DE2013255C - Verfahren zum Bearbeiten, insb. zum Schneiden, Schweißen oder Bohren, und/oder Messen von Werkstücken aus Metall oder Kunststoff mittels eines Elektronen- oder Laserstrahles - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Bearbeiten und/oder Messen von Werkstücken aus Metall oder Kunststoff mittels eines Elektronen- oder Laserstrahls, dessen Brennpunkt durch Ablenkmittel in drei Koordinaten x, y, ζ bewegbar ist, wobei die z-Koordinate mit der Richtung des nicht ausgelenkten, unmodulierten Strahls zusammenfällt, bei dem zur automatischen Führung des Brennpunktes des Elektronen- bzw. Laserstrahls dieser in Richtung der jc-Koordinate periodisch mit der Frequenz /,, in Richtung der y-Koordinate periodisch mit der Frequenz f., und in Richtung der z-Koordinate periodisch mit der Frequenz /₃ ausgelenkt wird und bei dem eine Sonde die vom Werkstück ausgehende Sekundärstrahlung aufnimmt und ein dieser proportionales Signal über einen Verstärker mittelbar einen Korrekturstrom für die Fokussierung in der z-Koordinate erzeugt. In der nachfolgenden Beschreibung wird auf ein Verfahren Bezug genommen, nach welchem es bekannt ist, Werkstücke mit Hilfe von Elektronenstrahlen oder Laserstrahlen zu bearbeiten.

In der Verfahrenstechnik zur Materialbearbeitung werden derartige Strahlen eingesetzt, wodurch eine größtmögliche Wirtschaftlichkeit und vorteilhafte Bearbeitungsmöglichkeit, insbesondere in der Feinwerktechnik, erzielt wird. Es ist bekannt, Elektronenstrahlcn als Wärmequelle zu verwenden, indem man diese eng gebündelt und unter einer sehr hohen Beschleunigungsspannung auf das zu bearbeitende Werkstück richtet. Durch den sehr feinen Elektronenstrahl ist es möglich, genaue und gezielte Schweißnähte, Bohrung gen oder Trennfugen zu erzeugen. Durch die konzentriert auftretende Hitzeeinwirkung ist an dem Bearbeitungsvorgang nur ein sehr engbegrenzter Bezirk des Materials beteiligt. Zur Schonung der unmittelbaren Umgebung der Auftreffstelle wird deshalb der Elektronenstrahl nur zeitweilig, also impulsförmig moduliert, um die Einwirkungsdauer steuern zu können.

Zur Erzeugung des Elektronenstrahls werden bekanntermaßen sogenannte Elektronenstrahlgcneratoren eingesetzt, die im Prinzip aus einer Triode be-

stehen. Die von einer Glühkatode emittierten Elek- richtung zur automatischen Fokussierung des Latronen werden durch eine gegenüber dieser auf einem dungsträgerstrahls bekannt (deutsche Patentschrift hohen positiven Potential liegende Anode auf eine 1 196 806), bei welchem aber ebenfalls eine Maxigroße Geschwindigkeit gebracht. Zur Steuerung des mum-Peilung vorgenommen wird. Es wird hierbei Elektronensystems befindet sich eine Art Wehnelt- 5 auf maximale Menge der aufgenommenen Sekundar-Zylinder zwischen Katode und Anode. Die Anode Elektronen eingestellt und die Fokussierung danach besitzt eine Mittelbohrung, durch die die Elektronen eingerichtet, wonach der Fokussierstrom auf diesen mit hoher Geschwindigkeit durchtreten. Zur weiteren eingestellten Wert festgehalten wird. Dieses Verfah-Beeinflussung des Elektronenstrahls durchläuft dieser ren besitzt den Nachteil, daß keine echte Regelung ein steuerbares Magnetfeld zur Fokussierung. Außer- io vorliegt und keine stabile Sollwerteinstellung mogdem enthält die Anordnung ein Ablenksystem, mit Hch ist. Auch dieser Nachteil soll mit dem angemeldem der Strahl in zwei senkrechten zueinander ste- deten Verfahren beseitigt werden,
henden Koordinaten in Grenzen abgelenkt werden Aufgabe des angemeldeten Verfahrens ist, eine kann, bevor er das ebenfalls im Vakuum befindliche von Alterung unabhängige und stabile Regelung zur Werkstück trifft. Durch die starke Bündelung des 15 optimalen Fokussierung des Bearbeitungsstrahls zu Elektronenstrahls im sogenannten B.ennfleck, dessen schaffen.

Durchmesser bei richtiger Justierung nur wenige μτη Das angemeldete Verfahren ist erfindungsgemaß beträgt, entstehen Leistungsdichten bis zu mehreren dadurch gekennzeichnet, daß die von der Sonde ge-10⁹ W/cm². Wird die Oberfläche des Werkstückes in lieferten Signale über einen Bandpaßverstärker mit den Bereich dieses Brennfleckes gebracht, kann diese 20 einem Durchlaßbcrcich für die Oberwellen der Sedem jeweiligen Zweck entsprechend bearbeitet wer- kundärstrahlung zwei gleichen Verstärkern mit Siden. Die Genauigkeit der Bearbeitung hängt von der gnaltorschaltungen zugeführt werden, die alternie-Führung der Oberfläche unter dem Brennpunkt des rend mit der Frequenz /₃ und damit synchron zur Abgebündelten F.lektronenstrahles ab. Da/u muß ge- lenkung in Richtung der z-Koordinate getastet werwährleistet sein, daß der Hlektronenstrahl zu jedem 25 den. und daß an den Verstärkern Ausgangsspannun-Zeitpunkt optimal fokussiert ist. In der bisher üb- gen entstehen, die mittels eines Brückendemodulators liehen Technik wird ein Wolfram-Scheibchtn in den verglichen werden und eine dadurch gebildete Diffe-Strahlengang in Höhe der Bearbeitungsfläche einge- renzspannung über einen weiteren Verstärker den schwenkt. Die Fokussierung wird dann durch Ver- Korrekturstrom für die Fokussierung in der z-Koorändern des Steuerstromes in der Elektronenlinse der- 30 dinate erzeugt.

art vorgenommen, daß auf dem Wolfram-Scheibchen Die Sekundärstrahlung kann aus Licht-, Röntgender Leuchtfleck optisch den kleinsten Durchmesser oder elektronischen Strahlen oder anderen elektrobesitzt. Diese Einstellung kann aber jeweils nur für magnetischen Wellenstrahlungen bestehen,
einen Mittelwert gelten. Eine Aufgabe des crfindungs- In der nachfolgenden Beschreibung soll an einem gemäßen Verfahrens ist es, die Fokussierung auto- 35 Beispiel für das Schweißen mit Hilfe der Fig. I matisch zu jedem Zeitpunkt des Bearbeitungsverfah- bis 13 das erfindungsgemäße Verfahren näher erläurcns optimal einzustellen. tert werden. Hierbei zeigt die

Beim Schweißen von zwei Teilen muß der Brenn- F i g. 1 eine Elektronenstrahlkanone üblicher Bau-Heck immer der Trennfuge zwischen den Teilen ent- art,

langgeführt werden. Das geschieht üblicherweise da- 40 F i g. 2 ein Blockschaltbild zur Durchführung des

durch, daß durch gemeinsames Verschieben der Teile angemeldeten Verfahrens,

der Strahl in der Fuge entlanggeführt wird, indem der F i g. 3 a den Kurvenverlauf einer beliebigen

Bearbcitung-.tisch in senkrecht zueinander stehenden Schweißnaht in einer Bearbeitungsebene x, y,

Richtungen von Hand gesteuert wird. Ks ist deshalb F i g. 3 b eine Ausschnittvergrößerung der F i g. 3 a,

eine weitere Aufgabe des erfinderischen Verfahrens, 45 F i g. 4 den zeitlichen Verlauf der von der Sonde

diese Steuerung derart zu gestalten, daß der Strahl abgegebenen Spannung,

automatisch der Trennfuge entlanggeführt wird. Fig. 5 das Amplitudenspektrum der Spannung

Es ist bekannt (deutsche Offenlegungsschrift nach F i g. 4.

1565 539), den Brennpunkt eines Elektronenstrahls Fig. 6 die Durchlaßkurve eines ersten Verstär-

mit Hilfe einer Sonde zur Aufnahme von Helligkeits- 50 kers,

Schwankungen zu steuern. Hierzu wird die Grund- Fig. 7 den Signalverlauf der automatischen Fo-

schwingung der Helligkeitsschwankungen ausgewer- kussierungssteuerung,

tet, wobei die Tatsache ausgenutzt wird, daß die HeI- F i g. 8 die Durchlaßkurve eines zweiten Verstär-

ligkeit des Brcnnflecks bei optimaler Fokussierung kers,

einen Maximalwert erreicht. Bei periodischer Verän- 55 Fig. Qa Signalverlauf bei automatisch symme-

derung um diesen Maximalwert verschwindet jedoch trischer Fokussierung (/,·„, ψ l_soU),

die Grundschwingung, die zusammen mit einer Oszil- lig. ^f)b Signalverlauf bei automatischer symme-

latorfretjuenz verglichen wird und daraus das Steuer- trischer Fokussierung (/,„, = Zs₀/,),

signal zur Brennpunktsteuerung abgeleitet wird. Bei Fig. 10a Signalverlauf bei automatischer unsym-

der bekannten Steuereinrichtung wird zur optimalen 60 metrischer Fokussierung (/,·_,, φ I_s„u) nach oben,

Einstellung des Brennpunktes das von der Sonde Fig. 10b Signalverlauf bei automatischer unsym-

(Fotozelle) aufgenommene Signal über Spiegel auf metrischer Fokussierung (/,·„, = /_M,„) nach oben,

maximale Helligkeit einjustiert. Diese Anordnung bc- Fig. lla Signalvcrlauf bei automatischer unsyrn-

sitzt den großen Nachteil, daß eine Eich- und Meß- metrischer Fokussierung (/,·,,, ψ />.„„) nach unten,

genauigkeit schwer zu beherrschen ist, da auf genaue 65 Fig. I Ib Signalverlauf bei automatischer unsym-

Planparallelität zwischen Werkstückoberfläche und metrischer Fokussierung (I _ht = /,„„) nach unten,

Meßsonde geachtet werden muß. Fig. 12 Signalgcnemlor,

Es ist außerdem ein Verfahren und eine Ein- Fi g. 13 Impulsschema.

_{In Fi}, , ist schematisch der A^a,ι der ™hn ten Elektronenstrahlkanone ge zeigt -D« ™n J ^ allgemeinen wird die an die Fuge angelegte Tan-

^V^{inen winkel}" ^{mit der} "^{Koordinate ein}'

sind die ^^f^
Werkstück 6, und z, in der der
tronenstrahls bewegbar ^^^^

Die zur automatischen Führung de F°^ku« des Brennpunktes des Elektronenstrahls erfordere

Schaltung ist in te Form «J ^JfSJfS nach Fig. 2 dargestellt ^r den ^Fa^

Eine von einem ^
Schwingung von z. B. 10 kHz
lationsstufe 8 einem Verstärker 9 welcher den fur die *-Koordiⁿ*
lenkstrom/, liefert. Es sei
Schwingung von OszdiafJ.f 90° phasendrehendes Ghed "

welcher fur die >'-K°°^rdinal.^<^ h AmSde der Ab-

die

25KU SS ^V

wobei die Anode meist auf ^ssepotentia^ und to 5 schhcto. _{sind dner Ausschnit}tvergrößerung
Katode auf negativem Potential von etwa 15OkV ng Verhältnisse deutlicher herausgeliegt. Eine Wehneltelektrode 3,dientzm^ Stoning der £ a ^ ^ _die ^
des Elektronenstrahls der ^d"^rc\^ ^Ablenk pu£n 4 zusammengeschweißt werden sollen
indenx-undy-Koord« _{durch die schraffierte} Fuge 20* angedeutet istsierung dient die Elektronen!« 5. ν in dLnen das Hier bedeutet ,»t der momentane Winkel des Aufsind die drei ^^f^'^^SmA- treffpunktes des periodisch umlaufenden Elektronend dBrennpunkt tie η _x._y._Ebenc in bezug auf die emgetra-

gene positive x-Richtung.

⁸ _De ^l _r Elektronenstrahl wird z.B. kreisförmig über

P»nktef des Elektronenstrahls angebrachte Sonde _{mmmt die} Sekundärelektronenstrahlung auf und b.ldet eine dieser proportionalen Spannung U_s. Da der _{Elektronenstrah}i periodisch über die noch nicht ge_{schweißte Fuge} steift, ändert sich impulsartig mit der Frequenz der kreisförmigen Ablenkung des Elek_lronens?rahls _die Sekundärstrahlung. Der zeitliche Verlauf dieser Spannung U₅ ist in F i g. 4 dargestellt. ,₅ Diese periodische Signalspannung ist oberwellenhaltig, das entsprechende Frequenzspektrum zeigt F i g. 5. Der Oberwellengehalt ist abhängig von der Tiefe der Modulation der Sondenspannung U, nach g Fig. 4 und diese wiederum von der Fokussierung des Strahls. Von diesem Frequenzspektrum wird im Verstärker nur die Grundwelle verstärkt und ausgewertet. Weicht die Lage des nicht ausgelenkten Elektronenstrahls von der Mitte der Fuge ab, ergibt sich _d Sondcnsignal eine abweichende Phasenlage . Svnchrondemodulatoren 16,17, derart, daß

den diese in Zusammenwirken mit der zugeführten Refe_renzphase für die x- bzw. y-Koordinate ein Steuer_{für die Anlricbsmotoren Μχ} bzw. M₅. zur

Nachführung des Werkstückes abgeben.

Nachdem die automatische Führung des Werk_slückes in der .v- und v-Koordinate besprochen wurde. ^^ ^.^ ^^ ^ _Verfahfens

die automatische Fokussierung des Brennpunktes in ^^ ^ ^ ^^^ ^ _Hflfc ^ _F. _{2 und 7 bi} „

^g _{Fotodioden> Foto}. ₄₅ näher erläutert werden. In Fig. 7 ist die zeitliche oder sichtbares Zuordnung von Impulsen gezeigt, die von einem Impulsgenerator 13 an die verschiedenen Stufen geführt sind. Zur automatischen Fokussierung wird eine _{altemierende Impulsspannung υ an ein}|_n Verstärker

23 gegeben, der den" FokufsieUom /, periodisch Mittelwert aus erhöht und erniedrigt. Im Rhythmus werden von dem Impulsgeneraf_{Of 13 durch} ^y _{alternierende} Impulsfolgen U₃ und U₄ Verstärker 24,25 wechselseitig |etastet, die ein Sondensignal geliefertes Oberwellengemisch aus _dem Verstärker 26 verstärken und auf den Brücken- ^ demodulator 27 geben. Der Verstärker 26 hat eine

ξ _Sonden. _Durchi_aßkurve mit der relativen Verstärkung V nach Korrektur- Fig. 8. Die Eckfrequenzen dieses Bandpasses sind _M f _My entstehen, 6o zweckmäßigerweise etwa gegeben mit dem 5- und S Werkstück so weit ver- 50fachen der Grundfrequenz des periodischen Signals em Weλs ^^ (Modulationssignal). DerBrückendemodulator 27 ver-

t gleicht die beiden Ausgangsspannungen der beiden

Verstärker und gibt die daraus gewonnene DifTerenzverdeut- 6₅ J-jJ^^^«^» » - Verstärker

welcher fur >

lenkstrom /, liefert. Bei

lenkströme entsteht bei

x- und y-Ablenksysteme

für den Elektronenstrahl Diese

kung kann ^wa _H ^hrend.^des _m ^A _R ^rS^ handen sein ^^™ ^B1^SdS können die Schwingungen
«tor 13 duichSp^ung^te ^ Vorzugsweise sollte ^^^ . Ordnung von 1 . 20 hegen, um
BearbdtungsvOigang zu storen.

^ ^ZT7tZZZl^trZ Zn lern Egonen-Sonde 14 vorgesf^he?'_k^_d^s_trahlung auffängt und strahl verursachte Sekund^™¹¹?"« _Verst>_{ker 1S} ein dieser proportionales Signal Jan vema« zuführt. Als bonaen sind <-£*£ öt

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Der Verstarker 15, dessen DurchlaBkummt

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die Grundschwingung Z₁ und ^ «ese zwei^y chrondemodulatoren 16,17 zu denen^J schwingung das der *- bzw. y-Koordmate chende Modulationss^gnal zugde^t w»^d Weise wird das Sondensigna1 nacl^^de° ordinaten » und y J^^ verstärkt, so daß

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licht werden solL _wi„_{kürlich in der} Arbeits-

ebeüei y des Werkstücks angenommene Verlauf Nachfolgend soll der'Vorgang der automatischen Fokussierung erläutert werden.

In F i g. 9 a ist der noch nicht ausgeregelte Zustand des Fokussierstromes /, dargestellt, da l_isl und /_Sll„ noch stark voneinander abweichen.

Periodisch wird nun der Fokussierstrom symmetrisch vergrößert und verkleinert, so daß der Elektronenstrahl mehr oder weniger defokussiert auf die Werkstückoberfläche auftrifft, wie dies unter der Kurve für den Strom I₂ angedeutet ist. Als Folge davon entsteht beim jeweiligen Überstreichen des Elektronenstrahls über die Trennfuge ein Sondensignal t/._s, dessen Zeitfunktion darunter aufgezeichnet ist mit von der jeweiligen Fokuslage abhängigen Modulationstiefe. Daraus entsteht ein mehr oder weniger oberwellenhaltiges Sondensignal L/_s, dessen Frequen/Iunktton entsprechend der genauen Darstellung nach F i g. 5 vereinfacht aufgezeichnet ist.

Zunächst soll die linke Seite der Fig. 9a besprochen werden, bei der der Brennpunkt des Elektronenstrahls durch kurzzeitige Erhöhung des Linsenstromes /_r nach oben getastet ist. Es erfolgt eine flache Modulation des zeitlichen Verlaufs der Sondenspannung. Dadurch hat die entsprechende Frequenzfunktion weniger Oberwellen, so daß nach Durchlaufen des Bandpasses eine kleine Spannung l/_s an den unten angedeuteten Gleichrichter gelangt, der eine kleine positive Spannung abgibt.

Die rechte Seite der F i g. 9 a stellt den Zustand für eine kurzzeitige Erniedrigung des Linsenstromes l_z dar, wodurch die Brennweite des Elektronenstrahls vergrößert wird. Dadurch wird die Zeitfunktion der Sondenspannung U_s steiler und dadurch ihr Oberwellengehalt erheblich größer, so daß nach Durchlaufen des Bandpasses dem zweiten Gleichrichter im Brückendemodulator eine größere Wechselspannung zugeführt wird, was eine größere negative Richtgleichspannung zur Folge hat. Die aus beiden Richtgleichspannungcn resultierende Differenzspannung AU ist im ungeregelten Zustand daher negativ, wie unten in F i g. 9 a angedeutet ist.

Die mittlere Spalte stellt die Verhältnisse zwischen den Schaltimpulsen dar, wie sie sich ergeben würden, wenn man bei dem Linsenarbeitsstrorn — während des Schweißens — und gleichzeitig periodisch ausgelenkten Elektronenstrahl mißt. Der Oberwellengehalt ist dann ein Maß für den vertikalen Abstand des Brennpunktes von der Werkstückoberfläche. Für den Abstand Null, d. h. bei optimaler Fokussierung nach F i g. 9 b im geregelten Zustand würde dann das symbolisch angedeutete Meßinstrument für die Sondenspannung Ό'_s den Maximalwert anzeigen.

Die Fig. 10 und 1 1 zeigen entsprechend den Ausführungen zu Fig.¹) die Verhältnisse für eine gewollte Verschiebung des Brennpunktes in das Werkstück hinein (Fig. 10) bzw. aus dem Werkstück heraus (Fig. 11), indem eine unsymmetrische Tastung des Linsenstromes vorgenommen wird.

Die Fig. 9b. 10b und Ub stellen jeweils den ausgeregelten Zustand dar.

Die Fokusautomatik ist bestrebt, den Fokus für

ίο den nicht getasteten Arbeitsbereich derart einzustellen, daß die beiden für die Gewinnung der Meßsignale getasteten Fokuslagen zu beiden Seiten der mittleren Oberflächen des Werkstücks spiegelbildlich zu liegen kommen.

Voraussetzung für die automatische Fokussierung ist die Existenz von Unebenheiten auf der Oberfläche, wie sie beispielsweise beim kreisförmigen Ablenken des Elektronenstrahls während des Schweißens der Fuge zwischen zwei Werkstücken gegeben ist.

Durch zeitliche Steuerung des Ablenksignals und des Linsenstroms mit kleinen Tastverhältnissen wird in Verbindung mit einer gleichzeitigen, impulsartigen Herabsetzung des Stromstrahls vermieden, daß diese Steuersuchsignale auf dem Werkstück nennenswerte Spuren hinterlassen.

Wie in Fig. 2 angedeutet, kann die Intensität des Elektronenstrahls in der Elektronenstrahlkanone 30 durch den Impulsgenerator 13 über einen Verstärker 29 während der Meßphase abgeschwächt werden.

Zur synchronen Steuerung der automatischen Führung des Brennpunktes und zur Erzeugung der für das Verfahren notwendigen Torsignale ist ein Impulsgenerator 13 vorgesehen, wie er z. B. in F ig. 12 dargestellt ist.

Die in Fig. 12 eingetragenen Positionen beziehen sich auf die an den betreffenden Stellen anliegenden Signale, wie sie unter der gleichen Numerierung in Fig. 13 für die einzelnen Ausgänge herausgezeichnet sind.

Zur Verbesserung der automatischen Steuerung des Brennpunktes kann es vorteilhaft sein, die Größe des z. B. vom Brennpunkt beschriebenen Kreises derart zu regeln, daß der Radius vergrößert wird, wenn der Brennpunkt die Fuge noch nicht erreicht, oder z. B.

durch schnelle Richtungsänderung der Fuge diese verlassen hat und beim Auftreffen auf die Fuge automatisch wieder auf seinen optimalen kleinen Wert gebracht wird. Hierdurch ist eine selbsttätige Anpassung des Suchkreises an die geometrischen Abmessungen der Fuge möglich.

Hierzu 5 Blatt Zeichnungen

Claims (11)

Patentansprüche:

1. Verfahren zum Bearbeiten und/oder Messen von Werkstücken aus Metall oder Kunststoff mittels eines Elektronen- oder Laserstrahls, dessen Brennpunkt durch Ablenkmittel in drei Raumkoordinaten x, y, ζ bewegbar ist, wobei die z-Koordinate mit der Richtung des nicht ausgelenkten, unmodulierten Strahls zusammenfällt, bei dem zur automatischen Führung des Brennpunktes des Elektronen- bzw. Laserstrahls dieser in Richtung der ;c-Koordinate periodisch mit der Frequenz f_v in Richtung der y-Koordinate periodisch mit der Frequenz f₂ und in Richtung der z-Koordinate i$ periodisch mit der Frequenz/₃ ausgelenkt wird und bei dem eine Sonde die vom Werkstück ausgehende Sekundärstrahlung aufnimmt und ein dieser proportionales Signal über einen Verstärker mittelbar einen Korrekturstrom für die Fo- ao kussierung in der z-Koordinate erzeugt, dadurch gekennzeichnet, daß die von der Sonde (14) gelieferten Signale über einen Bandpaßverstärker (26) mit einem Durchlaßbereich für die Oberwellen der Sekundärstrahlung zwei glei- as clien Verstärkern (24, 25) mit Signaltorschaltungen zugeführt werden, die alternierend mit der Frequenz /₃ und damit synchron zur Ablenkung in Richtung der z-Koordinate getastet werden, und daß an den Verstärkern (24, 25) Ausgangsspannungen entstehen, die mittels eines Brückendemodulators (27) verglichen werden, und eine dadurch gebildete Differenzspannung über einen weiteren Verstärker (23) dem Korrekturstrom für die Fokussierung in der z-Koordinate erzeugt.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Frequenz /, gleich der Frequenz f., ist.

3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Amplituden für die Auslenkung in der jc-Koordinate und für die Auslenkung in der y-Koordinate gleich groß sind.

4. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Auslenkungen in der ^-Koordinate und in der y-Koordinate gegeneinander um .-τ/2 phasenverschoben sind.

5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Amplituden der periodischen Auslenkungen in der x- und y-Koordinate getastet sind.

6. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Brennpunkt in Richtung der z-Koordinate mit einer Frequenz /₃ symmetrisch zu seiner Arbeitslage ausgelenkt wird.

7. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Brennpunkt in Richtung der z-Koordinate mit einer Frequenz/., unsymmetrisch zu seiner Arbeitslage ausgelenkt wird.

8. Verfahren nach einem der Ansprüche I, 6 oder 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Frequenz /., zur Auslenkung des Brennpunktes in Richtung der z-Koordinate wesentlich kleiner ist als die Frequenzen J₁ und /₂ der Auslenkungen in den .r-y-Koordinaten.

9. Verfahren nach einem der Ansprüche 6 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß der Brennpunkt in Richtung der z-Koordinate impulsartig ausgelcnkt wird.

10. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zum Messen der Schweißnaht das Suchsig^al im Bereich φ±π ausschnittsweise zur oszillographischen Wiedergabe uud/oder zur Helligkeitssteuerung nach Art eines Fernsehbildes verwendet wird, wobei eine zeilenweise Abtastung der Schweißnaht in der jr-y-Ebene mit dem zellenförmigen Raster des Fernsehbildes synchron verkoppelt ist.

11. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daS die Größe des vom Brennpunkt als Projektion auf die mittlere Oberfläche des Werkstückes beschriebenen Kreises derart gesteuert wird, daß der Radius des Kreises und somit der Fangbereich vergrößert wird, wenn der Brennpunkt die Fuge noch nicht erreicht und bei Auftreffen auf die Fuge automatisch wieder auf einen kleinen Optimalwert gebracht wird.