DE19882660T1 - Optisches Verfahren für die Kennzeichnung der elektrischen Eigenschaften von Halbleitern und Isolierfilmen - Google Patents

Optisches Verfahren für die Kennzeichnung der elektrischen Eigenschaften von Halbleitern und Isolierfilmen

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Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1231626A1 (de) 2001-02-10 2002-08-14 Infineon Technologies SC300 GmbH & Co. KG Messanordnung
US6668654B2 (en) * 2001-08-15 2003-12-30 Lockheed Martin Corporation Method and apparatus for generating specific frequency response for ultrasound testing
TWI420094B (zh) * 2006-07-17 2013-12-21 Xitronix Corp 於半導體結構中應變及主動性摻雜物之光反射特徵的方法
JP5822194B2 (ja) * 2011-09-29 2015-11-24 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス 半導体検査方法および半導体検査装置
JP5871141B2 (ja) * 2013-10-11 2016-03-01 横河電機株式会社 光電変換素子評価装置
JP5865946B2 (ja) 2014-05-22 2016-02-17 株式会社ユニソク 過渡吸収測定方法及び過渡吸収測定装置
KR102139988B1 (ko) * 2018-07-12 2020-07-31 한국표준과학연구원 수직입사 타원계측기 및 이를 이용한 시편의 광물성 측정 방법
CN109580753B (zh) * 2018-10-10 2023-08-01 金华职业技术学院 一种结合电化学的光谱测量方法
CN116916033B (zh) * 2022-06-24 2024-05-10 澳门大学 一种基于随机自适应傅里叶分解的联合时空视频压缩方法

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0200301A1 (de) * 1985-03-01 1986-11-05 Therma-Wave Inc. Verfahren und Vorrichtung zum Auswerten von Eigenschaften der Oberfläche und des Inneren eines Halbleiters
US4710030A (en) * 1985-05-17 1987-12-01 Bw Brown University Research Foundation Optical generator and detector of stress pulses
US5255070A (en) * 1989-07-20 1993-10-19 Pollak Fred H Method for determining interface properties of semiconductor materials by photoreflectance
US5074669A (en) * 1989-12-12 1991-12-24 Therma-Wave, Inc. Method and apparatus for evaluating ion implant dosage levels in semiconductors
US5287169A (en) * 1991-05-03 1994-02-15 Brooklyn College Research And Development Foundation Contractless mode of electroreflectance
JP2953184B2 (ja) * 1992-03-19 1999-09-27 三菱マテリアル株式会社 光非線形媒質体の屈折率格子形成時間の測定方法及びその装置
US5379109A (en) * 1992-06-17 1995-01-03 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Method and apparatus for non-destructively measuring local resistivity of semiconductors
US5748318A (en) * 1996-01-23 1998-05-05 Brown University Research Foundation Optical stress generator and detector
US5748317A (en) * 1997-01-21 1998-05-05 Brown University Research Foundation Apparatus and method for characterizing thin film and interfaces using an optical heat generator and detector

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