DE19944018A1 - Architektur für ein Luftturbulenz-kompensiertes Zwei-Wellenlängen-Heterodyninterferometer - Google Patents

Architektur für ein Luftturbulenz-kompensiertes Zwei-Wellenlängen-Heterodyninterferometer

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Die Vorrichtung mißt die Positionsänderung eines Stufenspiegels bezüglich eines Referenzspiegels, wenn sich der Stufenspiegel zwischen einer ersten und einer zweiten Position bewegt. Die Vorrichtung umfaßt eine Lichtquelle zum Erzeugen eines ersten und eines zweiten zusammenfallenden Lichtstrahls, wobei der erste Lichtstrahl eine Wellenlänge lambda¶1¶ hat, und wobei der zweite Lichtstrahl eine Wellenlänge lambda¶2¶ hat, wobei lambda¶1¶ = Mlambda¶2¶ gilt. Der erste Lichtstrahl umfaßt zwei orthogonal polarisierte Komponenten, die sich frequenzmäßig um eine erste Schwebungsfrequenz F¶ref¶(lambda¶1¶) unterscheiden. Der zweite Lichtstrahl umfaßt zwei orthogonal polarisierte Komponenten, die sich frequenzmäßig um eine zweite Schwebungsfrequenz F¶ref¶(lambda¶2¶) unterscheiden, wobei F¶ref¶(lambda¶2¶) = MF¶ref¶(lambda¶1¶) gilt, und wobei M eine Ganzzahl ist, die größer als 1 ist. Ein polarisationsabhängiger Strahlteiler richtet eine der orthogonal polarisierten Komponenten jedes Lichtstrahls zu dem Referenzspiegel, und die andere der orthogonal polarisierten Komponenten jedes Lichtstrahls zu dem Stufenspiegel. Der polarisationsabhängige Strahlteiler kombiniert ferner die orthogonal polarisierten Komponenten, nachdem die orthogonal polarisierten Komponenten entweder von dem Referenzspiegel oder von dem Stufenspiegel reflektiert worden sind. Die Lichtintensitäten der kombinierten Lichtstrahlen werden in einem ersten und einem zweiten Detektor gemessen. Die Ausgangssignale dieser Detektoren werden kombiniert, um eine ...

Description

Diese Erfindung bezieht sich auf Interferometer und insbe­ sondere auf Interferometer zur Abstandsmessung, die die Ef­ fekte einer atmosphärischen Turbulenz auf interferometrische Messungen kompensieren.
Interferometer, die auf Laserstrahlen basieren, werden ver­ wendet, um sehr genaue Verschiebungsmessungen durchzuführen, wie sie beispielsweise bei der Steuerung von Wafer-Steppern erforderlich sind, die bei der Herstellung von integrierten Schaltungen (ICs) verwendet werden. Bei einem Laserinterfe­ rometer zur Abstandsmessung wird Licht von einem Laser in zwei Strahlen aufgeteilt. Der Referenzstrahl wird von einem festen Referenzspiegel reflektiert, während der Meßstrahl von einem sich bewegenden Meßspiegel reflektiert wird. Die Strahlen werden an einem Detektor wieder kombiniert. Die optische Intensität der kombinierten Strahlen hängt von der Differenz der optischen Länge zwischen dem Referenz- und dem Meßweg ab. Messungen des optischen Wegs bis zu einer Ge­ nauigkeit eines Bruchteils der Wellenlänge des Lasers werden routinemäßig erreicht.
Interferometer zur Abstandsmessung werden typischerweise in DC- und in AC-Interferometer eingeteilt. Bei einem DC-Inter­ ferometer emittiert der Laser eine einzige Frequenz. Nur wenn der Meßspiegel bewegt wird, ist das Interferenzsignal zeitlich variierend. Wenn der Meßspiegel fest ist, ist das Interferenzsignal eine Konstante. Ungünstigerweise können Störungen, wie z. B. eine Leistungsdrift des Lasers und ein elektronisches Rauschen als Bewegungssignal fehlinterpre­ tiert werden, besonders wenn der Meßspiegel fest ist.
Bei einem AC-Interferometer emittiert der Laser zwei opt­ ische Frequenzen mit orthogonalen Polarisationen. Die zwei optischen Frequenzen unterscheiden sich um einen kleinen Betrag und einer der Strahlen wird entlang des Referenzwegs gerichtet, während der andere entlang des zu messenden Wegs gerichtet wird. Die Frequenzen werden mit einem polarisa­ tionsabhängigen Strahlteiler geteilt, wobei eine Frequenz zu dem Referenzspiegel geht, während die andere Frequenz zu dem Meßspiegel geht. Wenn die Strahlen wieder kombiniert werden, wird eine Schwebungsfrequenz bei der Differenz der optischen Frequenzen erzeugt. Wenn der Meßspiegel bewegt wird, verschiebt sich die Schwebungsfrequenz aufgrund der durch die Bewegung eingeführten Doppler-Verschiebung. Bei dieser Anordnung wird die Abstandsmessung erhalten, indem die Differenz der betrachteten Frequenz, wenn der Meßspiegel bewegt wird, und der Frequenz genommen wird, wenn beide Spiegel fest sind. Diese letztere Frequenz wird erhalten, indem ein Anteil des Ausgangssignals des Lasers auf einen geeigneten Detektor gerichtet wird, um die Schwebungsfre­ quenz zu erzeugen. Da nur die Komponente des Rauschens in­ nerhalb des Frequenzbandes zwischen der Referenzschwebungs­ frequenz und der beobachteten Schwebungsfrequenz, die be­ obachtet wird, wenn der Spiegel bewegt wird, das Signal stören kann, werden die Auswirkungen von Rauschen bei AC- Interferometern wesentlich reduziert.
Somit erzeugt der Detektor ein AC-Signal (AC = Alternating Current = Wechselstrom), wenn der Meßspiegel fest ist, und wenn er bewegt wird. Es ist einfacher, Rauschen bei einem zeitlich variierenden Signal zu unterdrücken, als bei einem konstanten Signal. Daher ist die AC-Interferometrie genauer als die DC-Interferometrie aufgrund ihrer überlegenen Fähig­ keit, Rauschen zu unterdrücken.
Der Abstand, der durch Beobachten der oben beschriebenen Frequenzdifferenz oder durch Zählen von Rändern im Fall ei­ nes DC-Interferometers gemessen wird, ist die Differenz des optischen Wegs zwischen dem Referenzarm des Interferometers und dem Arm, der den sich bewegenden Spiegel enthält. In den meisten Fällen ist der interessierende Paramater die Dif­ ferenz im physischen Abstand. Die physische Weglänge ist die optische Weglänge geteilt durch den mittleren Brechungsindex der Luft in dem Weg, der von den Lichtstrahlen durchschrit­ ten wird. Daher müssen die interferometrischen Messungen be­ züglich des Brechungsindex der Luft entlang des Wegs korri­ giert werden. In der Praxis kann die Luft entlang des Meß­ wegs Turbulenzen, besonders in der Region, die die Waferstu­ fe eines Steppers umgibt, umfassen. Der Brechungsindex hängt von der lokalen Luftdichte entlang des Wegs ab. Daher wer­ den, wenn der Brechungsindex in dem tatsächlichen Weg zum Zeitpunkt des Durchführens der Messung nicht bekannt ist, beim Umwandeln von der optischen Weglänge in die physische Distanz Fehler gemacht. Mit zunehmender Verkleinerung der Größen von Merkmalen in Schaltungen können die Fehler, die aufgrund einer Luftturbulenz resultieren, zu ernsthaften Positionsmeßfehlern führen. Daher wurden Verfahren zum Mes­ sen des Brechungsindexes gleichzeitig zu der optischen Weg­ länge vorgeschlagen.
Ein Verfahren zum gleichzeitigen Bestimmen der Luftdichte und der physischen Weglänge besteht darin, die gemessenen Beziehungen zwischen dem Brechungsindex von Luft, der Dichte von Luft und der optischen Weglänge zu verwenden. Da sich der Brechungsindex mit der Wellenlänge verändert, können die mittlere Dichte und daher der Brechungsindex durch Messen der optischen Weglänge bei zwei oder mehreren Wellenlängen abgeleitet werden.
Meßsysteme, die auf einem Messen der optischen Weglänge bei zwei sehr weit voneinander beabstandeten Frequenzen basie­ ren, sind in der Technik bekannt. Beispielsweise beschreibt Lis (U.S.-Patent Nr. 5,404,222) ein System, bei dem zwei Laser verwendet werden, um die optische Weglänge bei unter­ schiedlichen Frequenzen zu messen. Das von Lis offenbarte System erfordert ein viel komplexeres optisches System, als es bei einem herkömmlichen AC-Interferometer verwendet wird. Dieses System erfordert drei Wellenlängen und mehrere Ab­ standsmessungen, um eine Luftturbulenz zu korrigieren.
Zusätzlich hat das System ein schlechtes Signal/Rausch- Verhältnis, da es auf einer nicht-resonanten Erzeugung der zweiten Harmonischen aufbaut, um die mehreren Wellenlängen zu liefern. Das System baut ferner auf teuren optischen Techniken auf, um ein Korrektursignal zu erzeugen.
Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht darin, eine einfachere Vorrichtung zum Messen einer Positionsänderung zu schaffen.
Diese Aufgabe wird durch eine Vorrichtung nach Patentan­ spruch 1 gelöst.
Ein Vorteil der vorliegenden Erfindung besteht darin, daß sie ein Interferometer beschafft, das automatisch Turbu­ lenzen entlang des gemessenen optischen Weges kompensiert.
Ein weiterer Vorteil der vorliegenden Erfindung besteht darin, daß sie ein Interferometer schafft, das weniger kom­ plex als bekannte Interferometer ist, die Turbulenzen kom­ pensieren.
Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung zum Messen der Positionsänderung eines Stufenspiegels be­ züglich eines Referenzspiegels, wenn der Stufenspiegel zwi­ schen einer ersten und einer zweiten Position bewegt wird. Die Vorrichtung umfaßt eine Lichtquelle zum Erzeugen eines ersten und eines zweiten zusammenfallenden Lichtstrahls, wobei der erste Lichtstrahl eine Wellenlänge λ1 aufweist, und wobei der zweite Lichtstrahl eine Wellenlänge λ2 auf­ weist, wobei gilt: λ1 = M = λ2. Der erste Lichtstrahl umfaßt zwei orthogonal polarisierte Komponenten, die sich frequenz­ mäßig um eine erste Schwebungsfrequenz Fref(λ1) unterschei­ den und der zweite Lichtstrahl umfaßt zwei orthogonal pola­ risierte Komponenten, die sich frequenzmäßig um eine zweite Schwebungsfrequenz Fref(λ2) unterscheiden, wobei gilt: Fref(λ2) = M Fref(λ1), und wobei ferner gilt, daß M eine Ganzzahl ist, die größer als 1 ist. Ein polarisationsabhän­ giger Strahlteiler richtet eine der orthogonal polarisierten Komponenten jedes Lichtstrahls zu dem Referenzspiegel und die andere der orthogonal polarisierten Komponenten jedes Lichtstrahls zu einem Stufenspiegel. Der polarisationsabhän­ gige Strahlteiler rekombiniert ferner die orthogonal polari­ sierten Komponenten, nachdem die orthogonal polarisierten Komponenten entweder durch den Referenzspiegel oder durch den Stufenspiegel reflektiert worden sind. Ein erster Detek­ tor mißt die Lichtintensität in dem ersten Lichtstrahl, nachdem die orthogonal polarisierten Komponenten des ersten Lichtstrahls durch den polarisationsabhängigen Strahlteiler wieder kombiniert worden sind, um ein erstes Detektorsignal mit einem Betrag zu erzeugen, der gleich der Lichtintensität an dem ersten Detektor ist, wobei das erste Detektorsignal mit einer Augenblicksfrequenz F1(t) oszilliert. Ein zweiter Detektor mißt die Lichtintensität in dem zweiten Licht­ strahl, nachdem die orthogonal polarisierten Komponenten des zweiten Lichtstrahls durch den polarisationsabhängigen Strahlteiler wieder kombiniert worden sind. Der zweite De­ tektor erzeugt ein zweites Detektorsignal mit einem Betrag gleich der Lichtintensität an dem zweiten Detektor, wobei das zweite Detektorsignal mit einer Augenblicksfrequenz F2(t) oszilliert. Ein Referenzsignalgenerator erzeugt ein Referenzsignal, das mit Fref(λ1) oszilliert. Eine Schaltung zur Messung des optischen Weges mißt die Differenz der An­ zahl der Schwingungen des zweiten Detektorsignals und des Referenzsignalgenerators während der Zeitdauer, in der sich der Stufenspiegel von der ersten Position zu der zweiten Position bewegt. Eine Korrekturausdruckschaltung mißt die Anzahl von Schwingungen in einem Signal mit einer Augen­ blicksfrequenz gleich MF1(t) - F2(t) während der Zeitdauer, in der sich der Stufenspiegel von der ersten Position zu der zweiten Position bewegt. Bei dem bevorzugten Ausführungs­ beispiel der vorliegenden Erfindung beträgt M = 2.
Bevorzugte Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung werden nachfolgend bezugnehmend auf die beiliegende Figur erörtert. Es zeigt:
Fig. 1 ein Blockdiagramm eines Laserinterferometers gemäß der vorliegenden Erfindung.
Fig. 1 zeigt ein Blockdiagramm eines Laserinterferometers 10 gemäß der vorliegenden Erfindung, um die Abstandsdifferenz zwischen einem Referenzspiegel 21 und einem bewegbaren Spie­ gel 22 zu messen. Eine Lichtquelle 11 erzeugt zwei orthogo­ nal polarisierte Teilfrequenz-Wellen bei zwei Wellenlängen λ1 und λ2 = λ1/2. Die Wellen sind als zwei getrennte Strahlen gezeichnet, um die Zeichnung zu vereinfachen. Es sei jedoch darauf hingewiesen, daß die zwei Strahlen räumlich zusam­ menfallend sind. Der Strahl mit λ1 ist bei 12 gezeigt. Der Strahl mit λ2 ist bei 13 gezeigt. Jeder Strahl besteht aus zwei orthogonal polarisierten Komponenten, die sich fre­ quenzmäßig um 5 bis 10 MHz unterscheiden. Die optimale Frequenzdifferenz wird durch die maximale Geschwindigkeit bestimmt, mit der sich die Stufe bewegt. Ein Laser mit den erforderlichen Eigenschaften ist in dem U.S.-Patent Nr. 5,732,095 beschrieben, das hierin durch Bezugnahme aufgenom­ men ist.
Jeder Strahl wird durch einen Polarisationsstrahlteiler 17 aufgeteilt, so daß eine Komponente auf einen Referenzspiegel 21 gerichtet wird, und die andere Komponente zu einem Stu­ fenspiegel 22 gerichtet wird. Eine Viertelwellenplatte 14 liefert eine 90°-Drehung der Polarisation der Komponenten, die von dem Referenzspiegel reflektiert werden. Daher laufen bei ihrer Rückkehr zu dem Strahlteiler 17 diese Komponenten durch den Strahlteiler und erreichen die Detektoren 23 und 24 über einen Polarisationsanalysator 25. Der Analysator 25 erzeugt ein Schwebungssignal aus den orthogonal polarisier­ ten Strahlen, die von dem Referenz- und dem Meßspiegel kom­ men. Derselbe ist mit 45° zu den Polarisationsrichtungen dieser Strahlen ausgerichtet. Auf ähnliche Art und Weise liefert eine Viertelwellenplatte 15 eine 90°-Drehung der Polarisation der Komponenten, die durch den Strahlteiler 17 laufen und von dem Stufenspiegel 22 reflektiert werden.
Daher werden bei ihrer Rückkehr zu dem Strahlteiler 17 diese Komponenten ebenfalls in die Detektoren 23 und 24 reflek­ tiert. Der Detektor 23 hat ein geeignetes Filter, um seine Erfassung auf das Licht bei den Frequenzen in dem Strahl 12 zu begrenzen. Der Detektor 24 hat ein Filter, um seine Er­ fassung auf das Licht bei den Frequenzen in dem Strahl 13 zu begrenzen.
Ein dritter Detektor 27 und ein zweiter Analysator 28 erzeu­ gen ein Referenzsignal aus dem Ausgangssignal der Lichtquel­ le 11 bei λ2. Ein nicht-polarisierender Strahlteiler 16 wird verwendet, um einen Abschnitt des Laserausgangssignals zu dem Detektor 27 umzuleiten, der ein Filter hat, das Licht mit der Wellenlänge λ1 blockiert.
Für diese Erörterung sei angenommen, daß die zwei Komponen­ ten der Schwebung mit einer Wellenlänge λ1 um 10 MHz unter­ schiedlich sind, und daß M = 2 gilt, d. h. λ1 = 2λ2. Daher wird das Ausgangssignal des Detektors 27 eine Schwebungsfrequenz bei 10 MHz haben. Das Ausgangssignal wird allein durch das Aufteilen in der Laserlinie bestimmt. Die Schwebungsfre­ quenz, die durch den Detektor 24 erzeugt wird, wird bezüg­ lich dieser Referenzfrequenz um einen Betrag Doppler-ver­ schoben, der von der Geschwindigkeit abhängt, mit der sich die Stufe bewegt.
Die Frequenzdifferenz zwischen den Komponenten des Strahls bei λ2 wird durch die Differenz bei λ1 bestimmt. Daher wird bei dem vorliegenden Beispiel das Ausgangssignal des Detek­ tors 23 eine Schwebungsfrequenz von 20 MHz haben, die um ei­ nen Betrag Doppler-verschoben ist, der von der Geschwindig­ keit abhängt, mit der sich die Stufe bewegt.
Die vorliegende Erfindung basiert auf der Beobachtung, daß die optische Weglänge PAB(λ), die dem Spiegel entspricht, der von einer Position A zu einer Position B bewegt wird, auf den Abstand LAB, der von dem Spiegel zurückgelegt wird, und auf den Brechungsindex von Luft bei der Meßwellenlänge bezogen ist. Der Zusammenhang lautet folgendermaßen:
Dabei ist n(λ) der Brechungsindex von Luft bei λ. Wenn Glei­ chung (1) auf die zwei Frequenzen angewendet wird und nach LAB aufgelöst wird, ergibt sich Gleichung (2):
Es gilt:
Für i gilt: i = 1,2. Hier ist p die Dichte von Luft. Es sollte angemerkt werden, daß Gleichung (2) nicht von p abhängt. Da­ her ist der aus Gleichung (2) berechnete Abstand bezüglich jeglicher Turbulenz korrigiert.
Für AC-Interferometriemessungen ist die optische Weglänge auf die Frequenzdifferenz der zwei polarisierten Zustände bei der Strahlenfrequenz bezogen, die durch die Augenblicks­ stufengeschwindigkeit Doppler-verschoben ist. Es gilt:
Hier ist Fλ(t) die Schwebungsfrequenz gemessen zum Zeitpunkt t von dem Detektor, der abgestimmt ist, um die Wellenlänge λ zu erfassen. Fref(λ) ist die Referenzschwebungsfrequenz bei der Wellenlänge λ, d. h. die Schwebungsfrequenz, wenn sich die Stufe nicht bewegt. Wie es oben angemerkt worden ist, gilt: λ1 = 2λ2 und Fref(λ2) = 2Fref(λ1). Damit ergibt sich:
Es sollte angemerkt werden, daß das Integral nur der Zähl­ wert ist, der von einem Zähler akkumuliert wird, dessen Eingangssignal die Differenz zwischen dem Doppelten der unteren Schwebungsfrequenz und der höheren Schwebungs­ frequenz während der Zeit ist, während der sich die Stufe von einer Position A zu einer Position B bewegt. Bei dem bevorzugten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung wird diese Frequenz unter Verwendung einer Frequenzverdopp­ lungsschaltung 34 erzeugt, um die Schwebungsfrequenz von dem Detektor 23 zu verdoppeln, und unter Verwendung eines Mi­ schers 32, um die Differenz der verdoppelten Schwebungsfre­ quenz und der Schwebungsfrequenz, die durch den Detektor 24 gemessen wird, zu bilden. Das resultierende Differenzsignal wird durch einen Korrekturgenerator 33 integriert, der die Korrektur ferner mit folgender Größe multipliziert:
Der optische Weg bei λ2 wird durch die Schaltung 31 erzeugt, die die Differenz zwischen der Schwebungsfrequenz von dem Detektor 24 und der Referenzfrequenz von dem Detektor 27 während der Zeitdauer akkumuliert, während der die Stufe von einer Position A zu einer Position B bewegt wird. Die akku­ mulierte Differenz wird mit λ2/4π multipliziert, um die op­ tische Wegmessung PAB(λ2) zu erzeugen. Ein Subtrahierer 34 liefert die korrigierte Abstandsmessung durch Berechnen der Differenz zwischen der Messung des optischen Wegs und dem Korrekturterm.
Die oben beschriebenen Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung verwenden zwei Strahlen, die sich frequenzmäßig um einen Faktor 2 unterscheiden. Es sei jedoch darauf hingewie­ sen, daß die vorliegende Erfindung mit zwei Strahlen prakti­ ziert werden kann, die sich um einen beliebigen ganzzahligen Faktor frequenzmäßig unterscheiden.
Die oben beschriebenen Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung verwenden ferner spezifische Schaltungsanordnungen zum Berechnen der Differenz der Schwebungsfrequenzen. Es ist jedoch offensichtlich, daß andere Schaltungen verwendet wer­ den können, ohne von den Lehren der vorliegenden Erfindung abzuweichen. Beispielsweise können die einzelnen Schwebungs­ frequenzen über die Bewegung der Stufe und den Korrektur­ term, der aus den akkumulierten Differenzen bestimmt wird, getrennt integriert werden.

Claims (5)

1. Vorrichtung (10) zum Messen der Positionsänderung eines Stufenspiegels (22) bezüglich eines Referenzspiegels (21), wenn sich der Stufenspiegel zwischen einer ersten und einer zweiten Position bewegt, mit folgenden Merkma­ len:
einer Lichtquelle (11) zum Erzeugen eines ersten und ei­ nes zweiten zusammenfallenden Lichtstrahls, wobei der erste Lichtstrahl (12) eine Wellenlänge λ1 hat, und wo­ bei der zweite Lichtstrahl (13) eine Wellenlänge λ2 hat, wobei λ1 = Mλ2 gilt, wobei der erste Lichtstrahl (12) zwei orthogonal polarisierte Komponenten aufweist, die sich in der Frequenz um eine erste Schwebungsfrequenz Fref(λ1) unterscheiden, und wobei der zweite Lichtstrahl (13) zwei orthogonal polarisierte Komponenten aufweist, die sich in der Frequenz um eine zweite Schwebungsfre­ quenz Fref(λ2) unterscheiden, wobei Fref(λ2) = M Fref(λ1) gilt, wobei M eine Ganzzahl größer als 1 ist;
einem polarisationsabhängigen Strahlteiler (17) zum Richten von einer der orthogonal polarisierten Komponen­ ten jedes Lichtstrahls zu dem Referenzspiegel (21), und der anderen der orthogonal polarisierten Komponenten jedes Lichtstrahls zu dem Stufenspiegel (22), und zum Kombinieren der orthogonal polarisierten Komponenten, nachdem die orthogonal polarisierten Komponenten von entweder dem Referenzspiegel (21) oder dem Stufenspiegel (22) reflektiert worden sind;
einem ersten Detektor (23) zum Erfassen der Lichtinten­ sität in dem ersten Lichtstrahl (12), nachdem die ortho­ gonal polarisierten Komponenten des ersten Lichtstrahls (12) von dem polarisationsabhängigen Strahlteiler (17) kombiniert worden sind, wobei der erste Detektor (23) ein erstes Detektorsignal mit einem Betrag gleich der Lichtintensität an dem ersten Detektor (23) erzeugt, wobei das erste Detektorsignal mit einer Augenblicksfre­ quenz F1(t) oszilliert;
einem zweiten Detektor (24) zum Erfassen der Lichtinten­ sität in dem zweiten Lichtstrahl (13), nachdem die or­ thogonal polarisierten Komponenten des zweiten Licht­ strahls (13) durch den polarisationsabhängigen Strahl­ teiler (17) kombiniert worden sind, wobei der zweite Detektor (24) ein zweites Detektorsignal mit einem Betrag gleich der Lichtintensität an dem zweiten Detek­ tor (24) erzeugt, wobei das zweite Detektorsignal mit einer Augenblicksfrequenz F2(t) oszilliert;
einem Referenzsignalgenerator (27) zum Erzeugen eines Referenzsignals, das bei der zweiten Schwebungsfrequenz oszilliert;
einer Schaltung (31) zum Messen des optischen Wegs, um die Differenz der Anzahl der Schwingungen des zweiten Detektorsignals und des Referenzsignalgenerators (27) während der Zeitdauer zu messen, in der sich der Stufen­ spiegel (22) von der ersten Position zu der zweiten Po­ sition bewegt, und zum Erzeugen eines Optischer-Weg- Signals, das die Differenz anzeigt; und
einer Korrekturtermschaltung (33) zum Messen der Anzahl von Schwingungen in einem Signal, das MF1(t) - F2(t) auf­ weist, während der Zeitdauer, in der sich der Stufen­ spiegel (22) von der ersten Position zu der zweiten Position bewegt, und zum Erzeugen eines Korrektursi­ gnals, das die gemessene Anzahl von Schwingungen an­ zeigt.
2. Vorrichtung (10) nach Anspruch 1, die ferner eine Schal­ tung (34) zum Bilden einer linear gewichteten Differenz des Optischer-Weg-Signals und des Korrektursignals auf­ weist.
3. Vorrichtung (10) nach Anspruch 1 oder 2, bei der die Korrekturtermschaltung (33) eine Frequenzmultiplikati­ onsschaltung (34) zum Erzeugen eines Signals, das das M-fache der Frequenz des ersten Detektorsignals hat, und einen Mischer (32) zum Subtrahieren des erzeugten Signals von dem zweiten Detektorsignal aufweist.
4. Vorrichtung (10) nach einem der vorhergehenden Ansprü­ che, bei der M = 2 gilt.
5. Vorrichtung (10) nach einem der vorhergehenden Ansprü­ che, bei der der Referenzsignalgenerator (27) einen Strahlteiler (16) zum Richten eines Abschnitts des zwei­ ten Lichtstrahls (13) auf einen Lichtdetektor (27) auf­ weist, der das Referenzsignal erzeugt.
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