DE19917510A1 - Reaktor und Verfahren für plasmachemisch induzierte Reaktionen - Google Patents

Abstract

Bei bekannten Lösungen für plasmachemisch induzierte Reaktionen kommt es teilweise zu einem Schlupf von zu behandelnden Gaskomponenten oder es werden nur Teile eines Abgasstromes von Radikalen durchsetzt. Der neue Reaktor soll eine effektive Injektion von plasmachemisch aktiven Atomen und Molekülen in einen anderen Teilstrom ermöglichen. Dies soll auch für Ströme aus Aerosolen oder Partikeln anwendbar sein. DOLLAR A Der Reaktor besitzt mindestens einen Entladungsraum (17) und einen Injektionsraum (10) zur Einleitung von reaktiven Atomen und Molekülen und/oder oberflächmodifizierten Aerosolen bzw. Partikeln. Der Entladungsraum (17) wird vorzugsweise durch eine dielektrisch behinderte Entladung gebildet, bei der eine perforierte Elektrode (6a), die zwischen dem Entladungsraum (17) und dem Injektionsraum (10) angeordnet ist, benutzt wird. Verfahrensgemäß erzeugt man mindestens in einem Teilstrom reaktive Atome und Moleküle und/oder oberflächenmodifizierte Aerosole bzw. Partikel und leitet diese in einem Injektionsraum (10) in einen anderen Teilstrom ein. DOLLAR A Einsatzgebiete sind die Stoffwandlung, Oberflächenmodifizierung und Zersetzung von Stoffen.

Description

Die Erfindung bezieht sich auf einen Reaktor und zugehöriges Verfahren für plasmachemisch induzierte Reaktionen. Einsatzgebiete sind die Stoffwandlung im Bereich der Plasmachemie und/oder der Abbau von Schadstoffen als spezielles Beispiel der Stoffwandlung. Weiterhin ist die Erfindung zur Oberflächenmodifizierung und Zersetzung von Stoffen einsetzbar. Die Anwendungen beziehen sich auf gasförmige, flüssige oder feste Medien. Das Plasma wird vorzugsweise in einem Reaktor mit dielektrisch behinderten Entladungen erzeugt.

Die Einsatzmöglichkeit von dielektrisch behinderten Entladungen (oft auch als stille Entladungen oder Barrierenentladungen bezeichnet) zum Initiieren plasmachemischer Reaktionen ist seit längerem bekannt. Beispiele sind die Erzeugung von Ozon und der Abbau von Schadstoffen. Bei solchen Anwendungen wird die Tatsache ausgenutzt, daß man mit dielektrisch behinderten Entladungen chemische Verbindungen erzeugen bzw. vernichten kann. Beiträge zu diesem Themenkreis und weiteren oben genannten Einsatzmöglichkeiten sind beispielsweise enthalten in: "Proceedings of the NATO Advanced Research Workshop on Non-Thermal Plasma Techniques for Pollution Control", Cambridge, Sept. 1992, herausgegeben von B. Penetrante und S. Schultheis, "Non-Thermal Plasma Techniques for Pollution Control", Springer-Verlag Berlin 1993.

Dielektrisch behinderte Entladungen sind dadurch gekennzeichnet, daß Entladungen in einem Gasvolumen mit Wechselspannungen erzeugt werden, wobei mindestens eine der beiden Elektroden mit einer Isolierstoffschicht bedeckt ist oder zwischen den Elektroden ein Dielektrikum angeordnet ist. Solche Entladungen können im Druckbereich von einigen mbar bis zu einigen bar betrieben werden.

In technischen Lösungen ist die dielektrisch behinderte Entladung Teil eines Plasmareaktors. Normalerweise handelt es sich dabei um ein großvolumiges und großflächiges Gebilde, so daß auch große Volumenströme zur Reaktion gebracht werden können. Die Form ist entweder planar oder koaxial, wobei jeweils die beiden Elektroden gegenüberliegend angeordnet sind. Ferner gibt es Anordnungen mit nebeneinander liegenden Elektroden. Bei einer solchen Konfiguration spricht man dann auch von einer Oberflächenentladung.

Neben diesen Grundkonfigurationen von dielektrisch behinderten Entladungen sind auch spezielle Ausführungen vorgeschlagen worden. So sind beispielsweise im Reaktorraum räumlich periodische Strukturen vorhanden, wie in der DE-OS 195 25 754 A1 und der DE- OS 195 25 749 A1. In der DE-OS 195 25 749 A1 ist vorgesehen, im Bereich der Oberflächen von Strukturen chemisch wirksame Materialien einzubringen. In der DE-OS 195 34 950 AI besteht der Reaktor aus mehreren Modulen mit einer Vielzahl von parallelen und räumlich voneinander getrennten Kanälen in einem dielektrischen Körper mit darin eingebrachten Elektroden. Eine weitere Version für den Aufbau einer dielektrisch behinderten Entladung ist in der Patentschrift DE 43 02 456 C1 genannt. Dabei besteht mindestens eine Elektrode aus einem spannungsangeregten Plasma.

Eine andere Möglichkeit zum Betreiben einer dielektrisch behinderten Entladung, beschrieben z. B. in der US-PS 4 954 320, besteht darin, zwischen den metallischen Elektroden eine lose Schüttung von dielektrischen Isolationskörpern, beispielsweise Keramikkugeln, einzubringen. Eine ähnliche Variante wird in der DE-OS 44 16 676 A1 beschrieben. Dabei ist der Raum zwischen plattenförmigen Elektroden mit Isolierstoffkörpern ausgefüllt, die auf ihrem gesamten Querschnitt von Kanälen durchzogen sind oder Poren enthalten.

Zur Beeinflussung von plasmachemischen Reaktionsabläufen wurde auch bereits vorgesehen, etwa in der DE 42 31 581 A1, daß bestimmte Additive einem Behandlungsgas zugeführt werden. In der DE-OS 37 08 508 sind ähnliche Zuführungen für Luft oder Ammoniak in einer Abgaszuleitung enthalten.

Nach dem üblichen Stand der Technik wird das für die plasmachemischen Reaktionen vorgesehene Gas bzw. Gasgemisch ganz oder in Teilen oder auch mehrfach in den Plasmazustand versetzt. Dabei werden einige Komponenten zersetzt und/oder angeregt, so daß in nachfolgenden chemischen Reaktionen weitere Reaktionsprodukte entstehen. Bevorzugt laufen solche Reaktionen dabei über im Plasma erzeugte Radikale ab. In der Regel sind dies hochreaktive Atome. Auf diese Weise hängt die Zusammensetzung der Ausgangsprodukte für nachfolgende Reaktionen u. a. von der Zusammensetzung des Ausgangsgases ab. Dies ist auch noch der Fall, wenn dem Ausgangsgas weitere Additive beigemischt werden. Dabei sind die Reaktionen aber schwer zu steuern, da zahlreiche Spezies in die Reaktionspfade eingreifen. Im Fall der Behandlung von Abgas wurde in DE 197 17 887 A1 bereits vorgeschlagen, für die Verbesserung der Wirksamkeit von Beimischungen in einer speziellen Ausführung eine der gegenüberliegenden Elektroden mit einem Kanal, durch den Luft oder andere Additive zugeführt werden können, auszustatten. Dadurch wird im unmittelbaren Bereich des Austritts des Additivs aus der Elektrode aus diesem ein Plasma erzeugt, welches im Fall von Luft beispielsweise reaktiven Stickstoff enthält. Das Abgas wird seitlich diesem Entladungsbereich, der eine Art Plasmafackel darstellt, zugeleitet und kann mit dem reaktiven Stickstoff aus der Luft zur Reaktion gebracht werden. Für effiziente Reaktionen sind die Teilströme so aufeinander abzustimmen, daß keine Vermischung beider Teilströme im unmittelbaren Plasmabereich erfolgt. Dies ist technisch aufwendig, da jeweils eine Anpassung an die Volumenströme erfolgen muß. Dabei gibt es auch Randbereiche der Plasmafackel mit einer geringen Durchdringung aus beiden Gaskomponenten, so daß hier ein Schlupf der zu behandelnden Schadstoffkomponenten entstehen kann und die Effektivität vermindert ist. Ein anderes Verfahren wurde vorgestellt in: T. Nomura et al., acid gas removal characteristics of corona radical shower system for treatment of stationary engine flue gas, Hakone VI, Internatinal Symposium on High Pressure, Low Temperature Plasma Chemistry, Cork, Ireland, Aug. 31th-Sept. 2th 1998, Contributed Papers, p. 47. Dabei werden Radikale, die in einer Koronaentladung erzeugt werden, einem Abgasstrom über kleine Öffnungen zugeführt. In einer solchen Anordnung werden nur Teile des Abgasstroms im Bereich der Öffnungen von den Radikalen durchsetzt, so daß die Wirksamkeit eingeschränkt ist.

Erfindungsgemäße Aufgabe ist es, bestehende Nachteile beim Stand der Technik zu beseitigen. Dabei ist eine Vorrichtung zu schaffen und ein Verfahren anzugeben, wodurch eine effektive Injektion von plasmachemisch aktiven Atomen und Molekülen, insbesondere von Radikalen, in einen anderen Teilstrom erfolgt. Ferner sollen die Vorrichtung und das Verfahren auch für Ströme aus Aerosolen oder Partikeln geeignet sein.

Die Aufgabe der Erfindung ist insbesondere durch Merkmale der Ansprüche 1 und 6 gelöst. Weitere erfindungswesentliche Merkmale sind in den Unteransprüchen gekennzeichnet.

Die nachfolgende Beschreibung von Ausführungsbeispielen verdeutlicht anhand von Zeichnungen das Prinzip und Vorteile der Erfindung als auch weitere Einzelheiten und die Funktionsweise. Es zeigen

Fig. 1 den prinzipiellen Aufbau eines Reaktors,

Fig. 2 eine andere Ausführung von Elektrodenanordnungen und

Fig. 3 ein Ausführungsbeispiel mit einer perforierten Elektrode.

In Fig. 1 ist der prinzipielle Aufbau eines Reaktors mit vier parallel betriebenen Entladungs- und Injektionsräumen dargestellt. Der Reaktor besteht aus einem Gehäuse 11, in welchem durch geeignete Verschlußplatten 12 der Innenraum unterteilt ist. In eine erste Verschlußplatte 12, zu einem Einlaß 1 hin gelegen, sind Rohre, die als eine metallische Elektrode 6 für dielektrisch behinderte Entladungen dienen, eingebaut. In diesen Rohren befinden sich mit geeigneten Abstandshaltern (hier nicht näher eingezeichnet) die Gegenelektroden, die als isolierte Elektroden ausgebildet sind und aus einem elektrisch leitfähigen Material 4 mit Dielektrikum 5 bestehen. Anstelle der beschriebenen Elektrodenkonfiguration können aber auch andere Prinzipien zur Erzeugung eines Plasmas oder Elektrodenausgestaltungen benutzt werden. So können beide Elektroden isolierte Elektroden sein, oder es können zwei elektrisch leitende Elektroden mit einem dazwischen angebrachten Dielektrikum eingesetzt werden. Die isolierte Elektrode (4, 5) ist über eine Hochspannungsdurchführung 8 mit einer Wechselspannungsversorgung 7 für sinus- oder rechteckförmige Spannungen verbunden. Die metallische Elektrode 6 ist über das Gehäuse geerdet und gleichfalls mit der Wechselspannungsversorgung 7 verbunden. Auf diese Weise sind Entladungskonfigurationen zur Erzeugung eines Plasmas zwischen den Elektroden ausgebildet. Die Entladungskonfiguration, bestehend aus 4, 5 und 6, mündet in Öffnungen einer zweiten Verschlußplatte 12. In diese sind wiederum Rohre 9, im vorliegenden Ausführungbeispiel mit trichterförmiger Eintrittsöffnung, eingebaut. Durch die Trichterform wird ein Injektionsraum 10 gebildet. In dem Gehäuse 11 sind ein zweiter Einlaß 2, hier aus zwei Zuleitungen bestehend dargestellt, und ein Auslaß 3 angebracht.

Verfahrensgemäß wird in den Reaktor ein Teilstrom, beispielsweise Luft, durch den Einlaß 1 in den Reaktor eingelassen. Dieser Teilstrom strömt durch den Raum zwischen den beiden Elektroden, in dem über die Wechselspannungsversorgung 7 eine Entladung betrieben und ein Plasma unterhalten wird. Auf diese Weise werden in dem Plasma u. a. reaktive Atome und Moleküle erzeugt und aufgrund der Strömung in den Injektionsraum 10 injiziert. Ein zweiter Teilstrom, beispielsweise Abgas aus Verbrennungsprozessen, wird durch den Einlaß 2 dem Reaktor zugeführt und strömt gleichfalls in den Injektionsraum 10 ein. Dort wird der zweite Teilstrom den aus dem Plasma des ersten Teilstromes stammenden reaktiven Atomen und Molekülen ausgesetzt und es werden plasmachemische Reaktionen initiiert. Die beiden Teilströme sind so aufeinander abgestimmt, daß im Injektionsraum 10 ausreichend reaktive Atome und Moleküle für den gewünschten Grad der Reaktion vorhanden sind. Im vorliegenden Beispiel wird so das schädliche NO aus dem Abgas abgebaut. Die Reaktions­ produkte strömen durch den Auslaß 3 ab.

Das Verfahren ist insbesondere hinsichtlich der Selektivität der Reaktionen von Vorteil.

Komplexe Reaktionen werden so eingeschränkt. Besonders vorteilhaft ist das Verfahren für die plasmachemische Synthese, da die Reaktionen durch Wahl in der Zusammensetzung der Teilströme oder eines Teilstromes gezielt gesteuert werden können.

In einer anderen Betriebsweise ist es auch möglich, daß der Einlaß 2 und der Auslaß 3 vertauscht werden. In diesem Fall würde der zweite Teilstrom dem ersten Teilstrom aus dem Plasma in dem Injektionsraum entgegen strömen. Beide Teilströme erfahren dadurch eine gute Durchmischung, was den Reaktionsprozeß fördert. In diesem Fall tritt dann an der in Fig. 1 mit 2 gekennzeichneten Stelle der Auslaß 3.

Im Ausführungsbeispiel nach Fig. 1 ist ein Reaktor mit vier parallel betriebenen Entladungs- und Injektionsräumen dargestellt. Diese Zahl kann entsprechend den Erfordernissen verändert werden. So kann insbesondere auch bei vorgegebenem Volumenstrom eines zu behandelnden Mediums, was im Beispiel dem zweiten Teilstrom entspricht, eine Anpassung an die Injektionsleistung des Plasmas erfolgen.

In der Praxis konnte bei angepaßten Volumenströmen mit 20 parallel betriebenen und 2 cm langen Entladungssystemen der komplette Abbau von NO aus dem Abgas eines 0,4 l Dieselmotors erreicht werden.

Es ist nun auch möglich, ohne das Prinzip der Erfindung zu verändern, weitere Verknüpfungen von Teilströmen oder des aus der Behandlung resultierenden und aus dem Injektionsraum 10 kommenden Stromes vorzunehmen. So kann nachfolgend das aus den Rohren 9 oder dem Auslaß 3 ausströmende Reaktionsprodukt einer weiteren Injektion von reaktiven Atomen und Molekülen aus einem Plasma eines weiteren oder auch eines bereits zuvor benutzten Teilstromes ausgesetzt werden. Dies läßt sich entsprechend der Zielstellung stufenweise fortsetzen. Ebenso kann das aus den Rohren 9 oder dem Auslaß 3 ausströmende Reaktionsprodukt wiederum Ausgangsteilstrom für eine Einleitung in eine Entladungskonfiguration sein, in der ein Plasma erzeugt wird und dessen reaktive Atome und Moleküle in einen weiteren Injektionsraum injiziert werden durch den ein anderer Teilstrom fließt.

Die eingesetzten Teilströme können Gas-, Dampf oder Partikelströme bzw. Gemische aus solchen sein, wobei man flüssige oder feste Stoffe vor Einleitung in den Entladungs- und/oder Injektionsraum in geeigneter Weise verdampft oder versprüht bzw. eine Einleitung in Form einer Staubwolke ausbildet.

Im Fall, daß feste oder flüssige Medien benutzt werden, ist gleichfalls das Initiieren von plasmachemischen Reaktionen beabsichtigt. Es lassen sich so aber auch die Oberflächen von Partikeln bzw. Aerosolen gut modifizieren. Die festen oder flüssigen Medien können verfahrensgemäß wie gasförmige Teilströme eingesetzt werden. Dabei ist ferner eine Mischung dieser mit Gasen vorgesehen.

Die Fig. 2 zeigt schematisch ein anderes Beispiel einer Elektrodenanordnung und soll weitere Möglichkeiten von Ausführungen verdeutlichen. In diesem Ausführungsbeispiel ist insbesondere die Anordnung zweier Elektrodenkonfigurationen zueinander mit einem dadurch gebildeten Injektionsraum veranschaulicht. Eine nach Fig. 1 dargestellte Unterbringung in einem Gehäuse 11 mit geeigneten Einlässen 1 und 2 für zwei Teilströme als auch der Auslaß 3 sowie der Anschluß an eine Wechselspannungsversorgung 7 mit entsprechender Hochspannungsdurchführung 8 bleibt erhalten und ist nicht weiter dargestellt. Wie in Fig. 1 sind in eine erste Verschlußplatte 12 Rohre, die als eine metallische Elektrode 6 für dielektrisch behinderte Entladungen dienen, eingebaut. In diesen Rohren befinden sich wiederum mit geeigneten Abstandshaltern die Gegenelektroden, die als isolierte Elektroden ausgebildet sind und aus einem elektrisch leitfähigen Material 4 mit Isolator 5 bestehen. Spiegelsymmetrisch dazu befindet sich mit einem geringen Abstand im Bereich von einigen zehntel bis zu mehreren mm ein gleiches System. Durch den Abstand dieser beiden Elektrodensysteme wird an den Stirnflächen ein Injektionsraum 10 ausgebildet. Durch Pfeile sind die Strömungsrichtungen gekennzeichnet. Mit 13 und 14 sind die Richtungen der einströmenden Teilströme bezeichnet und mit 15 die Richtung des Auslaßstromes. In diesem Fall werden für beide einströmenden Teilströme in den jeweiligen Entladungsräumen Entladungen betrieben und Plasmen unterhalten. Es werden so vorteilhaft aus beiden Teilströmen reaktive Atome und Moleküle und/oder oberflächenmodifizierte Aerosole bzw. Partikel erzeugt und aufgrund der Strömung in den Injektionsraum 10 injiziert, wodurch es zu plasmachemischen Reaktionen kommt.

Ähnlich wie bei Fig. 1 beschrieben ist es auch möglich, eine andere Betriebsweise zu wählen. In diesem Fall sind beispielsweise die mit 14 und 15 bezeichneten Strömungsrichtungen umgekehrt gerichtet, so daß der zweite Teilstrom bei 15 einströmt und die Reaktionsprodukte bei 14 ausströmen.

In Fig. 3 ist ein anderes Ausführungsbeispiel eines Reaktors in seinem prinzipiellen Aufbau mit einer gegenüber Fig. 1 und Fig. 2 veränderten Elektrodenkonfiguration sowie mit weiteren vorteilhaften Merkmalen dargestellt. Der Reaktor besitzt Einlässe 1 und 2 zur Beschickung mit den entsprechenden Medien und einen Auslaß 3 zur Abführung der Reaktionsprodukte. Die Einlässe 1 und 2 sowie der Auslaß 3 sind Teil eines nicht näher bezeichneten Gehäuses, welches die Aufnahme der Medien als auch deren strömungsmäßige Weiterleitung gewährleistet. Es ist ferner wiederum ein Entladungssystem zur Erzeugung eines Plasmas in dem Reaktor enthalten. Das Entladungssystem besteht in diesem Fall "end on" gesehen aus einer großflächig ausgebildeten Konfiguration für dielektrisch behinderte Entladungen. Die isolierte Elektrode setzt sich wiederum aus einem elektrisch leitfähigen Material 4 und einem Isolator 5 zusammen. Dieser Elektrode gegenüber befindet sich eine metallische Elektrode 6a, die perforiert ist. Auf diese Weise ist ein Entladungsraum 17 zur Erzeugung eines Plasmas mit Hilfe einer Wechselspannungsversorgung 7 zwischen der isolierten Elektrode, bestehend aus 4 und 5, und der perforierten Elektrode 6a ausgebildet. Dabei ist die perforierte Elektrode mit den elektrisch leitenden Teilen des Gehäuses, welches geerdet ist, verbunden. Die perforierte Elektrode kann aus einem dünnen Blech mit Öffnungen im Bereich von einigen µm bis zu einigen 100 µm bestehen. Auch als Sieb oder Maschendraht ausgebildete Formen sind möglich. Wichtig ist dabei nur, daß das Gebilde als großflächige Elektrode wirkt und für Gasteilchen als auch reaktive Atome und Moleküle durchlässig ist.

Auf der anderen Seite der perforierten Elektrode 6a befindet sich ein Injektionsraum, 10. Weiterhin sind in den Zuleitungen der Einlässe 2 geeignete Körper 16 zum Verwirbeln des in den Injektionsraum einströmenden Mediums angebracht.

Entsprechend dem erfindungsgemäßen Verfahren werden durch die Einlässe 1 und 2 geeignete Teilströme von Medien in den Reaktor eingelassen. Der Teilstrom aus dem Einlaß 1 gelangt so in den Entladungsraum 17, in dem ein Plasma mit Hilfe der Wechselspannungsversorgung 7 erzeugt wird. Bedingt durch die Strömung werden aus diesem Plasma u. a. reaktive Atome und Moleküle durch die Öffnungen der perforierten Elektrode in den Injektionsraum 10 injiziert. Wie bereits oben beschrieben, wird ein zweiter Teilstrom durch den Einlaß 2 dem Reaktor zugeführt und strömt gleichfalls in den Injektionsraum 10 ein. Dort werden so plasmachemische Reaktionen initiiert. Durch die Körper 16 in der Zuleitung des zweiten Teilstromes wird dieses Medium bei Einströmung in den Injektionsraum 10 verwirbelt, so daß es in diesem zu einer guten Durchmischung mit den reaktiven Teilchen aus dem Plasma des ersten Teilstromes kommt, wodurch die Effektivität der Reaktionen verbessert wird. Dazu trägt auch die Großflächigkeit der perforierten Elektrode 6a bei. Dadurch kommt es zu einer besseren räumlichen Verteilung der aus dem Plasma ausströmenden Spezies.

Dieses soweit beschriebene Grundprinzip des Verfahrens kann wiederum entsprechend den bereits nach Fig. 1 und Fig. 2 beschriebenen Varianten abgewandelt sein, ohne den Charakter der Erfindung zu verändern. Es ist nun zusätzlich vorgesehen, daß der Aufbau einer Vorrichtung nach Fig. 3 mit einer Elektrodenkonfiguration nach Abb. 1 bzw. Abb. 2 kombiniert wird. Zu diesem Zweck ist in die Zuleitung zum Injektionsraum 10 des Einlasses 2 und/oder des Auslasses 3 eine entsprechende Elektrodenkonfiguration nach Abb. 1 bzw. Abb. 2 eingebracht. Diese Kombination ist insbesondere für Teilströme mit größeren Partikeln, die dann dem Plasma der Entladungssysteme nach Abb. 1 bzw. Abb. 2 ausgesetzt werden, günstig, da so eine Verstopfung der perforierten Elektrode vermieden werden kann.

Zur Unterstützung von plasmachemischen Reaktionsabläufen, insbesondere der Senkung des Energieeintrags als auch der Verbesserung der Selektivität, können die Wände des Entladungsraumes 17 und/oder des Injektionsraumes 10, oder auch Teile dieser Räume mit einem oder verschiedenen katalytisch wirkenden Materialien belegt bzw. aus solchen aufgebaut sein. Im Fall einer Konfiguration nach Fig. 3 muß die Perforation der Elektrode 6a erhalten bleiben.

Claims (11)

1. Reaktor für plasmachemisch induzierte Reaktionen, dadurch gekennzeichnet, daß in diesem mindestens ein Entladungsraum zur Erzeugung eines Plasmas und mindestens ein Injektionsraum zur Einleitung von reaktiven Atomen und Molekülen und/oder oberflächenmodifizierten Aerosolen bzw. Partikeln ausgebildet sind, und daß der Entladungsraum und Injektionsraum unmittelbar aneinander grenzen.

2. Reaktor für plasmachemisch induzierte Reaktionen nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Entladungsraum zur Erzeugung eines Plasmas aus einer Konfiguration für eine dielektrisch behinderte Entladung besteht.

3. Reaktor für plasmachemisch induzierte Reaktionen nach den Ansprüchen 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß die dielektrisch behinderte Entladung aus einer Konfiguration mit einer perforierten Elektrode besteht, bei der die perforierte Elektrode zwischen dem Entladungsraum und dem Injektionsraum angeordnet ist.

4. Reaktor für plasmachemisch induzierte Reaktionen nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens in einer Zuleitung eines Teilstromes vor dem Injektionsraum Mittel zum Verwirbeln angebracht sind.

5. Reaktor für plasmachemisch induzierte Reaktionen nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Entladungsraum und/oder der Injektionsraum oder Teile dieser Räume mit katalytisch wirkenden Materialien belegt sind oder aus solchen bestehen.

6. Verfahren für plasmachemisch induzierte Reaktionen mit einem Reaktor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens zwei verschiedene Gas-, Dampf oder Partikelströme bzw. Gemische aus diesen benutzt werden, und daß man mindestens in einem dieser Teilströme durch ein Plasma reaktive Atome und Moleküle und/oder oberflächenmodifizierte Aerosole bzw. Partikel erzeugt und diese in einem Injektionsraum in einen anderen Teilstrom einleitet sowie die vermischten Teilströme ausströmen läßt.

7. Verfahren für plasmachemisch induzierte Reaktionen nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß man die Strömungsgeschwindigkeiten der Teilströme und die Abmessung des Injektionsraumes so aufeinander abstimmt, daß der ganze Injektionsraum von den reaktiven Atomen und Molekülen und/oder oberflächenmodifizierten Aerosolen bzw. Partikeln ausgefüllt werden kann, und daß erst im Injektionsraum eine Vermischung der Teilströme erfolgt.

8. Verfahren für plasmachemisch induzierte Reaktionen nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß man mindestens einen Teilstrom im Bereich des Injektionsraumes verwirbelt.

9. Verfahren für plasmachemisch induzierte Reaktionen nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß man mindestens zwei Teilströme gegeneinander gerichtet in den Injektionsraum einströmen läßt.

10. Verfahren für plasmachemisch induzierte Reaktionen nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß man den aus dem Injektionsraum ausströmenden Strom mindestens einer weiteren Behandlung in einem Abstand von dem Injektionsraum, wo die vorangegangenen Reaktionen abgeklungen sind, aussetzt, und daß man gleiche oder andere Teilströme wie im ersten Schritt benutzt.

11. Verfahren für plasmachemisch induzierte Reaktionen nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß man flüssige oder feste Stoffe vor Einleitung in den Injektionsraum verdampft oder versprüht bzw. eine Einleitung in Form einer Staubwolke ausbildet.