DE20022564U1 - Vorrichtung zur defektfreien Beschichtung von Substraten - Google Patents

Vorrichtung zur defektfreien Beschichtung von Substraten

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Description

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Claims (8)

1. Vorrichtung zur defektfreien Beschichtung von Substraten mit einer Beschichtungstrecke, bestehend aus mindestens einer Vakuumbeschichtungssektion, aus einer Eingangs- und einer Ausgangsschleuse, und aus mindestens einem einteili­ gen Carrier oder einem mehrteiligen Carrier, bestehend aus einem Carriereinsatz zur Aufnahme der Substrate und aus einem den Carriereinsatz aufnehmenden Carrierträger, der zumindest durch die Beschichtungsanlage hindurch zwischen der Eingangs- und der Ausgangsschleuse auf einer Carrier­ bahn verfahrbar ist, und mit einer Carrierrückführung zwischen der Ausgangs- und Eingangsschleuse, dadurch gekennzeichnet, dass die Carrierrückführung zumindest durch einen Teil der Beschichtungsanlage (6) gebildet wird und dass die Carrierbahn (5) als geschlossene Bahn ausgeführt ist.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekenn­ zeichnet, dass die Carrierbahn (5) kreisförmig und der Carrierträger (2) in der Draufsicht kreissegmentförmig ausgebildet ist.
3. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekenn­ zeichnet, dass die Carrierbahn (5) aus geraden und stetig gekrümmten Teilen besteht und der Carrierträger (2) eine im wesentlichen gerade Form aufweist.
4. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, da­ durch gekennzeichnet, dass der Carrier­ einsatz (3) aus mehreren Einsatzsegmenten besteht, die in Bewegungsrichtung des Carriers (1) hintereinander angeord­ net sind.
5. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekenn­ zeichnet, dass die Einsatzsegmente gerade sind.
6. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekenn­ zeichnet, dass die Einsatzsegmente in Bewegungs­ richtung des Carriers (1) gekrümmt sind.
7. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1, 2 oder 4 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass der Car­ riereinsatz (3) dieselbe Krümmung aufweist, wie die Car­ rierbahn (5).
8. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, da­ durch gekennzeichnet, dass die Carrier­ bahn (5) schienenförmig ausgebildet ist und der Carrier­ träger (2) mit in der Carrierbahn (5) laufenden Rädern versehen ist, und dass ein mindestens ein Drehgestell vorgesehen ist, mit dem zumindest ein Teil der Räder ver­ bunden sind.
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