DE2015161C - Verfahren und Anordnung zur Aufnahme der Oberflächenstruktur von Proben mittels einer Elektronenstrahl-Mikrosonde - Google Patents
Verfahren und Anordnung zur Aufnahme der Oberflächenstruktur von Proben mittels einer Elektronenstrahl-MikrosondeInfo
- Publication number
- DE2015161C DE2015161C DE19702015161 DE2015161A DE2015161C DE 2015161 C DE2015161 C DE 2015161C DE 19702015161 DE19702015161 DE 19702015161 DE 2015161 A DE2015161 A DE 2015161A DE 2015161 C DE2015161 C DE 2015161C
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- sample
- backscattered electron
- electron
- signal
- signals
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 title claims description 6
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims 28
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 3
- 229910052729 chemical element Inorganic materials 0.000 claims 2
- YBYIRNPNPLQARY-UHFFFAOYSA-N Indene Chemical compound C1=CC=C2CC=CC2=C1 YBYIRNPNPLQARY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 101710028361 MARVELD2 Proteins 0.000 claims 1
- 229910004682 ON-OFF Inorganic materials 0.000 claims 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims 1
- 238000005755 formation reaction Methods 0.000 claims 1
- 230000003993 interaction Effects 0.000 claims 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims 1
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 claims 1
- 230000035876 healing Effects 0.000 description 1
Description
abnehmer und Rückstreuelektronen-Detektor und
den Polaritätsverhältnissen ihrer Ausgangssignale gegenüber Masse. Das aus der Superposition resultierende
Bildsignal muß als Folge der gewählten Operation stets nur die Information über die Topographie
der Probenoberfläche enthalten.
Bei Vorliegen von analogen Signalen kann das Superpositionsgerät beispielsweise ein Additions- oder
Differenzverstärker sein; bei digitalen Geräten kann ein Superpositionsgerät in Betracht gezogen werden,
das jeweils nach dem Ende von äquidistanten Zeitabständen die in einer ersten Zähleinrichtung für das
Probenstromsignal stehende Größe, von der in einer zweiten Zähleinrichtung für das Rückstreuelektronen-Signal
stehenden Größe subtrahiert und zur Registrierung im Aufnahmegerät freigibt.
Im allgemeinen wird es erforderlich sein, dem Probenstromrunehmer und dem Rückstreuelektronen-Detektor
geeignete Verstärker nachzuschalten. — Als Aufnahmegeräte dienen im Zusammenhang
mit der Mikrosonde bekannte Geräte, z.B. Bildröhren oder Magnetbandgeräte.
Eine weitere Ausbildung der Erfindung sieht vor, daß Probenstromabnehmer und Rückstreuelektronen-Detektor
mit dem Hellsteuereingang einer Bildröhre verbunden sind.
Je nach Beschaffenheit und Polung eines verwendeten analogen Probenstromabnehmers und eines
analogen Rückstreuelektronen-Detektors kann es notwendig sein, eines der beiden abgegebenen Signale
zu invertieren, d. h. mit einem negativen Vorzeichen zu versehen. Das aus der Superposition, ζ. B. einer
Spannungsüberlagerung am Hellsteuereingang einer
ίο Bildröhre, resultierende Bildsignal dient zur HeIltastung
dieser Bildröhre.
Ein Vorteil der Erfindung ist darin zu sehen, daß zur Durchführung des beschriebenen Verfahrens zum
Zwecke der Erzeugung reiner Topographiebilder der Oberfläche von Proben nur ein einziger Rückstreuelektronen-Detektor
und der ohnehin in jeder Elektronenstrabl-Mikrosonde
eingebaute Probenstromabnebmer mit nachgeschaltetem Probenstromverstärker
benötigt werden. Gegenüber einer an sich be-
ao kannten Anordnung, die zwei Rückstreuelektronen-Detektoren enthält, besitzt eine Anordnung nach der
Erfindung weiterhin den Vorzug, daß eine genaue und zeitraubende Justierung beider Detektoren
gegeneinander entfällt.
Claims (3)
1. Verfahren zur Aufnahme der Oberflächen- mischen Elemente auf der Probe bestimmt wird, ohne
struktur von Proben mittels einer Elektronen- 5 daß dazu zwei Rückstreuelektronen-Detektoren verstrahl-Mikrosonde,
dadurchgekennzeich- wendet werden müssen.
net, daß als Bildsignal eine Superposition von Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch ge-
Probenstrom- und Rückstreuelektronen-Signal löst, daß als Bildsignal eine Superposition von Proverwendet
wird. benstrom- und Rückstreuelektronen-Signal verwendet
2. Anordnung zur Durchführung des Verfah- io wird.
rens nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, Der Erfindung liegt die Erkenntnis zugrunde, daß
daß ein Probenstromabnehmer und ein Rückstreu- der Kontrast von Bildern, die aus den Ausgangselektronen-Detektor
an ein Superpositionsgerät Signalen von Rückstreuelektronen-Detektoren erzeugt angeschlossen und daß der Ausgang des Super- werden, im allgemeinen von zwei Komponenten bepositionsgeräts
mit einem Eingang eines Auf- 15 einflußt wird, und zwar einerseits von Λ·-γ Verteilung
nahmegeräts verbunden ist verschiedener Elemente auf der Probenoberfläche
3. Anordnung nach Anspruch 2, dadurch ge- und andererseits von der topographischen Beschaffenkennzeichnet,
daß der Probenstromabnehmer und heit der Probenoberfläche, daß der Kontrast von
der Rückstreuelektronen-Detektor mit dem HeII-. Bildern, die aus den Ausgangssignalen eines Proben Steuereingang
einer Bildröhre verbunden sind. ao Stromabnehmers, z. B. eines sogenannten Probenstromverstärkers,
erzeugt werden, dahingegen im wesentlichen von der Verteilung der Elemente auf der Probenoberfläche bestimmt wird. Ein ausProben-Stromsignalen
erzeugtes Bild ist also elementspezifisch
25 und liefert ein reines Ordnungszahlbild der Probenoberfläche.
Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine An- Ein reines Topographiebild der Probenoberfläche
Ordnung zur Aufnahme der Oberflächenstruktur von läßt sich folglich dadurch erzeugen, daß Probenstrom-Proben
mittels einer Elektronenstrahl-Mikrosonde. signal und Rückstreuelektronen-Signal superponiert
In einer Elektronenstrahl-Mikrosonde wird die 30 werden. Die Superposition muß dabei so erfolgen,
Obenläche einer Probe mit einem primären Elek- daß von der Information des Rückstreuelektronen·
tronenstrahl zeilen- oder rasterförmig abgetastet Die Signals (Topographie plus Ordnungszahl) die Inforbei
der Wechselwirkung des primären Elektronen- mation des Probenstromsignals (Ordnungszahl) substrahls
mit der Probe entstehenden physikalischen trahiert wird. Da durch die Kompensation die Infor-Erscheinungen,
z.B. das Auftreten von Röntgen- 35 maiion über die Oberflächenstruktur übrigbleibt, wird
strahlen, von Rückstreu-, Sekundär-, Auger-Elek- der Kontrast eines nach dem erfindungsgemäßen Vertronen,
das Entstehen eines Elektronenstroms, wer- fahren gewonnenen Bildes lediglich durch die topoden
als Informationsmöglichkeiten über die Beschaf- graphische Beschaffenheit der Oberfläche der Probe
fenheit der Probe ausgenutzt und zur Bilddarstellung bestimmt. Mit anderen Worten: Eine nach dem erfinherangezogen.
40 dungsgemäßen Verfahren gewonnene Aufnahme der
Gilt das Interesse der topographischen Beschaffen- Oberflächenstruktur einer Probe enthält keine Anheit
einer Probenoberfläche, also z. B. ihrer Rauhig- teile, die auf Grund des Vorhandenseins verschiekeit,
dann sollen die erzeugten Bilder als einzige In- dener Elemente in der Probenoberfläche zustande
formation Aussagen über die Topographie, jedoch kommen und die bei der Auswertung der Aufnahmen
keine weiteren Informationen, z. B. über die Vertei- 45 zu Fehldeutungen führen könnten. Insbesondere
lung von chemischen Elementen, beigemischt ent- können bei solchen Aufnahmen Intensitätsunterhalten,
schiede des Bildsignals (Hell-Dunkel-Unterschiede
Es ist ein Verfahren (Kimoto, Hashimoto, Kosugo auf ei.ier Bildröhre) als Höhenunterschiede und nicht
und Hert, Mikrochimica Acta, Heft 3, S 471 bis 478, als Gebiete unterschiedlicher Elemente in der Proben-1965)
bekannt, mit dessen Hilfe mittels einer Elek- 50 oberfläche interpretiert werden.
tronenstrahl-Mikrosonde Aufnahmen erzeugt werden Eine Anordnung zur Durchführung des Verfahrens
tronenstrahl-Mikrosonde Aufnahmen erzeugt werden Eine Anordnung zur Durchführung des Verfahrens
können, denen entweder eine Aussage ausschließlich sieht vor, daß ein Probenstromabnehmer und ein
über die Verteilung von chemischen Elementen in der Rückstreuelektronen-Detektor an ein Superposi-Probenoberfläche
oder eine ausschließliche Aussage tionsgerät angeschlossen und daß der Ausgang des
über die topographische Beschaffenheit der Probe 55 Superpositionsgeräts mit einem Eingang eines Aufentnommen
werden kann. Dazu werden in derMikro- nahmegerätes verbunden isf
sonde zwei sich gegenüberliegende Rückstreuelek- Probenstromsignal und Rückstreuelektronen-Signal
troften-Detektoren oberhalb der Probenoberfläche können je nach der Beschaffenheit des verwendeten
angeordnet, deren Ausgangssignale entweder nach Probenstromabnehmers und der Beschaffenheit des
Addition oder nach Substraktion das gewünschte 60 Rückstreuelektronen-Detektors entweder digatale
Bildsignal liefern. oder analoge Signale sein. Das Verfahren gemäß der
Dieses Verfahren hat den Nachteil, daß zwei iden- Erfindung ist unabhängig von der Art dieser Signale,
tische Rückstreuelektronen-Detektoren verwendet Die Signale werden vorzugsweise als Zahlen oder
werden müssen, obwohl für alle anderen Anwen- Spannungen abgegeben.
dungsfälle der Mikrosonde im allgemeinen ein ein- 65 Unter Superposition ist hier eine Addition bzw.
ziger Rückstreuelektronen-Dektcktor genügt. Subtraktion zu verstehen. Ob eine Addition oder
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, Bilder Subtraktion der Ausgangssignale erfolgen muß, richder
Oberflächenstruktur einer Probe mittels einer tet sich nach der Beschaffenheit von Probcnstrom-
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19702015161 DE2015161C (de) | 1970-03-28 | Verfahren und Anordnung zur Aufnahme der Oberflächenstruktur von Proben mittels einer Elektronenstrahl-Mikrosonde | |
FR7110828A FR2087888A5 (de) | 1970-03-28 | 1971-03-26 | |
GB2568871A GB1340906A (en) | 1970-03-28 | 1971-04-19 | Elecgron probe microanalysis |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19702015161 DE2015161C (de) | 1970-03-28 | Verfahren und Anordnung zur Aufnahme der Oberflächenstruktur von Proben mittels einer Elektronenstrahl-Mikrosonde |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE2015161A1 DE2015161A1 (de) | 1971-10-07 |
DE2015161B2 DE2015161B2 (de) | 1972-03-16 |
DE2015161C true DE2015161C (de) | 1972-12-28 |
Family
ID=
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE69125435T2 (de) | Verfahren zum direkten Erhalten von Amplituden und Phaseninformation eines Objekts mittels Bilder aus einem Hochauflösungs- Elektronenmikroskop | |
DE102015214071B3 (de) | MPI-Verfahren | |
DE19758363A1 (de) | Anordnung zur digitalen Subtraktions-Angiographie | |
DE102016223797A1 (de) | Röntgen-CT-Verfahren, Probenhalter und Röntgen-CT-Vorrichtung | |
DE2021989B2 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur farbigen Darstellung geophysikalischer, insbesondere seismischer Daten | |
DE2011193B2 (de) | Vorrichtung fuer die elektronen-rastermikroskopie und die elektronenstrahlmikroanalyse | |
EP0326840B1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zum Erzeugen eines Durchstrahlungsbildes | |
DE2015161C (de) | Verfahren und Anordnung zur Aufnahme der Oberflächenstruktur von Proben mittels einer Elektronenstrahl-Mikrosonde | |
DE69311051T2 (de) | Transmissions-Elektronen-Mikroskop und dessen Anwendung | |
DE2805673A1 (de) | Verfahren und einrichtung zum untersuchen von elektronischen schaltungen | |
DE2718943A1 (de) | Anordnung zur herstellung von roentgenschichtaufnahmen | |
DE4423407C2 (de) | Vorrichtung zum Abtasten einer Probe mit fokussierten Ionenstrahlen sowie ein Beobachtungsverfahren und ein Bearbeitungsverfahren unter Verwendung dieser Vorrichtung | |
DE2730889C2 (de) | Einrichtung zur ortsauflösenden Materialuntersuchung einer Probe | |
CH364373A (de) | Röntgenspektralanalyse-Gerät | |
DE102021132340A1 (de) | Verfahren des Erzeugens einer Kristallorientierungskarte eines Oberflächenabschnitts einer Probe und Computerprogrammprodukt | |
EP0062097A1 (de) | Verfahren zur Darstellung logischer Zustandsänderungen mehrerer benachbarter Schaltungsknoten in integrierten Schaltungen in einem Logikbild mittels einer gepulsten Elektronensonde | |
DE2015161B2 (de) | Verfahren und anordnung zur aufnahme der oberflaechen struktur von proben mittels einer elektronenstrahl mikrosonde | |
DE1448536B1 (de) | Vorrichtung zur Auswertung zweier stereophotographischer lichtdurchlaessiger Bilder | |
DE1764503A1 (de) | Tomografisches Gammastrahlen-Abtastgeraet | |
DE69319542T2 (de) | Apparat zum Messen der Verteilung eines elektromagnetischen Feldes mit einem fokussierten Elektronenstrahl | |
DE102017223435B9 (de) | Verfahren zum Betrieb eines Mikroskops | |
DE1958644A1 (de) | Schwingungsuntersuchung von Probekoerpern | |
DE2640260A1 (de) | Durchstrahlungs-raster-korpuskularstrahlmikroskop | |
DE2223021C3 (de) | Röntgenfernseheinrichtung für die Aufnahme und Wiedergabe eines von einem Röntgenschichtgerät erzeugten Röntgenschichtbildes | |
DE616999C (de) |