JP5871141B2 - 光電変換素子評価装置 - Google Patents
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Description
Rsh=−ΔVoc/ΔIoc
Rs=−ΔVsc/ΔIsc
PCE=Pmax/(E・A)
非接触により光電変換素子の評価を行う光電変換素子評価装置であって、
測定対象である光電変換素子にプローブ光を照射するプローブ光源と、
プローブ光が照射されている前記光電変換素子にパルス状のポンプ光を照射するポンプ光源と、
前記光電変換素子に照射される前記プローブ光の変化量を検出する受光素子と、
前記光電変換素子にプローブ光を連続照射しながらパルス状のポンプ光を照射することにより前記受光素子で検出される前記プローブ光の変化量のピーク値aとこのピーク値aから一定時間経過した時点における変化量bを抽出し、これら変化量のピーク値aと変化量bに基づいて判定基準を設定し、この判定基準に基づいて前記抽出されたプローブ光の変化量bの良否を判定して判定結果を外部に出力する信号処理部、
とで構成されていることを特徴とする。
前記光電変換素子は、ロール・ツー・ロールにより連続生産される生産ライン段階の光電変換素子であることを特徴とする。
前記プローブ光は、前記ポンプ光の照射期間およびその前後を含むパルス幅を有するパルス光であることを特徴とする。
前記プローブ光は、連続光であることを特徴とする。
6 ポンプ光源
7 プローブ光源
8 光検出器
9 信号処理部
Claims (4)
- 非接触により光電変換素子の評価を行う光電変換素子評価装置であって、
測定対象である光電変換素子にプローブ光を照射するプローブ光源と、
プローブ光が照射されている前記光電変換素子にパルス状のポンプ光を照射するポンプ光源と、
前記光電変換素子に照射される前記プローブ光の変化量を検出する受光素子と、
前記光電変換素子にプローブ光を照射しながらパルス状のポンプ光を照射することにより前記受光素子で検出される前記プローブ光の変化量のピーク値aとこのピーク値aから一定時間経過した時点における変化量bを抽出し、これら変化量のピーク値aと変化量bに基づいて判定基準を設定し、この判定基準に基づいて前記抽出されたプローブ光の変化量bの良否を判定して判定結果を外部に出力する信号処理部、
とで構成されていることを特徴とする光電変換素子評価装置。 - 前記光電変換素子は、ロール・ツー・ロールにより連続生産される生産ライン段階のものであることを特徴とする請求項1記載の光電変換素子評価装置。
- 前記プローブ光は、前記ポンプ光の照射期間およびその前後を含むパルス幅を有するパルス光であることを特徴とする請求項1または請求項2記載の光電変換素子評価装置。
- 前記プローブ光は、連続光であることを特徴とする請求項1または請求項2記載の光電変換素子評価装置。
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