DE2016388A1 - Gas detector using semi-conductor with gasre - Google Patents

Gas detector using semi-conductor with gasre

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DE2016388A1 DE19702016388 DE2016388A DE2016388A1 DE 2016388 A1 DE2016388 A1 DE 2016388A1 DE 19702016388 DE19702016388 DE 19702016388 DE 2016388 A DE2016388 A DE 2016388A DE 2016388 A1 DE2016388 A1 DE 2016388A1
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Description

  • Gas spürgerät Die Erfindung betrifft ein Spürgerät für Gase und Rauch unter Verwendung eines Metalloxid-Halbleiter-Elementes, dessen spezifischer Widerstand sich unter Einwirkung entflammbarer Gase wie Wasserstoff, Kohlenmonoxid, Alkoholdampf und Benzindampf, und von Rauch nennenswert ändert.
  • Es ist ein Spürelement für Gase und Rauch bekannt, welches die Anderung des spezifischen Widerstandes eines Platindrahtes mit einem Temperaturanstieg ausnutzt0 Hierbei ist jedoch eine genaue Temperaturkompensation des Platindrahtes erforderlich, und es wird ein mehrstufiger Verstärker benötigt, welche die geringe Anderung des spezifischen Widerstandes bei der Feststellung von Gasen und Rauch auswertbar macht. Dieses bekannte Gasspürgerät ist daher recht kompliziert und teuer, so daß es sich praktisch nicht in großem Stil hat einführen können.
  • Ein anderes Gerät zur Aufspürung insbesondere von Kohlenmonoxid verwendet die Dunkelfärbung einer Paladiumchloridlösung infolge der reduzierenden Wirkung des Kohlenmonoxids, und diese Dunkelfärbung wird durch eine Photozelle festgestellt. Da bei dieser Vorrichtung jedoch das Wasser ständig verdampft, muB der Wasserstand ständig überwacht und das Wasser ergänzt werden. Wenn das Gerät einmal in Tätigkeit getreten ist, dann läßt es sich nicht ohne weiteres wieder verwenden.
  • Die Aufgabe der Erfindung besteht in der Vermeidung dieser Nachteile bekannter Gasspürgeräte und in der Schaffung eines Gasspürgerätes außerordentlich hoher Empfindlichkeit gegenüber Gasen und Rauch und sehr einfachen Aufbaus bei wiederholter Verwendungsfähigkeit.
  • Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß gelöst durch ein Gasspürgerät mit einem Körper aus einem Metalloxid-Halbleiter-Material, welches unter Einwirkung von reduzierenden Gasen in der Luft seine elektrische Leitfähigkeit verändert, ferner mit einem Paar an den Körper angebrachten Elektroden zum Anlegen einer Spannung an mindestens einen Teil des Körpers und mit einem Heizer zum Erwärmen des Körpers zur Beschleunigung seiner Leitfähigkeitsänderung. Der durch den Körper fließende Strom ist von der Leitfähigkeit abhängig und wird zur Auslösung eines Alarms herangezogen, wenn eine Anderung des spezifischen Widerstandes des Körpers eintritt.
  • Die Erfindung ist im rolgenden anhand der Darstellungen von Ausführungsbeispielen näher erläutert. Es zeigt: Fig. 1 eine graphische Darstellung der GasspUrempfindlichkeit eines nach der Erfindung verwendeten Halbleiterelementes für verschiedene Temperaturen; Fig. 2 eine Seitenansicht einer Ausführungsform der Erfindung; Fig. 5 einen Schnitt längs der Linie 3-3 der Fig. 2; Fig. 4 eine Seitenansicht einer zweiten Ausführungsforin der Erfindung; Fig. 5 einen Schnitt längs der Linie 5-5 der Fig. 4; Fig. 6 bis 8 teilweise geschnittene Darstellungen dreier weiterer Aus führungs formen der Erfindung; Fig. 9 eine sechste Ausführungsform der Erfindung und Rig. 10 ein Diagramm zur Erläuterung des Betriebes des in Fig. 9 dargestellten Gasspürelementes.
  • In Fig. 1 ist der spezifische Widerstand eines SnO2 SpUrelementes eines Oasspürgerätes nach der Erfindung über der Konzentration von Isobutan in Luft für verschiedene Temperaturen des Elementes aufgetragen. Die Neigung der Kurven ist ein Maß RUr die Empfindlichkeit des Elementes. Die Zeichnungen lassen deutlich erkennen, daß die Spürempfindlichkeit sich unregelmäßig und diskontinuierlich mit der Gaskonzentration bei niedriger Temperatur wie 60 0C und bei hoher Temperatur wie 550 OG ändert. In einem solchen -unstabilen- Zustand kann das Gasspürelement nicht verwendet werden. Jedoch verlaufen die Kurven in einem Temperaturbereich zwischen 150-und 250 0C einigermaßen gleichförmig und kontinuierlich, so daß das Spürelement in diesem Temperaturbereich verwendet werden sollte. Aus diesem Grund wird das- erfindungsgemäße Gasspürelement mit einem Heizer versehen.
  • Die Fig. 2 und 5 veranschaulichen eine erste Ausführungsform der Erfindung. Man erkennt ein Isolierrohr 2 aus beispielsweise einem Keramikmaterial. Die Dicke der Wandung dieses Rohres ist vorzugsweise so gering, wie es aus Gründen der mechanischen Festigkeit gerade noch zu vertreten ist. Auf der Oberfläche des Mittelteiles des Isolierrohres 2 befindet sich-ein ringförmiger Metalloxid-Halbleiterkörper-10. Das Material dieses Körpers kann beispielsweise Sn02, also ein n leitendes Halbleitermaterial, sein.
  • Die Sn02 Schicht kann ringförmig um das Isolierrohr herum gemäß Fig. 5 angeordnet werden, in dem sie herumgepreßt, gesintert oder als Materialsuspension in einem geeigneten Medium aufgepinselt wird0 Gegebenenfalls kann alternativ auch ein dünner Film von SnO2 verwendet werden.
  • Auf beiden Flächen des Metalloxid-Halbleiterkörpers 10 werden Metallelektroden 61 und 62 abgelagert, welche dem elektrischen Kontakt dienen. Diese Ablagerung kann beispielsweise in Form eines Dampfniederschlages erfolgen. Mit diesen Metallelektroden 61 und 62 sind Zuleitungen 81 und 82 verbunden, und ein schraubenförmiger Heizer 12 wird durch das Isolierrohr 2 geführt. Der Heizer 12 kann gerade sein, wenn das Isolierrohr nur einen kleinen Innendurchmesser hat.
  • Bei diesem Gasspürelement sind die Zuleitungen 81 und 82 beispielsweise mit einer Hupe 14 in Reihe an eine elektrische Leitung geschaltet. Gleichzeitig wird dem Leiter 12 eine geeignete Spannung zugeführt, infolge deren der Metalloxid-Halbleiterkörper 10 auf 150 bis 250 0C erwärmt wird.
  • Wenn sich das Gasspürelement in normaler Luft befindet, dann beträgt der Widerstand des Metalloxid-Halbleiterkörpers 10 etwa 500 kO. In diesem Falle gibt die Hupe 14 keinen Alarm, da nur ein sehr geringer Strom durch sie fließt. Enthält die Luft dagegen etwa 1 % Leuchtgas, dann fällt der Widerstand des Körpers 10 auf etwa 1,2 kO, und die Hupe gibt Alarm. Wenn die Konzentration des Leuchtgases auf ca. O % abfällt, dann steigt der Widerstand des Metalloxid-Halbleiterkörpers 10 innerhalb kurzer Zeit, zwischen wenigen Sekunden und einigen Minuten, wieder auf die ursprUnglichen 500 k;o.
  • Das Metalloxid-Halbleiter-Material, welches den Körper 10 bildet, kann n leitend sein, beispielsweise ZnO, Je205, Ti02, V205, Min02, WO5, ThO2, Moos, 0d0 oder PbCrO4 außer den SnO2 bei der vorbeschriebenen Aus führungs form. Auch andere Gase wie H2, CO, C2H2J CH4 C2H5OH, C5H8 und C4H10 und Rauch werden ebenso wie Leuchtgas aufgespUrt. Anhand des Beispiels SnO2 si nun erläutert, weshalb sich die Leitfähigkeit derartiger n leitender Metalloxid-Halbleiter wie SnO2, ZnO, Je205 usw. unter Einwirkung der genannten Gase vergrößert. SnO2 ist ein n leitender Halbleiter, dessen elektrische Leitfähigkeit hauptsächlich durch seine freien Elektronen bestimmt wird. Wenn eines der erwähnten Gase auf SnO2 Kristalle einwirkt, dann läuft im Kristall die folgende Reaktion ab, wenn das Gas reduzierend ist.
  • SnO2- SnO + 0 + 2e (e : freies Elektron) Der frei gewordene Sauerstoff tritt aus dem Kristall aus und läßt die Elektronen der Ionenbindung i Kristall. Auf diese Weise entsteht im Kristall eine Anzahl freier Elektronen, so daß die elektrische Leitfähigkeit ansteigt. Entsprechend diesen experimentellen Ergebnissen hat sich herausgestellt, daß die Leitfähigkeitsänderung des SnO2 nur von der Konzentration des Gases aber fast nicht von der Einwirkungszeit der dieses Gas enthaltenden Atmosphäre abhängt. Die Leitfähigkeitsänderung der anderen Materialien wie ZnO und Fe2O5 beruht auf dem gleichen Prinzip.
  • Der Halbleiterkörper 10 kann ebenso aus einem p leitenden Metalloxid-Halbleiter bestehen. Beispiele hierfür sind Cr203, Mo02, 000 und NiO. Wenn diese p leitenden Metalloxid-Halbleiter-Materialien erwärmt werden, dann adsorbieren sie überschüssigen Sauerstoff aus der Luft und bilden eine Anzahl von Defekt-Elektronen im Kristall, so daß sie auf diese Weise eine hohe Leitfähigkeit zeigen. Wenn jedoch der p leitende Halbleiter mit den erwähnten reduzierenden Gasen oder mit Rauch in Berührung kommt, dann entsteht im p leitenden Halbleiterkristall freier Sauerstoff, wobei viele Elektronen freigesetzt werden. Diese freien Elektronen kompensieren die Defekt-Elektronen, so daß der spezifische Widerstand des Halbleiters plötzlich ansteigt.
  • Verwendet man einen solchen p leitenden Halbleiter, dann muß man die Hupe 14 durch ein Relais ersetzen und die Alarmschaltung mit einem Ruhekontakt des Relais verbinden. Wenn dann in der Luft ein reduzierendes Gas oder Rauch festgestellt wird, sinkt der Strom durch die Spule des Elektromagneten unter den Haltewert, so daß der Ruhekontakt geschlossen wird und ein Alarm ausgelöst wird.
  • Verwendetman einen solchen p leitenden Halbleiter, wobei wie gesagt das Relais im Ruhezustand anzieht, dann ist der Stromverbrauch im Vergleich zur Verwendung eines n leitenden Halbleiters beträchtlich höher, jedoch wird bei einer Störung, wie einer Leitungsunterbrechung, ebenfalls Alarm gegeben, so daß diese Unterbrechung gemeldet wird.
  • In den Fig. 4 und 5 ist eine weitere Ausführungsform des erfindungsgemäßen Gasspürelementes dargestellt. An einem Isolierstab 16, beispielsweise aus Keramik, sind drei Elektroden 18, 20 und 22 angebracht. Zwischen den Elektroden 18 und 20 ist eine dünne Schicht 24 aus einem n leitenden oder p leitenden Metalloxid-Halbleiter vorgesehen. Eine Heizwicklung 26 ist zwischen die Elektroden 20 und 22 gewickelt und mit ihnen verbunden.
  • Wenn die dünne Halbleiterschicht im vorliegenden Beispiel n leitend ist, dann ist die Elektrode 18 über eine Hupe 14 an einen Anschluß der Sekundärwicklung eines Transformators 28 und die Elektrode 20 unmittelbar an den anderen Anschluß der Sekundärwicklung angeschlossen. Die Elektrode 22 ist mit einem dritten Anschluß der Sekundärwicklung des Transformators 28 verbunden.
  • Bei Verwendung eines p leitenden Halbleitermaterials für die dünne Schicht 24 wird die Hupe 14 durch ein Relais ersetzt. Die Primärwicklung des Transformators 28 ist an eine Versorgungsleitung angeschlossen, so daß ein Strom durch den Heizer 26 fließt, wodurch die Halbleit-erschicht 24 auf die gewünschte Temperatur erhitzt wird.
  • Das Gasspürelement nach dieser Aus fUhrungs form löst auch einen Alarm aus, wenn die Konzentration der oben erwähnten Gase wie H2, CO, C2H2, CH4 und Rauch in der Luft huber einem vorbestimmten Wert liegt. Da die Funktionsweise die gleiche wie bei der ersten Ausführungsform ist, brauchen hier weitere Einzelheiten nicht angeführt zu werden.
  • Fig. 6 veranschaulicht eine dritte Aus führungs form des erfindungsgemäßen Gasspürgerätes. Eine Isolierplatte 40, beispielsweise aus Keramikmaterial, besitzt eine Elektrode 42 aus einem geeigneten spulenförmigen Leiter, die auf eine ihrer Flächen mit einem Schmelzglas 44 befestigt ist. Die Elektrode 42 hat eine Zuführungsleitung 46. Ein Spiralheizer 48 aus Pt, Pd, Au, Ag, Nichrom oder dgl. oder einer entsprechenden Legierung ist in gleicher Weise mit Glas 50 an der anderen Fläche der Isolierplatte 40 befestigt. Der Heizer 48 hat Zuführungsleitungen 52 und 54. Mit 56 ist ein p oder n leitender Metalloxid-Halbleiter bezeichnet, der sphärisch um die Isolierplatte 40 als der Spürkörper angeordnet ist.
  • Bei dieser Ausführungsform des Gasspürelementes sind die Zuleitungen 46 und 52 in Reihe mit einer Hupe 14 oder einem Alarmrelais und einer Stromquelle 58 geschaltet, und zwischen die Leiter 52 und 54 ist eine Heizstromquelle 60 geschaltet.
  • Wenn die Konzentration des reduzierenden Gases, wie H2, CO, C2H2 oder CH4, oder Rauch in der Luft bis zu einem bestimnten Ausmaß ansteigt, dann erhöht sich die elektrische Leitfähigkeit des Halbleiters 56 plötzlich im Falle eines n leitenden Materials, oder sie fällt im Falle eines p leitenden Materials ab. Der von der Stromquelle 58 huber die Hupe 14, die Zuleitung 46, die Elektrode 42, den Halbleiter 56, den Heizer 48 und die Leitungen 52 und 54 wieder in die Stromquelle 58 zurückfließende Strom verändert sich damit, und die Hupe 14 kann Alarm geben.
  • Bei einer vierten Aus führungs form des Gasspürgerätes,nach Fig. 7, ist eine Metallelektrode 70 durch Aufdampfen oder Aufbrennen auf eine Fläche einer Isolierplatte 40 ausgebildet, und mit ihr ist ein Leiter 46uarbunden. Der übrige Aufbau und die Funktionsweise entspricht dem Gasspürgerät nach Fig. 6.
  • Eine fUnfte Ausführungsform ist in Fig0 8 dargestellt, welche sich insbesondere für Gasspürgeräte sehr kleiner Abmessungen eignet. EIN kugelfbrmiger Métalloxid-Halbleiterkörper 66 mit einem Durchmesser von einem Millimeter oder geringer ist mit einem einfachen geradlinigen Heizer 68, welcher ihn durchsetzt, und einer eingefügten geradlinigen Elektrode 74 versehen. Die Zuleitungen für den Heizer 68 sind mit 52 und 54, die Zuleitung für die Elektrode 74 ist mit 46 bezeichnet. Im dargestellten Ausführungsbeispiel sind die Zuleitungen 46, 52 und 54 Teile der Elektrode 74 und des Heizers 68. Die Funktionsweise entspricht der der vorbeschriebenen Aus führungs form.
  • Eine sechste Ausführungsform der Erfindung ist in Fig. 9 dargestellt. Als Heizer für das Metalloxid-Halbleiter-Material dient hier ein Halbleiter mit negativem Temperaturkoeffizienten seines spezifischen Widerstandes.
  • Wie in Verbindung mit den vorstehend erläuterten Ausführungsformen erwähnt ist, muß das Halbleitermaterial des Gasspürelementes auf erhöhte Temperatur wie 150 bis 250 °C gehalten werden, damit die Empfindlichkeit vergrößert und die-Eigenschaften stabiler werden. Im Verlauf eines Jahres kann die Temperaturdifferenz jedoch manchmal mehr als 40 0C betragen, so daß es sehr schwierig ist, die Temperatur des Gasspür-Halbleiters über ein Jahr hindurch mit Hilfe eines Heizdrahtes, welcher lediglich Joule'suche Wärme erzeugt, konstantzuhalten. Die Ausführungsform nach Fig. 9 en-thält ein Halbleitermaterial mit negativem Temperaturkoeffizienten des spezifischen Widerstandes, welcher dafür sorgt, daß die Temperatur des GasspürHalbleiter-Materials unabhängig von Umgebungstemperaturänderungen praktisch konstant bleibt.
  • Fig. 9 zeigt einen stabförmigen Metalloxid-Halbleiter-Spürkörper 84 und einen Halbleiterstab 86, der mit ihm thermisch gekoppelt ist und als Heizer wirkt. Das Material des Halbleiterstabes 86, welcher als Heizer dient, kann nicht nur anderer Art als der GasspUr-Halbleiter 84 sein, sondern er kann auch von der gleichen Art sein und bdspielsweise aus gesinterten SnO2 bestehen, das einen Körper mit ihm bildet. Die Elektroden 88, 90 und 92 stellen den elektrischen Kontakt zu beiden Halbleiterstäben her.
  • Die Zeichnung läßt erkennen, daß die Elektroden 88 und 90 über eine Hupe oder ein Relais 14 mit einer Spannungsquelle verbunden sind und daß die Elektroden 90 und 92 über einen Stabilisierwiderstand 94 mit einen Wert rO ebenfalls an die Spannungsquelle geschaltet sind. Der Widerstand R des Halbleiter-Heizstabes 86 ist ausreichend höher als der Widerstand rO des Stabilisierwiderstandes 94. Zunächst wird daher der größte Teil der Spannung Vo dem Halbleiterheizer 86 zu dessen Aufheizung zugeführt.
  • Mit steigender Temperatur des Halbleiterheizers 86 erniedrigt sich sein Widerstand, wobei sich die Menge der erzeugten Wärmeenergie verändert.
  • Fig. 10 veranschaulicht den Zusammenhang von Anderungen der Wärmemenge mit dem Widerstand des Halbleiterheizers 86. Wie die Zeichnung klar erkennen läßt, wird die maximale Erwärmung (V02)/4rO erhalten, wenn der Widerstand R des Halbleiter-Heizstabes 86 gleich dem Widerstand rO des Stabilisierungswiderstandes 94 ist. Wenn daher der Widerstand r0 des Stabilisierungswiderstandes 94 und die Temperaturkennlinie des Widerstandes des Halbleitermaterials des Heizstabes 86 so gewählt wird, daß am Punkt R1 eine bestimmte Wärmemenge erzeugt wird, wo R1 kleiner rO ist, dann wird der Widerstand R des Heizstabes 86 kleiner als R1, so daß die Wärmemenge niedriger wird, wenn die Umgebungstemperatur steigt und umgekehrt R größer als R1 wird, wenn die Umgebungstemperatur fällt, so daß die Wärmemenge ansteigt. Auf diese Weise wird die Temperatur des Gasspür-Halbleiterkörpers 84 praktisch konstantgehalten ohne Rücksicht auf Umgebungstemperaturänderungen, und ein Vorhandensein von Gas kann stets mit der gleichen Empfindlichkeit festgestellt werden.
  • Weiterhin kann der Halbleiterheizer unmittelbar über den Stabilisierungswiderstand 94 an eine übliche Stromquelle nach Fig. 9 angeschlossen werden, da er im Vergleich zu normalen Metallheizdrähten einen sehr hohen Widerstand hat. Die Verwendung eines Halbleiterheizers hat daher den zusätzlichen Vorteil, daß ein teuerer Transformator für den Heizer eingespart werden kann und das gesamte Gasspürgerät billiger wird.
  • Das erfindungsgemäße Gasspürgerät kann Gase wie H2, CO, C2H2, CH4, C2H50H, C3H8, C4H10, Benzindampf, Rauch, Kohlenstaub und dgl. mit guter Empfindlichkeit aussparen.
  • Die Erfindung ist jedoch nicht auf die hier beschriebenen Ausführungsbeispiele beschränkt, sondern die Gasspürelemente können auch ion einer ansprechenden Puppe oder-Figur oder in künstlerischen Ornamenten eingebettet und angeordnet sein. In diesem Falle verändert die Figur ihr Aussehen, wenn ein Gasgehalt festgestellt wird, so daß ein amüsantes Gasspürgerät zur Verfügung steht,

Claims (8)

  1. Patentansprüche X GasspUrgerät, g e k e n n z e i c h n e t d u r c h einen Körper (10) aus einem Metalloxid-Halbleiter-Material, welches unter Einwirkung von reduzierenden Gasen in der Luft seine elektrische Leitfähigkeit verändert, ferner durch ein Paar an dem Körper angebrachter Elektroden (61, 62) zum Anlegen einer Spannung an mindestens einem Teil des Körpers, und durch einen Heizer (12) zum Erwärmen des Körpers (10) zur Beschleunigung seiner Leitfähigkeitsänderung.
  2. 2.) Gasspürgerät nach Anspruch 1, d a d u r c h g e k e n n -z e i c h n e t , daß der Körper (10) aus einem Metalloxid-Halbleiter-Material besteht, dessen Leitfähigkeit unter Einwirkung reduzierender Gase in der Luft sich vergrößert.
  3. ).) Gasspürgerät nach Anspruch 2, d a d u r c h g e k e n n -z e i c h n e t , daß das Metalloxid-Halbleiter-Material aus mindestens einem der Materialien einer Gruppe besteht, die ZnO, Sn02, Je205, Ti02, V205, MnO2, WO5, ThO2, Mo05, CdO und PbCrO4 einschließt.
  4. 4.) Gasspürgerät nach Anspruch 1, d a d u r c h g e k e n n -z e i c h n e t , daß der Körper (10) aus einem Metalloxid-Halbleiter-Material besteht, dessen Leitfähigkeit bei Einwirkung reduzierender Gase in der Luft sich verringert.
  5. 5.) Gasspürgerät nach Anspruch 4, d a d u r c h g e k e n n -z e i c h n e t , daß das Metalloxid-Halbleiter-Material aus mindestens einem Material der Cm205, MoO2, CoO und NiO einschließenden Gruppe besteht.
  6. 6.) Gasspürgerät nach Anspruch 1, d a d u r c h g e k e n n -z e i c h n e t , daß der Heizer (12) an dem Körper (10) befestigt ist und durch einen ihn durchfließenden Strom erhitzt wird.
  7. 7.) Gasspürgerät nach Anspruch 1, d a d u r c h g e k e n n -z e i c h n e t , daß der Heizer (48J 68) mindestens eine der Elektroden des am Körper (56, 66) angebrachten Elektrodenpaares bildet.
  8. 8.) Gasspürgerät nach Anspruch 1, d a d u r c h g e k e n n -z e i c h n e t , daß der Heizer (86)aus einem Material mit negativem Temperaturkoeffizienten seines spezifischen Widerstandes besteht und in Reihe mit einem Widerstand (94) geschaltet ist.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2603785A1 (de) * 1976-01-31 1977-08-04 Bosch Gmbh Robert Sensor fuer kohlenmonoxid und kohlenwasserstoffe in abgasen
DE3322481A1 (de) * 1983-06-22 1985-01-03 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Duennschicht-gassensor zum nachweis und zur messung von gasfoermigen kohlenwasserstoff-verunreinigungen mit doppel- und dreifachbindungen, insbesondere von acetylen, in luft sowie ein verfahren zu seiner herstellung

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