DE19839753A1 - Staubdichtes Gewebe für Halbleitereinräume und Verfahren zu seiner Herstellung - Google Patents

Staubdichtes Gewebe für Halbleitereinräume und Verfahren zu seiner Herstellung

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Description

Gebiet der Erfindung
Die vorliegende Erfindung betrifft ein staubdichtes Gewebe für Halbleiterreinräume und ein Herstellungsverfahren für dieses Gewebe. Sie betrifft insbesondere ein staubdichtes Gewebe für Reinräume zur Herstellung von Halbleiterbauelementen und ein Herstellungsverfahren für ein solches Gewebe. Durch Übereinanderanordnen eines hydrophilen Polyurethanharzfilmes, eines sehr dichten Polyestergewebes und eines gewirkten Gewebes oder eines Gewirkes ergeben sich ausgezeichnete Staubschutzeigenschaften und ein hoher Tragekomfort.
Beschreibung des Standes der Technik
Reinräume werden zunehmend häufiger auf einer ganzen Reihe von Gebieten eingesetzt. In Reinräumen zur Herstellung von Halbleiterbauelementen werden hohe Anforderungen an die Sauberkeit gestellt. Das Gewebe für Reinraumarbeitskittel, die in Reinräume gebracht und dort verwendet werden, muß sorgfältig gestaltet und hergestellt werden, um das Risiko einer Verunreinigung durch Staub oder durch Feuchtigkeit auszuschließen, die von dem Körper eines Arbeiters selbst erzeugt werden (und nachstehend als "Teilchen" bezeichnet werden).
In den Anfängen der Herstellungsverfahren für Halbleiterbauelemente, als noch nicht so hoch integrierte Halbleiterbauelemente hergestellt wurden und die Sauberkeit der Reinräume bei einer Staubklasse zwischen 10 und 100 k lag, wurde als Gewebe zur Herstellung von Arbeitskitteln normales Nylon- oder Polyestertaft verwendet.
Da die Herstellungsverfahren für Halbleiterbauelemente jedoch empfindlicher auf die Reinraumumgebungen, wie z. B. Verunreinigungen, elektrostatische Probleme usw., reagieren, wird als Gewebe zur Herstellung von Reinraumarbeitskitteln ein leitendes Polyestergewebe verwendet.
Mit zunehmender Integration von Halbleiterbauelementen, wie z. B. 64 M DRAM, 256 M DRAM, usw., wurde in jüngster Zeit das Gewebematerial für Reinraumarbeitskittel sehr weit entwickelt, wobei die kritischen Abmessungen im Submicronbereich liegen und die Reinräume sauberer sein sollten als dies der Staubklasse 10 k entspricht.
Das herkömmliche Nylontaft oder Polyestertaft reicht nicht aus, um eine Verunreinigung durch Feuchtigkeit oder durch feine Teilchen vom Körper eines Arbeiters zu verhindern, da ihre durch die Webketten und Einschüsse bestimmte Porösität selbst bei Verwendung von ultrafeinen Endlosfäden oder Filamenten sehr hoch ist. Zur Lösung dieses Problems wurde das Gewebe mit einer feuchtigkeitsdurchlässigen, wasserdichten, wasserabweisenden Beschichtung oder einem Laminat aus einem Polyurethanharz oder einem Fluorharz versehen. Ein Teil eines auf die oben beschriebene Art und Weise behandelten Gewebes ist in Fig. 1 dargestellt. Das Produkt wird von DuPont in den Vereinigten Staaten unter dem Handelsnamen Goretex hergestellt.
Das in Fig. 1 dargestellte genannte Gewebe, das feuchtigkeitsdurchlässig, wasserdicht und staubdicht ist, wird durch Beschichten eines Polyestergewebes 3 mit einem Film 1 aus einem Polyurethan und/oder Fluorharz hergestellt, wobei in dem Gewebe 3 ein leitendes Garn 2 ausgerichtet ist. Wie in Fig. 2 zu erkennen ist, können die vom Körper erzeugten Teilchen bzw. Partikel den aufgebrachten Harzfilm 1 nicht passieren, während Feuchtigkeitsteilchen bzw. Partikel durch feine Poren des Harzgefüges aus dem Gewebe austreten können, so daß dieses feuchtigkeitsdurchlässig ist. Relativ große Wassermoleküle können jedoch die in der Beschichtungsschicht 15 ausgebildeten Poren (oder Luftporen) nicht durchdringen, so daß die Feuchtigkeitsdurchlässigkeit abnimmt und der Tragekomfort geringer wird. Der Tragekomfort wird noch nachteiliger beeinflußt, wenn die Harzdeckschicht 1, 15 auf der Innenseite des Gewebes angebracht wird, da die Haut dann in direktem Kontakt mit dem wasserdichten Material steht.
Zusammenfassung der Erfindung
Die vorliegende Erfindung betrifft die Schaffung eines staubdichten Gewebes für Reinräume zur Herstellung von Halbleiterbauelementen mit verbesserten Staubschutzeigenschaften, durch das eines oder mehrere der auf die Beschränkungen und Nachteile des Standes der Technik zurückzuführenden Probleme gelöst wird.
Eine andere Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht in der Schaffung eines staubdichten Gewebes mit einer verbesserten Wasserdurchlässigkeit und einem größeren Tragekomfort.
Zum Erreichen dieser und anderer Vorteile umfaßt das erfindungsgemäße staubdichte Gewebe für Reinräume:
eine aus einem gewirkten Gewebe oder einem Gewirke bestehende Innenschicht;
eine auf der Innenschicht angebrachte Zwischenschicht aus einem stark feuchtigkeitsabsorbierenden Film aus einem nicht mikroporösen Polyurethanharz; und
eine auf der Zwischenschicht angebrachte Außenschicht aus einem sehr dichten Polyestergewebe mit Webketten und Einschüssen oder Einschußfäden aus einem leitenden Garn, die in einem geringen Abstand zueinander ausgerichtet sind.
Das Gewirke der Innenschicht besteht vorzugsweise aus einem kettengewebten Nylontrikotgewebe mit einer guten Festigkeit und Elastizität, das vorzugsweise eine Smith-Struktur besitzt.
Die Zwischenschicht und die Innenschicht werden vorzugsweise durch ein Punktverbindungs- oder Punktbondverfahren miteinander verbunden, wobei vorzugsweise ein Schmelzkleber zum Verbinden der zwei Schichten verwendet wird.
Die Zwischenschicht und die Außenschicht werden durch ein Punktklebe- oder Punktbondverfahren oder durch einen dünnen Klebefilm aus Klebstoff miteinander verbunden.
Das Polyestergewebe hoher Dichte der Außenschicht besteht aus einem ultrafeinen Garn mit 0,1 Denier (filament denier) oder weniger, das durch konjugiertes Verspinnen nach dem Seeverfahren bzw. sea-type, dem Inselverfahren bzw. island-type oder dem Separations- oder Trennverfahren bzw. separation-type hergestellt wird.
Zusätzlich hierzu wird für das sehr dichte Polyestergewebe der Außenschicht vorzugsweise eine 2/1-Körperstruktur oder Twillstruktur verwendet, damit man ein sehr dichtes Gewebe mit guten Elastizitätseigenschaften erhält, wobei man insbesondere eine Fischgrätenkörperstruktur oder -twillstruktur verwendet.
Ein Verfahren zur Herstellung eines staubdichten Gewebes für Halbleiterreinräume umfaßt die folgenden Verfahrensschritte:
  • a) Herstellen eines Gewebes als Außenschicht durch Weben von Webketten und Einschußfäden oder Einschüssen aus einem herkömmlichen Polyestergarn mit einer auf die Länge bezogene Masse im Bereich zwischen 50 und 100 Denier, das ein leitendes Garn mit einer auf die Länge bezogenen Masse zwischen 15 und 30 Denier umfaßt, das in einem bestimmten Abstand entlang der Webkettenrichtung und Einschußrichtung ausgerichtet ist, wobei die Webkettendichte 140 bis 170 pro Zoll beträgt, während die Einschußfadendichte 90 bis 130 pro Zoll beträgt; Einfärben des Gewebes mit weißer Farbe; Trocknen und Wärmestabilisieren oder Thermofixieren durch ein übliches Trocknungs- und Nachbehandlungsverfahren für Polyestergewebe;
  • b) Beschichten eines Ablöse- oder Releasepapiers mit einem stark feuchtigkeitsabsorbierenden nicht porösen Polyurethanharz als Oberflächenschicht oder Außenschicht, Anbringen des in dem ersten Verfahrensschritt hergestellten Gewebes auf dem Releasepapier durch eine Klebeschicht und Wärmestabilisieren oder Thermofixieren bei einer Temperatur zwischen 100 und 130°C für 10 bis 30 Minuten zur vollständigen Durchführung der Übertragungs- oder Transferbeschichtung;
  • c) Alternlassen der verbundenen Schichten bei einer Temperatur zwischen 50 und 80°C für mehr als 15 Stunden, so daß in der Außenschicht aus Polyurethanharz ausreichend viele Brückenreaktionen stattfinden und Abnehmen des Ablöse- oder Releasepapiers; und
  • d) Anbringen eines Nylongewirkes auf der Polyurethandeckschicht und Alternlassen bei einer Temperatur zwischen 50 und 80°C für mehr als 15 Stunden.
Bei dem für den ersten Verfahrensschritt zum Weben verwendeten Polyestergarn kann es sich um ein streckgezwirntes Garn handeln. Zusätzlich hierzu kann nach dem Trocknen des sehr dichten Gewebes der Außenschicht bei dem ersten Verfahrensschritt eine antistatische Nachbehandlung erfolgen.
Es sei bemerkt, daß sowohl die obige allgemeine Beschreibung als auch die folgende ausführliche Beschreibung lediglich beispielhaft sind und zur näheren Erläuterung der beanspruchten Erfindung dienen.
Kurze Beschreibung der Zeichnungen
In den zugehörigen Zeichnungen zeigen:
Fig. 1 eine schematische Darstellung der schichtförmigen Struktur eines herkömmlichen staubdichten Gewebes für Reinräume zur Herstellung von Halbleiterbauelementen;
Fig. 2 in schematischer Darstellung einen Querschnitt durch die Deckschicht eines herkömmlichen staubdichten Gewebes für Reinräume zur Herstellung von Halbleiterbauelementen, wobei das Austreten von Feuchtigkeitsmolekülen durch die Deckschicht zu erkennen ist;
Fig. 3 in schematischer Darstellung die schichtförmige Struktur eines erfindungsgemäßen staubdichten Gewebes für Reinräume zur Halbleiterherstellung;
Fig. 4 den Arbeitsablauf bei dem erfindungsgemäßen Verfahren zur Herstellung von staubdichtem Gewebe; und
Fig. 5 in schematischer Darstellung einen Querschnitt durch die Deckschicht des staubdichten Gewebes für Reinräume zur Herstellung von Halbleiterbauelementen, wobei das Austreten von Feuchtigkeitsmolekülen durch die erfindungsgemäße Deckschicht zu erkennen ist.
Ausführliche Beschreibung bevorzugter Ausführungsbeispiele
Nachstehend werden ausführlich bevorzugte Ausführungsbeispiele beschrieben, die in den zugehörigen Zeichnungen dargestellt sind.
Fig. 3 zeigt in schematischer Darstellung die schichtförmige Struktur oder den schichtförmigen Aufbau eines erfindungsgemäßen staubdichten Gewebes für Reinräume zur Herstellung von Halbleiterbauelementen. Fig. 3 zeigt zudem die Anordnung der mehrteiligen Struktur des Gewebes sowie seine Staubschutzeigenschaften und seine Wasserdurchlässigkeit.
Die Außenschicht 101 des in Fig. 3 dargestellten staubdichten Gewebes besteht aus einem sehr dichten Polyestergewebe mit einem leitenden Garn 104, das in Kettenrichtung und in Einschußrichtung so ausgerichtet ist, daß es etwas zueinander beabstandet ist. Die Außenschicht 101 besteht aus einem sehr dichten Gewebe mit einer Webdichte T im Bereich zwischen 230 und 300 (T ist eine in der Industrie üblicherweise verwendete Maßzahl für die Dichte einer fasrigen Gewebestruktur. T wird aus der Summe der Anzahl an Filamenten oder Endlosfäden pro Zoll in Kettenrichtung und in Einschußrichtung berechnet). Das obenbeschriebene sehr dichte Gewebe besitzt eine gute Staubdichtigkeit, da es eine geringe Porösität und einen niedrigen Strukturpunkt (structure point) besitzt.
Als leitendes Garn 104 in der Außenschicht des sehr dichten erfindungsgemäßen Gewebes können mehrere Garnarten verwendet werden. So kann man beispielsweise die Filamentoberfläche mit Kohlenstoff überziehen oder man kann durch konjugiertes Verspinnen Kohlenstoff in das Filamentgarn einführen, usw. Der Ausrichtungsabstand des leitenden Garns 104 in der Außenschicht liegt im Bereich zwischen 0,3 und 1 cm, der im Hinblick auf die Webeffizienz und das Leitfähigkeitsverhalten zu bevorzugen ist.
Das Gewebe besteht aus einem Garn mit einer auf die Länge bezogenen Masse zwischen 50 und 100 Denier, während das leitende Garn aus einem Garn mit einer auf die Länge bezogenen Masse zwischen 50 und 300 Denier besteht, das insbesondere im Hinblick auf die Leitfähigkeitseigenschaften und die Webeffizienz zu bevorzugen ist. Die Webketten und die Einschüsse des Gewebes bestehen aus einem für Textilzwecke ausreichenden Filamentgarn.
Das Polyestergewebe besitzt vorzugsweise eine 2/1-Körperstruktur oder Twillstruktur, insbesondere einen Fischgrätentwill oder einen Fischgrätenkörper, der durch eine hohe Elastizität und eine hohe Dichte gekennzeichnet ist.
Eine Zwischenschicht 102 unter der Außenschicht 101 besteht aus einem stark feuchtigkeitsabsorbierenden Film aus einem nicht mikroporösen Polyurethanharz, das vorzugsweise Estergruppen oder Äthergruppen umfaßt. Zwischen der Außenschicht 101 und der Zwischenschicht 102 ist eine Klebeschicht angeordnet, die so dünn wie möglich sein sollte, um eine Abnahme der Wasserdurchlässigkeit aufgrund einer dicken Klebeschicht zu verhindern. Es sollte ein Punktklebe- oder Punktbondverfahren verwendet werden.
Die Feuchtigkeit oder der Schweiß eines menschlichen Körpers durchdringt demgemäß das Gewirke der Innenschicht 103 und wird durch den sehr dichten Film aus Polyurethanharz absorbiert. Die Feuchtigkeit oder der Schweiß wird nun beim Passieren des Polyurethanharzfilms in Dampfmoleküle umgewandelt, die fein genug sind, daß sie nicht als Verunreinigungsquellen bei einem Herstellungsverfahren für Halbleiterbauelemente wirken (0,001 µm oder weniger). Sie treten aus der Außenschicht 101 in die Atmosphäre aus. Die feinen Teilchen werden somit daran gehindert, das Gewebe zu durchdringen, so daß der Tragekomfort gesteigert wird.
Das Gewirke der Innenschicht 103 und die Zwischenschicht 102 werden im Hinblick auf die Beweglichkeit vorzugsweise durch ein Punktklebe- oder Punktbondverfahren miteinander verbunden, da die Innenschicht 103 direkt auf der Haut des menschlichen Körpers aufliegt. Als Klebstoff zum Verbinden kann ein Heißkleber verwendet werden.
Fig. 4 zeigt die Arbeitsschritte bei der Herstellung eines erfindungsgemäßen staubdichten Gewebes für Halbleiterreinräume. Wie in Fig. 4 zu erkennen ist, wird zur Herstellung eines staubdichten Gewebes zunächst als Außenschicht ein sehr dichtes Polyestergewebe hergestellt. Zudem wird durch ein Transfer- oder Übertragungsbeschichtungsverfahren unter Verwendung eines Ablöse- oder Releasepapiers als Zwischenschicht ein stark feuchtigkeitsabsorbierend er Polyurethanharzfilm hergestellt. Nach dem Aufkleben der Außenschicht auf die Zwischenschicht wird nun zur Vervollständigung als Innenschicht ein Gewirke auf der Zwischenschicht angebracht.
Das erfindungsgemäße Verfahren zur Herstellung eines staubdichten Gewebes für Halbleiterreinräume umfaßt die folgenden Verfahrensschritte:
Herstellung eines sehr dichten Polyestergewebes als Außenschicht durch Weben, Reinigen, Färben und Thermofixieren (1. Schritt);
Beschichten eines Ablöse- oder Releasepapiers mit einem als Zwischenschicht dienenden stark feuchtigkeitsabsorbierenden Polyurethanharzfilm als Oberflächenschicht, Ankleben oder Anbringen des sehr dichten Polyestergewebes auf der Zwischenschicht und Durchführen einer Wärmestabilisierung oder Thermofixierung (2. Schritt);
Abnehmen des Ablöse- oder Releasepapiers nach dem Alternlassen der miteinander verbundenen Außenschicht und Zwischenschicht (3. Schritt); und
Anbringen eines Gewirkes auf der Zwischenschicht und Alternlassen der miteinander verbundenen Schichten (4. Schritt).
Der Webvorgang bei dem ersten Verfahrensschritt erfolgt unter Verwendung einer herkömmlichen Wasserstrahlwebmaschine. Es wird vorzugsweise eine Körper- oder Twillstruktur verwendet, um die Gewebedichte und die Elastizität des Gewebes zu erhöhen. Insbesondere wird eine 2/1-Körperstruktur oder Twillstruktur, vorzugsweise ein Fischgrätentwill verwendet, um sowohl die Strukturfestigkeit des Gewebes als auch seine Elastizität zu erhalten.
Da das für die das Polyestergewebe bildenden Webketten und Schußfäden verwendete herkömmliche Polyestergarn und das leitende Garn unterschiedliche auf die Länge bezogene Massen besitzen und da auch ihre Festigkeit und die Dehnung unterschiedlich sind, sollte beim Weben die Spannung der Webketten und der Einschüsse oder Schußfäden gesteuert werden. Bei dem erfindungsgemäßen Gewebe liegt die Webkettendichte im Bereich zwischen 140 und 170 pro Zoll, während die Dichte der Schußfäden 90 bis 130 pro Zoll beträgt. Durch Aufsummation dieser Werte ergibt sich, daß es sich um ein sehr dichtes Gewebe mit einer Dichte zwischen 230 und 300 T handelt. Zusätzlich hierzu liegt die auf die Länge bezogene Masse des Polyestergarns zwischen 50 und 100 Denier, während die auf die Länge bezogene Masse des leitfähigen Garns 15 bis 30 Denier beträgt. Diese Garne besitzen gute Web- und Trageeigenschaften. Für das Reinigen, das Färben und das Trocknen eignet sich übliche Verarbeitungsverfahren für herkömmliche Polyestergewebe.
Zur Verbesserung der Elastizität und des Anhaftens an der Harzschicht kann man als herkömmliches Polyestergarn ein streckgezwirntes Garn verwenden. Zur Minimierung des Entstehens von statischer Elektrizität kann nach dem Einfärben auch eine antistatische Nachbehandlung erfolgen.
Bei dem im zweiten Verfahrensschritt aufgebrachten Polyurethan handelt es sich um ein stark feuchtigkeitsabsorbierendes nicht mikroporöses Polyurethanharz.
Es werden insbesondere Polyurethanharze mit hydrophilen Ester- oder Äthergruppen verwendet. Zusätzlich hierzu ist auch eine herkömmliche Transferbeschichtungsvorrichtung als Beschichtungsvorrichtung verwendbar.
Bei dem dritten Verfahrensschritt läßt man die verbundenen Schichten vorzugsweise bei einer Temperatur zwischen 50 und 80°C für mehr als 15 Stunden ausreichend stark altern, so daß in dem Polyurethanharzfilm ausreichend viele Brückenreaktionen stattfinden.
Bei dem vierten Verfahrensschritt sollte das Altern vorzugsweise bei einer Temperatur zwischen 50 und 80°C für mehr als 15 Stunden erfolgen. Das Verbinden der Schichten erfolgt vorzugsweise durch ein Punktklebe- oder Punktbondverfahren, um den sich letztendlich ergebenden Produkten eine ausreichende Beweglichkeit zu verleihen.
Fig. 5 zeigt in einer schematischen Darstellung einen Schnitt durch die Deckschicht eines staubdichten Gewebes für Reinräume zur Herstellung von Halbleiterbauelementen. Wie zu erkennen ist, treten Feuchtigkeitsmoleküle durch die erfindungsgemäße Deckschicht aus. Im Gegensatz zum Stand der Technik, bei dem Wasserteilchen durch feine Luftporen austreten, werden Dampfteilchen 12 auf der Deckschicht 13 absorbiert, diffundieren in Richtung auf die Außenseite und treten dort als Dampfmoleküle 11 aus. Verunreinigungsteilchen treten somit erst aus nachdem sie feiner geworden sind, so daß das Austreten von Verunreinigungen nicht aufgrund einer Verstopfung der Poren verhindert wird.
Nachstehend wird die vorliegende Erfindung anhand eines Ausführungsbeispiels beschrieben. Es sei bemerkt, daß das Ausführungsbeispiel lediglich zur Veranschaulichung dient und keinerlei Beschränkung darstellt.
Ausführungsbeispiel
Ein als Außenschicht verwendetes sehr dichtes Gewebe wurde unter Verwendung eines Wasserstrahlwebgerätes hergestellt, wobei der Abstand zwischen den leitenden Garnen sowohl in Webkettenrichtung als auch in Einschußrichtung 0,6 cm betrug. Bei den Endlosgarnen oder Filamentgarnen für die Webketten und die Einschüsse handelte es sich um Endlos- oder Filamentpolyestergarne mit einer auf die Länge bezogenen Masse von jeweils 70 Denier, wobei die auf die Länge bezogene Masse des leitenden Garns 20 Denier betrug. Die Webdichte betrug 165 × 115. Das Gewebe wurde als 2/1-Körper oder 2½-Twill ausgebildet.
Das Ausgangsgewebe wurde bei einer Temperatur von 90°C mit 60 mpm in einer nachgeschalteten Reinigungsvorrichtung gereinigt, unter Verwendung einer Ringfärbemaschine weiß gefärbt und in einer Spannvorrichtung bei einer Temperatur von 140°C mit 60 m/min wärmestabilisiert oder thermofixiert, so daß sich ein sehr dichtes Gewebe für eine Außenschicht ergab.
Ein flaches Ablöse- oder Releasepapier wurde bei einer Temperatur zwischen 110 und 120°C mit 20 m/min unter Verwendung einer nachgeschalteten Beschichtungsvorrichtung mit einem stark feuchtigkeitsabsorbierenden Film aus einem nicht mikroporösen Polyurethanharz mit Estergruppen beschichtet. Dieser Film wurde wiederum mit einem Klebstoff beschichtet. Das obenbeschriebene sehr dichte Gewebe wurde auf die Klebeschicht aufgeklebt und zwischen Rollen zusammengepreßt, bevor man es bei einer Temperatur von 60°C für 24 Stunden einem Alterungsvorgang unterwarf, damit ausreichend viele Brückenreaktionen der Polyurethanharzmoleküle auftreten konnten.
Anschließend wurde das Ablöse- oder Releasepapier entfernt und es wurde durch ein Punktklebe- oder Punktbondverfahren auf die von dem Papier freigegebene Oberfläche ein aus einem Wirkgewebe bestehendes Nylontrikot mit einer Smith-Struktur aufgeklebt. Anschließend erfolgte bei einer Temperatur zwischen 60 und 70°C für 24 Stunden ein Alterungsvorgang.
Damit war die Herstellung des erfindungsgemäßen Gewebes für Halbleiterreinräume beendet.
Die folgende Tabelle zeigt die erhaltenen Ergebnisse für einen Leistungsvergleich zwischen dem erfindungsgemäßen staubdichten Gewebe und einem Gewebe nach dem Stand der Technik mit einer Doppelschichtanordnung, die eine Deckschicht aus einem mikroporösen Polyurethanharz und ein Polyestergewebe umfaßt.
Tabelle
Die Feuchtigkeitsdurchlässigkeit in der obigen Tabelle wurde durch das Kaliumacetatverfahren gemäß dem KSK 0594 Standard bestimmt, während die Luftdurchlässigkeit durch das Frazierverfahren gemäß KSK 0570 bestimmt wurde.
Ein aus einem erfindungsgemäßen staubdichten Gewebe hergestellter Reinraumarbeitskittel ist im wesentlichen so gut, daß er für Reinräume zur Herstellung hochintegrierter Halbleiterbauelemente geeignet ist, in denen die Sauberkeit für Teilchen mit einer Größe zwischen 0,1 und 0,001 µm auf einem Pegel gehalten werden sollte, der niedriger ist als die Staubklasse 10.
Der erfindungsgemäße Reinraumarbeitskittel bietet einen hohen Tragekomfort, da die von einem menschlichen Körper erzeugte Feuchtigkeit einfach abgegeben wird. Die Staubschutzeigenschaften des Arbeitskittels sind stark verbessert, da das Gewebe für den Reinraumarbeitskittel durch Beschichtung eines ein leitendes Garn umfassenden sehr dichten Gewebes mit einem stark feuchtigkeitsabsorbierenden Polyurethanharzfilm hergestellt wird. Zudem erfolgt eine antistatische Behandlung des Gewebes und eine Koronaentladung durch das leitende Garn.
Zusätzlich hierzu lassen sich ultrafeine Teilchen mit einem Durchmesser zwischen 0,001 und 0,1 µm, die von dem menschlichen Körper erzeugt werden, durch den erfindungsgemäßen stark feuchtigkeitsabsorbierenden Polyurethanfilm als Zwischenschicht unter einem sehr dichten Gewebe vermeiden.
Obgleich die vorliegende Erfindung ausführlich beschrieben wurde, sei bemerkt, daß auch zahlreiche Veränderungen und Abänderungen durchgeführt werden können, die von dem Erfindungsgedanken erfaßt werden und den Schutzbereich der zugehörigen Ansprüche fallen.

Claims (11)

1. Staubdichtes Gewebe für Halbleiterreinräume mit:
einer aus einem Gewirk bestehenden Innenschicht;
einer an der Innenschicht angebrachten Zwischenschicht, die aus einem stark feuchtigkeitsabsorbierenden Film aus einem nicht mikroporösen Polyurethanharz besteht; und mit
einer an der Zwischenschicht angebrachten Außenschicht, die aus einem sehr dichten Polyestergewebe besteht, das Ketten und
Einschüsse eines leitenden Garns umfaßt, die so ausgerichtet sind, daß sie etwas bzw. gering zueinander beabstandet sind.
2. Staubdichtes Gewebe nach Anspruch 1, wobei das Gewirke der Innenschicht aus einem kettengewirkten Nylontrikotgewebe mit einer guten Festigkeit und Elastizität besteht.
3. Staubdichtes Gewebe nach Anspruch 1, wobei die Zwischenschicht und die Innenschicht durch ein Punktklebe- oder Punktbondverfahren verbunden sind.
4. Staubdichtes Gewebe nach Anspruch 1, wobei die Zwischenschicht und die Außenschicht mittels eines dünnen Abdeckfilms aus Klebstoff durch ein Punktklebe- oder Punktbondverfahren verbunden sind.
5. Staubdichtes Gewebe nach Anspruch 1, wobei das sehr dichte Polyestergewebe durch konjugiertes Verspinnen nach dem Seeverfahren, dem Inselverfahren oder dem Separations- oder Trennverfahren aus einem ultrafeinen Garn mit einer auf die Länge bezogenen Masse von 0,1 Denier gebildet wird.
6. Staubdichtes Gewebe nach Anspruch 1, wobei das stark feuchtigkeitsabsorbierende Polyurethanharz Äthergruppen oder Estergruppen umfaßt.
7. Staubdichtes Gewebe nach Anspruch 1, wobei das sehr dichte Polyestergewebe eine Körper- oder Twillstruktur besitzt.
8. Verfahren zur Herstellung eines staubdichten Gewebes für Halbleiterreinräume mit folgenden Verfahrensschritten:
  • a) Herstellen eines Gewebes als Außenschicht durch Weben eines normalen Polyestergarns mit einer auf die Länge bezogenen Masse im Bereich zwischen 50 und 100 Denier mit Webketten und Schußfäden oder Einschüssen, wobei das Gewebe ein leitendes Garn mit einer auf die Länge bezogenen Masse im Bereich zwischen 15 und 30 Denier umfaßt, das entlang der Webkettenrichtung und der Einschußrichtung in einem bestimmten Abstand zueinander ausgerichtet ist; Weben einer sehr dichten 2/1-Twillstruktur mit einer Webkettendichte von 140 bis 170 pro Zoll und einer Einschußdichte von 90 bis 130 pro Zoll; und Einfärben des Gewebes mit einer weißen Farbe und anschließend es Trocknen und Thermofixieren durch ein herkömmliches Einfärbungs- und Endbearbeitungsverfahren für Polyesterfilamentgewebe;
  • b) Beschichten eines Ablöse- oder Releasepapiers mit einem nicht mikroporösen stark feuchtigkeitsabsorbierenden Polyurethanharz mit Estergruppen als Oberflächenschicht; Anbringen des in dem ersten Verfahrensschritt als Außenschicht hergestellten Gewebes durch eine Klebeschicht und Heißtrocknen bei einer Temperatur zwischen 100 und 130°C für 10 bis 30 Minuten zum vollständigen Aufbringen der Transfer- oder Übertragungsbeschichtung;
  • c) Alternlassen der verbundenen Schichten bei einer Temperatur zwischen 50 und 80°C für mehr als 15 Stunden, so daß in der Außenschicht des Polyurethanharzes ausreichend viele Brückenreaktionen stattfinden und Abnehmen des Ablöse- oder Releasepapiers; und
  • d) Anbringen eines Nylongewirkes auf der Polyurethandeckschicht und Alternlassen bei einer Temperatur zwischen 50 und 80°C für mehr als 15 Stunden.
9. Verfahren zur Herstellung eines staubdichten Gewebes für Halbleiterreinräume nach Anspruch 8, wobei es sich bei dem zur Durchführung des Webschrittes verwendeten Polyestergarn um ein streckgezwirntes Garn handelt.
10. Verfahren zur Herstellung eines staubdichten Gewebes für Halbleiterreinräume nach Anspruch 8, wobei bei dem Webschritt nach dem Einfärben des sehr dichten Gewebes der Außenschicht eine antistatische Nachbehandlung erfolgt.
11. Staubdichter Arbeitskittel für Halbleiterreinräume hergestellt unter Verwendung des Gewebes nach Anspruch 1.
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