DE19958566A1 - Gütegeschalteter Festkörperlaser mit einstellbarer Pulslänge - Google Patents

Gütegeschalteter Festkörperlaser mit einstellbarer Pulslänge

Info

Publication number
DE19958566A1
DE19958566A1 DE19958566A DE19958566A DE19958566A1 DE 19958566 A1 DE19958566 A1 DE 19958566A1 DE 19958566 A DE19958566 A DE 19958566A DE 19958566 A DE19958566 A DE 19958566A DE 19958566 A1 DE19958566 A1 DE 19958566A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
laser
radiation
crystal
switch
solid
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
DE19958566A
Other languages
English (en)
Inventor
Olaf Kittelmann
Frank Strauch
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Carl Zeiss Meditec AG
Original Assignee
Carl Zeiss Jena GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Carl Zeiss Jena GmbH filed Critical Carl Zeiss Jena GmbH
Priority to DE19958566A priority Critical patent/DE19958566A1/de
Priority to JP2000354928A priority patent/JP2001189513A/ja
Priority to US09/729,563 priority patent/US6587483B2/en
Publication of DE19958566A1 publication Critical patent/DE19958566A1/de
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/10Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
    • H01S3/11Mode locking; Q-switching; Other giant-pulse techniques, e.g. cavity dumping
    • H01S3/1123Q-switching
    • H01S3/117Q-switching using intracavity acousto-optic devices
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/10Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
    • H01S3/106Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating by controlling devices placed within the cavity
    • H01S3/108Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating by controlling devices placed within the cavity using non-linear optical devices, e.g. exhibiting Brillouin or Raman scattering
    • H01S3/109Frequency multiplication, e.g. harmonic generation
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/10Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
    • H01S3/10038Amplitude control
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/10Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
    • H01S3/106Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating by controlling devices placed within the cavity
    • H01S3/1068Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating by controlling devices placed within the cavity using an acousto-optical device

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Lasers (AREA)
  • Optical Modulation, Optical Deflection, Nonlinear Optics, Optical Demodulation, Optical Logic Elements (AREA)

Abstract

Die Erfindung betrifft einen gütegeschalteten Festkörperlaser, welcher eine Pumpstrahlungsquelle, deren Pumpstrahlung durch fokussierende Elemente in den Laserkristall fokussiert ist, und einen durch reflektierende Flächen gebildeten Resonator, in welchem mindestens ein Laserkristall, ein akusto-optischer Schalter zur Güteschaltung sowie wahlweise ein frequenzverdoppelter Kristall (KTP) angeordnet sind, umfaßt. Der akusto-optische Güteschalter ist mit einer, eine modulierbare Hochfrequenzwelle erzeugenden elektronischen Einheit verbunden. DOLLAR A Der Güteschalter wird durch die Hochfrequenzwelle derart gesteuert, daß durch Steuerung der Steilheit der Flanke der Modulationsfunktion der Hochfrequenzwelle Laserimpulse mit Impulslängen in der Größenordnung einiger Mikrosekunden (mus) und mit einem Energieinhalt in der Größenordnung von einigen Millijoule erzeugbar sind.

Description

Die Erfindung bezieht sich auf einen gütegeschalteten Festkörperlaser mit einstellbarer Pulslänge, insbesondere mit einer Pulslänge in der Größenordnung von einigen Mikrose­ kunden und einem Energieinhalt in der Größenordnung von einigen Millijoule, und ist all­ gemein für die Materialbearbeitung und speziell für die Bearbeitung biologischen Gewe­ bes, beispielsweise zur Anwendung in der Ophthalmologie gedacht.
Ziel einer ophthalmologischen Laserbehandlung ist unter anderem die thermische Zerstö­ rung kranken Gewebes (Koagulation). Dabei wird jedoch meist auch gleichzeitig umlie­ gendes gesundes Gewebe durch die Wärmeeinwirkung beeinflußt bzw. zerstört. So be­ steht die Notwendigkeit, die Erwärmung räumlich auf ein Behandlungszentrum mit kran­ kem Gewebe einzuschränken, um gesundes Gewebe weitestgehend zu schonen, was mit Laserpulsen bestimmter Pulslänge, Pulsenergie und Wiederholrate ermöglicht werden kann.
So ist aus der DE 39 36 716 eine Vorrichtung zur Beeinflussung von Material durch eine gepulste Lichteinstrahlung bekannt, die den Vorteil einer gepulsten Laserbehandlung ge­ genüber einer Dauerstrichbehandlung von biologischem Gewebe beschreibt. Hier ist eine zeitliche und räumliche Schaltvorrichtung der Lichtquelle für eine mehrfach repetierende Bestrahlung mit Lichtimpulsen vorgesehen, um gezielt Materialveränderungen auf die di­ rekten lichtabsorbierenden Strukturen des bestrahlten Materials und ihre unmittelbare Umgebung räumlich begrenzt zu beeinflussen.
Aus der Patentschrift DE 44 01 917 C2 (Brinkmann) und hierin enthaltenen Referenzen sind Laseranordnungen beschrieben, die gepulstes Licht mit Pulslängen von einigen Mi­ krosekunden zur Verfügung stellen. Allerdings ist der betriebene Aufwand recht hoch. Zum einen werden die Pulse mit elektro-optischer Güteschaltung erzeugt, was den Umgang mit Hochspannung im kV-Bereich nötig macht (Pockelszelle). Zum anderen wird eine sehr schnelle Rückkopplungsschleife verwendet, die während des Laserpulsaufbaus die Ver­ luststeuerung durch den Güteschalter nachstellt. Zur Rückkopplung wird ein Teil des aus­ gekoppelten Laserlichts verwendet, welches in ein elektrisches Signal umgewandelt wird. Hierdurch wird die Verlängerung der Laserpulse bis in den Mikrosekundenbereich ge­ währt.
Eine Pulserzeugung mittels sättigbarem Absorber wäre auch denkbar, würde aber die Pulsverlängerungseinheit, bestehend aus Pockelszelle und Rückkopplung, nicht überflüs­ sig machen. Diese Ausführung beansprucht zusammen mit der notwendigen Leistungs­ elektronik für die Rückkopplung viel Raum und ist u. a. wegen Wasserkühlung schlecht transportabel.
Ein kompakter, gütegeschalteter, diodengepumpter Festkörperlaser mit akusto-optischer Güteschaltung ist in der noch unveröffentlichten Patentanmeldung Nr. 199 27 918.7 be­ schrieben, bei dem hohe Anforderungen an die Qualität der dielektrischen Schichten von Resonatorkomponenten gestellt werden, da die Strahlungsbelastung in den Laserkristallen bei gepulster Laserstrahlung hoch ist. Die hier beschriebene Anordnung setzt einen akus­ to-optischen Güteschalter ein, der aufgrund seiner kleinen Abmessungen in kompakte Geräte eingebaut werden kann. Die Verluststeuerung bei der akusto-optischen Güte­ schaltung geschieht durch eine in einem Kristall erzeugte Ultraschallwelle, die auf den quer durchlaufenden Laserstrahl wie ein Gitter wirkt, das einen Teil der im Resonator um­ laufenden Laserintensität beugt. Die Pulsverlängerung erfolgt hier durch die alleinige An­ wesenheit eines Frequenzverdopplers, der zugleich als Pulsauskoppler fungiert. Nachteilig ist, daß die Pulsverlängerung im Bereich höherer Pulsenergien, welcher für die Bearbei­ tung biologischen Gewebes erforderlich ist, nicht mehr ausreicht, weil mit zunehmender, im Resonator umlaufender Pulsenergie die Inversion im Lasermedium schneller abgebaut wird.
Als aktive Medien werden vorzugsweise YAG-Kristalle verwendet, wobei auch andere La­ serkristalle denkbar sind. Solche Laser sind als robust in dem Sinne bekannt, daß sie ihre Eigenschaften auch unter Umwelteinflüssen, wie Temperaturwechsel oder Transporter­ schütterungen, über eine lange Zeit behalten. Die Laseremissionswellenlänge liegt im na­ hen Infrarot und ist an und für sich für eine ophthalmologische Laserkoagulationsbehand­ lung nicht brauchbar. Die effiziente Umwandlung der Wellenlänge des abgestrahlten La­ serlichts in den sichtbaren Spektralbereich mit einem frequenzverdoppelnden Kristall in­ nerhalb des Resonators macht es jedoch möglich, Laserpulse zu erzeugen, die für eine solche Behandlung geeignet sind.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen gütegeschalteten Festkörperlaser mit einstellbarer Pulslänge zu schaffen, mit welchem die Nachteile des Standes der Technik weitestgehend beseitigt werden, und bei welchem mit geringem Aufwand und Volumen und mit großer Zuverlässigkeit und hoher Stabilität eine Einstellung der Impulslänge im µs- Bereich erzielt wird.
Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe bei einem gütegeschalteten Festkörperlaser mit den im ersten Anspruch dargelegten Mitteln gelöst, in dem eine Laseranordnung, die Laserpul­ se mit geeigneten Parametern zur Verfügung stellt, dargestellt ist. In den folgenden Un­ teransprüchen sind weitere Ausgestaltungen und Einzelheiten der Erfindung beschrieben.
So ist es vorteilhaft, wenn Mittel zur Fokussierung der Laserstrahlung in den frequenzver­ doppelnden Kristall im Resonator vorgesehen sind, wobei zur Vermeidung von Strah­ lungsschäden am frequenzverdoppelnden Kristall eine flache Schaltflanke der Modulati­ onssignale für den Güteschalter verwendet wird.
Es ist ferner von Vorteil, wenn ein Strahlungsabschwächer außerhalb des Resonators zur Einstellung der Energie der emittierten Laserimpulse vorgesehen ist.
Eine vorteilhafte Ausgestaltung der Erfindung ergibt sich, wenn die Einstellung der Energie der Laserpulse durch eine Steuerung der Intensität der Pumplichtquelle realisiert ist und eine Einstellung der Pulslänge der Therapie(Laser)strahlung durch das Anpassen der Flankensteilheit der Modulation der Hochfrequenz(HF)-Welle am Güteschalter erfolgt.
Vorteilhaft ist es, wenn als Monitor für die Pulsenergie das kurz vor der Pulsauslösung emittierte Fluoreszenzlicht, welches vom Laserkristall ausgesendet wird, ausgenutzt wird indem es z. B. durch fotoelektrische Elemente in verarbeitbare elektrische Signale umge­ wandelt wird.
Der Festkörperlaser ist unter anderem auch dadurch gekennzeichnet, daß Pumpstrah­ lungsquelle kontinuierlich arbeitet oder gegebenenfalls auch gepulst arbeitet, um so ther­ mische Effekte im Laserkristall zu steuern, zu regeln oder zu kontrollieren. Auch um ther­ mische Effekte im Laserkristall zu vermeiden, kann es von Vorteil sein, die Pumpstrah­ lungsquelle gepulst zu betreiben.
In ophthalmologischen Geräten ist es vorteilhaft, wenn zwischen dem Festkörperlaser und einem die Laserstrahlung empfangenen Applikator eine Lichtstrahlung leitende Quarzfaser mit einem Durchmesser in der Größenordnung von 50 µm vorgesehen ist, wobei die Kop­ peleffizienz der durch die Faser übertragenen Strahlung etwa 80% beträgt.
Mit der Erfindung werden die Nachteile insbesondere des in der DE-Patentanmeldung Nr. 199 27 918.7 beschriebenen Festkörperlasers weitestgehend beseitigt, da mit der Variabi­ lität der Schaltflanke ein weiterer Freiheitsgrad zur Realisierung einer einstellbaren Puls­ länge der Laserstrahlung bei einem Festkörperlaser eingeführt ist. Dieser weitere Freiheit­ grad ermöglicht die Realisierung verlängerter Laserpulse im µs-Bereich mit extrem kurzen Resonatoren, zwei Tendenzen, die sonst gegenläufig wären. Damit ist ein µs-Laser reali­ siert, der eine Resonatorlänge in der Größenordnung von 10 cm besitzt, was z. B. auch die Fertigung eines kompakten, stabilen Lasers ermöglicht.
Die in dieser Erfindungsmeldung dargelegten Methoden zur Laserpulserzeugung und -verlängerung funktionieren sowohl mit als auch ohne frequenzverdoppelnden Kristall. Die Amplitude der Ultraschallwelle der akusto-optischen Güteschaltung bestimmt dabei auch die Höhe der Verluste. Mit der Modulation dieser Amplitude ist eine gezielte Steuerung der Laserverluste möglich. Eine spezielle Modulationsfunktion, die durch die, die modulierbare HF-Welle liefernde, elektrische Schaltung erzeugt wird, bewirkt eine Pulsverlängerung. Die Steilheit der vorderen Schaltflanke der Modulationsfunktion bestimmt dabei die Länge der ausgesendeten Laserpulse. So sind mit der hier dargelegten Vorrichtung sehr stabile La­ serpulse erzeugt worden, wobei die Pulsbreite und -höhe einiger tausend wiederholter Laserpulse um nicht mehr als 10% variiert haben. Schnelle Fluktuationen der Pulsform, wie z. B. die Ausbildung von Leistungsspitzen innerhalb eines Pulses konnten nicht beob­ achtet werden. Damit kommt diese Vorrichtung ohne eine Rückkoppelschleife zur Stabili­ sierung der Pulse aus.
Die Erfindung soll nachstehend an einem Ausführungsbeispiel näher erläutert werden. In der zugehörigen Zeichnung zeigt
Fig. 1 schematisch den Aufbau eines erfindungsgemäßen gütegeschalteten Festkörperla­ sers und
Fig. 2 ein Kennliniendiagramm mit Modulationsfunktion und Laserimpuls.
In Fig. 1 ist schematisch der Aufbau eines erfindungsgemäßen Festkörperlasers darge­ stellt. Dieser gütegeschaltete FKL umfaßt in einem Resonator 1, der durch eine reflektie­ rende Fläche 2 eines Laserkristalls 4 und eine reflektierende Fläche 3 eines Auskoppel­ spiegels 5 gebildet wird und in welchem der Laserkristall LK 4 angeordnet ist. Diesem LK 4 in Lichtrichtung nachgeordnet ist ein akusto-optischer Güteschalter 6, welcher mit einer elektronischen Einheit 7 zur Erzeugung geeigneter Hochfrequenzwellen verbunden ist. Diese Hochfrequenzwellen dienen der Steuerung des Güteschalters 6 in der Weise, daß durch die Steuerung der Steilheit der Flanke der Modulationsfunktion (Fig. 2) der Hochfre­ quenzwelle Laserimpulse mit Impulslängen von einer oder mehreren Mikrosekunden (µs) erzeugt werden.
Wie in Fig. 1 ferner gezeigt wird, befindet sich im Resonator 1 ein die Frequenz der vom Laserkristall 4 ausgesandten Strahlung verdoppelnder, nichtlinearer Kristall 8, beispiels­ weise aus KTP, auf welchen durch optische Mittel 9, z. B. sammelnde optische Elemente, die Laserstrahlung fokussiert wird, um eine effiziente Frequenzverdopplung zu erreichen. Dabei ist es notwendig, eine flache Schaltflanke der Modulationssignale für den akusto­ optischen Güteschalter 6 vorzusehen, um evtl. Strahlungsschäden am frequenzverdop­ pelnden Kristall 8 zu vermeiden. Die Schaltflanke ist dabei die Flanke (Fig. 2) der den akus­ to-optischen Güteschalter 6 steuernden Impulse, die durch die elektronische Einheit 7 erzeugt werden.
Zur Anregung des Laserkristalls 4 ist eine Pumpstrahlungsquelle 10 außerhalb des Reso­ nators 1 vorgesehen, deren Pumpstrahlung 11 zur Effizienzsteigerung der Anregung (des Pumpens) durch optische Fokussiermittel 12, beispielsweise durch sammelnde Linsen, dem Laserkristall 4 zugeführt wird. Eine hohe Pulsenergie der Pumpstrahlung bewirkt da­ bei eine höhere Verstärkung im Laserkristall 4 und damit auch eine Erhöhung der Intensi­ tät der Laserstrahlung, wobei wegen der hohen Verstärkung die Inversion im Laserkristall 4 schnell abgebaut wird und kurze Laserimpulse entstehen. Um diesem entgegen zu wir­ ken, wird eine flache Schaltflanke der Modulationssignale durch die elektronische Einheit 7 erzeugt und dem Güteschalter 6 zur Steuerung zugeleitet.
In dem in Fig. 2 gezeigten Diagramm wird ein typischer, den Laser verlassender Impuls gezeigt, wobei charakteristisch die asymmetrische Form des Impulses mit steiler linker Anstiegsflanke und flacher rechter Abstiegsflanke ist, wie sie auch von anderen gütege­ schalteten Lasern bekannt ist. Gleichfalls ist hier auch ein den Güteschalter 6 steuernder Impuls dargestellt.
Was die Einstellung der applizierten Pulsenergie betrifft, ergibt sich applikationsseitig bei einem Pulslaser eine Schwierigkeit. Zur Abschwächung und zur Verringerung der mögli­ chen Strahlenbelastung können Strahlungsabschwächer vorgesehen werden, wobei als solche Abschwächer, beispielsweise Absorptionsfilter, verwendet werden. Von der Ver­ wendung eines externen Absorbers, z. B. ein Absorptionsfilter, wird man meistens abse­ hen, da die Strahlungsbelastung durch die Laserstrahlung zur thermischen Zerstörung des Absorbers führen kann. Dagegen sind dielektrische Schichten auf optischen Elementen, mit denen ein Teil der Laserstrahlung herausgespiegelt wird oder Polarisationsstrahlen­ teiler zur Abschwächung geeigneter.
Dies erfordert jedoch zusätzliche Komponenten und Elemente, die gesteuert und über­ wacht werden müssen. In diesem Zusammenhang können notwendige bewegliche, me­ chanische Elemente zu Systemausfällen führen. Einen Ausweg bietet die Variation der Pumpleistung. Die damit einhergehende Veränderung der Pulslänge der Laserstrahlung im Sinne einer Verkürzung wird beim erfindungsgemäßen Festkörperlaser durch eine ent­ sprechende Anpassung der Steilheit der Schaltflanke des den Güteschalter 6 steuernden Impulses der elektronischen Einheit 7 kompensiert. Eine Kennlinie im in Fig. 2 dargestell­ ten Diagramm vermittelt dabei den Zusammenhang zwischen Pumpleistung und Steigung der Schaltflanke. Jeder Punkt auf der Kennlinie markiert eine Pulsenergie, bei der die Pulslänge im gewünschten Bereich liegt. Zur Steuerung des Lasers kann eine solche Kennlinie auch in der Einheit 7 einprogrammiert werden.
Als Anzeige, d. h. als Monitor (im Sinne einer Anzeige) für die im Laserkristall gespei­ cherte Pumpenergie kann das kurze Zeit vor der Impulsauslösung amittierte Fluoreszenz­ licht des Laserkristalls 4 verwendet werden, welches beispielsweise durch einen Fo­ toempfänger erfaßt, in ein elektrisches Signal gewandelt und/oder zu Steuerzwecken weiterverarbeitet werden kann.
Die vom Festkörperlaser ausgesandte, frequenzverdoppelte Strahlung wird einem Appli­ kator, beispielsweise eines ophthalmologischen Gerätes (nicht dargestellt), zugeführt, wo­ bei zur Strahlungsfortleitung vorteilhaft eine oder mehrere Quarzfaser(n) mit einem Durchmesser in der Größenordnung von 50 µm zur Anwendung kommen. Die Koppeleffi­ zienz der übertragenen Strahlungsleistung zwischen Faserein- und Faserausgang beträgt etwa 80%.
Bezugszeichen
1
Resonator
2
Fläche
3
Fläche
4
Laserkristall
5
Auskoppelspiegel
6
Güteschalter (akusto-optischer Güteschalter)
7
elektronische Baueinheit
8
frequenzverdoppelnder Kristall (KTP)
9
optische Elemente
10
Pumpstrahlungsquelle
11
Pumpstrahlung
12
optische Mittel

Claims (7)

1. Gütegeschalteter Festkörperlaser, umfassend
  • - eine Pumpstrahlungsquelle, deren Pumpstrahlung durch fokussierende Elemente in den Laserkristall fokussiert ist
  • - einen durch reflektierende Flächen gebildeten Resonator, in welchem mindestens ein Laserkristall, ein akusto-optischer Schalter zur Güteschaltung sowie wahlweise ein frequenzverdoppelnder Kristall (KTP) angeordnet sind,
dadurch gekennzeichnet,
  • - daß der akusto-optische Güteschalter mit einer, eine modulierbare Hochfrequenzwelle erzeugenden elektronischen Einheit verbunden ist,
  • - und daß der Güteschalter durch die Hochfrequenzwelle derart gesteuert ist, daß durch Steuerung der Steilheit der Flanke der Modulationsfunktion der Hochfrequenzwelle Laserimpulse mit Impulslängen von einer oder mehreren Mikrosekunden (µs) erzeugbar sind.
2. Festkörperlaser nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß Mittel zur Fokussierung der Laserstrahlung in den frequenzverdoppelnden Kristall im Resonator vorgesehen sind, wobei zur Vermeidung von Strahlungsschäden am Verdopplerkristall eine flache Schaltflanke der Modulationssignale für den Güteschalter verwendet wird.
3. Festkörperlaser nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß ein Strahlungsabschwächer außerhalb des Resonators zur Einstellung der Energie der emittierten Laserimpulse vorgesehen ist.
4. Festkörperlaser nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß eine Einstellung der Energie der Laserpulse durch eine Steuerung der Intensität der Pumplichtquelle realisiert ist und eine Einstellung der Pulslänge der Therapie(Laser)strahlung durch das Anpassen der Flankensteilheit der Modulation der HF- Welle am Güteschalter erfolgt.
5. Festkörperlaser nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß als Monitor für die im Laserkristall gespeicherte Pumpenergie das kurz vor der Pulsauslösung emittierte Fluoreszenzlicht des Laserkristalls ausgenutzt wird.
6. Festkörperlaser nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Pumpstrahlungsquelle kontinuierlich arbeitet oder gegebenenfalls gepulst wird, um thermische Effekte im Laserkristall zu steuern, zu regeln, zu kontrollieren oder zu vermeiden.
7. Festkörperlaser nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen dem Festkörperlaser und einem die Laserstrahlung empfangenen Applikator eine Lichtstrahlung leitende Quarzfaser mit einem Durchmesser in der Größenordnung von 50 µm vorgesehen ist, wobei die Koppeleffizienz der durch die Faser übertragenen Strahlung etwa 80% beträgt.
DE19958566A 1999-12-04 1999-12-04 Gütegeschalteter Festkörperlaser mit einstellbarer Pulslänge Withdrawn DE19958566A1 (de)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19958566A DE19958566A1 (de) 1999-12-04 1999-12-04 Gütegeschalteter Festkörperlaser mit einstellbarer Pulslänge
JP2000354928A JP2001189513A (ja) 1999-12-04 2000-11-21 パルス幅調整可能なqスイッチ固体レーザ
US09/729,563 US6587483B2 (en) 1999-12-04 2000-12-04 Q-switched solid state laser with adjustable pulse length

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19958566A DE19958566A1 (de) 1999-12-04 1999-12-04 Gütegeschalteter Festkörperlaser mit einstellbarer Pulslänge

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE19958566A1 true DE19958566A1 (de) 2001-06-07

Family

ID=7931468

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19958566A Withdrawn DE19958566A1 (de) 1999-12-04 1999-12-04 Gütegeschalteter Festkörperlaser mit einstellbarer Pulslänge

Country Status (3)

Country Link
US (1) US6587483B2 (de)
JP (1) JP2001189513A (de)
DE (1) DE19958566A1 (de)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10232124A1 (de) * 2002-07-12 2004-02-12 Jenoptik Laser, Optik, Systeme Gmbh Impulslaseranordnung und Verfahren zur Impulslängeneinstellung bei Laserimpulsen

Families Citing this family (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19958566A1 (de) * 1999-12-04 2001-06-07 Zeiss Carl Jena Gmbh Gütegeschalteter Festkörperlaser mit einstellbarer Pulslänge
JP3838064B2 (ja) * 2001-09-28 2006-10-25 松下電器産業株式会社 レーザ制御方法
US6961355B1 (en) * 2003-01-09 2005-11-01 Photonics Industries, Int'l. Variable power pulsed secondary beam laser
US6900409B2 (en) * 2003-08-22 2005-05-31 General Electric Company Single head laser high throughput laser shock peening
US7068688B2 (en) 2003-11-04 2006-06-27 Boston Applied Technologies, Incorporated Electro-optic Q-switch
US7139294B2 (en) * 2004-05-14 2006-11-21 Electro Scientific Industries, Inc. Multi-output harmonic laser and methods employing same
US8319150B2 (en) * 2004-07-09 2012-11-27 General Electric Company Continuous motion laser shock peening
US20060128073A1 (en) * 2004-12-09 2006-06-15 Yunlong Sun Multiple-wavelength laser micromachining of semiconductor devices
US7301981B2 (en) * 2004-12-09 2007-11-27 Electro Scientific Industries, Inc. Methods for synchronized pulse shape tailoring
US7771417B2 (en) 2005-02-24 2010-08-10 Iridex Corporation Laser system with short pulse characteristics and its methods of use
JP5288575B2 (ja) * 2005-09-29 2013-09-11 株式会社メガオプト レーザ光源
FR2900771B1 (fr) * 2006-05-03 2010-05-28 Centre Nat Rech Scient Oscillateur laser pulse a duree d'impulsion variable
CN100384035C (zh) * 2006-06-09 2008-04-23 中国科学院上海光学精密机械研究所 脉宽可调的声光调q双包层光纤激光器
JP5024118B2 (ja) * 2008-02-29 2012-09-12 住友電気工業株式会社 レーザ発振方法、レーザ、レーザ加工方法、及びレーザ測定方法
US7760772B2 (en) 2008-10-16 2010-07-20 Coherent, Inc. Cavity-dumped pulsed solid-state laser with variable pulse-duration
US8934509B2 (en) * 2009-11-23 2015-01-13 Lockheed Martin Corporation Q-switched oscillator seed-source for MOPA laser illuminator method and apparatus
CN108767639B (zh) * 2018-05-23 2020-01-07 吉林省科英激光股份有限公司 一种可输出单纵模激光束的激光器及其出光控制方法
US11684514B2 (en) 2018-09-26 2023-06-27 Norlase Aps Direct diode laser module for delivering pulsed visible green laser energy
EA202191749A1 (ru) * 2018-12-21 2021-09-03 Эдванст Остеотоми Тулз - Эот Аг Источник лазерного излучения, лазерный прибор и способ разрезания ткани
CN113471803B (zh) * 2021-07-02 2023-12-26 中国科学院半导体研究所 脉冲输出可调的声光调q固体激光器及脉冲激光产生方法

Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4791927A (en) * 1985-12-26 1988-12-20 Allied Corporation Dual-wavelength laser scalpel background of the invention
DE3813482A1 (de) * 1988-04-21 1989-11-02 Storz Karl Gmbh & Co Vorrichtung zur erzeugung von laserimpulsen einstellbarer dauer
DE9208739U1 (de) * 1992-06-30 1992-09-10 Steiger, Erwin, Dipl.-Phys., 8038 Gröbenzell Lasergerät zur koronaren und peripheren Angioplastie mit Rückkopplungs-Einrichtung
US5151909A (en) * 1990-10-16 1992-09-29 Laserscope Frequency doubled solid state laser having programmable pump power modes and method for controllable lasers
DE4310023A1 (de) * 1993-03-27 1994-09-29 Laser Medizin Zentrum Ggmbh Be Gütegeschalteter Langpuls-Festkörperlaser mit faseroptischer Resonatorverlängerung
US5689520A (en) * 1995-10-31 1997-11-18 Xintec Corporation Method and apparatus for variable waveform output in surgical lasers
DE4401917C2 (de) * 1994-01-24 1998-02-12 Med Laserzentrum Luebeck Gmbh Vorrichtung zur Erzeugung von Laserpulsen mit Pulslängen im Bereich weniger Mikrosekunden
US5832013A (en) * 1992-09-25 1998-11-03 American Dental Technologies, Inc. Intracavity modulated pulsed laser and methods of using the same
US5841800A (en) * 1995-07-28 1998-11-24 Laserscope Desktop medical laser generator

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4412330A (en) * 1981-04-16 1983-10-25 Electro Scientific Industries, Inc. Q-Switched laser with stable output and method of making the same
JPS60102785A (ja) * 1983-11-09 1985-06-06 Mitsubishi Electric Corp パルスレ−ザ装置
JPS6115384A (ja) * 1984-07-02 1986-01-23 Nec Corp 超音波qスイツチレ−ザ
US4701929A (en) * 1985-12-19 1987-10-20 Spectra-Physics, Inc. Laser diode pumped solid state laser
US5121245A (en) * 1989-04-06 1992-06-09 Electro Scientific Industries, Inc. Laser system incorporating an acousto-optic device having reduced susceptibility to stress-induced birefringence
US5157677A (en) * 1991-05-13 1992-10-20 Litton Systems, Inc. Single frequency, long tail solid state laser interferometer system
US5197074A (en) * 1991-12-26 1993-03-23 Electro Scientific Industries, Inc. Multi-function intra-resonator loss modulator and method of operating same
JP3016700B2 (ja) * 1994-12-28 2000-03-06 ミヤチテクノス株式会社 固体レーザ加工装置
JPH08255945A (ja) * 1995-03-17 1996-10-01 Toshiba Corp Qスイッチレーザ発振装置
JP2904189B2 (ja) * 1997-05-30 1999-06-14 日本電気株式会社 光パラメトリック発振器
US6009110A (en) * 1998-03-11 1999-12-28 Lightwave Electronics Corporation Pulse amplitude control in frequency-converted lasers
JP4137227B2 (ja) * 1998-04-24 2008-08-20 芝浦メカトロニクス株式会社 レーザ発振器
DE19958566A1 (de) * 1999-12-04 2001-06-07 Zeiss Carl Jena Gmbh Gütegeschalteter Festkörperlaser mit einstellbarer Pulslänge

Patent Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4791927A (en) * 1985-12-26 1988-12-20 Allied Corporation Dual-wavelength laser scalpel background of the invention
DE3813482A1 (de) * 1988-04-21 1989-11-02 Storz Karl Gmbh & Co Vorrichtung zur erzeugung von laserimpulsen einstellbarer dauer
US5151909A (en) * 1990-10-16 1992-09-29 Laserscope Frequency doubled solid state laser having programmable pump power modes and method for controllable lasers
DE9208739U1 (de) * 1992-06-30 1992-09-10 Steiger, Erwin, Dipl.-Phys., 8038 Gröbenzell Lasergerät zur koronaren und peripheren Angioplastie mit Rückkopplungs-Einrichtung
US5832013A (en) * 1992-09-25 1998-11-03 American Dental Technologies, Inc. Intracavity modulated pulsed laser and methods of using the same
DE4310023A1 (de) * 1993-03-27 1994-09-29 Laser Medizin Zentrum Ggmbh Be Gütegeschalteter Langpuls-Festkörperlaser mit faseroptischer Resonatorverlängerung
DE4401917C2 (de) * 1994-01-24 1998-02-12 Med Laserzentrum Luebeck Gmbh Vorrichtung zur Erzeugung von Laserpulsen mit Pulslängen im Bereich weniger Mikrosekunden
US5841800A (en) * 1995-07-28 1998-11-24 Laserscope Desktop medical laser generator
US5689520A (en) * 1995-10-31 1997-11-18 Xintec Corporation Method and apparatus for variable waveform output in surgical lasers

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
ENGELHARDT,R., BRINKMANN,R.: 1 mus Alexandrit- Laser für laserinduzierte Schockwellen- lithotripsie. In: Laser und Optoelektronik 21, 6, 1989, S.56-61 *
LUPEI,V., et.al.: An automatically controlled Nd:YAG laser with variable pulse width. In: Optics & Laser Technology, Vol.23, No.3, 1991, S.155-158 *

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10232124A1 (de) * 2002-07-12 2004-02-12 Jenoptik Laser, Optik, Systeme Gmbh Impulslaseranordnung und Verfahren zur Impulslängeneinstellung bei Laserimpulsen

Also Published As

Publication number Publication date
US6587483B2 (en) 2003-07-01
US20010021205A1 (en) 2001-09-13
JP2001189513A (ja) 2001-07-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE19958566A1 (de) Gütegeschalteter Festkörperlaser mit einstellbarer Pulslänge
DE69812119T2 (de) Wiederholt gepulster festkörperlaserresonator mit mehreren verschiedenen verstärkungsmedien
DE69504475T2 (de) Passiv guetegeschalteter pikosekunden-mikrolaser
DE69620126T2 (de) Verfahren zur Wellenlängenselektion in einem abstimmbaren Laser und Laseroszillator mit wählbarer Wellenlänge in einem abstimmbaren Laser
EP1194987B1 (de) Laservorrichtung
DE4401917C2 (de) Vorrichtung zur Erzeugung von Laserpulsen mit Pulslängen im Bereich weniger Mikrosekunden
EP3414802A1 (de) Treiberlaseranordnung mit einem optischen isolator und euv-strahlungserzeugungsvorrichtung damit
DE69703177T2 (de) Optischer parametrischer Oszillator
DE112012005144B4 (de) CO2 Laservorrichtung und Materialbearbeitungsvorrichtung
DE102012212672B4 (de) Laseroszillator und Verfahren zum gleichzeitigen Erzeugen zweier Laserstrahlen unterschiedlicher Wellenlängen
DE69532479T2 (de) Preiswerter festkörperlaser mit hoher mittlerer leistung und hoher helligkeit
WO1989010647A1 (en) Device for generating laser pulses of variable duration
DE10240599A1 (de) Anordnung und Verfahren zur Erzeugung ultrakurzer Laserimpulse
DE1564992B1 (de) Ultraschall modulierter optischer sender
DE10232124A1 (de) Impulslaseranordnung und Verfahren zur Impulslängeneinstellung bei Laserimpulsen
DE102010023756A1 (de) Lasersystem mit spektraler Filterung
EP1689053B1 (de) Regenerativer Verstärker mit internem Teleskop aus Zylinderlinsen
DE102011114474B3 (de) Laseranordnung
EP2514048A2 (de) Miniaturisierte laserverstärkeranordnung mit pumpquelle
DE102012208912B4 (de) Laseranordnung zur Erzeugung einerzweifach frequenzkonvertierten Laserstrahlung
DE102006012028A1 (de) Festkörperlaser mit Güteschaltung
DE102020000999A1 (de) Anordnung zur Pulskontrolle in Oszillator-Verstärker-Systemen mittel Dual- Oszillatoren
WO1989001714A1 (en) Passive q-switch for pulsed lasers
DE1439486C3 (de) Optische Sendeanordnung
DE1564992C (de) Ultraschall-modulierter optischer Sender

Legal Events

Date Code Title Description
OM8 Search report available as to paragraph 43 lit. 1 sentence 1 patent law
8127 New person/name/address of the applicant

Owner name: CARL ZEISS MEDITEC AG, 07745 JENA, DE

8110 Request for examination paragraph 44
R016 Response to examination communication
R119 Application deemed withdrawn, or ip right lapsed, due to non-payment of renewal fee