DE20114955U1 - Vorrichtung zum automatischen Beladen einer Doppelseiten-Poliermaschine mit Halbleiterscheiben - Google Patents

Vorrichtung zum automatischen Beladen einer Doppelseiten-Poliermaschine mit Halbleiterscheiben

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DE20114955U1 DE20114955U DE20114955U DE20114955U1 DE 20114955 U1 DE20114955 U1 DE 20114955U1 DE 20114955 U DE20114955 U DE 20114955U DE 20114955 U DE20114955 U DE 20114955U DE 20114955 U1 DE20114955 U1 DE 20114955U1
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Claims (7)

1. Vorrichtung zum automatischen Beladen einer Doppelseiten-Poliermaschine mit Halbleiterscheiben (46), wobei die Poliermaschine einen unteren und einen oberen Polierteller (10), auf dem unteren Polierteller (10) aufliegende Läuferscheiben (14), eine Abwälzvorrichtung (20) zum Bewegen der Läuferscheiben mittels Rotation und einen gesteuerten Antrieb für die Abwälzvorrichtung umfaßt, mit dem auch die einzelnen Läuferscheiben in eine vorgegebene Ent- und Beladeposition fahrbar sind, gekennzeichnet durch folgende Merkmale:
  • - ein Roboter mit einem Beladearm (26), der Greifmittel (28) zum Erfassen einer Halbleiterscheibe an einer Oberfläche aufweist, der mit Hilfe einer Roboter­ steuerung einen beliebigen Ort im Raum anfahren kann
  • - ein erstes optisches Erkennungssystem (34), dessen Gesichtsfeld (38) die Auf­ nahmeöffnungen (16) einer Läuferscheibe (14) in ihrer Beladeposition erfaßt und das die Lage der Mittelpunkte der Aufnahmeöffnungen mißt, wobei die Mittelpunktswerte in einem Speicher abgelegt werden
  • - ein zweites optisches Erkennungssystem (36), das am Beladearm (26) angebracht ist und nach Ausrichtung der Greifmittel (28) zu den Mittelpunkten geeignet ist, mindestens zwei auf einem Durchmesser liegende Punkte des Randes einer Aufnahmeöffnung (16) zu erfassen zur exakten Bestimmung der Lage des Mittelpunkts der Aufnahmeöffnung (16), wobei die exakten Mittelpunktswerte gespeichert werden zwecks Ansteuerung und Ausrichtung der von den Greifmitteln (28) aufgenommenen Halbleiterscheiben (46) zu einer Auf­ nahmeöffnung (16).
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das erste optische Erkennungssystem (34) stationär ist.
3. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß das erste optische Erkennungssystem (34) oberhalb des Beladearms (28) angeordnet ist.
4. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die optischen Erkennungssysteme eine Kamera mit Bildauswertung aufweisen.
5. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Greifmittel (28) Saugnäpfe (32) aufweisen, die wahlweise unter Vakuum gesetzt werden können.
6. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß das Greifmittel (28) gegenüber dem Beladearm (26) um eine horizontale Achse kippbar ist, wobei die Achse eine Tangente an den Rand einer zentrisch aufgenommenen Halbleiterscheibe (46) darstellt.
7. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß eine Zentrierstation vorgesehen ist, in der eine zuvor abgelegte Halbleiterscheibe von den Greifmitteln zentrisch aufgenommen wird.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109693177A (zh) * 2019-02-01 2019-04-30 宇晶机器（长沙）有限公司 一种翻转抛光机自动取放料装置
CN112207698A (zh) * 2019-06-14 2021-01-12 硅电子股份公司 用于抛光半导体晶圆的设备和方法

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R071 Expiry of right
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