-
Die
vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zum Erzeugen
von planparallen Plättchen
und eine Vorrichtung zur Ausführung
dieses Verfahren.
-
Planparallele
Plättchen
werden als Pigmente in Lacken und Druckfarben verwendet und zeichnen sich
gegenüber
Mahlpigmenten dadurch aus, daß sie in
sehr geringer Dicke erzeugt werden können. Da sie sich nach einem
Lackauftrag so orientieren, daß ihre
Planflächen
parallel zur Fläche
des Untergrundes verlaufen, erzeugen sie im Gegensatz zu Mahlpigmenten,
die mehr oder weniger diffus reflektieren, eine gerichtete Reflexion
von einfallendem Licht. Die Herstellung solcher planparalleler Plättchen,
deren Verwendung weit über
den dekorativen Bereich hinausgeht, wird nach dem Stand der Technik
im wesentlichen nach drei Verfahren durchgeführt:
- a)
Die Beschichtung von natürlichen
Glimmerplättchen
mit hochbrechenden Schichten, meistens aus TiO2, wird dadurch bewirkt,
daß das Plättchen in
einer titanhaltigen Lösung
gerührt wird
und dieses im Anschluß daran
an Luft auf ca. 500–800°C erhitzt.
Produkte unter den Markenzeichen IRIODIN® und AFFLAIR© sind Beispiele hierfür. Aus dem
Stand der Technik sind ebenfalls Beschichtungsverfahren bekannt,
die meist in einem 400–600°C heißen Fließbett stattfinden
und bei denen die Reaktion TiCl4 + 2 H2O → TiO2 + 4 HCl verwendet wird.
Ferner gelangen auch organische Titanverbindungen, wie Eisen- oder
Kobalt-Halogenide oder Karbonyle zum Einsatz.
- b) Um vom Naturstoff Glimmer unabhängig zu sein, wurden Verfahren
entwickelt, wie es beispielsweise in der WO 93/08237 beschrieben
ist. Hierbei wird eine dünne Schicht
einer flüssigen, silikathaltigen
Substanz auf ein umlaufendes Band an der Luft aufgetragen. Die Substanz
wird danach auf dem Band getrocknet, reagiert in einem nachfolgenden
Säurebad
zu SiO2, wird anschließend
in einem weiteren Wasserbad gewaschen und dann von Band abgeschabt.
Die nach einem Glühvorgang
entstandenen dünnen
Quarzplättchen
werden in einem weiteren Prozeß im Fließbett- oder
Rührverfahren
mit weiteren Oxiden chemisch beschichtet. Eine Zusammenstellung
solcher chemischen Beschichtungen beschreiben Schmid und Mronga
unter "Luster Pigments
with Optically Variable Properties" ( Vortrag der European Coatings Conference,
7–9. April 1997,
Nürnberg)
- c) Um planparallele Plättchen
kontrollierter Dicke zu erzeugen, wird seit Jahren das Aufdampfverfahren
(PVD=physical vapour deposition) benutzt. Beispiele hierfür sind in
den den Patenten U.S. 3,438,796 aus 1967 von Dupont und U.S. 5,135,812
von Flex Products aufgeführt,
bei denen ein Fabry-Perot-Reflexfilter als Pigment erzeugt wird.
Das Produkt zeigt eine starke Farbveränderung bei einer Winkelveränderung
des Lichteinfalls und wird als Fälschungschutz
auf Banknoten aufgedruckt. Bei diesen Herstellverfahren wird eine
Polyesterfolie, die vorher mit einem als Trennmittel dienenden Lack,
nach bekannter Methode beschichtet wurde, als Träger benutzt. Hierauf wird durch
mehrfache Bedampfung des Trägers
mit den verschiedenen Schichten im Vakuum das Schichtsystem aufgebracht.
Die Folienrolle wird aus dem Vakuumraum entnommen und läuft auf
einer weiteren Maschine durch ein Bad, in welchem die Lackschicht
in einem geeigneten Lösungsmittel
aufgelöst
wird. Das Produkt fällt
dann vom Träger
als grobe Flocken ab, die durch Abtrennen des Lösungsmittels, Trocknen, Mahlen weiterverarbeitet
werden. Der Folienträger
ist nur einmal verwendbar und verursacht deshalb beträchtliche
Kosten. Im Patent U.S. 3,123,489 von Bolomey ist die Verwendung
eines Trägers,
auf welchem eine große
abwechselnde Schichtfolge eines Salzes als Trennmittel und Zinksulfid
als Produkt aufgedampft wird, beschrieben. Der Träger ist
hierbei ein umlaufendes Band oder ein Drehteller bekannter Art,
wie er bei der optischen Bedampfung zum Einsatz kommt. Nach einer
großen
Anzahl von abwechselnden Beschichtungen mit Trennmittel und Produkt
wird der Träger
aus der Anlage entnommen und gewässert,
wobei sich die Salzschichten zwischen den Produktschichten auflösen und
das Produkt als kleine Plättchen
in einer Suspension vorliegt. Dieses Material, meistens Zinksulfid,
wird in der Kosmetik- und für
dekorative Zweke als künstlicher
Perlglanz verwendet. Nachteilig ist trotz des einfachen Aufbaues
der Vakuumanlage, daß es
sich nicht um einen kontinuierlichen Prozeß handelt und daß die Aufdampfschichten,
die in großer
Zahl übereinander
liegen, mit zunehmender Dicke säulenförmige Strukturen
bilden, welche nur noch diffus reflektieren. Dieser Effekt ist allerdings
bei Perlglanz erwünscht,
jedoch nicht bei Pigmenten, die als Lack auf Automobil-Karosserien
oder als Metallglanz-Druckpigmente verwendet werden.
-
Eine
zum Zeitpunkt dieser Anmeldung noch nicht offengelegte deutsche
Patentanmeldung bezieht sich auf die Verwendung eines umlaufenden Metallbandes,
auf das nacheinander das Trennmittel und die Schichtenfolge der
zu erzeugenden planparallelen Plättchen
im Hochvakuum aufgedampft werden. Danach durchläuft das Metallband einen weiteren
Vakuumraum höheren
Druckes, in welchem in einer Flüssigkeit,
die normalerweise Wasser mit einer Temperatur von 35° ist, das
Trennmittel aufgelöst wird.
Die Verwendung von vielen Schleusen, die das Metallband aus dem
Hochvakuum auf Atmosphärendruck
ausfahren würde,
wird dadurch vermieden. Wasser von 35°C hat nur einen Dampfdruck von
54 mbar. Weitere Schleusen, die zwischen 54 und 1000 mbar eingesetzt
werden, entfallen. Der Prozeß findet vollständig unter
Vakuum zwischen etwa 10–4
und 54 mbar statt. Nur das Produkt wird als Suspension auf Atmosphärendruck
ausgebracht. Trotz dieser fortschrittlichen Technik wird immer noch
ein Bandmaterial benötigt,
welches an Umlenkrollen durch Biegungen mecha nisch belastet wird.
Die Dauerstandsfestigkeit des Bandes ist nach einer gewissen Anzahl von
Zyklen überschritten,
so daß es
gewechselt werden muß.
-
Die
gleichzeitige Einwirkung einer Salzlösung vermindert die Dauerstandsfestigkeit
weiter, typischerweise um den Faktor 2–3 (Thyssen Edelstahl Techn.
Ber. 7/1981, Band 1, S. 68–69),
so daß in
gewissen Zeitabständen
ein Wechseln des Metallbandes erforderlich ist. Die Verwendung von
Hochglanz-Trägeroberflächen mit
sehr geringer Rauhtiefe, wie Glas, Quarz, glasierte Keramik oder
emaillierter Stahl ist bei einem über notwendige Umlenkrollen laufenden
Band nicht möglich.
-
Aufgabe
der vorliegenden Erfindung ist es, ein Verfahren zu schaffen, bei
dem unabhängig
von der Art des verwendeten Trägermaterials
die Erzeugung planparalleler Plättchen
in effektiver Weise ausgeführt
wird. Während
des gesamten Herstellungsprozesses sollen dabei die aufgedampften
Schichten keine weiteren Oberflächen
berühren
bis die Ablösung
des Produktes vom Träger
stattfindet. Genauer gesagt sollen Schichten, insbesondere solche
für Infrarot-Anwendungen
und für
Mikrowellen-Absorber, die aus bis zu 35 Einzelschichten bestehen
können, nicht
vorzeitig durch Biegung an Umlenkrollen vom Träger abplatzen.
-
Diese
Aufgabe wird durch ein Verfahren nach Anspruch 1 und eine Vorrichtung
nach Anspruch 7 gelöst.
-
Durch
das Vorsehen von sowohl einer Beschichtungseinrichtung als auch
einer Ablöseeinrichtung
an einem um eine Achse drehbaren Träger, dessen Flächenabschnitt
zwischen diesen beiden Einrichtungen durch Rotation des Trägers transportierbar
ist, kann eine Produktschicht kontinuierlich aufgebracht und entfernt
werden und somit effektiv und mit geringem Abfall die Erzeugung
von planparallelen Plättchen
ausgeführt
werden.
-
Vorzugsweise
wird vor der Produktschicht eine Trennmittelschicht aufgebracht,
wodurch ein einfaches Ablösen
der Produktschicht durch Auflösung
des Trennmittels ermöglicht
wird.
-
Die
Produktschicht kann auch mehrschichtig ausgeführt sein, wodurch sich Mehrschichtplättchen mit
komplexeren Eigenschaften erzeugen lassen. Dabei kann die Produktschicht
während
eines Umlaufs oder mehrerer Umläufe
des Trägers
aufgebracht werden. Dieses gestattet eine variable Anpassung der
Bedingungen an die unterschiedlichen Eigenschaften von Produktschichten.
-
Durch
zumindest zwei Umdrehungen des Trägers vor dem Ablösen der
Mehrfachschichten als Paket wird die Flüssigkeit in der Ablöseeinrichtung abgelassen,
damit keine Ablösung
erfolgt, bevor das Schichtenpaket komplett ist.
-
Der
Dampfdruck des Trennmittels kann größer sein als der der Flüssigkeit
in der Ablöseeinrichtung,
da bei Molekularströmung,
die Voraussetzung ist, an kalten Flächen sofort Kondensation eintritt ohne
daß in
die Ablösezone
gelangt wird. Der Dampfdruck des Trennmittels kann aber auch geringer
oder gleich dem Druck in der Ablöseeinrichtung
sein.
-
Es
kann ein beliebiges Trennmittel verwendet werden, wobei anorganische
Trennmittel eine bessere Eignung aufweisen.
-
Von
Vorteil ist es ebenfalls, wenn sich verschiedene Flächenabschnitte
zum gleichen Zeitpunkt unter den verschiedenen Einrichtungen befinden,
so daß bei
der Beschichtung des einen Flächenabschnitts
die Produktschicht von einem anderen Flächenabschnitt gleichzeitig
entfernt wird.
-
Ein
effektiver Betrieb einer solchen Vorrichtung wird auf diese Weise
ermöglicht.
-
Durch
den Einsatz von Beschichtungsverfahren unter Vakuum lassen sich
ein effektiver Prozeßverlauf
und eine hohe Qualität
der Plättchen
erzielen. Dabei ist die Abschottung zwischen Bereichen mit unterschiedlichem
Druck von Bedeutung. Als Beschichtungsverfahren unter Vakuum können beispielsweise
das Aufdampfverfahren, das Sputtern, die Plasmapolymerisation oder
eine Kombination dieser Verfahren in derselben Vakuumkammer zum
Einsatz gelangen.
-
Als
Träger
lassen sich eine Vielzahl von rotationssymmetrischen Körpern einsetzen,
wodurch eine Anpassung an die vom Besteller gewünschten Eigenschaften der Plättchen mit
geringem Aufwand möglich
ist.
-
Eine
beidseitige Beschichtung des Trägers oder/und
eine parallele Beschichtung mehrerer Träger trägt ebenfalls zur Erhöhung der
Plättchenausbeute
bei.
-
Erfindungsgemäße Weiterbildungen
sind Gegenstand der Unteransprüche.
-
Nachfolgend
wird die Erfindung anhand der beiliegenden Zeichnungen erläutert, in
denen
-
1 und 2 eine
Vorder- bzw. Seitenansicht der erfindungsgemäßen Vorrichtung zeigen,
-
3 eine
erste Abwandlung der erfindungsgemäßen Vorrichtung zeigt,
-
4 eine
zweite Abwandlung der erfindungsgemäßen Vorrichtung zeigt,
-
5 eine
dritte Abwandlung der erfindungsgemäßen Vorrichtung zeigt, und
-
6 die
Funktionsweise des Ablöseschritts veranschaulicht.
-
Zur
Erzeugung von erfindungsgemäßen planparallelen
Plättchen
aus Metallen, Oxiden, Fluoriden, Nitriden und Karbiden und anderen
im Vakuum auftragbaren Stoffen in beliebigen Kombinationen besteht
das Gerät
im wesentlichen aus den folgenden, in den 1 und 2 gezeigten
Elementen:
Einer Vakuumkammer 100, die eine Zwischenabschottung 1 mit
zwei Verbindungsöffnungen 2a und 2b aufweist,
welche die Vakuumkammer 100 in einen Verdampfungsteil 3 und
einen Produktsammelteil 4 trennt.
-
Einem
rotierenden, starren Träger 5 aus
Metall, Glas oder emaillierten Stahl oder einem anderen Stoff, der
eine möglichst
glatte Oberfläche
aufweist und der sich bei den vorherrschenden Vakuumbedingungen
im Vakuum durch Bedampfen, Sputtern oder mittels eines PECVD-Prozesses
beschichten läßt. Der
Träger 5 ist
zentrisch auf einer rotierenden Welle 6 angeordnet, die
von einem außerhalb
des Vakuumraumes befindlichen Antrieb 7 in Drehbewegung
gesetzt wird. Jeder Sektor des rotierenden, starren Trägers 5 wird
bei der Rotation am Verdampfer 8 des Trennmittels, an dem
oder den Verdampfern 9a, 9b, 9c, die
die Schichtenfolge des Produktes bestimmen, vorbeigeführt.
-
Die
Verdampfer 9a, 9b, 9c werden nach bekannter
Bauart so ausgelegt, daß Verdampfungsmaterial,
welches in Drahtform, in Blechform oder als Granulat vorliegt, kontinuierlich
zugeführt
wird. Die Verdampfer 9a, 9b, 9c können zur
Wartung aus der Arbeitszone in einen weiteren Vakuumraum 11,
der durch eine Schleuse 10 bekannter Bauart abgesperrt werden
kann, zurückgezogen
werden und kühlen
unter Vakuum ab.
-
Als
im Vakuum verdampfbare Trennmittel eignen sich nach bekannter Art
Chloride, Borate, Fluoride, Hydroxide und andere weitere anorganische Substanzen.
Einige werden in den Patenten U.S. 5,156,720 von Rosenfeld und Smits
und in U.S. 3,123,489 von Bolomey beschrieben.
-
Zur
Erzielung gleicher Schichtdicken erfolgt die Messung jeder einzelnen
Schicht durch optische Messung des reflektierten Lichtes, sofern
die Schichten transparent sind. Auf einer metallischen Unterlage
zeigen transparente Schichten in Abhängigkeit von ihrer Schichtdicke
n × d
(n: Brechungsindex des Schichtmaterials, d: geometrische Dicke)
verschiedene Interferenzfarben. Diese Farben können für die Regelung der gewünschten
Schichtdicke durch spektrale Messung des reflektierten Lichtes verwendet werden.
Daneben existiert nach
DE 4338907 ein
Verfahren, welches mittels einer Laser Dickenmessung an einem den
Dampfstrahl durchwandernden Draht dessen Dickenzunahme durch Metallkondensat
mißt und
auf die Schichtdicke, die auf dem Träger aufgebracht wurde, kontinuierlich
umrechnet.
-
Nach
Passieren der Verdampfer- oder Sputterzonen durchläuft der
rotierende, starre Träger 5 einen
engen Kanal 12a und 12b in der Zwischenabschottung 1.
Die Kanäle 12a und 12b sind
so beschaffen, daß seine
Wände zum
rotierenden, starren Träger
einen konstanten Abstand, typisch von 0.5–1mm aufrechterhalten. Derartige
Abstandsregelungen sind Stand der Technik und sorgen für einen geringen
Gasstrom zum Verdampfungsteil 3. Nach dem Durchlaufen des
Kanals 12a taucht der beschichtete Teil des Trägers 5 in
ein unterhalb der Zwischenabschottung 1 angeordnetes Bad 13 ein,
in welchem sich eine Flüssigkeit
befindet, die a) einen niedrigen Dampfdruck aufweist und b) ein
gutes Lösemittel
für das
aufgedampfte Trennmittel darstellt.
-
Solche
Flüssigkeiten
sind: Sekundäre
und tertiäre
Alkohole wie Ethylenglykol, Propylenglykol, Glyzerin und deren Derivate,
aber auch höhere
primäre
Alkohole und deren Derivate. Diese Flüssigkeiten haben im technisch
interessanten Temperaturbereich von 20–50°C einen Sättigungsdampfdruck von 0.01
bis 0.05 mbar, während
im Verdampfungsteil 3 ein Vakuum von typisch 3 × 10–4 mbar
erzeugt wird. Der Gasdurchsatz durch die Verbindungsöffnungen 2a und 2b allein
in der Zwischenabschottung 1 wäre zu hoch, um bei vertretbarem
Pumpaufwand eine Druckdifferenz an der Zwischenabschottung 1 von 0.05
mbar aufrechtzuerhalten. Der Gasdurchsatz durch dünne Spaltrohre 14a, 14b vermindert
sich nach Wutz, Theorie und Praxis der Vakuumtechnik, ISBN 3-528-04884-0,
Seite 101, G1. 4.95 um den Faktor 25,3 , wenn an Stelle einer Verbindungsöffnung von
0,2 cm Weg ein Spaltrohr von 20 cm Länge zwischen dem Produktsammelteil 4 und
dem Verdampfungsteil 3 verwendet wird. Durch Ersetzen der Spaltöffnungen
in der Zwischenabschottung durch dort angebaute Spaltrohre, die
Kanäle 12a, 12b von je
2 × 0.05
cm freilassen und durch eigenes, kontinuierliches Abpumpen dieser
Kanäle
auf 10–2
mbar vermindert sich der gesamte Gasfluß für zwei Kanäle von 250 cm Breite und je
2 × 0.05
cm Dicke bei einer Kanallänge
von 20 cm Kanäle
auf 0.11 mbar lit/sec. Dieser Gasstrom belastet die Hochvakuumpumpen 16 nur
gering. Das Produktsammelteil 4 und die Kanäle 12a, 12b werden
durch mechanische Pumpen 17, bestehend aus je einer Kombination
aus mechanischen Vakuumpumpen und Drehkolbengebläsen gepumpt. Die Dimensionierung
aller Vakuumpumpen ist abhängig
von der gewählten
Größe der Vakuumkammer 100 und
den Arbeitsbedingungen. Die technische Literatur kennt hierzu zahlreiche
Auslegungsverfahren.
-
Entsprechend 6 wird
im Gefäß 18 im weiteren
Verlauf der mit Trennmittel und den Produktschichten bedampfte rotierende,
starre Träger 5 durch
mechanische Unterstützung
nach bekannten Methoden unterhalb des Flüssigkeitspegels die Trennmittelschicht 71 aufgelöst. Die
Produkt schichten 73, die nicht löslich sind, fallen dabei als
kleine flockenartige Partikel vom Träger 72 ab. In nachfolgenden
Prozessen erfolgt später
die Zerkleinerung auf die gewünschten
Abmessungen der planparallelen Plättchen. Hierzu stehen bekannte
Zerkleinerungs- und Sortierprozesse, wie Mahlen und Windsichten
bei Atmosphärendruck
zur Verfügung.
Als letzter Schritt erfolgt die Weiterverarbeitung zu Lacken oder
Druckfarben.
-
Nach
erfolgter Ablösung
des Schichtensystems wird die Suspension nach 1 durch
eine Flüssigkeitspumpe 15 aus
dem Gefäß 18 an
die Atmosphäre
gefördert.
Die Suspension durchströmt
dabei eine Filteranordnung 19 oder eine Zentrifugenanordnung
bekannter Bauart, die sich außerhalb
der Vakuumkammer 100 befinden. Von dort kehrt die von Partikeln
befreite Flüssigkeit,
nachdem sie vorher in einem Erhitzer 20 wieder auf die
Arbeitstemperatur des Gefäßes 18 gebracht
worden ist, wieder in das Gefäß 18 zurück.
-
Im
weiteren Verlauf taucht der Träger 5 aus der
Flüssigkeit
im Gefäß 18 aus.
Restliche Flüssigkeitsspuren
werden durch einen Schaber 21 grob entfernt und laufen
in das Gefäß 18 zurück. Ein
dann noch verbleibender Film verdampft gegen eine Tieftemperatur-Oberfläche 22 und
kondensiert dort. Nach dem Durchlaufen eines Spaltrohres 14b befindet
sich der entsprechende Sektor des rotierenden, starren Trägers 5 wieder
im Verdampfungssteil 3. Der Kreis ist geschlossen.
-
Eine
Anlage zur Erzeugung von plättchen-förmigen Pigmenten
im PVD-Prozeß erfordert bei
der hier beschriebenen Anordnung Verdampfer
9a,
9b,
9c,
welche in der Lage sind, in horizontaler Richtung im Langzeitbetrieb
abzudampfen. Solche Verdampfer sind in der Schrift
DE 4342574 (Weinert) beschrieben.
Weitere Verdampferversionen, die in horizontaler Richtung verdampfen,
sind im Patent U.S. 2,665,226 (Godley) beschrieben.
-
Die
vorliegende Erfindung bezieht sich nicht nur auf die beschriebene
Anordnung aus den 1 und 2, sondern
erlaubt die folgenden Ausführungsbeispiele
der 3 bis 6, sowie weitere, die sich für den Fachmann
ohne weiteres aus der vorliegenden Offenbarung erschließen.
-
An
Stelle der Erzeugung von glatten, ebenen Plättchen können planparallele Plättchen auch
eine Struktur der Oberfläche
aufweisen, da Vakuumbeschichtungsverfahren im Mikro-Bereich keine Dickenunterschiede
erzeugen. Es ist daher möglich,
durch vorheriges Ätzen
nach dem Photo-Resistverfahren gewünschte Oberflächenmuster
auf dem Träger
zu erzeugen. Dadurch können
statt ebenerer Plättchen Miniatur-Reflektoren, die
einfallendes Licht durch ihre sphärische Form nur wenige Millimeter
vor ihrer Oberfläche
fokussieren, erzeugt werden. Es lassen sich aber auch Plättchen mit
optischen Gitterlinien oder mit scharfkantigen, erhabenen Stegen,
die als Sollbruchstellen zur Erzeugung von Plättchen definierter Form und
Größe dienen,
erzeugen. Bei der Kondensation aus der Dampfphase entsteht auf dem Träger ein
Abdruck seiner Struktur. Derartige Muster sollen im Bereich der
später
verwendeten Teilchengröße von etwa
520 Mikrometer liegen. Voraussetzung ist jedoch, daß solche
Schichten vom Träger 5 bei
jeder Umdrehung abgelöst
werden, damit diese ihre Feinstruktur nicht verlieren. Dieses Vorgehen
ist bei bekannten Verfahren, die entweder ein umlaufendes Metallband
oder die Aufdampfung einer großen Zahl
von abwechselnden Trennmittel- und Produktschichten benutzen, nicht
umsetzbar.
-
Um
Elektronenstrahl-Verdampfer 31 einsetzen zu können, die
aus einer Badoberfläche 32 heraus
nur in senkrechter Richtung nach oben verdampfen, ist es nach 3 notwendig,
den Träger 33 um eine
vertikale Achse 34 zu rotieren. Ebenso ist das Gefäß 35 entsprechend
anzupassen. Der Träger taucht
hier nicht in das Gefäß 35 ein.
Stattdessen werden die Schichten durch bürstenförmige, rotierende Elemente 36 entfernt.
-
Es
ist nach 4 möglich, am rotierenden Träger 42 beidseitig
Verdampfer 43a, 43b, 43c anzubringen.
-
Ebenso
ist es nach 5 möglich, mehrere Träger 51a, 51b,
die in diesem Fall Scheiben sind, gleichzeitig auf derselben Achse 52 zu
betreiben , wobei sich die Zahl der einzusetzenden Verdampfer auf
je einen Verdampfer für
jede zu beschichtende Trägeroberfläche vervielfacht.
-
An
Stelle einer oder mehrerer scheibenförmigen Träger oder eines oder mehrerer
rotierender Ringe, die konzentrisch angeordnet sind, können Zylinder
mit horizontaler Achse verwendet werden. Beliebige weitere rotationssymmetrische
Körper
sind als Träger
einsetzbar.
-
Um
planparallele Plättchen
einer großen Zahl
von sich wiederholenden Schichten des Typs (A,B)N oder (A,B,C)N
herzustellen, wobei N die Zahl der Wiederholungen der Schichtkombination
und A,B,C die verdampften Substanzen sind, bietet sich ohne Änderung
der Apparatur folgende Möglichkeit:
- a) Das Trennmittel wird im ersten Schritt allein
auf den Träger
aufgedampft, indem alle anderen Verdampfer durch eine verschließbare Blende
abgesperrt worden sind und die Flüssigkeit im Gefäß 18 nach 1 mit
dem Träger
nicht in Berührung gelangt.
Dies geschieht durch Absenken des Pegels im Gefäß 18.
- b) Die Schichten A und B oder A,B,C werden aus zwei oder drei
Verdampfern, die auf dem Rotationsweg des Trägers 5 angeordnet
sind, mit kontrollierter Schichtdicke aufgebracht. Nach N Rotationen
liegt N–mal
der Schichtverbund A,B oder A,B,C vor. Der Trennmittelverdampfer
ist hierbei durch eine Blende abgesperrt.
- c) Die Verdampfer, die die Schichten A,B oder A,B,C erzeugt
haben, werden durch Blenden abgesperrt. Der Flüssigkeitspegel im Gefäß 18 wird bei
fortgesetzter Rotation des Trägers 5 soweit gehoben,
daß die
aufgedampften Schichten berührt
werden. Durch die in den Schichten vorliegenden Mikrorisse, die
durch Eigenspannungen in den Schichten von selbst entstehen, erreicht auch
bei einer sehr großen
Anzahl von Schichten die Flüssigkeit
das Trennmittel, löst
dieses auf, wobei sich die Produktschichten flockenartig ablösen und
dann als Suspension vorliegen. Die hierzu notwendige Zeit ist zwar
länger
als bei Produkten mit einer geringen Zahl von Einzelschichten, sie
liegt jedoch bei weniger als 30 Sekunden.
- d) Der Prozeß wird
analog zu a) wiederholt.
-
Solche
Schichtsysteme sind aus der Erzeugung sogenannter Kaltlichtspiegel
und infrarot-reflektierenden Oberflächen bekannt, die abwechselnd
bis zu 31 Schichten aus je einem transparenten Material mit hohem
Brechungsindex und niedrigem Brechungsindex benötigen. In diesem Fall ist das Schichtsystem
selbst das Produkt, welches als kleine Plättchen mit den gewünschten
optischen Eigenschaften vorliegt, ohne daß ein Träger, etwa eine Glasplatte oder
ein gläserner
Reflektor, verwendet werden muß.
Von weiterem Vorteil ist, daß derartige Plättchen auch
mit strukturierten Oberflächen,
wie konkave oder konvexe Mikroreflektoren, herstellbar sind und
im Gegensatz zu Schichten, die auf einer Glasunterlage abgeschieden
werden, in einem breiten Infrarotbereich transparent bleiben. Die
Anordnung der Schichtdicken erfolgt nach bekannten Prinzipien der
Optik dünner
Schichten. Bei Verwendung von Titanoxid und Magnesiumfluorid, aber
auch bei Kombinationen anderer Materialien, wie Tantaloxid, Zirkonoxid,
Ceroxid, Zinksulfid und anderen bekannten Stoffen für die hochbrechenden
Schichten und Quarz oder andere Fluoride als niedrigbrechende Schicht,
ergibt sich ein Plättchenmaterial,
welches im Bereich von 400 bis 10.000 Nanometer weitgehend absorptionsfrei
ist.
-
Nachfolgend
werden Beispiele für
den Prozeßablauf
zur Erzeugung von planparallelen Plättchen aus Aluminium angeführt.
-
Beispiel I:
-
Eine
Vakuumkammer nach 1 und 2 enthält 2 Verdampfer,
welche auf einem Kreisbogen in Drehrichtung des Trägers angeordnet
sind. Der erste Verdampfer ist mit Natrium-tetraborat, welches zuvor
an der Atmosphäre
durch Glühen
auf 600°C von
Kristallwasser befreit worden ist, gefüllt und wird bei einem Kammervakuum
von 2 × 10–4 mbar
auf eine Temperatur von ungefähr
1300°C aufgeheizt, während sich
der Träger
bereits in Rotation um seine horizontale Achse befindet. Zeitversetzt
wird der zweite Verdampfer für
Aluminium auf etwa 1500°C aufgeheizt
und Aluminium in Drahtform nach bekannter Art zugeführt. Um
die gewünschte
horizontale Abdampfrichtung zum Träger hin zu erreichen, befindet sich
um den Aluminium-Verdampfer herum ein U-förmigen beheiztes Schild, welche
den Metalldampf vorzugsweise in Richtung auf den Träger lenkt.
Beide Verdampfer werden kontinuierlich betrieben bis ihr Vorrat
an Verdampfermaterial erschöpft
ist. Währenddessen
transportiert der rotierende Träger
die auf ihm aufliegenden Schichten durch einen Spaltrohr-förmigen Kanal
in einen Raum höheren
Druckes von typisch 0.04 mbar, wo der beschichtete Teil des Trägers in
die Flüssigkeit
in ein Gefäß eintaucht,
in welchem, durch Unterstützung
von Ultraschall, der den Träger
in der Flüssigkeit
bestrahlt, die Aluminiumschicht aufgerissen wird. Das einwirkende
Glyzerin, welches bei seiner Betriebstemperatur von 50°C einen Dampfdruck
von weniger als 0.04 mbar aufweist, löst die Trennmittelschicht aus
Natriumtetraborat schnell auf.
-
Das
Alumininium liegt nun als Plättchen
in der Flüssigkeit
vor. Während
der rotierende Träger ständig neue
Schichten aus Natriumtetraborat und Aluminium nachliefert, wird
die Suspension von einer Flüssigkeitspumpe
aus dem Gefäß laufend
abgesaugt, auf einen Druck von etwa 1.5–6 bar gebracht und an der
Atmosphäre
in eine Mantelzentrifuge geführt.
Durch den Dichteunterschied legen sich die Aluminiumplättchen an
dessen Wand, die klare Flüssigkeit
wird aus dem Mantel ausgetragen und fließt über ein Ventil wieder in das
unter Vakuum befindliche Gefäß ohne Luft
anzusaugen zurück.
Ein Wärmetauscher
in diesem Glyzerinkreis sorgt dafür, daß die Temperatur konstant gehalten
werden kann. Der rotierende, nun von Schichten befreite Träger taucht aus
der Flüssigkeit
auf, durchläuft
zuerst mehrere mechanische Abstreifer und verläuft dann zwischen zwei in sehr
geringer Entfernung von seiner Oberfläche befindlichen, auf –30°C gekühlten Platten.
Durch das Partialdruckgefälle
verdampft das noch als Film von weniger als 1 Mikrometer am Träger anhaftende Glyzerin
und kondensiert auf der kalten Fläche, von der es abläuft. Auf
seinem weiteren weg durchquert der Träger einen zweiten Spaltrohr-förmigen Kanal und
gelangt wieder in den Bereich des Trennmittelverdampfers mit Natriumtetraborat.
Der rotierende Träger
besteht hier aus einer hochglanzpolierten Blechscheibe aus 3 mm
rostfreien Stahl, deren Durchmesser etwas kleiner als der Durchmesser
der Vakuumkammer ist. Im Beispiel wird eine Vakuumkammer von 2 Meter
Durchmesser und eine Scheibengröße von 1.9
Meter verwendet. Verdampfer für Trennmittel
und Aluminium sind zu beiden Seiten der Scheibe angebaut. Der bedampfte
Kreisring auf der Scheibe besitzt eine Breite von 0.60 Metern und
rotiert mit einer Geschwindigkeit von 10 Umdrehungen pro Minute.
Pro Minute werden 49 m2 an Aluminiumplättchen gewonnen.
Die gewählte
Aufdampfdicke beträgt
je nach der Verwendung des Produktes 50 bis 500 Nanometer.
-
Beispiel II:
-
In
der im Beispiel I verwendeten Vakuumkammer wird die Drehachse des
scheibenförmigen Trägers von
1,90 Meter Durchmesser vertikal eingebaut. Nach 3 befinden
sich ein Trennmittelverdampfer mit wasserfreiem Natriumchlorid und
drei Elektronenstrahlverdampfer unterhalb der Scheibe am Umfang.
Alle Verdampfer sind auf demselben Radius des Trägers angeordnet. In zum Beispiel
I abgewandelter Form wird auf dem horizontalen Träger nacheinander
eine Schicht aus Natriumchlorid-Aluminiumoxid-Titan-Aluminiumoxid
bei einem Vakuum von 7 × 10–5 mbar
aufgedampft, wobei den Verdampfern alle Materialien kontinuierlich
oder diskontinuierlich zugeführt
werden. Entsprechende Einrichtungen sind aus der Literatur bekannt.
Die auf dem Rotationsweg folgende Ablösestation unterscheidet sich
dadurch, daß das
Gefäß, in welchem
die Ablösung
der Schichten erfolgt, mit seinem Rand sehr eng, aber ohne diesen
zu berühren,
an der Unterseite der rotierenden Scheibe anliegt. Das Vakuum im Raum über dem
Flüssigkeitspegel
und dem scheibenförmigen
Träger
beträgt
0.04 mbar. Rotierende Bürsten
aus vakuumtechnisch geeignetem Material befördern die Flüssigkeit,
in diesem Fall Ethylenglykol von 30°C, an den Träger und lösen das Trennmittel auf. Die
aus 3 Schichten bestehenden Produktschichten suspendieren sich als
Flocken in der Flüssigkeit.
Ein Tauchverfahren ist wegen der horizontalen Anordnung der Scheibe
hier nicht möglich.
Der Träger
rotiert mit einer Geschwindigkeit von 5 Umdrehungen pro Minute.
Das erhaltene Produkt weist eine Dicke von 150 Nanometer auf. Die
Plättchen werden
auf gleiche Weise wie im Beispiel I erläutert, gewonnen.
-
Beispiel III:
-
In
derselben Anordnung des Trägers,
der Verdampfer und der Ablösestation
des Beispiels I sollen planparallele Plättchen einer gewissen Zahl
von sich wiederholenden Schichten des Typs A,B oder A,B,C erzeugt
werden. Das in diesem Beispiel aufgedampfte Schichtsystem besteht
aus einer Trennmittelschicht, hier Calciumchlorid, und einer Schichtenfolge
aus Titanoxid und Magnesiumfluorid, welche 15-mal wiederholt wird
und mit einer weiteren Titanoxid endet. Der wesentliche Unterschied
zu den Beispielen I und II ist, daß die Aufdampfung der Schichten
nach folgender Reihenfolge durchgeführt wird:
- – Die das
Produkt vom Träger
ablösenden
Bürsten
werden soweit abgesenkt, daß sie
nicht mehr im Kontakt mit dem Träger
stehen.
- – Der
Trennmittelverdampfer trägt
während
ein bis zwei vollen Umdrehungen des Trägers Calciumchlorid auf. Danach
wird eine Blende zwischen ihn und dem Träger nach bekannter Weise eingefahren.
Weiteres Trennmittel erreicht den Träger nicht mehr.
- – Je
ein Verdampfer, mit Titanoxid und Magnesiumfluorid gefüllt, trägt in kontrollierter
Schichtdicke pro Umdrehung, bei gleichzeitiger Messung der aufgetragenen
Schichtdicke nach bekannten Verfahren eine hochbrechende und eine
niedrigbrechende Schicht auf. Nach Erreichen der gewünschten
Schichtzahl werden beide Verdampfer mit einer Blende verschlossen.
- – Die
rotierenden Bürsten,
die die Aufgabe haben, das Schichtsystem mittels einer Flüssigkeit,
hier mittels Ethylenglykol, durch Auflösen des aufgedampften Trennmittels
von Träger
zu entfernen, werden mechanisch so verstellt, daß sie in Berührung mit
dem Träger
gelangen. Die Ablösung
und Weiterverarbeitung der Plättchen
geschieht in der im Beispiel I beschriebenen weise. Die Rotationsgeschwindigkeit
des Trägers
wird so weit reduziert, daß die
Ablösung
in einem einzigen Durchgang erfolgen kann.
- – Die
rotierenden Bürsten
werden wieder so verstellt, daß sie
nicht in Kontakt mit dem rotierenden Träger gelangen.
- – Es
beginnt die Wiederholung des Prozesses.
-
Vorteilhaft
ist es, daß mit
dieser Variante nach Beispiel III mit wenigen Verdampfern planparallele
Plättchen
mit einer großen
Zahl von sich wiederholenden Schichtpaaren oder Dreifachschichten ohne
Unterbrechung des Vakuums erzeugt werden können.
-
In
den Beispielen I bis III gelangen noch sehr geringe Spuren der Ablöseflüssigkeit
als ein an dem Träger
anhaftender Film von wenigen Moleküllagen in den Verdampfungsteil.
Dieser Effekt, der bei allen anderen Verfahren der Vakuumbeschichtung
sehr schädlich
wäre, erweist
sich hier in den meisten Anwendungsfällen sogar als nützlich,
da er die Haftfestigkeit des aufgedampften Trennmittels auf dem
Träger
vermindert und für
eine schnellere und vollkommende Ablösung in der Flüssigkeit
sorgt. Da die Aufdampfschichten selbst das Produkt bilden, ist eine gute
Haftung an einer Oberfläche
nicht gefordert.
-
Alle
Varianten erfüllen
den Erfindungsgedanken, der darauf basiert, daß auf ein oder mehrere in einer
Vakuumkammer mit 2 oder 3 Vakuumzonen rotierenden starren Träger nacheinander
ein Trennmittel und die Produktschichten bei einer Umdrehung von
360° des
Trägers,
der ein rotationssymmetrisches Gebilde ist, im Vakuum aufgebracht
werden. Diese Produktschichten werden gleichzeitig an einer anderen
Stelle vom Träger
abgelöst
und die dadurch erhaltene Suspension wird aus dem Vakuumraum entfernt.
Danach erfolgt durch Filtern, Zentrifugieren, weiteres Verkleinern
und Einbringen in einen flüssigen
Träger,
der ein Lack oder eine Tinte sein kann, die weitere Verarbeitung
der Suspension bei Atmosphärendruck
zu den Endprodukten, wie metallisch reflektierenden Lacken oder
Druckfarben.
-
Ein
kontinuierliches, mittels eines Vakuum-Beschichtungsverfahrens auf
einem oder mehreren beweglichen rota tionssymmetrischen, starren Trägern erzeugtes
Schichtsystem weist somit eine oder mehrere anorganische Trennmittelschichten und
darauf abgeschiedene Produktschichten aus Metallen, Oxiden, Fluoriden,
Nitriden oder Karbiden, welche in einem einzigen Umlauf kontinuierlich
vom Träger
durch Einwirken einer Flüssigkeit
entfernt werden, welche die anorganische Trennmittelschicht löst und gleichzeitig
die nicht in der Flüssigkeit
löslichen
Produktschichten vom Träger
ablöst
und in Flocken zerfallen läßt, auf.
Ein um eine Achse rotierender, starrer Träger befindet sich dabei in
einer Vakuumkammer, die in mindestens zwei Druckstufen durch Zwischenabschottungen
geteilt ist, wobei der Bereich, in welchem der rotierende, starre
Träger
die Zwischenabschottungen durchquert, als Kanal ausgebildet ist.
Der rotierende, starre Träger
wird in einer ersten Zone mit einem in einer Flüssigkeit löslichen, im Vakuum ohne Zersetzung
verdampfbaren Trennmittel beschichtet und durchläuft während derselben Rotation eine
zweite Zone mit einem oder mehreren Verdampfern, welche die Produktschichten
erzeugen. Der starre Träger
durchläuft
auf seinem Rotationsweg eine dritte Zone in einen getrennt gepumpten weiteren
Vakuumraum von 10–3
bis 1 mbar, in welchem die Trennmittelschicht oder die Trennmittelschichten
mittels einer Flüssigkeit,
deren Dampfdruck geringer oder gleich dem Druck im zweiten Vakuumraum
ist, aufgelöst
wird, wobei sich die nicht lösliche
Produktschicht oder die Produktschichten als nicht zusammenhängende Teilchen
vom Träger
ablösen
und dann als Suspension in der Flüssigkeit vorliegen. Der rotierende,
starre Träger
wird auf seinem weiteren Rotationsweg der Einwirkung der Flüssigkeit
entzogen, von Resten der Flüssigkeit
befreit, dem Prozeß der
Beschichtung mit Trennmittel und den Produktschichten wieder zugeführt.
-
Die
Schritte der Bedampfung mit Trennmittel und mit den Produktschichten
und die Auflösung
des Trennmittels in einer Flüssigkeit
erfolgen bei gleicher Winkelgeschwindigkeit des starren, rotierenden
Trägers
kontinuierlich und gleichzeitig an verschiedenen Orten des Trägers.
-
Durch
sich wiederholende Anordnung eines Verdampfers für das Trennmittel und der Verdampfer für die Produktschichten
können
mehrere Lagen von Produktschichten während derselben Rotation des starren
Trägers
gleichzeitig erzeugt werden.
-
Der
rotierende, starre Träger
kann aus einer oder mehreren parallelen Scheiben, einem oder mehreren
geschlossenen oder offenen Zylindern oder aus einem oder mehreren
geschlossenen oder offenen, anderen rotations- symmetrischen Körpern bestehen,
die entweder auf einer gemeinsamen Achse oder auf mehreren Achsen
rotieren.
-
Bei
Verwendung eines rotierenden, starren Trägers, der aus mehreren parallelen
Scheiben besteht, können
alle oder einige gleichzeitig beidseitig beschichtet werden.
-
Neben
dem Aufdampfverfahren können auch
weitere Beschichtungsverfahren unter Vakuum, wie das Sputtern oder
die Plasmapolymerisation, oder eine Kombination dieser Verfahren
in derselben Vakuumkammer verwendet werden.
-
Der
rotierende, starre Träger
weist eine Oberfläche
auf, die aus Metall, Glas, Email, einer Keramik oder einem organischen
Material besteht, wobei das Material der Oberfläche und des Trägers unterschiedlich
sein kann.
-
Der
rotierende starre Träger
weist eine Oberfläche
auf, die entweder naturbelassen, poliert oder strukturiert sein
kann.
-
Die
Schritte der Beschichtung mit Trennmittel, die sich mindestens einmal
wiederholende Beschichtung mit mindestens zwei verschiedenen Substanzen,
welche in ihrer Gesamtheit eine Schichtsystem ergeben, und die Ablösung dieses
Schichtsystems erfolgen nacheinander und ohne Unterbrechung des
Vakuums.
-
Die
vorliegende Erfindung bezieht sich somit auf eine Vorrichtung zum
Erzeugen von planparallen Plättchen
mit einem um eine Achse drehbaren Träger, einer Einrichtung zur
Beschichtung eines Flächenabschnitts
des Trägers
mit zumindest einer Produktschicht, einer Einrichtung zum Ablösen der
Produktschicht von dem Flächenabschnitt
des Trägers
in einer solchen Weise, daß planparallele
Plättchen
entstehen, wobei der Transport des Flächenabschnitts zwischen der
Beschichtungseinrichtung und der Ablöseeinrichtung durch Rotation
des Trägers
erfolgt. Dabei kann eine Einrichtung zum Beschichten des Trägers mit
einer Trennmittelschicht vor dem Aufbringen der Produktschicht vorgesehen
sein. In der Ablöseeinrichtung
wird die Trennmittelschicht aufgelöst und werden die planparallelen
Plättchen
freigesetzt.