Durchführungen (nicht gezeigt) in einem vorzugsweise rotationssymmetrischen Gehäuse, das bevorzugt zylindrisch ausgebildet ist, zentral bzw. koaxial angeordnet ist. Das Gehäuse bildet in diesem Fall die zweite Elektrode 32. Entsprechend dem oben beschriebenen Sachverhalt werden Staubpartikel ionisiert und abgelagert. Bei diesem Aufbau ist das Bauelement 26 nicht vorhanden. Die einzelnen Filter können durch weitere Filter zu einem „Paket" von Einzelfiltern zusammengesetzt werden, wie 3a schematisch zeigt. In 3a und 3b sind die Elektroden 30 und 32 dargestellt. Somit kann der Durchsatz erhöht werden. Es ist auch denkbar, dass solche Pakete" von Einzelfiltern hintereinander geschaltet (3b) werden, wodurch die Reinigung des Lasergases erhöht werden kann, wobei die zweite Elektrode 32 auf Masse 34 gelegt wird. Dieses Elektrofilter 12 kann sich in der Laserröhre 2 oder wie oben schon erwähnt auch außerhalb der Laserröhre 2 befinden, wobei es mit der Laserröhre 2 über Rohrleitungen 16 verbunden ist.
Im Stand der Technik ist bekannt, dass durch das Anlegen einer gepulsten Hochspannung an die Elektroden des Filters die Staubabscheidung wesentlich erhöht werden kann und gleichzeitig eine Reinigung des Lasergases von Lasergasverunreinigungen erzielt wird (IEEE Transactions on Industry Applications, Vol. 25, No. 1, 1989; DE 44 10 213 C1; DE 196 33 368 A1 ; DE 696 10 523 T2 ; US-Patent 4,695,358, A. W. Schepelin et al., Preprint No. 1–372, Moskau ). Im Folgenden soll nun der Einsatz dieses Filters mit der sogenannten Impulskorona beschrieben werden. In 2 wird zur Erzeugung der Impulskorona an die Elektrode 30 eine Hochspannungsquelle 28 und ein Impulserzeuger 26 angeschlossen. Alternativ kann auch der Aufbau aus 1d benutzt werden, wobei hier 26 den Impulserzeuger und 28 die Hochspannungsquelle darstellt. Der Impulserzeuger 26 liefert hochfrequente Hochspannungsimpulse sehr kurzer Dauer von kleiner 1000 ns, bevorzugt kleiner 200 ns bei 0,1 kHz bis 500 kHz. Die angelegte Spannung liegt zwischen 5 kV und 100 kV. Somit bildet sich im ganzen Volumen des Elektrodenzwischenraums eine Koronaentladung aus, die zu einer effizienteren Staubentfernung führt, als das oben beschriebene Elektrofilter 12 mit ungepulster Spannung. Für jede zu entfernende Gasverunreinigung müssen die optimalen Betriebsparameter für das Elektrofilter 12 besfimmt werden, d.h. die Gasreinigung ist abhängig von der angelegten Hochspannung und von der Repetitionsrate der Hochspannungsimpulse. Durch die Impulskorona konnte somit eine bis zu 50% höhere Staubentfernung in der Laserröhre erreicht werden und die Lebensdauer der Auskoppelfenster erhöhte sich deutlich.
Eine weitere Alternative für die oben beschriebene Hochspannungsversorgung für das Elektrofilter 12 liefert der Laser selbst. Die Hochspannung kann direkt an den Hauptentladungselektroden des Lasers abgegriffen werden. Somit entfällt ein weiteres teures Hochspannungsnetzteil und auf einen Impulserreger 26 kann ebenfalls verzichtet werden, da die an die Elektroden 4 angelegte Hochspannung bereits gepulst ist. Somit können Hochspannungsimpulse von bis zu 6 kHz erzeugt werden. Nachteilig hierbei ist, dass die Hochspannungsimpulse in ihrer Frequenz und ihrer Hochspannung nicht mehr geregelt werden können, da der Laserbetrieb die Repetitionsrate und die Entladungsspannung vorgibt. Dies kann zur Folge haben, dass das Filter nicht optimal eingesetzt werden kann.
Im Stand der Technik ist darüber hinaus bekannt, dass den hochfrequenten Hochspannungsimpulsen eine Gleichspannung überlagert werden kann, wodurch sich die Lasergasreinigung nochmals steigern lässt. Hierzu ist allerdings ein weiteres Netzteil notwendig, welches die Gleichspannungsversorgung übernimmt.
Neben der bereits beschriebenen Staubentfernung kann das Lasergas auch von Gasverunreinigungen (Schadstoffen), wie z.B. organische und anorganische Substanzen (z.B. NO_X, SO₂) befreit werden. Des weiteren können auch Fluordioxide entfernt werden. Der Aufbau für die Lasergasreinigung ist identisch zum Aufbau in
1d oder 2. Durch die Impulskorona wird eine hohe Anzahl an Elektronen erzeugt. Die Mechanismen zum Zerstören von Schadstoffen durch ein Elektronenbombardement beinhalten das herkömmliche Aufbrechen von Verbindungen durch direkten Elektronenaufschlag auf ein Schadstoffmolekül und die Oxidation von Schadstoffmolekülen durch freie Radikale, die durch Elektronenaufschlag auf andere Bestandteile des Lasergasstromes gebildet werden. In der Literatur ist z.B. bekannt, dass sich bei Anwesenheit von Wasserdampf SO₂ in H₂SO₄ umwandeln lässt. Auch in der Laserröhre ist Wasserdampf enthalten, damit die entsprechenden Reaktionen zur Bildung von H₂SO₄ ablaufen können. H₂SO₄ kondensiert auf den abzuscheidenden Staubpartikeln. Hierdurch wird auf den Niederschlagselektroden die Leitfähigkeit der abgelagerten Staubschicht erhöht und die Filterwirkung verringert sich nicht so stark, wie sie durch eine nichtleitende Schicht auf den Niederschlagselektroden entsteht. Die chemischen Reaktionen spielen sich im Millisekundenbereich ab, wodurch keine langen Behandlungsstrecken notwendig sind.
Die in 3c gezeigten „Elektrofilterpakete" können auch so gestaltet werden, dass abwechselnd ein konventionelles Elektrofilter 12 (nur Gleichspannung wird angeleg, Masse 34) und dann ein Elektrofilter 12 des Impulskoronatyps folgt. Hierzu sind die Elektrofilter 12 entsprechend elektrisch zu verdrahten. Je nach dem, wie die räumlichen Verhältnisse sind, können solche unterschiedlich betriebenen Elektrofilter 12 in einer größeren Anzahl hintereinander geschaltet werden. Somit lässt sich die Staubentfernung und die Lasergasreinigung verbessern.
Das Elektrofilter 12 kann auch so gestaltet werden, daß die Querschnittsfläche des Elektrofilter 12s in Strömungsrichtung des Lasergases zunimmt. Somit wird die Strömungsgeschwindigkeit durch das Elektrofilter 12 reduziert und die Reinigungswirkung des Elektrofilters 12 erföht.
Im Stand der Technik ist bekannt, daß die Laserröhre so aufgebaut werden muß, daß eine optimale Gasströmung für einen stabilen Laserbetrieb gewährleistet ist. Aus diesem Grund ist das Elektrofilter 12 so in die Gasströmung zu integrieren, daß die Gasströmung nicht behindert wird und sich damit nachteilig auf den Laserbetrieb auswirkt.
Das gereinigte Lasergas verläßt durch geeignete Öffnungen das Elektrofilter 12. Durch die Staubbindung in dem beschriebenen Elektrofilter 12 wird eine deutliche Herabsetzung der Verschmutzung der Auskoppelfenster und des Lasergases erzielt.

Claims

Gasentladungslaser, insbesondere ein Excimerlaser oder ein F₂-Laser, mit – mindestens einer Laserkammer, und – mindestens einem Elektrofilter, das eine vorzugsweise symmetrische Elektrodenanordnung aus mindestens einer ersten Elektrode und mindestens einer zweiten Elektrode, zwischen denen ein elektrisches Feld aufgebaut werden kann, aufweist und in dem sich im Elektrodenzwischenraum ein Gas befindet, dadurch gekennzeichnet, dass durch Anlegen von Spannung an die Elektroden in Form von hochfrequenten Hochspannungsimpulsen sehr kurzer Dauer, sogenannte Impulskorona, Staubteilchen aus dem Gas entfernt werden und gleichzeitig organische und anorganische Substanzen aus dem Gas entfernt werden.
Gasentladungslaser nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Elektrofilter in der Laserkammer eingebaut ist.
Gasentladungslaser nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Elektrofilter außerhalb der Laserkammer angeordnet und über Rohrleitungen mit der Laserkammer verbunden ist.
Gasentladungslaser nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Elektrofilter außerhalb der Laserkammer angeordnet und über Rohrleitungen mit der Laserkammer verbunden ist, wobei zwischen die Rohrleitungen eine Umwälzpumpe angeschlossen ist, die die Gasumwälzung bewirkt.
Gasentladungslaser nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Hochspannungsimpulse durch ein Hochspannungsnetzteil und einen Impulserreger erzeugt werden.
Gasentladungslaser nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Hochspannungsimpulse eine Impulswiederholfrequenz von 0,1 kHz bis 500 kHz haben.
Gasentladungslaser nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Hochspannungsimpulse eine Spannung von 5 kV bis 100 kV aufweisen.
Gasentladungslaser nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Hochspannungsimpulse eine Impulsdauer von kleiner 1000 ns, bevorzugt von kleiner 200 ns aufweisen.
Gasentladungslaser nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Hochspannungsimpulse direkt von der Hauptentladung des Gasentladungslasers geliefert werden.
Gasentladungslaser nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass durch die Staubentfernung mittels des Elektrofilters die Lebensdauer des Auskoppelfensters verlängert wird.
Gasentladungslaser nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Lasergas durch das Elektrofilter von organischen und anorganischen Substanzen befreit wird und somit die Gaslebensdauer steigt.
Gasentladungslaser, insbesondere ein Excimerlaser oder ein F₂-Laser, mit – mindestens einer Laserkammer, und – mindestens einem Elektrofilter, das eine vorzugsweise symmetrische Elektrodenanordnung aus mindestens einer ersten Elektrode und mindestens einer zweiten Elektrode, zwischen denen ein elektrisches Feld aufgebaut werden kann, aufweist und in dem sich im Elektrodenzwischenraum ein Gas befindet, dadurch gekennzeichnet, dass an das Elektrofilter durch Anlegen von Spannung in Form von hochfrequenten Hochspannungsimpulsen sehr kurzer Dauer und gleichzeitiger Überlagerung einer Gleichspannung, Staubteilchen aus dem Gas entfernt werden und darüber hinaus organische und anorganische Substanzen aus dem Gas entfernt werden.
Gasentladungslaser nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass das Elektrofilter in der Laserkammer eingebaut ist.
Gasentladungslaser nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass das Elektrofilter außerhalb der Laserkammer angeordnet und über Rohrleitungen mit der Laserkammer verbunden ist.
Gasentladungslaser nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass das Elektrofilter außerhalb der Laserkammer angeordnet und über Rohrleitungen mit der Laserkammer verbunden ist, wobei zwischen die Rohrleitungen eine Umwälzpumpe angeschlossen ist, die die Gasumwälzung bewirkt.
Gasentladungslaser nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass die Hochspannungsimpulse durch ein Hochspannungsnetzteil und einen Impulserreger erzeugt werden und die überlagerte Gleichspannung durch ein weiteres Netzteil erzeugt wird.
Gasentladungslaser nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass die Hochspannungsimpulse eine Impulswiederholfrequenz von 0,1 kHz bis 500 kHz haben.
Gasentladungslaser nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass die Hochspannungsimpulse eine Spannung von 5 kV bis 100 kV aufweisen.
Gasentladungslaser nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass die Hochspannungsimpulse eine Impulsdauer von kleiner 1000 ns, bevorzugt von kleiner 200 ns aufweisen.
Gasentladungslaser nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass die Hochspannungsimpulse direkt von der Hauptentladung des Gasentladungslasers geliefert werden.
Gasentladungslaser nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass durch die Staubentfernung mittels des Elektrofilters die Auskoppelfensterlebensdauer verlängert wird.
Gasentladungslaser nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass das Lasergas durch das Elektrofilter von organischen und anorganischen Substanzen befreit wird und somit die Gaslebensdauer steigt.
Gasentladungslaser, insbesondere ein Excimeriaser oder ein F₂-Laser, mit – mindestens einer Laserkammer, und – mindestens einem ersten Elektrofilter, welches mit Gleichspannung betrieben wird, und – mindestens einem zweiten Elektrofilter, welches durch Anlegen von Spannung in Form von hochfrequenten Hochspannungsimpulsen sehr kurzer Dauer betrieben wird, wodurch das erste und das zweite Elektrofilter Staubteilchen aus dem Gas entfernt und darüber hinaus organische und anorganische Substanzen mit dem zweiten Elektrofilter aus dem Gas entfernt werden.
Gasentladungslaser nach Anspruch 23, dadurch gekennzeichnet, dass das mindestens eines der Elektrofilter in der Laserkammer eingebaut ist.
Gasentladungslaser nach Anspruch 23, dadurch gekennzeichnet, dass das mindestens eines der Elektrofilter außerhalb der Laserkammer angeordnet und über Rohrleitungen mit der Laserkammer verbunden ist.
Gasentladungslaser nach Anspruch 23, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens eines der Elektrofilter außerhalb der Laserkammer angeordnet und über Rohrleitungen mit der Laserkammer verbunden ist, wobei zwischen die Rohrleitungen eine Umwälzpumpe angeschlossen ist, die die Gasumwälzung bewirkt.
Gasentladungslaser nach Anspruch 23, dadurch gekennzeichnet, dass die Hochspannungsimpulse durch ein Hochspannungsnetzteil und einen Impulserreger erzeugt werden.
Gasentladungslaser nach Anspruch 23, dadurch gekennzeichnet, dass die Hochspannungsimpulse eine Impulswiederholfrequenz von 0,1 kHz bis 500 kHz haben.
Gasentladungslaser nach Anspruch 23, dadurch gekennzeichnet, dass die Hochspannungsimpulse eine Spannung von 5 kV bis 100 kV aufweisen.
Gasentladungslaser nach Anspruch 23, dadurch gekennzeichnet, dass die Hochspannungsimpulse eine Impulsdauer von kleiner 1000 ns, bevorzugt von kleiner 200 ns aufweisen.
Gasentladungslaser nach Anspruch 23, dadurch gekennzeichnet, dass die Hochspannungsimpulse direkt von der Hauptentladung des Gasentladungslasers geliefert werden.
Gasentladungslaser nach Anspruch 23, dadurch gekennzeichnet, dass durch die Staubentfernung mittels der Elektrofilter die Lebensdauer Auskoppelfensterverlängert wird.
Gasentladungslaser nach Anspruch 23, dadurch gekennzeichnet, dass das Lasergas durch das zweite Elektrofilter von organischen und anorganischen Substanzen befreit wird und somit die Gaslebensdauer steigt.