DE19852048A1 - Strahlungsdetektionseinrichtung - Google Patents

Abstract

Strahlungsdetektionseinrichtung zum Empfangen von Strahlung, insbesondere von Röntgenstrahlung, umfassend einen digitalen Strahlungsdetektor, wobei auf dem Strahlungsdetektor (2, 2', 2'') ein Streustrahlenraster (3, 3', 3'', 3'''), bestehend aus einem Siliziumträger (9) mit daran gehalterten, vom Träger (9) an einer Seite vorspringenden Absorptionselementen (10, 10'), insbesondere Bleistiften, mit der die Absorptionselemente (10, 10') aufweisenden Seite unmittelbar aufgeklebt ist.

Description

Die Erfindung betrifft eine Strahlungsdetektionseinrichtung zum Empfangen von Strahlung, insbesondere von Röntgenstrah­ lung, umfassend einen digitalen Strahlungsdetektor.

Solche Strahlungsdetektionseinrichtungen kommen beispielswei­ se im Rahmen röntgentechnologischer Untersuchungsverfahren zum Einsatz und dienen dazu, das nach Durchtritt durch ein zu untersuchendes Objekt auf die Einrichtung auftreffende Strah­ lungsbild in mittels einer nachgeschalteten Elektronik aus­ lesbare Information umzuwandeln. Ein digitaler Strahlungsde­ tektor besitzt hierzu entweder Szintillatorschichten (z. B. aus CsI) zur Wandlung der Strahlung in Licht, oder Direktkon­ verter (z. B. Se) zur Wandlung der Strahlung in elektrische Ladungen. Diese Schichten sind sehr weich und müssen gegen mechanische Einflüsse, wie z. B. Druck, Kratzen od. dgl., ge­ schützt werden, um Beschädigungen zu vermeiden. Darüber hin­ aus sind sie sehr witterungsempfindlich und müssen aufgrund ihrer hygroskopischen Eigenschaften gegen Feuchtigkeit gekap­ selt werden. Zu diesem Zweck ist die Oberseite des Detektors, in deren Bereich sich die strahlungsempfindliche Schicht be­ findet, mit einer Abdeckplatte, in der Regel einer CFK-Plat­ te, verschlossen. Einer solchen Strahlungsdetektionsein­ richtung ist in der Regel ein Streustrahlenraster vorgeschal­ tet, mittels welchem Streustrahlen unterdrückt werden. Dieses Streustrahlenraster ist ein zum Detektor separates, über ei­ nen sehr schmalen Luftspalt entfernt von diesem angeordnetes Element. Bekannte Streustrahlenraster bestehen aus einem Pa­ pierträger, in den Absorptionselemente in Form von mehrere Mikrometer dicken Bleilamellen eingebracht sind. Häufig wer­ den diese Raster bewegt, um etwaige von den Absorptionsele­ menten herrührende Bildartefakte zu vermeiden.

Daneben sind aus der unveröffentlichten deutschen Patentan­ meldung 197 29 596 Streustrahlenraster bekannt, bestehend aus einem Trägermaterial aus Silizium, an dem Absorptionselemen­ te, vorzugsweise aus in Form von Bleielementen, in entspre­ chenden siliziumseitig vorgesehenen Löchern angeordnet sind. Bei diesen Streustrahlenrastern können die Absorptionselemen­ te mit hoher Linienzahl pro Zentimeter vorgesehen werden, d. h. , es sind Raster mit extrem feinem Pitch herstellbar, die unbewegt im Strahlengang angeordnet werden Können, ohne daß irgendwelche Bildartefakte auf dem dahinterliegenden digita­ len Detektor auftreten.

Wenngleich die an einer Trägerseite vorstehenden, stiftarti­ gen Absorptionselemente in einer für die transmittierende Strahlung transparenten Material, beispielsweise einem Kleb­ stoff eingebettet sind, ist dennoch eine zusätzliche Siche­ rung gegen mechanische Einflüsse von Nöten. Zu diesem Zweck sind diese Raster zwischen zwei ober- und unterseitig vorge­ sehenen Schutzplatten, insbesondere CFK-Platten, gekapselt.

Infolge der umfangreichen Kapselung des Detektors und des Ra­ sters ist im Strahlengang beachtlich viel von der Strahlung zu durchdringendes Kapselmaterial vorhanden. Dieses Material jedoch führt zu einer Schwächung der letztlich auf die strah­ lungsempfindliche Detektorschicht auftreffenden Strahlung, was insbesondere bei Untersuchungen, bei denen mit Röntgen­ strahlung geringer Energie gearbeitet wird (z. B. der Mammo­ graphie) Probleme bereitet.

Der Erfindung liegt das Problem zugrunde, eine Strahlungsde­ tektionseinrichtung anzugeben, die hier Abhilfe schafft.

Zur Lösung dieses Problems ist bei einer Strahlungsdetekti­ onseinrichtung der eingangs genannten Art erfindungsgemäß vorgesehen, daß auf dem Strahlungsdetektor ein Streustrahlen­ raster bestehend aus einem Silizium-Träger mit daran gehal­ terten, vom Träger an einer Seite vorspringenden Absorptions­ elementen, insbesondere Bleistiften, mit der die Absorptions­ elemente aufweisenden Seite aufgeklebt ist.

Die Erfindung geht also ab von der separaten Anordnung des Detektors und des Rasters und sieht demgegenüber vor, diese miteinander zu einer gemeinsamen Einrichtungskomponente zu verbinden. Das Streustrahlenraster bestehend aus dem Silizi­ um-Träger mit den vorspringenden Absorptionselementen wird erfindungsgemäß unmittelbar auf den Detektor aufgeklebt. Dies führt dazu, daß die obere, den Detektor kapselnde Platte wie auch die untere, die Absorptionselemente kapselnde Platte nicht mehr benötigt werden, sondern lediglich noch die das Streustrahlenraster oberseitig abschließende Platte, die dann gleichzeitig den oberseitigen mechanischen Schutz der gesam­ ten Detektionseinrichtung bietet. Hierdurch nimmt also die im Strahlengang befindliche, bei der eigentlichen Strahlungser­ fassung unbeteiligte Materialmenge beachtlich ab, so daß kaum eine Strahlungsschwächung auftritt. Die Verwendung des Sili­ zium-Rasters mit der Möglichkeit, die feinen Absorptionsele­ mente sehr nahe voneinander beabstandet voneinander vorzuse­ hen und folglich mit extrem hoher Linienzahl pro Zentimeter anzuordnen, bietet ferner die Möglichkeit, dieses Raster feststehend auf dem Detektor anzubringen, also pixelgenau zu fixieren, so daß auch bei der erfindungsgemäßen kombinierten Einrichtung keine Bildartefakte auftreten.

Erfindungsgemäß kann das Streustrahlenraster auf eine eine Röntgenstrahlen absorbierende Schicht des Strahlungsdetektors bedeckende Schicht geklebt werden, also beispielsweise die die CsI- oder die Se-Schicht bedeckende Schicht, bei der es sich in der Regel um eine Aluminium-Schicht in Form eines fe­ sten Trägers oder einer Folie handelt. In der Regel wird ent­ weder die strahlungsempfindliche Schicht zunächst auf den Träger aufgebracht und dieser anschließend mit der strah­ lungsempfindlichen Schicht zur Halbleiterschicht des Detek­ tors, beispielsweise aus amorphem Silizium, gerichtet ange­ ordnet. Alternativ ist es auch möglich, die strahlungsemp­ findliche Schicht unmittelbar auf dem amorphen Silizium auf­ wachsen zu lassen und anschließend mit einer Aluminiumfolie zu bedecken. Neben dem Aufkleben auf dieser Abdeckschicht ist es aber auch möglich, das Streustrahlenraster direkt auf die strahlungsempfindliche Schicht aufzukleben.

Wie beschrieben werden die frei stehenden Absorptionselemente mittels einer strahlungstransparenten Füllung fixiert. Diese Füllung kann erfindungsgemäß als Klebemittel dienen, mittels welchem das Raster auf dem Detektor befestigt wird, wobei hierzu das Raster mit noch feuchter Füllung mit zum Detektor hin gewandten Absorptionselementen aufgeklebt wird, wobei darauf zu achten ist, daß die Absorptionselemente hierbei nicht geknickt werden. Alternativ hierzu kann die Befestigung mittels einer separaten Klebeschicht erfolgen, d. h., die Fül­ lung des Streustrahlenrasters ist unter Fixierung der Absorp­ tionselemente vollständig ausgehärtet, zur Befestigung wird entweder die Detektorfläche oder aber die Rasterfläche mit einer entsprechenden Klebeschicht versehen, wonach die Ver­ bindung erfolgt.

Die digitalen, eine Halbleiterschicht aus amorphem Silizium besitzenden Strahlungsdetektoren sind in unterschiedlicher Größe bekannt, die größten momentan erhältlichen Detektoren besitzen eine aktive Fläche von ca. 43 × 43 cm. Um auch sol­ che Detektoren mit einem Streustrahlenraster mit einem Sili­ zium-Träger belegen zu können, welcher momentan nicht in die­ ser Größe herstellbar ist, kann erfindungsgemäß das Streu­ strahlenraster aus mehreren separaten, nebeneinander angeord­ neten Streustrahlenrasterabschnitten bestehen. Diese Ab­ schnitte werden quasi auf Stoß verklebt, so daß die gesamte Detektorfläche belegt werden kann. Um insbesondere im Hin­ blick auf die hygroskopischen Eigenschaften der strahlungs­ empfindlichen Detektorschicht zu vermeiden, daß trotz der letztendlich mittels der CFK-Platte gegebenen Kapselung Feuchtigkeit an diese Schicht gelangen kann, können erfin­ dungsgemäß im Bereich der aneinandergrenzenden Randabschnitte der Rasterabschnitte als Dampfsperre dienende Mittel vorgese­ hen sein, mittels welcher vermieden wird, daß beispielsweise infolge von Temperaturschwankungen sich ergebende Ausdehnun­ gen der Materialen, die zu einem leichten Auseinandergehen der Stöße führen können, Feuchtigkeit eintritt. Als solche Mittel können beispielsweise aufgeklebte Silizium-Streifen, die über die Stöße geklebt werden, vorgesehen sein, alterna­ tiv oder zusätzlich können diese auch mittels einer zusätzli­ chen Kleberschicht belegt sein.

Der Strahlungsdetektor und das Streustrahlenraster können er­ findungsgemäß eben sein, wobei in diesem Fall ein Streustrah­ lenraster mit nicht fokussierten oder mit fokussierten Ab­ sorptionselementen auf den ebenen Detektor aufgeklebt werden kann. Alternativ hierzu kann der Strahlungsdetektor und das Streustrahlenraster auch gebogen sein, wodurch sich zwangs­ läufig eine Fokussierung einstellt.

Neben der Strahlungsdetektionseinrichtung betrifft die Erfin­ dung ferner ein Verfahren zur Herstellung derselben, bei dem erfindungsgemäß vorgesehen ist, daß die Seite des Streustrah­ lenrasters, an der die Absorptionselemente vorstehen, mit ei­ nem flüssigen Klebemittel verfüllt und im noch klebenden Zu­ stand des Klebemittels auf den Strahlungsdetektor aufgebracht wird, wonach das Klebemittel endgültig aushärtet.

Eine demgegenüber gleichermaßen wirksame Erfindungsalternati­ ve sieht vor, daß auf die Seite des Streustrahlenrasters, an der die Absorptionselemente vorstehen und die mit einem be­ reits ausgehärtetem Klebemittel verfüllt ist, oder auf den Strahlungsdetektor eine weitere Klebeschicht aufgebracht wird, wonach der Strahlungsdetektor und das Streustrahlenra­ ster miteinander verklebt werden und die Klebemittelschicht aushärtet. Das Streustrahlenraster kann auf einen ebenen Strahlungsdetektor geklebt werden, wobei ein nicht fokussier­ tes oder ein fokussiertes Streustrahlenraster verwendet wird. Um letzteres herzustellen kann erfindungsgemäß das vor dem Verkleben mit Klebemittel verfüllte Streustrahlenraster gebo­ gen werden, bis das Klebemittel einen ersten Aushärtungsgrad erreicht hat, wonach es in die Ebene zurückgebogen wird, wo­ bei infolge der Anhärtung des Klebemittels die Absorptionse­ lemente in ihrer verbogenen Stellung verbleiben. Mit noch klebendem Klebemittel wird es dann auf den ebenen Strahlungs­ detektor aufgeklebt, wo das Klebemittel endgültig aushärtet.

Alternativ hierzu kann das noch biegsame oder vorgebogene, dann bereits ausgehärtete Streustrahlenraster auf einen gebo­ genen Strahlungsdetektor geklebt werden.

Werden, wie erfindungsgemäß vorgesehen sein kann, mehrere se­ parate Streustrahlenrasterabschnitte aufgeklebt, sollten im Bereich der aneinander grenzenden Randabschnitte der Raster­ abschnitte als Dampfsperre dienende Silizium-Streifen aufge­ klebt werden und/oder eine zusätzliche Kleberschicht im Stoß­ bereich aufgebracht werden.

Weitere Vorteile, Merkmale und Einzelheiten der Erfindung er­ geben sich aus dem im folgenden beschriebenen Ausführungsbei­ spielen sowie anhand der Zeichnungen. Dabei zeigen:

Fig. 1 eine Schnittansicht durch eine erfindungsgemäße Einrichtung einer ersten Ausführungsform,

Fig. 2 eine Schnittansicht einer Einrichtung gemäß einer zweiten Ausführungsform in Form einer Prinzipskizze,

Fig. 3 eine Schnittansicht einer Einrichtung einer dritten Ausführungsform in Form einer Prinzipskizze und

Fig. 4 eine Aufsicht eines Ausschnitts einer weiteren er­ findungsgemäßen Einrichtung.

Fig. 1 zeigt einen Ausschnitt einer erfindungsgemäßen Strah­ lungsdetektionseinrichtung 1. Diese besteht aus einem Strah­ lungsdetektor 2 und einem darauf aufgeklebten Streustrahlen­ raster 3. Der Strahlungsdetektor 2 umfaßt einen Glasträger 4, auf dem eine Halbleiterschicht aus amorphem Silizium 5 aufge­ bracht ist. Dieser folgt eine Passivierungsschicht 6, z. B. Si₃N₄. Auf dieser ist eine Schicht 7 eines strahlungsempfind­ lichen Materials vorgesehen, beispielsweise Csi, welches na­ delförmig vorliegt. Bedeckt wird diese Schicht 7 von einer Aluminiumschicht 8, z. B. in Form einer Aluminiumfolie, die die auf der Passivierungsschicht 6 aufgewachsene Schicht 7 bedeckt. Alternativ kann es sich bei der Schicht 8 auch um einen Aluminiumträger handeln, auf den ursprünglich die Schicht 7 aufwuchs, wobei dieser Träger dann samt strahlungs­ empfindlicher Schicht auf der Passivierungsschicht 6 ange­ bracht wird.

Das Streustrahlenraster 3 umfaßt einen Silizium-Träger 9 mit daran an einer Seite vorspringenden Absorptionselementen 10, beispielsweise in Form von Bleistiften, die in entsprechen­ den, siliziumseitig beispielsweise durch Ätzen erzeugten Lö­ chern angeordnet sind. Ein solches Streustrahlenraster und die Art seiner Herstellung sind aus der deutschen Patentan­ meldung 197 29 596 bekannt. Dem Silizium-Träger folgt eine abdeckende Platte 11, vorzugsweise aus CFK-Material, welche auf diese Weise Schutz gegen mechanische Beschädigungen bie­ tet.

Die Befestigung des Silizium-Trägers 9 kann auf unterschied­ liche Weise erfolgen. Die Absorptionselemente 10 sind mittels einer strahlungstransparenten Füllung 12 zur Fixierung der­ selben eingebettet, wobei es sich bei dieser Füllung 12 um einen Klebstoff handeln kann. Wird nun im Rahmen der separa­ ten Herstellung des Streustrahlenrasters 3 diese Seite mit der Füllung 12 verfüllt, so kann das Streustrahlenraster un­ ter Verwendung dieser Klebstoff-Füllung als Klebemittel in noch nicht ausgehärtetem Zustand auf die Schicht 8 aufgeklebt werden. Der Füllung 12 kommen also hier zwei Funktionen zu, nämlich einmal die die Absorptionselemente fixierende Funkti­ on wie auch die Klebefunktion. Alternativ dazu ist es auch möglich, zunächst die Füllung 12 vollständig aushärten zu lassen und mittels einer separaten, entweder auf die Schicht 8 oder aber die dann harte Füllung 12 auf zubringenden Klebe­ schicht die Verbindung vorzunehmen.

Der in Fig. 1 gezeigte Aufbau ist aus mehrerlei Hinsicht von Vorteil. Zum einen wird nur noch eine Platte 11 benötigt, um die mechanische Kapselung vorzunehmen, so daß die Menge an Material, durch welche die zu detektierende Strahlung bis zur strahlungsempfindlichen Schicht hindurchtreten muß, beacht­ lich reduziert werden kann, wodurch die Nutzstrahlung weniger geschwächt wird und die auf das Gesamtsystem bezogene Dosi­ seffizienz entsprechend erhöht wird. Daneben bietet auch der Silizium-Träger einen zusätzlichen mechanischen Schutz der Absorptionselemente und der Schicht 7 des Szinzillators. Fer­ ner wirkt der Silizium-Träger als zusätzliche Dampfsperre zur Unterstützung der Funktion der Schicht 8, beispielsweise der Aluminiumfolie. Diese kann vorteilhaft wesentlich dünner ge­ wählt werden.

Fig. 2 zeigt eine weitere erfindungsgemäße Ausführungsform einer Strahlungsdetektionseinrichtung 1'. Bei dieser sind der Strahlungsdetektor 2' und das Streustrahlenraster 3' nur ex­ emplarisch dargestellt, der Aufbau entspricht insoweit dem aus Fig. 1 bekannten. Im Unterschied jedoch sind hier die Ab­ sorptionselemente 10' fokussiert, d. h. sie verlaufen über die Rasterebene unter unterschiedlichen Winkeln zueinander, wie in Fig. 2 anschaulich dargestellt ist. Die Absorptions­ elemente 10 gemäß Fig. 1 sind hingegen unfokussiert, d. h., sie stehen alle senkrecht aus der Trägerebene hervor. Die Fo­ kussierung kann beispielsweise dadurch erhalten werden, daß der Silizium-Träger nach Verfüllung im noch feuchten Fül­ lungszustand gebogen wird, bis ein erster Aushärtungsgrad er­ reicht wird, wonach er wieder zurückgebogen und auf den De­ tektor geklebt wird, wobei die Absorptionselemente 10' ihre biegungsbedingte Stellung beibehalten.

Die in den Fig. 1 und 2 gezeigten Einrichtungen umfassen je­ weils einen ebenen Strahlungsdetektor. Fig. 3 zeigt eine Mo­ difikation, bei der der Strahlungsdetektor 2'' und auch das Streustrahlenraster 3'' der Strahlungsdetektionseinrichtung 1'' unter Fokussierung auf eine Strahlungsquelle 13 gekrümmt geordnet sind. Das Streustrahlenraster 3'' kann dabei mit noch feuchter Füllung auf den gebogenen Detektor 2'' aufge­ klebt werden und anschließend mit der Platte 11 gekapselt werden. Selbstverständlich ist es auch möglich, zunächst ein ausgehärtetes Streustrahlenraster 3'' herzustellen und dieses dann mittels einer separaten Klebeschicht aufzukleben.

Schließlich zeigt Fig. 4 eine weitere Strahlungsdetektions­ einrichtung 1''', bei welcher die Platte 11 nicht näher ge­ zeigt ist. Das dortige in Aufsicht gezeigte Streustrahlenra­ ster 3''' besteht aus vier separaten Rasterabschnitten 14, die nebeneinander geordnet sind, um den großen Flächendetek­ tor vollständig zu belegen. Im Bereich der Stöße 16, die hier übertrieben groß gezeigt sind, sind Silizium-Streifen 15 über die Stöße geklebt, um im Falle eines sich bei Temperatur­ schwankungen aufgrund von unterschiedlichen Materialausdeh­ nungskoeffizienten ergebenden Öffnens der Stöße zu vermeiden, daß die darunter liegende strahlungsempfindliche Schicht 7 - wenn­ gleich diese mit der ebenfalls als Dampfsperre dienenden Schicht 8 bedeckt ist - in irgendeiner Form mit Feuchte in Kontakt kommen kann. Alternativ oder zusätzlich können ent­ sprechende Stoßabschnitte auch mit zusätzlichem Klebermateri­ al verfüllt sein.

Claims (19)

1. Strahlungsdetektionseinrichtung zum Empfangen von Strah­ lung, insbesondere von Röntgenstrahlung, umfassend einen di­ gitalen Strahlungsdetektor, dadurch gekenn­ zeichnet, daß auf den Strahlungsdetektor (2, 2', 2'') ein Streustrahlenraster (3, 3', 3'', 3''') bestehend aus einem Silizium-Träger (9) mit daran gehalterten, vom Träger (9) an einer Seite vorspringenden Absorptionselementen (10, 10'), insbesondere Bleistiften mit der die Absorptionselemen­ te (10, 10') aufweisenden Seite aufgeklebt ist.

2. Strahlungsdetektionseinrichtung nach Anspruch 1, da­ durch gekennzeichnet, daß das Streu­ strahlenraster (3, 3', 3'', 3''') auf eine eine Röntgenstrah­ len absorbierende Schicht (7) des Strahlungsdetektors (2, 2', 2'') bedeckende Schicht (8) geklebt ist.

3. Strahlungsdetektionseinrichtung nach Anspruch 2, da­ durch gekennzeichnet, daß die Schicht (8) eine Aluminium-Schicht ist.

4. Strahlungsdetektionseinrichtung nach einem der vorange­ henden Ansprüche, dadurch gekennzeich­ net, daß das Streustrahlenraster (3, 3', 3'', 3''') mit­ tels einer die freistehenden Absorptionselemente (10, 10') einbettenden Füllung (12), die als Klebemittel dient, ver­ klebt ist.

5. Strahlungsdetektionseinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß eine separate Klebeschicht vorgesehen ist.

6. Strahlungsdetektionseinrichtung nach einem der vorange­ henden Ansprüche, dadurch gekennzeich­ net, daß das Streustrahlenraster (1''') aus mehreren se­ paraten, nebeneinander angeordneten Streustrahlenrasterab­ schnitten (14) besteht.

7. Strahlungsdetektionseinrichtung nach Anspruch 6, da­ durch gekennzeichnet, daß im Bereich (16) der aneinandergrenzenden Randabschnitte der Rasterab­ schnitte (14) als Dampfsperre dienende Mittel vorgesehen sind.

8. Strahlungsdetektionseinrichtung nach Anspruch 7, da­ durch gekennzeichnet, daß Mittel aufge­ klebte Silizium-Streifen (15) und/oder eine zusätzliche Kle­ berschicht umfassen.

9. Strahlungsdetektionseinrichtung nach einem der vorange­ henden Ansprüche, dadurch gekennzeich­ net, daß die Absorptionselemente (10') des Streustrah­ lenrasters (1') fokussiert sind.

10. Strahlungsdetektionseinrichtung nach einem der vorange­ henden Ansprüche, dadurch gekennzeich­ net, daß sie (1, 1') einen ebenen Strahlungsdetektor (2, 2') und ein ebenes Streustrahlenraster (3, 3') aufweist.

11. Strahlungsdetektionseinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß sie (1'') einen gebogenen Strahlungsdetektor (2'') und ein gebogendes Streustrahlenraster (3'') aufweist.

12. Verfahren zur Herstellung einer Strahlungsdetektionein­ richtung nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Seite des Streustrah­ lenrasters, an der die Absorptionselemente vorstehen mit ei­ nem flüssigen Klebemittel verfüllt und im noch klebenden Zu­ stand des Klebemittels auf den Strahlungsdetektor aufgebracht wir, wonach des Klebemittel endgültig aushärtet.

13. Verfahren zur Herstellung einer Strahlungsdetektionein­ richtung nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß auf die Seite des Streu­ strahlenrasters, an der die Absorptionselemente vorstehen und die mit einem bereits ausgehärteten Klebemittel verfüllt ist, oder auf den Strahlungsdetektor eine weitere Klebemittel­ schicht aufgebracht wird, wonach der Strahlungsdetektor und das Streustrahlenraster miteinander verklebt werden und die Klebemittelschicht aushärtet.

14. Verfahren nach Anspruch 12 oder 13, dadurch gekennzeichnet, daß das Streustrahlenraster auf einen ebenen Strahlungsdetektor geklebt wird.

15. Verfahren nach einem der Ansprüche 12 bis 14, da­ durch gekennzeichnet, daß ein nicht fo­ kussiertes oder ein fokussiertes Streustrahlenraster verwen­ det wird.

16. Verfahren nach Anspruch 15, dadurch ge­ kennzeichnet, daß zum Fokussieren das Streu­ strahlenraster vor dem Verkleben mit Klebemittel verfüllt und gebogen wird, bis das Klebemittel einen ersten Aushärtungs­ grad erreicht hat, wonach es in die Ebene zurückgebogen wird und mit noch klebendem Klebemittel auf den ebenen Strahlungs­ detektor aufgeklebt wird, wo das Klebemittel endgültig aus­ härtet.

17. Verfahren nach Anspruch 12 oder 13, dadurch gekennzeichnet, daß das noch biegsame oder vorgebogene Streustrahlenraster auf einen gebogenen Strah­ lungsdetektor geklebt wird.

18. Verfahren nach einem der Ansprüche 12 bis 17, da­ durch gekennzeichnet, daß mehrere sepa­ rate Streustrahlenrasterabschnitte aufgeklebt werden.

19. Verfahren nach Anspruch 18, dadurch ge­ kennzeichnet, daß im Bereich der aneinander­ grenzenden Randabschnitte der Rasterabschnitte als Dampfsper­ re dienende Silizium-Streifen aufgeklebt werden und/oder eine zusätzliche Kleberschicht aufgebracht wird.