DE19924220A1 - Aufnahmevorrichtung und Verfahren zur Aufnahme von Substratscheiben - Google Patents

Abstract

Die Erfindung bezieht sich auf eine Aufnahmevorrichtung 1 zur Aufnahme von Substratscheiben 6, die auf einem mit einem Poliertuch 3 bespannten Polierteller 4 in einem Führungskäfig 5 liegen, die dadurch gekennzeichnet ist, daß sich Ablösewerkzeuge 2 im Innenraum der Aufnahmevorrichtung 1 befinden und der Führungskäfig 5 durch die Aufnahmevorrichtung abgedeckt wird, so daß ein geschlossener Innenraum entsteht und die Substratscheiben 6 durch die Ablösewerkzeuge 2 abgedeckt werden. Die Erfindung bezieht sich auch auf ein Verfahren zur Aufnahme von Substratscheiben.

Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine Aufnahmevorrichtung zur Aufnahme von Substratscheiben, die auf einem mit einem Polier­ tuch belegten Polierteller in einem Führungskäfig liegen. Die Erfindung bezieht sich auch auf ein Verfahren zur Aufnahme von Substratscheiben.

Die Planarisierung einer Substratscheibe, wie beispielsweise einer Halbleiterscheibe oder einer SiC-Scheibe mittels eines chemo-mechanischen Polierverfahrens ist ein wichtiger Bearbei­ tungsschritt im Prozeßablauf zur Herstellung einer ebenen, de­ fektfreien und glatten Oberfläche.

Dieser Polierschritt stellt bevorzugt den letzten formgebenden und somit die Oberflächeneigenschaften maßgeblich bestimmenden Schritt dar. Ziele des Polierverfahrens sind insbesondere das Erreichen einer hohen Ebenheit der Scheibenseiten (Planparal­ lelität), der Abtrag durch Vorbehandlungen geschädigter Ober­ flächenschichten ("damage removal") und die Reduktion der Mi­ krorauhigkeit.

Üblicherweise werden Einseiten- und Doppelseiten-Polier­ verfahren eingesetzt. Bei der Einseitenpolitur ("single side polishing"), SSP, einer Substratscheibe wird nach Montage der Rückseite der Scheibe auf einen geeigneten Träger nur die Vor­ derseite mit einem Poliertuch poliert. Bei der Montage der Scheibe wird zwischen der Rückseite und dem Träger eine form- und kraftschlüssige Verbindung, beispielsweise durch Adhäsion, Kleben, Kitten oder Vakuumanwendung, hergestellt. Einseiten- Polier-Verfahren und -Vorrichtungen sind für die Einzelschei­ ben-Behandlung ("single wafer polishing") oder für die Behand­ lung von Gruppen von Scheiben ("batch polishing") üblich. Bei der Doppelseitenpolitur ("double side polishing"), DSP, werden Vorderseite und Rückseite gleichzeitig poliert, indem mehrere Substratscheiben zwischen zwei mit Poliertüchern belegten, oberen und unteren Poliertellern geführt werden. Dabei liegen die Substratscheiben in dünnen Führungskäfigen ("wafer carri­ er"). Doppelseiten-Polierverfahren und -Vorrichtungen sind stets für die Behandlung von Gruppen von Substratscheiben aus­ gelegt ("batch polishing").

Grundsätzlich kann eine beidseitig polierte Substratscheibe hergestellt werden, indem mit einem Einseiten-Polierverfahren nacheinander die Vorder- und Rückseite poliert werden (sequen­ tielle) SSP. Überwiegend verwendetes Verfahren zur Erzielung einer Politur beider Seiten einer Substratscheibe ist jedoch die Doppelseitenpolitur. Die Vorteile der DSP gegenüber der sequentiellen SSP bestehen in dem überlegenen Grad der erziel­ baren Ebenheit der Seitenoberflächen, insbesondere hinsicht­ lich der bei der Weiterverarbeitung maßgeblichen Planparalle­ lität von Vorder- und Rückseite, der kostengünstigeren Durch­ führbarkeit der Politur sowie dem höheren Durchsatz und der höheren Ausbeute infolge des Fortfalls der bei der sequentiel­ len SSP notwendigen Montage-, Demontage und Wendeschritte.

Jede Handhabung einer frisch polierten Substratscheibe mit ei­ nem mechanisch einwirkenden Handhabungswerkzeug, beispielswei­ se einem Greifer ("endeffector"), birgt die Gefahr der Schädi­ gung einer polierten Scheibenoberfläche, beispielsweise da­ durch, daß Abdrücke oder Kratzer erzeugt werden.

Frisch polierte Substratscheiben sind auch höchst empfindlich gegenüber einem unkontrollierten, chemischen Angriff, bei­ spielsweise durch ein Ätzmittel. Gefahr für einen solchen An­ griff und damit einer Beeinträchtigung der Ebenheit der po­ lierten Oberflächen besteht insbesondere unmittelbar nach ei­ ner chemo-mechanischen Politur. Der chemische Abtragsprozeß kann nur unzureichend gestoppt werden, wenn die Zufuhr von Po­ liermittel unterbrochen wird und ein Stoppmittel zugeführt wird. Zudem sind nach dem Abheben und Wegschwenken des oberen Poliertellers die Substratscheiben ungleichmäßig mit einem Ge­ misch aus Polier- und Stoppmittel benetzt. Das Eintrocknen einzelner Tropfen dieses Gemisches wirkt sich nachteilig auf die Qualität der Scheibenoberfläche aus. Lokale Verätzungen und Fleckenbildung sind dabei um so ausgeprägter, je länger die Scheibe auf dem Polierteller verbleibt. Dies gilt insbe­ sondere für die Scheiben, die bei einer zeitaufwendigen manu­ ellen Entnahme zuletzt von dem Poliertuch entfernt werden. So­ fort nach dem Auseinanderfahren der Polierteller ist eine che­ mische Einwirkung auf die Substratscheibe schädlich und muß auf allen Scheiben möglichst zeitgleich gestoppt werden.

Die Substratscheibe läßt sich nach einer DSP erst nach Über­ windung starker Adhäsionskräfte (Kapillarkräfte) von dem Po­ liertuch lösen. Diese Kräfte sind auf die Flüssigkeit zurück­ zuführen, die sich zwischen der Substratscheibe und dem Po­ liertuch befindet, auf dem die Substratscheibe nach dem Aus­ einanderfahren der beiden Polierteller liegt. Daher wird übli­ cherweise jede Substratscheibe manuell vom Poliertuch ent­ fernt, was eine besondere Geschicklichkeit und Sorgfalt erfor­ dert. Dieser zeitaufwendige Vorgang macht eine äquivalente Be­ handlung der Scheiben unmöglich, da beispielsweise das Ein­ trocknen eines Gemisches aus Polier- und Ätzmittel auf unter­ schiedlichen Scheiben verschieden weit fortgeschritten ist. Nachteilig an der manuellen Scheibenentnahme ist auch die fortbestehende Gefahr der mechanischen und chemischen Beschä­ digung der Substratscheibe, die fehlende Automatisierbarkeit und die fehlende Einzelscheiben-Verfolgbarkeit. Unter dem zu­ letzt genannten Begriff versteht man das zunehmend gefragte Erfordernis, die tatsächlichen Herstellungsbedingungen für je­ de einzelne Substratscheibe im Detail mitverfolgen und auf­ zeichnen zu können.

In der EP 0 843 342 A1 wird ein Verfahren zum Entfernen einer Substratscheibe von einer ebenen Unterlage vorgeschlagen, das dadurch gekennzeichnet ist, daß eine Flüssigkeit durch die Un­ terlage gegen die auf der Unterlage liegende Substratscheibe gepreßt wird, wobei die Substratscheibe durch das Einwirken der Flüssigkeit von der Unterlage gehoben und anschließend von einer Aufnahmevorrichtung aufgenommen wird.

Bei diesem Verfahren zum Entfernen einer Substratscheibe von einer ebenen Unterlage werden Poliermittel-Reste aus der Ver­ sorgungsleitung im unteren Polierteller zusammen mit der po­ lierten Substratscheibe in eine Aufnahmevorrichtung aufgenom­ men. Diese Kontamination wirkt sich nachteilig auf die Quali­ tät der Scheibe aus und erfordert einen zusätzlichen Reini­ gungsschritt. Die Vorrichtung verlangt außerdem aufwendige Ka­ näle im unteren Polierteller.

Aufgabe der Erfindung ist es daher, die genannten Nachteile des Standes der Technik zu vermeiden, und eine Aufnahmevor­ richtung und ein Verfahren zur Verfügung zu stellen, die eine schonende und kontaminationsfreie Aufnahme von Substratschei­ ben ermöglichen.

Gelöst wird die Aufgabe durch ein Verfahren zur Aufnahme von Substratscheiben 6, die auf einem mit einem Poliertuch 3 be­ legten Polierteller 4 in einem Führungskäfig 5 liegen, in eine Aufnahmevorrichtung 1, die Ablösewerkzeuge 2 umfaßt, das da­ durch gekennzeichnet ist, daß die Aufnahmevorrichtung mit ei­ nem Nebel oder einer Flüssigkeit geflutet wird und die Sub­ stratscheiben abgelöst und in die Aufnahmevorrichtung aufge­ nommen werden.

Gelöst wird die Aufgabe auch durch eine Aufnahmevorrichtung 1 zur Aufnahme von Substratscheiben 6, die auf einem mit einem Poliertuch 3 bespannten Polierteller 4 in einem Führungskäfig 5 liegen, die dadurch gekennzeichnet ist, daß sich Ablösewerk­ zeuge 2 im Innenraum der Aufnahmevorrichtung 1 befinden und der Führungskäfig 5 durch die Aufnahmevorrichtung abgedeckt wird, so daß ein geschlossener Innenraum entsteht und die Sub­ stratscheiben 6 durch die Ablösewerkzeuge 2 abgedeckt werden.

Im Gegensatz zur manuellen Aufnahme liegen die Scheiben unmit­ telbar nach der Politur in einem geschlossenen Innenraum und sind geschützt, beispielsweise vor Partikel in der Raumluft. Die Aufnahmevorrichtung hat gegebenenfalls einen Zahnkranz, der dem des Führungskäfigs entspricht. Durch das Fluten der Aufnahmevorrichtung, beispielsweise mit einer Flüssigkeit un­ mittelbar nach der Politur wird ein fortgesetzter chemischer Angriff und ein Eintrocknen eines Poliermittel-Stoppmittel­ gemisches unterbunden. Die Flüssigkeit wird vorzugsweise aus einer Gruppe von Flüssigkeiten ausgewählt, die Wasser, wässe­ rige Spül- und Reinigungsmittel, nicht-wässerige Medien, auf eine Weiterbehandlung der Substratscheiben abgestimmte Kondi­ tionierungsmittel, beispielsweise Hydrophilierungsmittel, und beliebige Mischungen der genannten Flüssigkeiten umfaßt. Nebel in Sinne der Erfindung ist ein Aerosol aus gereinigter Luft und zerstäubter Flüssigkeit, wobei die Flüssigkeit vorzugswei­ se aus der Gruppe der oben genannten Flüssigkeiten ausgewählt wird.

Das Ablösewerkzeug ist zum Schutz der Substratscheibe vorzugs­ weise mit einer Auflage, die an zumindest zwei Bereichen luft­ durchlässig ist, belegt. Die Auflage ist beispielsweise ein Poliertuch oder ein Kissen. Ein aus einem Kunststoff-Schwamm gefertigtes Auflagekissen ist vorzugsweise saugfähig, so daß es mit einer Flüssigkeit, beispielsweise mit Wasser oder mit einer Flüssigkeit wie sie zum Fluten der Aufnahmevorrichtung verwendet wird, getränkt werden kann. Vorzugsweise hat die Flüssigkeit eine Temperatur zwischen -10 bis +20°C, um die Substratscheibe beim Aufsetzen des Ablösewerkzeugs schnell abzukühlen und chemische Reaktionen zu verlangsamen. Es wurde gefunden, daß das Ausmaß der spezifischen Verätzungen und Fleckenbildungen durch eine Abkühlung der Scheibenoberfläche um 10 Grad angenähert halbiert wird. Idealerweise werden die heißen Substratscheiben auf bevorzugt unter 20°C gekühlt. Um die besonders bevorzugte Abkühlung unter 10°C zu erzielen, wird die Aufnahmevorrichtung und die Auflage vor dem Aufsetzen in einer Orientierungsstation auf vorzugsweise zwischen -5 bis +50°C abgekühlt und es wird zum Fluten der Aufnahmevor­ richtung Flüssigkeit mit einer Temperatur in der Nähe des Ge­ frierpunktes verwendet. Durch das schnelle Aufsetzen der Auf­ nahmevorrichtungen mit den kalten Auflagen, das gemeinsame Ab­ lösen der Substratscheiben eines Führungskäfigs vom warmen Po­ lierteller und bereits beim Ablösen einsetzende Benetzung der Scheibenrückseite mit kalter Flüssigkeit, beispielsweise kal­ tem Wasser, wird ein unerwünschter chemischer Angriff und eine Fleckenbildung vermieden. Durch ein schnelles Weitertakten und Abdecken sämtlicher Führungskäfige und Substratscheiben werden auf allen Scheibenoberflächen nahezu zeitgleich Verätzungen und Fleckenbildung unterbunden. Dadurch, daß sich alle Schei­ ben nun geschützt in einem geschlossenen Innenraum befinden und Verätzungen und Fleckenbildung unterbunden wurde, kann das Ablösen schonend durchgeführt werden. Wenn das Aufsetzen der Aufnahmevorrichtung und das Ablösen sehr schnell erfolgen soll, insbesondere bei kleinen Substratscheiben, dann ist es gegebenenfalls möglich, die Aufnahmevorrichtung sukzessive auf die Führungskäfige aufzusetzen und die Entnahme der Substrat­ scheiben mit nur einer Aufnahmevorrichtung durchzuführen. Das Ablösen erfolgt bevorzugt dadurch, daß die Substratscheibe an zwei diametral gegenüberliegenden Stellen an das Ablöse­ werkzeug angesaugt wird und zunächst an einer dieser Stellen oder an beiden angehoben wird, so daß sich durch Verformung der Substratscheibe vom Rand der Substratscheibe ausgehend zwischen der Substratscheibe und dem Poliertuch ein wachsender Spalt bildet bzw. zwei wachsende Spalte bilden. Das Wachstum des Spaltes bzw. der Spalte führt schließlich zum vollständi­ gen Ablösen der Substratscheibe vom Poliertuch. Wesentlich ist, daß das Ablösewerkzeug diese Verformung der Scheibe er­ laubt, indem es die Substratscheibe nur im Bereich der Ansaug­ stellen fixiert. Bevorzugt wird die gesamte Oberfläche der Substratscheibe mit der Auflage abgedeckt. Die Vakuumanwendung erfolgt durch Öffnungen oder Poren in der Auflage. Der Ablöse­ vorgang kann durch den Einsatz von Randgreifern erfolgen, in­ dem die Substratscheibe zunächst im Bereich eines Notches oder Flats angehoben und dann an weiteren Stellen des Randes ge­ griffen wird. Bei Substratscheiben mit einem zentralen Loch kann der Greifer den Lochrand zum Ablösen der Scheibe vom Po­ liertuch fassen.

Die Aufnahmevorrichtung, umfassend die Ablösewerkzeuge und Substratscheiben werden nach dem Ablösen der Substratscheiben und gegebenenfalls des Führungskäfigs von dem Poliertuch an eine nachfolgende Behandlungsstation übergeben. Durch eine Un­ terbrechung der Vakuumanwendung lösen sich die Substratschei­ ben von dem Ablösewerkzeug und fallen, beispielsweise in einen kommerziellen Naßeinhorder mit Wasserrutsche und Hordeninde­ xer. Vorzugsweise werden die Führungskäfige gleichzeitig mit den Substratscheiben von dem Poliertuch, vorzugsweise durch Vakuumanwendung, abgelöst.

Die Erfindung wird nachfolgend an Hand von Figuren näher be­ schrieben. Die Darstellungen dienen zur Veranschaulichung der Erfindung und zeigen nur Merkmale eines bevorzugten Ausfüh­ rungsbeispiels. Fig. 1 zeigt schematisch die Aufsicht auf den unteren Polierteller einer Doppelseiten-Poliermaschine und auf eine Orientierungsstation für die Aufnahmevorrichtungen; in Fig. 2 und Fig. 3 ist ein Querschnitt der Seitenansicht ei­ ner Aufnahmevorrichtung, umfassend ein Ablösewerkzeug darge­ stellt. Fig. 4 zeigt einen Schnitt in der Draufsicht einer Aufnahmevorrichtung, umfassend drei Ablösewerkzeuge.

Zunächst wird auf Fig. 1 Bezug genommen. Auf dem mit einem Poliertuch 3 bespannten Polierteller 4 liegen gezähnte Füh­ rungskäfige 5 mit runden Öffnungen auf. In die runden Öffnun­ gen sind Substratscheiben 6 eingelegt. Das dargestellte Bei­ spiel ist so gewählt, daß auf dem Polierteller 4 fünf Füh­ rungskäfige Platz finden, wobei jeder Führungskäfig in seinen Bohrungen in einer typischerweise symmetrischen Anordnung drei Substratscheiben 6 aufnimmt.

Die Abwälzbewegung der Führungskäfige wird durch den äußeren und inneren Zahnkranz 7 und 8 erzeugt. Von den fünf Führungs­ käfigen mit je drei Substratscheiben sind bereits zwei mit ei­ ner Aufnahmevorrichtung 1 versehen. Die Aufnahmevorrichtung wird von einer Orientierungsstation 9 entnommen und so auf den Führungskäfig gesetzt, daß auf jeder Substratscheibe ein Ablö­ sewerkzeug zentriert aufliegt. Vor dem Aufsetzen der Aufnahme­ vorrichtung auf die Substratscheibe werden die Anschlüsse für das Vakuum und die Flüssigkeit hergestellt.

In dem dargestellten Beispiel sind in jeder Aufnahmevorrich­ tung 1 drei Ablösewerkzeuge 2 enthalten. Um die Aufnahmevor­ richtung auf der Orientierungsstation 9 in die richtige Posi­ tion zu drehen, ist diese mit einem Drehtisch ausgerüstet, dessen Stellung von der Stellung des Führungskäfigs in der Aufsetzposition auf dem Polierteller gesteuert wird. Diese Stellung wird beispielsweise von einem nicht dargestellten Sensor oder einer Kamera ermittelt. Vorzugsweise wird zudem die Auflage in der Orientierungsstation vorbehandelt, bei­ spielsweise gereinigt, gekühlt und mit einer Flüssigkeit ge­ tränkt.

Nach dem Aufsetzen der Aufnahmevorrichtung 1 wird der Polier­ teller 4 weitergetaktet, um den nachfolgenden Führungskäfig in die Aufsetzposition überzuführen. Der nachfolgende Führungskä­ fig wird dann ebenfalls mit einer Aufnahmevorrichtung abge­ deckt, bis schließlich alle Führungskäfige abgedeckt sind. Für jede Substratscheibe, die in dem Führungskäfig eingelegt ist, ist ein Ablösewerkzeug 2 in der Aufnahmevorrichtung 1 vorgese­ hen. In den Fig. 2 und 3 ist nur eine Substratscheibe und dementsprechend nur ein Ablösewerkzeug dargestellt.

Fig. 2 zeigt einen Querschnitt der Seitenansicht der Aufnah­ mevorrichtung und des Ablösewerkzeuges nach dem Abdecken eines Führungskäfigs. Die Substratscheibe 6 wird am Rand durch den Führungskäfig 5 geführt und liegt auf dem mit einem Poliertuch 3 belegten Polierteller 4. Die Aufnahmevorrichtung 1 liegt am äußeren Rand des Führungskäfigs 5 auf, und wird durch Anlegen von Vakuum über die Vakuumleitung 10 und den Vakuumringkanal 11 angesaugt. Im Inneren der Aufnahmevorrichtung 1 befindet sich das Ablösewerkzeug 2, das bevorzugt über einen elasti­ schen Bügel 12 an der Aufnahmevorrichtung 1 befestigt ist.

Für jede abzulösende Substratscheibe ist ein Ablösewerkzeug vorgesehen, das auf der zugehörigen Scheibenoberfläche auf­ liegt. Über die Vakuumleitung 13 und die bevorzugt diametral gegenüberliegenden Ansaugquerschnitte 14 wird die Substrat­ scheibe mittels Vakuumanwendung angesaugt.

Zum Schutz der Substratscheibe ist die elastische Platte 15 des Ablösewerkzeuges mit einem Auflagekissen 16 belegt. Das Auflagekissen 16 ist an zumindest zwei Punkten luftdurchlässig und deckt bevorzugt die gesamte Oberfläche der polierten Sub­ stratscheibe ab. Vorzugsweise ist das Auflagekissen saugfähig. Die mit dem Auflagekissen 16 belegte elastische Platte 15 ist über den elastischen Bügel 12 mit der Aufnahmevorrichtung 1 verbunden. Über die Leitung 17 wird das Innere der Aufnahme­ vorrichtung bevorzugt mit einem Nebel und besonders bevorzugt mit einer Flüssigkeit geflutet, wodurch unter anderem das Ab­ lösen der Substratscheibe von dem Polierteller erleichtert wird. Das Auflagekissen 16 ist mit einer, vorzugsweise kalten Flüssigkeit getränkt, so daß die Substratscheibenoberfläche unmittelbar nach dem Aufsetzen der Aufnahmevorrichtung benetzt und gekühlt wird. Erfindungsgemäß werden dadurch chemische Verätzungen und Fleckenbildung auf der Scheibenoberfläche un­ terbunden.

Nachdem der Führungskäfig durch die Aufnahmevorrichtung und die Substratscheiben durch die Auflagekissen abgedeckt wurden, werden mittels Vakuumanwendung Führungskäfig und Substrat­ scheiben von dem Polierteller abgelöst. Mittels der unabhängi­ gen Vakuumleitungen 10 und 13 läßt sich der Führungskäfig oder die Substratscheiben getrennt von einander von dem Poliertel­ ler ablösen, indem nur eine Vakuumanwendung aktiviert wird. Somit muß der Führungskäfig nicht bei jeder Entnahme der Sub­ stratscheiben vom Polierteller abgenommen werden.

Zum Ablösen der Substratscheibe wird diese bevorzugt in diame­ tral gegenüberliegenden Scheibenbereichen durch Vakuumanwen­ dungen angesaugt. Das Ablösen erfolgt bevorzugt beim Anheben der Aufnahmevorrichtung, indem das Ablösewerkzeug 2 in der Aufnahmevorrichtung nach oben bewegt wird. Es kann aber auch bereits zuvor eingeleitet werden. Die Einrichtung für das ak­ tive Anheben des Ablösewerkzeugs unabhängig vom Anheben der Aufnahmevorrichtung ist nicht gezeichnet. Es kann hierzu bei­ spielsweise eine vorgespannte Feder ausgelöst werden, so daß die Auflage nach oben gezogen wird. Beim Ablösen wird die Sub­ stratscheibe gezielt auf Biegung beansprucht, so daß sich die Scheibe zunächst an einer oder an zwei gegenüberliegenden Sei­ ten von dem Poliertuch löst.

Fig. 3 zeigt die Situation während des Ablösens einer Sub­ stratscheibe. In dem zentralen Bereich haftet die Substrat­ scheibe 6 noch an dem Poliertuch 3, während sie unterhalb der diametral liegenden Ansaugquerschnitte 14 bereits von dem Po­ liertuch abgelöst ist. Durch die weitere Ausbildung des Spal­ tes zwischen Substratscheibe und Poliertuch wird die Substrat­ scheibe schließlich völlig von dem Poliertuch gelöst.

Fig. 4 zeigt einen Schnitt durch die Aufnahmevorrichtung und ein Ablösewerkzeug in der Draufsicht. Der Schnitt verläuft durch den Vakuumringkanal 11 und durch die Ansaugquerschnitte 14 der Ablösewerkzeuge. Die Aufnahmevorrichtung 1 ist bevor­ zugt mit einer Verzahnung 19 versehen, die der Verzahnung der Führungskäfige entspricht. Dadurch kann die Aufnahmevorrich­ tung, umfassend die Ablösewerkzeuge, leichter aufgesetzt wer­ den. Die Entnahme der Aufnahmevorrichtung, umfassend die Sub­ stratscheiben und gegebenenfalls den Führungskäfig, erfolgt bevorzugt in einem Bereich der Poliermaschine, auf den bei­ spielsweise ein Roboterarm Zugriff hat, beispielsweise der Be­ reich zwischen den in Fig. 1 gezeichneten Positionen, an denen die Führungskäfige mit Entnahmevorrichtungen abgedeckt sind. In diesem Bereich werden die zur Entnahme nötigen Vakuuman­ schlüsse vorgenommen. Der Arm greift die Aufnahmevorrichtung, hebt sie an und überführt sie zu einer nachfolgenden Behand­ lungsstation.

In einer bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfin­ dung werden zunächst alle Führungskäfige, umfassend alle Sub­ stratscheiben mit Aufnahmevorrichtungen abgedeckt, mit einer Flüssigkeit geflutet. Das Ablösen erfolgt nach dem Anbringen der Vakuumanschlüsse bevorzugt unter Drehung der Führungskäfi­ ge und der Aufnahmevorrichtung relativ zum Polierteller, wobei die Substratscheiben von dem Polierteller mittels Vakuumanwen­ dung angesaugt und beim Anheben der Aufnahmevorrichtung abge­ löst werden. In einer weiteren bevorzugten Ausführungsform werden die Substratscheiben durch Auslösen der Wirkung einer Federkraft bereits vor dem Anheben des Aufnahmevorrichtung ganz oder teilweise vom Polierteller gelöst. Ein bevorzugtes Verfahren zur Entnahme, insbesondere bei kleinen Substrat­ scheiben, besteht darin, die Führungskäfige bis zu einer Ent­ nahmeposition zu bewegen, dort die Entnahmevorrichtung aufzu­ setzen, die Substratscheiben durch Vakuumanwendung mit den Ab­ lösewerkzeugen zu verbinden und beim Anheben der Entnahmevor­ richtung vom Polierteller abzulösen.

Das gesamte Verfahren von der Aufnahme der Substratscheiben in die Aufnahmevorrichtung bis hin zum Ablösen der Substratschei­ ben und gegebenenfalls des Führungskäfigs erfolgt bevorzugt unter Einspeisung einer Flüssigkeit ("wet-in-wet handling"). Des weiteren kann die Substratscheibe unverzüglich nach dem Ende der Politur vom Poliertuch gehoben und von Poliermittel­ resten befreit werden. Schließlich ermöglicht das Verfahren eine eindeutige, nachvollziehbare Scheiben-Positions- Zuordnung, so daß eine Einzelscheiben-Verfolgung auch im An­ schluß an das eigentliche Polieren auf einfache Weise möglich ist.

Die in den Führungskäfigen liegenden Substratscheiben und ge­ gebenenfalls auch die Führungskäfige werden nach einem vorbe­ stimmten Plan vollautomatisch abgedeckt und angesaugt. Bevor­ zugt ist, daß zunächst alle Führungskäfige durch synchrones Weitertakten des Poliertellers in eine ortsfeste Aufsetzposi­ tion gefahren werden und mit der Aufnahmevorrichtung abgedeckt werden. Vorzugsweise wird nach dem Abdecken die jeweilige Auf­ nahmevorrichtung mit vorzugsweise einer Flüssigkeit geflutet. Die Zufuhr der Flüssigkeit kann über den Roboterarm erfolgen, der die Aufnahmevorrichtung auf den Polierteller aufsetzt.

Das Ablösen der Substratscheiben erfolgt zweckmäßigerweise so langsam, daß sich die Verformung der Substratscheibe nicht nachteilig auswirkt.

Claims (7)

1. Verfahren zur Aufnahme von Substratscheiben 6, die auf ei­ nem mit einem Poliertuch 3 belegten Polierteller 4 in ei­ nem Führungskäfig 5 liegen, in eine Aufnahmevorrichtung 1, die Ablösewerkzeuge 2 umfaßt, das dadurch gekennzeichnet ist, daß die Aufnahmevorrichtung mit einem Nebel oder ei­ ner Flüssigkeit geflutet wird und die Substratscheiben ab­ gelöst und in die Aufnahmevorrichtung aufgenommen werden.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die gesamte Oberfläche der Substratscheibe durch eine Auflage 16 abgedeckt wird.

3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Substratscheibe durch die Auflage 16 gekühlt wird.

4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch ge­ kennzeichnet, daß die Substratscheiben und gegebenenfalls der Führungskäfig mittels Vakuumanwendung abgelöst werden.

5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch ge­ kennzeichnet, daß durch ein Weitertakten des Poliertellers der nachfolgende Führungskäfig eine ortsfeste Aufsetzposi­ tion erreicht und ebenfalls mit einer Aufnahmevorrichtung versehen wird bis schließlich alle Führungskäfige mit Auf­ nahmevorrichtungen abgedeckt sind.

6. Aufnahmevorrichtung 1 zur Aufnahme von Substratscheiben 6, die auf einem mit einem Poliertuch 3 bespannten Poliertel­ ler 4 in einem Führungskäfig 5 liegen, die dadurch gekenn­ zeichnet ist, daß sich Ablösewerkzeuge 2 im Innenraum der Aufnahmevorrichtung 1 befinden und der Führungskäfig 5 durch die Aufnahmevorrichtung abgedeckt wird, so daß ein geschlossener Innenraum entsteht und die Substratscheiben 6 durch die Ablösewerkzeuge 2 abgedeckt werden.

7. Aufnahmevorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeich­ net, daß die Ablösewerkzeuge mit Auflagekissen belegt sind und diametral gegenüberliegende Ansaugquerschnitte aufwei­ sen.