DE19855061A1 - Schmelzofen zum Schmelzen von Silizium - Google Patents
Schmelzofen zum Schmelzen von SiliziumInfo
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Abstract
Ein Schmelzofen zum Schmelzen von Silizium in einem Tiegel (2) hat unterhalb des Tiegels (2) eine Bodenheizung (7). Zur Erhöhung des Wärmeverlustes des Tiegels (2) ist entweder die Bodenheizung (7) wegbewegbar oder aber zwischen der Bodenheizung (7) und dem Tiegel (2) eine Kühlplatte (12) bewegbar angeordnet. Hierzu ist die Kühlplatte (7) auf einem Schieber (11) angeordnet, der aus einer seitlichen Position heraus über die Bodenheizung (7) geschoben werden kann.
Description
Die Erfindung betrifft einen Schmelzofen mit einem Tiegel
zum Schmelzen von Silizium, welcher seitliche Heizer und
eine Deckenheizung hat und der von einer Wärmeisolation
umgeben ist und Mittel zur vorübergehenden Erhöhung des
Wärmeverlustes des Tiegels über seinen Boden aufweist.
Schmelzöfen der vorstehenden Art werden derzeit dazu ein
gesetzt, um polykristalline Siliziumblöcke zur Herstel
lung von Siliziumwafer für Solaranlagen zu erzeugen. Mit
ihnen wird das Silizium in einem Tiegel aus Quarz ge
schmolzen. Danach kühlt man zur Erzeugung eines axialen
Kristallwachstums den Tiegel von unten her definiert ab.
Hierzu entfernt man lediglich die Wärmeisolation des
Schmelzofens an seiner Unterseite, so dass der Boden des
Tiegels nach unten hin Wärme abstrahlen kann. Das Erfor
dernis der Erhöhung des Wärmeverlustes des Tiegels über
seinen Boden während der Erstarrung der Schmelze führt
dazu, dass unterhalb dieses Bodens keine Heizung vorgese
hen werden kann, obgleich dass zur Erhöhung der Schmelz
leistung des Schmelzofens wünschenswert wäre. Eine Leis
tungserhöhung des Schmelzofens durch Erhöhung der Leis
tung der Deckenheizung und der seitlichen Heizungen ist
in der Praxis nur beschränkt möglich, weil die Temperatur
der Heizungen nicht so hoch sein darf, dass der aus Quarz
bestehende Tiegel Schaden nimmt.
Der Erfindung liegt das Problem zugrunde, einen Schmelz
ofen der eingangs genannten Art so zu gestalten, dass er
in der Lage ist, Silizium möglichst rasch einzuschmelzen,
ohne dass die axial gerichtete Erstarrung vom Boden des
Tiegels her beeinträchtigt wird.
Dieses Problem wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, dass
unterhalb des Tiegels eine Bodenheizung vorgesehen ist
und dass zur Erhöhung des Wärmeverlustes des Tiegels die
Bodenheizung mit der dortigen Wärmeisolation wegbewegbar
oder zwischen der Bodenheizung und dem Tiegel eine Kühl
platte bewegbar angeordnet ist.
Heizungen für solche Tiegel werden meist als Graphit
platte ausgebildet, so dass bei nicht aktivierter Heizung
ein Wärmefluss vom Tiegel durch die Heizung erschwert
wird. Da gemäß der Erfindung beim Erstarren der Schmelze
entweder die Bodenheizung mit der dortigen Isolation weg
bewegt oder zwischen ihr und dem Tiegel eine Kühlplatte
bewegt wird, kommt es beim Erstarren der Schmelze trotz
der die Leistung des Schmelzofens wesentlich erhöhenden
Bodenheizung zu einem ausreichend großen Wärmeverlust in
Axialrichtung, so dass die gewünschte gerichtete Erstar
rung eintritt. Durch die Erfindung wird deshalb eine
Leistungserhöhung des Schmelzofens ohne Nachteile beim
Kristallwachstum während des Erstarrens möglich. Bei Ver
wendung einer Kühlplatte erreicht man eine besonders
gleichmäßige Temperaturverteilung über den gesamten Quer
schnitt des Bodens des Tiegels.
Eine konstruktiv sehr einfache Ausführungsform besteht
darin, dass die Kühlplatte in einem geradlinig über die
Bodenheizung bewegbaren Schieber vorgesehen ist.
Alternativ ist es jedoch auch möglich, dass die Kühl
platte um eine vertikale Achse über die Bodenheizung
schwenkbar ausgebildet ist.
Die Bodenheizung und die Kühlplatte können beide mit ge
ringem Abstand zum Boden des Schmelztiegels angeordnet
sein, wenn die Bodenheizung und die Kühlplatte hinterein
ander auf einem um die vertikale Achse drehbaren Schwenk
teil angeordnet sind.
Da die Kühlplatte durch einen Schlitz der Wärmeisolation
des Schmelzofens in diesen hinein und aus diesem heraus
bewegt werden muss, besteht die Notwendigkeit, den
Schlitz durch eine Wärmeisolation zu verschließen, wenn
die Kühlplatte in den Schmelzofen eingefahren oder aus
ihm herausgefahren ist. Das lässt sich besonders einfach
verwirklichen, wenn gemäß einer anderen Weiterbildung der
Erfindung die Kühlplatte an ihrer in Bewegungsrichtung
vorderen und hinteren Seite einen den Schlitz in der Wär
meisolation ausfüllenden Wärmeisolationsstreifen hat.
Während des Ankeimens soll die Abkühlung der Schmelze zu
nächst relativ langsam erfolgen. Das lässt sich optimal
erreichen, wenn die Wärmeisolation des Tiegels unterhalb
der Bodenheizung dünnwandiger ist als in den übrigen Be
reichen.
Die Erfindung lässt verschiedene Ausführungsformen zu.
Zur weiteren Verdeutlichung ihres Grundprinzips wird
nachfolgend auf die Zeichnung Bezug genommen. Diese zeigt
stark schematisch in
Fig. 1 einen Schnitt durch einen Schmelzofen nach
der Erfindung,
Fig. 2 ein für eine zweite Ausführungsform des
Schwenkofens vorgesehenes Schwenkteil.
Der in Fig. 1 dargestellte Schmelzofen hat in einem gas
dichten Behälter 1 einen Tiegel 2, der aus einer Stützko
kille 3 aus Graphit und einer inneren Kokille 4 aus Sili
ziumdioxid besteht. Der Tiegel 2 ist allseitig von einer
Wärmeisolation 5 umgeben und dient zum Einschmelzen von
Silizium, welches aus einem Vorratsbehälter 10 in den
Tiegel 2 eingefüllt werden kann.
Zur Beheizung des Tiegels 2 dienen eine Deckenheizung 6,
eine Bodenheizung 7 und weitere Heizer 8, 9 an den Seiten
des Tiegels 2, wobei es sich in allen Fällen um Graphit
platten handeln kann, welche zum Heizen elektrisch be
stromt werden. Wie die Zeichnung erkennen lässt, ist die
Wärmeisolation 5 unterhalb der Bodenheizung 7 dünner aus
geführt als im übrigen Bereich. Dadurch kann man errei
chen, dass die Abkühlung der Schmelze bei ausgeschalteter
Bodenheizung 7 in Axialrichtung schneller erfolgt als in
Radialrichtung.
Zum Erreichen einer gerichteten Erstarrung könnte man
nach dem Einschmelzen des Siliziums die Bodenheizung 7
mit dem sich unter ihr befindlichen Bereich der Wärmeiso
lation 5 entfernen. Bei der in Fig. 1 gezeigten Ausfüh
rungsform ist jedoch die Bodenheizung 7 fest eingebaut.
Oberhalb der Bodenheizung 7 ist ein Schieber 11 mit einer
Kühlplatte 12 angeordnet, der sich in der gezeigten Stel
lung seitlich neben dem Tiegel 2 befindet. Zu beiden Sei
ten der Kühlplatte 12 ist auf dem Schieber 11 ein Wärme
isolationsstreifen 13, 14 angeordnet. In der dargestell-.
ten Stellung greift der Wärmeisolationsstreifen 13 in ei
nen Schlitz 15 der Wärmeisolation 5 und verschließt die
sen dadurch. Fährt man den Schieber 11 mittels eines
Schieberantriebs 16 über die Bodenheizung 7, dann gelangt
der Wärmeisolationsstreifen 14 in den Schlitz 15.
Die Fig. 2 zeigt ein in etwa sektorförmiges Schwenkteil
17, welches um eine vertikale Achse 18 schwenkbar ange
ordnet ist. Auf diesem Schwenkteil 17 sind hintereinander
die Bodenheizung 7 und die Kühlplatte 12 angeordnet.
Nicht dargestellt sind die Versorgungsleitungen für die
elektrische Energie der Bodenheizung 7 und für das Kühl
wasser der Kühlplatte 12. Das Schwenkteil 17 wird an
stelle des Schiebers 11 derart neben dem Tiegel 2 ange
ordnet, dass sich wahlweise die Bodenheizung 7 oder die
Kühlplatte 12 unter den Tiegel 2 schwenken lassen, wobei
die beiden hierzu erforderlichen Schlitze in der Wärme
isolation des Tiegels wiederum durch Wärmeisolations
streifen 19, 20 zu beiden Seiten der Kühlplatte 12 und
der Bodenheizung 7 dazu dienen, die Schlitze zu ver
schließen.
1
Behälter
2
Tiegel
3
Stützkokille
4
Kokille
5
Wärmeisolation
6
Deckenheizung
7
Bodenheizung
8
Heizer
9
Heizer
10
Vorratsbehälter
11
Schieber
12
Kühlplatte
13
Wärmeisolationsstreifen
14
Wärmeisolationsstreifen
15
Schlitz
16
Schieberantrieb
17
Schwenkteil
18
Achse
19
Wärmeisolationsstreifen
20
Wärmeisolationsstreifen
Claims (6)
1. Schmelzofen mit einem Tiegel zum Schmelzen von Sili
zium, welcher seitliche Heizer und eine Deckenheizung hat
und der von einer Wärmeisolation umgeben ist und Mittel
zur vorübergehenden Erhöhung des Wärmeverlustes des Tie
gels über seinen Boden aufweist, dadurch gekennzeichnet,
dass unterhalb des Tiegels (2) eine Bodenheizung (7) vor
gesehen ist und dass zur Erhöhung des Wärmeverlustes des
Tiegels (2) die Bodenheizung (7) mit der dortigen Wärme
isolation (5) wegbewegbar oder zwischen der Bodenheizung
(7) und dem Tiegel (2) eine Kühlplatte (12) bewegbar ist.
2. Schmelzofen nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
dass die Kühlplatte (12) in einem geradlinig über die Bo
denheizung (7) bewegbarer Schieber (11) vorgesehen ist.
3. Schmelzofen nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
dass die Kühlplatte (12) um eine vertikale Achse (18)
über die Bodenheizung (7) schwenkbar ausgebildet ist.
4. Schmelzofen nach zumindest einem der vorangehenden An
sprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Bodenheizung
(7) und die Kühlplatte (12) hintereinander auf einem um
die vertikale Achse (18) drehbaren Schwenkteil (17) ange
ordnet sind.
5. Schmelzofen nach zumindest einem der vorangehenden An
sprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Kühlplatte (12)
an ihrer in Bewegungsrichtung vorderen und hinteren Seite
einen den Schlitz (15) in der Wärmeisolation (5) ausfül
lenden Wärmeisolationsstreifen (13, 14; 19, 20) hat.
6. Schmelzofen nach zumindest einem der vorangehenden An
sprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Wärmeisolation
(5) des Tiegels (2) unterhalb der Bodenheizung (7) dünn
wandiger ist als in den übrigen Bereichen.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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DE1998155061 DE19855061B4 (de) | 1998-11-28 | 1998-11-28 | Schmelzofen zum Schmelzen von Silizium |
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DE1998155061 DE19855061B4 (de) | 1998-11-28 | 1998-11-28 | Schmelzofen zum Schmelzen von Silizium |
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Also Published As
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