DE19847774A1 - Verfahren zur Plasmabehandlung von stab- oder fadenförmigem Material - Google Patents

Verfahren zur Plasmabehandlung von stab- oder fadenförmigem Material

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Abstract

Verfahren zur Plasmabehandlung von stab- oder fadenförmigem Material (12), dadurch gekennzeichnet, daß man das Material (12) koaxial durch eine Plasmadüse (10) hindurchlaufen läßt.

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Plasmabehand­ lung von stab- oder fadenförmigem Material.
Bei zahlreichen Materialien, insbesondere bei Kunststoffen, ist die Oberfläche nicht oder nur schwer mit Flüssigkeit benetzbar. Wenn solche Materialien, bedruckt, lackiert oder mit einer Klebeschicht versehen werden sollen, ist deshalb generell eine Vorbehandlung der Oberfläche erforderlich.
Ein herkömmliches Verfahren, die Benetzbarkeit von Kunststoffoberflächen zu erhöhen, besteht darin, daß man die Oberfläche einer Coronaentladung aussetzt. In EP 0 761 415 A2 wird dagegen ein Verfahren beschrieben, bei dem die Vorbehandlung nicht mittels Coronaentladung, sondern mit Hilfe ei­ nes Niedrigtemperaturplasmas unter Atmosphärendruck erfolgt. Eine Plas­ madüse zur Durchführung dieses Verfahrens wird ebenfalls in der genannten Veröffentlichung beschrieben. Bei der Vorbehandlung wird die Plasmadüse auf die zu behandelnde Oberfläche gerichtet, so daß der Plasmastrahl die zu Oberfläche wie ein Pinsel überstreicht.
Bei den zu behandelnden Materialien kann es sich auch um stab- oder faden­ förmige Materialien handeln, beispielsweise um Kunstfasern, Garne, Fäden, Drähte, kunststoffbeschichtete Kabel, Glasfasern und dergleichen.
Aufgabe der Erfindung ist es, ein Verfahren und eine Vorrichtung anzugeben, die eine besonders effiziente Plasmabehandlung solcher stab- oder fadenför­ miger Materialien ermöglichen.
Diese Aufgabe wird mit den in den unabhängigen Patentansprüchen angege­ benen Merkmalen gelöst.
Das erfindungsgemäße Verfahren ist dadurch gekennzeichnet, daß man das Material koaxial durch die Plasmadüse hindurchlaufen läßt.
Die Plasmadüse, die einen wesentlichen Teil der Vorrichtung zur Durchfüh­ rung des Verfahrens bildet, weist generell ein Düsenrohr auf, das von einem Arbeitsgas durchströmt wird und zumindest am auslaßseitigen Ende eine ring- oder rohrförmige Außenelektrode bildet. Eine stiftförmige Innenelek­ trode ist koaxial im Inneren des Düsenrohres angeordnet. Das Plasma wird durch eine elektrische Entladung zwischen den Innen- und Außenelektroden erzeugt. Hierzu wird an die Elektroden eine Hochspannung, vorzugsweise ei­ ne hochfrequente Wechselspannung angelegt. Ein für die Erzeugung dieser Spannung geeigneter Generator wird in DE-C-42 35 766 beschrieben.
Bei der erfindungsgemäßen Vorrichtung weist die Innenelektrode der Plas­ madüse einen koaxialen Kanal auf, durch den das zu behandelnde Material, im folgenden kurz als Faser bezeichnet, hindurchläuft. Die Faser läuft folglich mittig und koaxial durch die aus der Plasmadüse austretende Plasmaflamme und kann so in einem einzigen Arbeitsgang gleichmäßig auf der gesamten Umfangsfläche behandelt werden.
Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung ergeben sich aus den Unteran­ sprüchen.
Das Verfahren eignet sich auch zur Plasmapolymerisation des Materials sowie zur Plasmabeschichtung. Im letzteren Fall wird das Beschichtungsmaterial in gasförmigem Zustand mit dem Arbeitsgas oder über gesonderte Düsen an ge­ eigneter Stelle zugeführt.
Vorzugsweise wird das Arbeitsgas im Düsenrohr verdrallt. Dadurch wird auch eine Verdrallung der aus der Plasmadüse austretenden Plasmaflamme er­ reicht, so daß das Plasma die Faser wirbelförmig umströmt und dadurch in enge Berührung mit der Oberfläche der Faser kommt.
Zumindest in den Fällen, in denen das zu behandelnde Material nicht elek­ trisch leitend ist, kann sich die Faser auf einer wesentlichen Länge frei durch das Düsenrohr erstrecken. Durch die Verdrallung des Arbeitsgases entsteht in dem Düsenrohr ein Wirbel, und der Lichtbogen der elektrischen Entla­ dung wird innerhalb des Düsenrohres in dem Wirbelkern dieses Wirbels ka­ nalisiert, so daß er sich erst am Auslaß der Düse zu der umgebenden Außene­ lektrode auffächert. Wenn das Düsenrohr von der Faser durchlaufen wird, windet sich der so kanalisierte Lichtbogen schraubenförmig um die Faser, je­ doch ohne diesen zu berühren. Auf diese Weise läßt sich auch eine thermi­ sche Behandlung der Oberfläche der Faser erreichen, deren Intensität durch Steuerung der Verdrallung des Arbeitsgases und/oder durch Zufuhr von Se­ kundärgas kontrolliert werden kann.
Bei bestimmten Materialien, insbesondere Materialien mit einer relativ rau­ hen Oberfläche wie beispielsweise Stapelfasern kann Falschluft mitgerissen werden, wenn sich die Faser mit hoher Geschwindigkeit durch den Kanal der Innenelektrode bewegt. Dieser Effekt, durch den unter Umständen die Wirkung des Plasmas oder die thermische Wirkung beeinträchtigt werden kann, läßt sich dadurch vermeiden oder mindern, daß in dem Kanal der In­ nenelektrode ein Unterdruck erzeugt wird.
Im folgenden werden Ausführungsbeispiele der Erfindung anhand der Zeich­ nungen näher erläutert.
Fig. 1 bis 3 zeigen Prinzipskizzen von Vorrichtungen zur Durch­ führung des erfindungsgemäßen Verfahrens gemäß un­ terschiedlichen Ausführungsbeispielen.
In Fig. 1 ist eine Plasmadüse 10 gezeigt, die den wesentlichen Teil einer Vorrichtung zur Plasmabehandlung einer Faser 12 bildet. Die Faser 12 kann beispielsweise direkt von einer Spinnmaschine kommen oder von einer nicht gezeigten Spule abgezogen werden und wird beispielsweise mit einer Ge­ schwindigkeit zwischen 0,05 und 25 m/s, vorzugsweise zwischen 5 und 25 m/s koaxial durch die Plasmadüse 10 hindurchgezogen. Er läuft dabei durch ein aus der Plasmadüse 10 austretendes Freiplasma 14 und wird durch die Wirkung dieses Plasmas gleichmäßig auf seinem gesamten Umfang vorbehan­ delt, beispielsweise um die Benetzbarkeit mit Flüssigkeiten zu erhöhen.
Die Plasmadüse 10 weist ein Düsenrohr 16 aus elektrisch leitendem Material auf, das zugleich eine Außenelektrode bildet und sich zu einem Auslaß 18 hin verjüngt. An das Düsenrohr 16 schließt sich stromaufwärts ein Keramikrohr 20 an, in das über einen Einlaß 22 ein Arbeitsgas, beispielsweise Luft unter Druck einleitbar ist. Im Inneren des Keramikrohres 20 ist eine Dralleinrich­ tung 24 angeordnet, die im wesentlichen durch eine Scheibe aus Metall ge­ bildet wird, die mit schraubenförmig verlaufenden Bohrungen versehen ist. Durch die Dralleinrichtung 34 wird die eingeleitete Druckluft derart ver­ drallt, daß sie innerhalb des Düsenrohres 16 einen Wirbel 26 um die durch­ laufende Faser 12 herum bildet. Eine stiftförmige Innenelektrode 28 ist elek­ trisch mit der Dralleinrichtung 24 verbunden und ragt in das Innere des Dü­ senrohres 16. Die Stiftelektrode 28 weist einen durchgehenden axialen Kanal 30 auf, in den ein Führungsrohr 32 aus Keramik eingesetzt ist. Das Führungs­ rohr 32 erstreckt sich durch die Dralleinrichtung 24 sowie durch eine den Einlaß 22 bildende Abschlußwand 34 der Plasmadüse und wird von der Faser 12 durchlaufen.
Im gezeigten Beispiel ist das Düsenrohr 16 geerdet, und an die Innenelektro­ de 28 wird mit Hilfe eines Hochfrequenzgenerators 36 eine Spannung ange­ legt. Beim Einschalten der Spannung entsteht zunächst eine Coronaentla­ dung, durch die dann eine Bogenentladung gezündet wird. Der so entstehen­ de Lichtbogen 38 wird durch die wirbelförmige Luftströmung mitgerissen und daran gehindert, direkt zur Außenelektrode überzuschlagen. So folgt der Lichtbogen 38 dem Kern des Wirbels 26. Wenn die Faser 12 nicht vorhanden wäre, würden der Wirbelkern und der Lichtbogen auf der Achse des Düsen­ rohres verlaufen. Da die wirbelförmige Strömung jedoch durch die Faser 12 gestört wird, windet sich der Lichtbogen schraubenförmig um die Faser 12. Durch die intensive Wärmestrahlung, die von dem Lichtbogen 38 ausgeht, kann so die Oberfläche der Faser 12 thermisch behandelt oder vorbehandelt werden.
Erst am Auslaß 18 des Düsenrohres fächert sich der Lichtbogen 38 auf meh­ rere Äste auf, die radial zur Außenelektrode verlaufen und dabei aufgrund der Verdrallung des Luftstromes um die Düsenachse rotieren. Im Bereich des Auslasses 18 bildet sich ein hochreaktives Heißplasma, das bei Verwendung von Luft als Arbeitsgas anhand einer blauvioletten Leuchterscheinung zu er­ kennen ist. Dieses Heißplasma bewirkt eine Aktivierung der Oberfläche der Faser 12, deren Wirkung durch die vorangehende thermische Vorbehandlung der Faser noch verstärkt wird.
Schließlich durchläuft die Faser das Freiplasma 14, das sich aufgrund der Verdrallung eng um die Faser schließt. In dieser Freiplasmazone findet die eigentliche Plasmabehandlung durch chemisch/physikalische Modifikation des Materials statt. Durch die konische Form des Düsenrohres und aufgrund einer Volumenausdehnung durch die Entstehung angeregten Plasmas wird das Plasma beschleunigt, so daß eine langgestreckte Plasmaflamme und eine entsprechend intensive Behandlung der Faser 12 erreicht wird.
Bei gegebener Konfiguration der Plasmadüse 10 kann die Wirkung und Inten­ sität der Behandlung durch Verändern der folgenden Parameter optimiert und an die Materialbeschaffenheit der Faser 12 und den jeweiligen Anwen­ dungszweck angepaßt werden: Durchlaufgeschwindigkeit der Faser, Durch­ satz und chemische Zusammensetzung des Arbeitsgases, Spannung und Am­ plitude der Hochspannung.
Darüber hinaus lassen sich spezielle Effekte durch Änderung der Düsenkonfi­ guration und/oder durch geeignete Einbauten erzielen.
Fig. 2 zeigt ein Ausführungsbeispiel, bei dem das Düsenrohr 16 von einem Außenmantel 40 umgeben ist, der sich gleichfalls zum Auslaß hin verjüngt. Über einen Einlaß 42 wird Sekundärgas, beispielsweise Luft, in den Außen­ mantel zugeführt. Der Durchsatz des Sekundärgases bildet dann einen weite­ ren Parameter, mit dem die Geometrie des Plasmas beeinflußt werden kann. Das Sekundärgas kann ggf. auch gleichsinnig oder gegensinnig zu dem primä­ ren Arbeitsgas verdrallt werden und bewirkt zugleich eine Kühlung des Dü­ senrohres 16. Gegebenenfalls kann durch geeignete chemische Zusammen­ setzung des Sekundärgases auch eine chemische Behandlung oder Beschich­ tung der Faser 12 erreicht werden.
Da sich der Querschnitt des Außenmantels 40 zum Auslaß hin verjüngt, tritt ein Teil des Sekundärgases über radiale Durchbrüche 44 in das Innere des Düsenrohres 16 ein. Hierdurch wird eine Einschnürung des Wirbels 26 im Inneren des Düsenrohres 16 erreicht, mit der Folge, daß sich auch der Licht­ bogen 28 enger um die Faser 12 windet. So kann mit Hilfe des Sekundärluft­ durchsatzes der Effekt der thermischen Vorbehandlung durch den Lichtbo­ gen 38 gezielt gesteuert werden.
Ein vergleichbarer Effekt läßt sich auch mit der Anordnung nach Fig. 3 er­ zielen, bei der das Düsenrohr 16 einen längeren konischen Abschnitt auf­ weist und in seinem oberen zylindrischen Teil, der das Keramikrohr 20 um­ gibt, einen Einlaß 42 aufweist, durch den Sekundärgas verdrallt oder unver­ drallt direkt in das Düsenrohr zugeführt werden kann.
Das Führungsrohr 32 ist bei diesem Ausführungsbeispiel stromaufwärts der Plasmadüse 10 mit einer Querleitung 46 verbunden, die von Druckluft mit hoher Geschwindigkeit durchströmt wird. Auf diese Weise wird in dem von der Faser 12 durchlaufenen Kanal des Führungsrohres 32 nach dem Strahl­ pumpenprinzip ein Unterdruck erzeugt. In dem Abschnitt des Führungsroh­ res 32 zwischen der Querleitung 46 und der Mündung in der Innenelektrode 28 bildet sich so eine Luftströmung aus, die aufwärts, also der Bewegungs­ richtung der Faser 12 entgegen gerichtet ist. Durch diese Maßnahme wird der durch die schnell durchlaufende Faser 12 verursachte Mitreißeffekt ge­ mildert oder unterdrückt, der andernfalls dazu führen würde, daß die von der Faser durch das Führungsrohr hindurch mitgerissene Luft die Strö­ mungsverhältnisse im Düsenrohr 16 ungünstig beeinflußt.
In Fig. 3 ist darüber hinaus eine Möglichkeit zur Zufuhr eines Beschich­ tungsgases zur Plasmabeschichtung der Faser 12 illustriert. Zu diesem Zweck weist das Düsenrohr 16 im Bereich seines Auslasses einen oder mehrere Zu­ führungen 48 auf, durch die das Beschichtungsgas direkt in die Heißplasma­ zone zugeführt wird.
Bei anderen Ausführungsformen kann die Zufuhr des Beschichtungsgases auch in das Freiplasma 14 erfolgen. Ebenso ist es möglich, das Beschich­ tungsgas dem Primärgas oder dem Sekundärgas zuzusetzen. Wenn auf die Er­ zeugung eines Unterdruckes in dem Führungsrohr 32 verzichtet wird, könn­ te das Beschichtungsgas auch über dieses Führungsrohr zugeführt werden.
Falls die Faser 12 aus elektrisch leitendem Material besteht oder elektrisch leitend beschichtet wird, muß verhindert werden, daß der Lichtbogen 38 di­ rekt auf die Faser überschlägt. Sofern die Faser 12 auf Erdpotential liegt, läßt sich dies etwa dadurch erreichen, daß die Innenelektrode 28 geerdet wird und statt dessen die Spannung an das Außenrohr 16 angelegt wird und und/oder das Führungsrohr 32 über die Innenelektrode 28 hinaus bis in die Heißplasmazone oder gar in das Freiplasma 14 verlängert wird.
Das beschriebene Verfahren eignet sich zur Plasmabehandlung und/oder thermischen Behandlung von stab- oder fadenförmigen Materialien, die vor­ zugsweise einen runden oder annähernd runden Querschnitt aufweisen soll­ ten. Der Durchmesser des behandelnden Materials kann bei entsprechender Konfiguration der Plasmadüse beispielsweise in der Größenordnung von 0,1 bis 10 mm liegen.

Claims (10)

1. Verfahren zur Plasmabehandlung von stab- oder fadenförmigem Material (12), dadurch gekennzeichnet, daß man das Material (12) koaxial durch eine Plasmadüse (10) hindurchlaufen läßt.
2. Verfahren nach Anspruch 1, zur Plasmabeschichtung des Materials (12), dadurch gekennzeichnet, daß man ein Beschichtungsgas in die Plasmadüse (10) oder das von ihr erzeugte Plasma (14) zuführt.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Ar­ beitsgas in der Plasmadüse (10) verdrallt wird.
4. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß man am äuße­ ren Umfang der drallförmigen Strömung des Arbeitsgases ein Sekundärgas in die Plasmadüse (10) zuführt.
5. Verfahren nach Anspruch 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, daß man in der Plasmadüse einen zur Erzeugung des Plasmas dienenden Lichtbogen (38) durch die Verdrallung des Arbeitsgases derart kanalisiert, daß er sich schrau­ benförmig um das durchlaufende Material (12) windet.
6. Verfahren nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekenn­ zeichnet, daß man das Material (12) über ein Führungsrohr (32) in die Plas­ madüse (10) einleitet und im Inneren des Führungsrohres (32) einen Unter­ druck erzeugt.
7. Vorrichtung zur Behandlung von stab- oder fadenförmigem Material (12), mit einer Plasmadüse (10), die ein eine Außenelektrode bildendes Düsenrohr (16) und eine koaxial in dem Düsenrohr angeordnete Innenelektrode (28) aufeist, gekennzeichnet durch einen koaxial in der Innenelektrode (28) aus­ gebildeten Kanal (30) durch den das Material (12) hindurchführbar ist.
8. Vorrichtung nach Anspruch 7, gekennzeichnet durch ein von außen in die Plasmadüse (10) eintretendes und mindestens bis in den Kanal (30) der Innenelektrode (28) reichendes Führungsrohr (32) für das Material (12).
9. Vorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß das Füh­ rungsrohr (32) aus elektrisch isolierendem Material besteht.
10. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 7 bis 9, gekennzeichnet durch eine Dralleinrichtung (24) zur Erzeugung einer drallförmigen Strömung des Arbeitsgases in dem Führungsrohr (16).
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US09/418,561 US6355312B1 (en) 1998-10-16 1999-10-15 Methods and apparatus for subjecting a rod-like or thread-like material to a plasma treatment

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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10331608A1 (de) * 2003-07-12 2005-01-27 Hew-Kabel/Cdt Gmbh & Co. Kg Verfahren zum Beschichten und/oder partiellen Umspritzen von flexiblem langgestrecktem Gut
DE102009004968B4 (de) * 2009-01-14 2012-09-06 Reinhausen Plasma Gmbh Strahlgenerator zur Erzeugung eines gebündelten Plasmastrahls
CN108862494A (zh) * 2017-05-11 2018-11-23 松下知识产权经营株式会社 洗涤机清洗水净化装置以及洗涤装置
CN112744370A (zh) * 2020-12-30 2021-05-04 中国航天空气动力技术研究院 一种3d打印电弧加热器旋气室
DE102021124953A1 (de) 2021-09-27 2023-03-30 Plasmatreat Gmbh Verfahren und vorrichtung zur herstellung eines glasfaserprodukts sowie glasfaserprodukt und dessen verwendung

Families Citing this family (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20040011378A1 (en) * 2001-08-23 2004-01-22 Jackson David P Surface cleaning and modification processes, methods and apparatus using physicochemically modified dense fluid sprays
DE10219197C1 (de) * 2002-04-29 2003-09-25 Fh Hildesheim Holzminden Goe Verfahren und Vorrichtung zur Behandlung der Oberflächen eines Metalldrahts, insbesondere als Beschichtungsvorbehandlung
US20060172081A1 (en) * 2005-02-02 2006-08-03 Patrick Flinn Apparatus and method for plasma treating and dispensing an adhesive/sealant onto a part
US7547861B2 (en) * 2006-06-09 2009-06-16 Morten Jorgensen Vortex generator for plasma treatment
US20070284342A1 (en) * 2006-06-09 2007-12-13 Morten Jorgensen Plasma treatment method and apparatus
DE102007043333B4 (de) 2007-09-12 2011-05-05 Maschinenfabrik Reinhausen Gmbh Verfahren zur Behandlung und Untersuchung von Bauteilen
CH700049A2 (fr) 2008-12-09 2010-06-15 Advanced Machines Sarl Procédé et dispositif de génération d'un flux de plasma.
DK2209354T3 (da) * 2009-01-14 2014-07-14 Reinhausen Plasma Gmbh Strålegenerator til generering af en koncentreret plasmastråle
DE102009015510B4 (de) * 2009-04-02 2012-09-27 Reinhausen Plasma Gmbh Verfahren und Strahlgenerator zur Erzeugung eines gebündelten Plasmastrahls
US8790584B2 (en) 2009-11-06 2014-07-29 Korea Institute Of Industrial Technology System for refining UMG Si using steam plasma torch
US20110121108A1 (en) * 2009-11-24 2011-05-26 Stephan Rodewald Plasma polymerization nozzle
DE102012104224A1 (de) 2012-05-15 2013-11-21 Plasmatreat Gmbh Vorrichtung und Verfahren zur Behandlung eines Drahts aus leitfähigem Material
FR2998440B1 (fr) * 2012-11-19 2022-03-11 Abenz 81 40 Procede et dispositif de traitement de matiere fragmentee par flux de plasma reactif a pression atmospherique
DE102013200062A1 (de) * 2013-01-04 2014-07-10 Ford-Werke Gmbh Vorrichtung zum thermischen Beschichten einer Oberfläche
WO2014191012A1 (de) 2013-05-27 2014-12-04 Plasmatreat Gmbh Vorrichtung und verfahren zur behandlung eines drahts aus leitfähigem material
CN110178449B (zh) * 2016-12-23 2021-07-23 等离子体处理有限公司 喷嘴组件和用于制造大气等离子体射流的装置
JP6817595B2 (ja) * 2017-12-08 2021-01-20 パナソニックIpマネジメント株式会社 液体処理装置
ES2952997T3 (es) 2018-06-22 2023-11-07 Molecular Plasma Group Sa Método y aparato mejorados para la deposición de revestimiento por chorro de plasma a presión atmosférica sobre un sustrato
KR102227464B1 (ko) * 2020-08-03 2021-03-12 한국핵융합에너지연구원 질소산화물을 제어하는 방법 및 장치, 그리고 질소산화물 함유 수 제조 방법
CN114192090B (zh) * 2021-12-01 2023-08-25 中国科学院合肥物质科学研究院 一种基于直流电弧等离子体炬制备氧化锆的装置

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4114474A1 (de) * 1990-05-17 1991-11-21 Gen Electric Verfahren zur plasmaspritz-abscheidung im unteren radiofrequenzbereich
DE4235766C1 (de) * 1992-10-24 1994-05-05 Agrodyn Hochspannungstechnik G Koronagenerator
JPH08124697A (ja) * 1994-10-20 1996-05-17 Nippon Steel Corp プラズマトーチ
EP0761415A2 (de) * 1995-09-01 1997-03-12 Agrodyn Hochspannungstechnik GmbH Verfahren und Vorrichtung zur Oberflächen-Vorbehandlung von Werkstücken

Family Cites Families (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR1350055A (fr) * 1962-12-11 1964-01-24 Centre Nat Rech Scient Perfectionnements à l'injection des gaz dans les chalumeaux à plasma
US3211886A (en) * 1963-05-06 1965-10-12 Gen Electric Arc-cleaning and arc-plasma generating apparatus
DE1919052A1 (de) * 1969-04-15 1970-10-22 Erdmann Jesnitzer Dr Ing Habil Verfahren zur Vorwaermung beim Drahtziehen sowie die Rueckbildung des kaltverformten Zustandes von gezogenem Draht
GB2144343A (en) * 1983-08-02 1985-03-06 Standard Telephones Cables Ltd Optical fibre manufacture
EP0142083A3 (de) * 1983-11-11 1987-04-29 Hoesch Aktiengesellschaft Verfahren und Einrichtung zum Herstellen metallischer Überzüge
JPS6261010A (ja) * 1985-09-12 1987-03-17 Kokusai Denshin Denwa Co Ltd <Kdd> 光ファイバの融着接続方法
US4869936A (en) * 1987-12-28 1989-09-26 Amoco Corporation Apparatus and process for producing high density thermal spray coatings
US5144110A (en) * 1988-11-04 1992-09-01 Marantz Daniel Richard Plasma spray gun and method of use
US5053246A (en) * 1990-03-30 1991-10-01 The Goodyear Tire & Rubber Company Process for the surface treatment of polymers for reinforcement-to-rubber adhesion
US5114738A (en) * 1990-07-20 1992-05-19 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army Direct optical fiber glass formation techniques using chemically and/or physically removable filamentary substrates
CA2089883C (fr) * 1990-08-22 2001-05-01 Franck Callebert Traitement de fibres textiles, dispositifs et produits obtenus
US5108780A (en) * 1991-01-28 1992-04-28 Brigham Young University Enhanced thermoplastic adhesion to fibers by using plasma discharge
DE4211167A1 (de) * 1992-03-31 1993-10-07 Thaelmann Schwermaschbau Veb Verfahren und Vorrichtung zur kontinuierlichen thermischen Oberflächenbehandlung stab- bzw. strangförmiger Materialien mit metallischer Oberfläche
US5296670A (en) * 1992-12-31 1994-03-22 Osram Sylvania Inc. DC plasma arc generator with erosion control and method of operation
US5393955A (en) * 1993-01-14 1995-02-28 Simmons; Walter N. Preparation of fullerenes and apparatus therefor
US5734144A (en) * 1993-03-26 1998-03-31 Kabushiki Kaisha Komatsu Seisakusho Plasma arc welding method and apparatus in which a swirling flow is imparted to a plasma gas to stabilize a plasma arc
US6080954A (en) * 1996-12-27 2000-06-27 Neturen Co., Ltd Heat treatment method and apparatus using thermal plasma, and heat treated substance produced thereby
DE19742442B4 (de) * 1997-09-26 2005-07-07 Raantec Gmbh & Co. Kg Vorrichtung zum Verschweißen von Kunststoff-Folien

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4114474A1 (de) * 1990-05-17 1991-11-21 Gen Electric Verfahren zur plasmaspritz-abscheidung im unteren radiofrequenzbereich
DE4235766C1 (de) * 1992-10-24 1994-05-05 Agrodyn Hochspannungstechnik G Koronagenerator
JPH08124697A (ja) * 1994-10-20 1996-05-17 Nippon Steel Corp プラズマトーチ
EP0761415A2 (de) * 1995-09-01 1997-03-12 Agrodyn Hochspannungstechnik GmbH Verfahren und Vorrichtung zur Oberflächen-Vorbehandlung von Werkstücken

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10331608A1 (de) * 2003-07-12 2005-01-27 Hew-Kabel/Cdt Gmbh & Co. Kg Verfahren zum Beschichten und/oder partiellen Umspritzen von flexiblem langgestrecktem Gut
DE102009004968B4 (de) * 2009-01-14 2012-09-06 Reinhausen Plasma Gmbh Strahlgenerator zur Erzeugung eines gebündelten Plasmastrahls
CN108862494A (zh) * 2017-05-11 2018-11-23 松下知识产权经营株式会社 洗涤机清洗水净化装置以及洗涤装置
CN108862494B (zh) * 2017-05-11 2021-08-03 松下知识产权经营株式会社 洗涤机清洗水净化装置以及洗涤装置
CN112744370A (zh) * 2020-12-30 2021-05-04 中国航天空气动力技术研究院 一种3d打印电弧加热器旋气室
DE102021124953A1 (de) 2021-09-27 2023-03-30 Plasmatreat Gmbh Verfahren und vorrichtung zur herstellung eines glasfaserprodukts sowie glasfaserprodukt und dessen verwendung

Also Published As

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