DE19832277A1 - UVC-Flüssigkeitslichtleiter - Google Patents

UVC-Flüssigkeitslichtleiter

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Description

Die vorliegende Erfindung betrifft einen neuen Flüssigkeitslichtleiter für die Übertragung von UVC-Strahlung, im Wellenlängenbereich von etwa 220nm-­ 280nm. Der UVC-Lichtleiter kann an eine nicht kohärente Strahlungsquelle für UVC-Strahlung, wie z. B. eine Hg-Mitteldrucklampe angekoppelt werden, wobei die vom Lichtleiter emittierte UVC-Strahlung z. B. zum photochemischen Aushärten von Klebern oder Lacken verwendet werden kann. Vorzugsweise ist der Lichtleiter flexibel.
UVC-Lichtleiter sind seit langem bekannt. Sie bestehen aber im Gegensatz zum beanspruchten Flüssigkeitslichtleiter aus flexiblen Glasfaserbündeln. Die einzelnen Fasern dieser Bündel bestehen aus synthetischem Quarzglas (Brechzahl n1) und sind mit einem fluordotiertem Quarzglas (Brechzahl n2) ummantelt, wobei ein maximaler optischer Aperturwinkel 2α von etwa 25°
erreicht werden kann.
Derartige Quarzglas-Faserbündel-Lichtleiter werden z. B. von der Firma Schott hergestellt, sind sehr teuer und können wegen ihres geringen Aperturwinkels nur einen relativ kleinen Raumwinkelanteil eines inkohärenten UVC-Strahlers erfassen.
Es wäre daher wünschenswert, wenn man für die Übertragung von UVC- Strahlung Flüssigkeitslichtleiter, bestehend aus einem flüssigen Kern und einem Mantel aus Plastik, verwenden könnte, welche größere optische Aperturwinkel aufweisen und somit eine höhere Übertragungskapazität erlauben, und möglicherweise auch billiger herzustellen sind.
Der seit über 20 Jahren auf dem Markt befindliche Flüssigkeitslichtleiter für die Übertragung von UVA-Strahlung, bestehend aus einem Teflon® FEP Schlauch, gefüllt mit einer wäßrigen CaCl2-Lösung (n = 1,435) wie in P 24 06 424 beschrieben, weist zwar im UVA-Bereich (320nm-400nm) eine hohe Transmission und gute photochemische Stabilität auf, ist aber infolge photochemischer Zersetzung, z. B. bei λ = 250 nm nicht für die Übertragung von UVC-Strahlung geeignet.
Durch Verschiebung des pH-Wertes der wäßrigen CaCl2-Lösung vom sauren in den alkalischen Bereich kann man die photochemische Stabilität und somit die Konstanz der Transmission bis in den UVB-Bereich hinein (280nm-­ 320nm) ausdehnen, (siehe DE OS 195 18 147 oder US-Patent 5.737.473). Aber selbst diese stabilisierte Lösung zersetzt sich bei intensiver Bestrahlung im UVC-Bereich.
In der deutschen Patentanmeldung DE-OS 40 14 363. 5 werden Flüssigkeits­ lichtleiter mit alternativen Flüssigkeiten für stabile Übertragung von Strahlung im UVB Bereich angegeben, die aus der Gruppe der wäßrigen Phosphat­ lösungen stammen, wie z. B. wäßrige Lösungen aus K3PO4, K2HPO4, KH2PO4, NaH2PO4 und Na2HPO4.
Nachteilig ist bei diesen Lösungen, daß sich der optische Brechungsindex wegen Salzausfalls in der Kälte nicht so hoch einstellen läßt wie bei den Lösungen bestehend aus CaCl2/H2O, so daß der maximale optische Apertur­ winkel unbefriedigend ist. Ein weiterer Nachteil dieser wäßrigen Phosphat­ lösungen besteht darin, daß sie einen partiellen Wasserdampfdruck besitzen, der wesentlich über dem der wäßrigen CaCl2-Lösungen liegt, so daß die Flüssigkeitslichtleiter mit Phosphatlösungen in Teflon® FEP Schläuchen trotz der äußerst geringen H2O-Dampfpermeabilität der Fluorkohlenstoff-Polymere bereits nach ca. einem Jahr Bläschen entwickeln, was für die Strahlungstrans­ mission prohibitiv ist.
Nachdem die Firma DuPont und später die Firma Ausimont neue hochtrans­ parente und extrem niedrig brechende Fluorpolymere auf den Markt gebracht haben (Teflon® AF, Hyflon® AD), ist es möglich geworden, totalreflektierende Innenoberflächen bei Flüssigkeitslichtleitern zu verwenden, deren Brechungs­ index wesentlich niedriger ist, als der von Teflon® FEP. Dadurch erhalten die Flüssigkeitslichtleiter mit Phosphatlösungen akzeptable maximale Apertur­ winkel 2α im Bereich von über 50°.
Da mit diesen neuen "amorphen" Fluorpolymeren von Dupont und Ausimont aus flüssiger Phase ein Teflon® Schlauch innen beschichtet werden kann, wirken sie auch als Politur für die Innenflächen der extrudierten Teflon® Schläuche, so daß vor allem für kurzwellige UV-Strahlung die Reflexions­ bedingungen verbessert werden.
In den DE-OS 40 24 445 und 42 33 087 sowie der GP PS 2 248 312 werden Flüssigkeitslichtleiter beschrieben, welche Teflon® AF als innere Mantel­ oberfläche verwenden. In der DE-OS 40 24 445 wird erwähnt, daß Fluorid­ lösungen, wie z. B. KF in H2O, für kurzwellige UV-Strahlung geeignet sind. Fluoridlösungen haben allerdings den Nachteil, daß die erreichbaren und praktikablen Brechungsindices der Lösungen nicht wesentlich über dem Wert von n = 1,35-1,36 liegen, und daß diese Lösungen außerdem die beiden Quarzglasstöpsel, mit denen die Flüssigkeitslichtleiter an beiden Enden abgedichtet werden, anlösen. Da diese Quarzstöpsel jedoch als optische Fenster dienen, wird ihre optische Transmission durch Anlösen der polierten Glasflächen beeinträchtigt.
Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung bestand also darin, aus der Vielzahl der in der Literatur erwähnten möglichen Lichtleiterflüssigkeiten für den UVA- und UVB-Bereich, eine Flüssigkeit zu finden, welche sogar noch im UVC- Bereich als Lichtleiterflüssigkeit verwendet werden kann.
Hierbei sind folgende Eigenschaften für die Flüssigkeit erforderlich:
  • 1. Die Flüssigkeit sollte im UVC-Bereich (280nm ≧ λ ≧ 220nm) transparent sein, und zwar bei Schichtdicken bis zu 2000mm. Anders ausgedrückt: die Transparenz im UVC-Bereich sollte möglichst nahe an der von Reinst­ wasser liegen.
  • 2. Die Flüssigkeit für UVC-Lichtleiter sollte einen Brechungsindex haben, der mindestens so hoch ist, daß ein optischer Aperturwinkel 2α von etwa 50° zu erreichen ist. Dieser Wert soll erreicht werden bei einem Brechungsindex der total reflektierenden Manteloberfläche von n =1,29-­ 1,325. Nur dann sind die Biegeverluste eines Lichtleiters mit typisch 5mm lichtaktivem Durchmesser noch akzeptabel.
  • 3. Die Flüssigkeit sollte sich über lange Zeiträume bei Dauerbestrahlung mit einer UVC-Lichtquelle (z. B. einer Hg-Mitteldrucklampe) nicht zersetzen, d. h. die Flüssigkeit muß in dem extrem photochemisch aktiven UVC-Bereich stabil bleiben. Diese Forderung hängt eng mit der For­ derung 1. zusammen. Organische Flüssigkeiten (mit Ausnahme weniger zu niedrig brechender perfluorierter Flüssigkeiten) weisen im UVC- Bereich keine photochemische Stabilität auf und entfallen somit als Lichtleiterflüssigkeit in diesem Spektralbereich.
  • 4. Der mit der UVC-Flüssigkeit gefüllte Flüssigkeitslichtleiter sollte Temperaturen bis mindestens -10°C ohne Salzausfall überstehen.
  • 5. Es wäre wünschenswert, wenn die Flüssigkeit aus markt- und sicherheits­ technischen Gründen außerdem noch physiologisch unbedenklich wäre.
Aus der Vielzahl der in der Literatur für den UVA- und UVB-Bereich erwähnten Lichtleiterflüssigkeiten hat sich für den UVC-Bereich nur eine einzige Flüssigkeit als geeignet erwiesen, nämlich eine wäßrige Lösung von NaH2PO4.
Um dies zu veranschaulichen, wurden UV-Transmissionsmessungen von verschiedenen wäßrigen Salzlösungen durchgeführt, wobei die Schichtdicke 10 cm betrug, und für jede Salzlösung ein Brechungsindex von n = 1,335 eingestellt wurde, also ein Wert, der nur 2/1000 über dem von H2O liegt. Für diese Messungen wurden nur Substanzen der höchsten Reinheitsstufe (suprapur) verwendet, einschließlich des Lösungsmittels H2O. Die spezifi­ schen Salze sind der Patentliteratur für UVB-Flüssigkeitslichtleiter entnom­ men. Man kann auf diese Weise sehr genau die absolute Lage der jeweiligen UV-Absorptionskante ermitteln, wobei eventuell noch vorhandene Verunrei­ nigungen im ppm-Bereich sich in der Lage der UV-Kante nicht mehr bemerk­ bar machen.
Die Abb. 1 zeigt die relative Lage der UV-Abfallkanten der gemessenen Salzlösungen zueinander und auch in Relation zu der UV-Absorptionskante von Reinstwasser. Aus Abb. 1 ist auch zu entnehmen, daß die aus dem UVA- und UVB-Bereich bekannten Salzlösungen auch für den UVC-Bereich geeignet sein könnten, weil deren Transparenz im Bereich von 220nm-280nm in etwa vergleichbar gut ist.
Es hat sich aber herausgestellt, daß mit einer Ausnahme, nämlich NaH2PO4/H2O, alle anderen Flüssigkeiten gravierende Nachteile aufweisen.
So reagieren die wäßrigen Lösungen von K2HPO4 (wegen ihrer starken Basizität) und KF (wegen der Anwesenheit von HF) mit den Oberflächen der Quarzglasfenster. Als Folge davon treten nach ca. einem Jahr Trübungen an den optischen Fenstern auf, welche die Transmission der Lichtleiter stark reduzieren. Außerdem weisen hochkonzentrierte Lösungen von KF nur geringe Brechungsindices (≦ 1,36) auf, so daß nur unzureichende Apertur­ winkel erreichbar sind. Darüber hinaus sind sie physiologisch bedenklich.
Wäßrige Lösungen aus CaCl2 sind - wie eingangs erwähnt - im UVC- Bereich photochemisch nicht stabil. Bei einem Dauerbestrahlungsversuch eines Flüssigkeitslichtleiters auf Basis von CaCl2/H2O mit einer ungefilterten 25-Watt Hg-Hochdrucklampe, sinkt nämlich die Transmission des Lichtleiters bei λ = 250nm (T250) schon nach 45 Stunden von ursprünglich 57% auf 1% ab. (siehe Tabelle 1a).
Die bereits erwähnten Salzlösungen auf Phosphatbasis, nämlich K3PO4, KH2PO4 und Na2HPO4 erfüllen ebenfalls nicht die gestellten Kriterien. Die Löslichkeiten von KH2PO4 und Na2HPO4 in H2O sind so gering, daß keine auch nur annähernd brauchbaren Brechungsindices erreicht werden können. Darüber hinaus sind wäßrige Lösungen von K3PO4 noch basischer als Lösungen von K2HPO4, so daß auch in diesem Fall die optischen Quarzglas­ fenster angelöst werden.
Aus der Vielzahl der beschriebenen Salzlösungen verbleibt somit lediglich die wäßrige Lösung von NaH2PO4. Überraschenderweise hat sich nämlich herausgestellt, daß diese Lösung von NaH2PO4 alle Kriterien 1.-5. in befriedi­ gender Weise erfüllt. Darüber hinaus ist die Transparenz im Vergleich zu den Lösungen c-e der Abb. 1 optimal.
Ein Aperturwinkel von mindestens 50° läßt sich mit dieser NaH2PO4 -Lösung erreichen, da ein Brechungsindex im Bereich von n = 1,38-1,39 einstellbar ist. Eine solche Lösung bleibt auch bei -10°C stabil, d. h. es findet kein Salzausfall statt. Außerdem ist die NaH2PO4-Lösung im UVC-Bereich photochemisch stabil. Ein Dauerbestrahlungsversuch eines Flüssigkeitslichtleiters mit der NaH2PO4/H2O-Lösung (n = 1,38) mit einer 25-Watt UVC-Lichtquelle von bis zu 336 Stunden zeigt eine konstante Transmission von etwa 65% bei der Testwellenlänge λ = 250nm. (siehe Tab. 1b).
Darüber hinaus ist die Lösung physiologisch unbedenklich, und da sie sauer reagiert (pH = 4-5), werden auch nicht die Quarzglasfenster angelöst.
Abb. 2 zeigt die optische Transmissionskurve eines UVC-Flüssigkeits­ lichtleiters mit 1000mm Länge und einem lichtaktiven Kern von 5mm Durchmesser, bestehend aus einem Teflon® FEP Schlauch (∅i = 5mm; ∅a = 6mm), gefüllt mit einer wäßrigen NaH2PO4 Lösung (n = 1,38). Der FEP- Schlauch ist auf seiner Innenoberfläche mit einer 3µ dicken Teflon® AF 1600- Schicht (n = 1,31) beschichtet. Der Lichtleiter ist an beiden Enden durch zylindrische SiO2-Fenster abgedichtet. Der einfallende Meß-Strahl hatte eine Divergenz von 25°. Die gestrichelte Kurve in Abb. 2 zeigt vergleichsweise die Transmission eines Quarzfaserbündel UVC-Lichtleiters mit gleicher Dimension und unter gleichen Meßbedingungen. Man erkennt die deutliche Überlegenheit des UVC-Flüssigkeitslichtleiters.
Der einzige Nachteil, den der Flüssigkeitslichtleiter mit der NaH2PO4-Lösung aufweist, besteht darin, daß der partielle Wasserdampfdruck der Lösung mit n = 1,38-1,39 einer relativen Feuchte von etwa 80% entspricht. Bei einer relativen Feuchte der Umgebung von üblicherweise etwa 60% gibt es eine wenn auch sehr langsame Diffusion von H2O-Dampf durch die Wand des Teflon® FEP-Schlauches in die Atmosphäre. Als Folge dieser Diffusion von Wasserdampf durch die permeable Plastikwand entstehen in dem erfindungs­ gemäßen UVC-Lichtleiter nach 9-12 Monaten Bläschen mit der Folge einer rapiden Transmissionsabnahme. Dieser Diffusionsprozeß von H2O-Dampf durch die Schlauchwand des Lichtleiters kann verlangsamt werden, wenn man die Wandstärke des Teflon® FEP-Schlauches, die üblicherweise aus Gründen der Flexibilität zwischen 3/10mm und 5/10mm liegt, auf mehr als das Doppelte erhöht. Die bläschenfreie Lebensdauer des Lichtleiters würde so proportional mit der Verdickung der Wandstärke des Teflonschlauches erhöht werden. Allerdings muß dann eine Reduzierung der Flexibilität des Lichtleiters in Kauf genommen werden.
Eine Alternative zur Erhöhung der Lebensdauer des UVC-Lichtleiters mit NaH2PO4-Lösung besteht darin, daß man den Lichtleiter in einer konzen­ trischen Anordnung aus zwei Teflonschläuchen herstellt, wobei sich im Raum zwischen den beiden Teflonschläuchen, der nur wenige 1/10 mm betragen kann, Wasser oder eine wäßrige Lösung befindet, deren partieller Wasser­ dampfdruck größer ist als der der lichtleitenden NaH2PO4-Lösung im inneren Teflonschlauch. Eine derartige Anordnung ist in Abb. 3 dargestellt. Die NaH2PO4-Lösung 1 befindet sich im Innern des FEP-Schlauches 3, der an beiden Enden durch zylindrische Quarzglasstöpsel 2a, 2b abgedichtet ist. Der FEP Schlauch 3 hat typische Maße: 5mm ∅i; 6mm ∅a.
Konzentrisch zu dem FEP-Schlauch 3 ist ein zweiter FEP-Schlauch 4 angeordnet, der z. B. die Maße 6,4 ∅i; 7,0 ∅a hat, also dünnwandiger ist als der innere FEP-Schlauch 3 und einen Zwischenraum 5 bildet von im Mittel 2/10 mm. Sowohl der Außenschlauch 4 als auch der Innenschlauch 3 sind durch eine einzige O-Ring-Dichtung 6a, 6b mit den Abschlußfenstern 2a und 2b flüssigkeitsdicht verpreßt. Statt der O-Ringe 6a, 6b können auch metal­ lische Krimphülsen verwendet werden, wobei mit einem Krimpwerkzeug und einer einzigen Krimphülse beide Schläuche 3 und 4 gleichzeitig mit dem jeweiligen Fenstern 2a oder 2b verpreßt werden. In dem Raum 5 zwischen der beiden Schläuchen 3 und 4 befindet sich Wasser oder eine wäßrige Lösung, deren partieller Wasserdampfdruck größer ist als der der lichtleiten­ der NaH2PO4-Lösung. Der innere FEP Schlauch 3 ist auf seiner Innenober­ fläche in hier nicht dargestellter Weise mit einer ca. 3µ dicken Teflon® AF- Schicht ausgekleidet oder einer Schicht aus einem anderen hochtransparen­ ten, perfluorierten Material, dessen Brechungsindex kleiner als 1,33 ist, wie z. B. Hyflon®AD.
Wichtig für die Erhöhung der Lebensdauer des NaH2PO4-UVC-Lichtleiters auf den Zeitraum von 5-10 Jahren, auch in Ländern mit geringer Feuchte (Kalifornien), ist die Tatsache, daß nicht nur der Innenschlauch 3 aus einem Fluorkohlenstoff-Polymer, wie Teflon® FEP, Hyflon® MFA oder THV (3M), besteht, sondern auch der äußere Schlauch 4, weil unter den flexiblen Plastik­ schläuchen, so wie sie für Flüssigkeitslichtleiter erforderlich sind, solche aus Fluorkohlenstoff-Polymeren die geringsten Permeabilitäten für Wasserdampf aufweisen. Der Schlauch 4 kann eine Wandstärke besitzen, die nur 2/10- 5/10 mm beträgt, weil die Wasserschicht in dem Raum zwischen den Schläuchen 3 und 4 durchaus Bläschen bekommen darf. Die Wirkung der konzentrischen Schlauchanordnung ist nämlich auch dann gegeben, wenn der Raum zwischen den Schläuchen 3 und 4 nur partiell mit Wasser gefüllt ist. Außerdem reduziert ein im Vergleich zu Schlauch 3 dünnwandigerer Schlauch 4 die Flexibilität des Lichtleiters nur unwesentlich. Um die Wirksam­ keit der Doppel-Teflonschlauch-Anordnung zu verifizieren, wurde folgender Versuch gemacht:
Ein UVC-Lichtleiter in folgender Ausführung:
Innenschlauch 3: Teflon® FEP: 5∅i × 6∅a × 3000
Füllung 1: NaH2PO4 in H2O, n = 1,38
Außenschlauch 4: Teflon® FEP: 6,4∅i × 7,0∅a × 3000
Flüssigkeit zwischen Schlauch 3 und 4: H2O
wurde in einem Dauerversuch im Wärmeofen auf 50°C gehalten. Ebenso wurde ein Kontrollichtleiter behandelt mit identischem Innenschlauch 3 und identischer Füllung 1 aber ohne Außenschlauch 4 und somit auch ohne Wasserschicht 5. Während der Doppelschlauch-Lichtleiter auch nach 6 Monaten noch keine Blasenbildung und somit auch noch konstante Transmis­ sion aufwies, zeigten sich bei dem Kontrollichtleiter bereits nach zwei Wochen Bläschen, die rasch größer wurden.
Da bei dem eben beschriebenen Wärmetest die Wasserdampf-Diffusionspro­ zesse wesentlich beschleunigt werden, erlaubt dieser Test eine zulässige Extrapolation der Lebensdauer des erfindungsgemäßen UVC-Lichtleiters auf mehrere Jahre unter normalen Umgebungsbedingungen.
Die Herstellung des erfindungsgemäßen Doppelschlauch-Lichtleiters mit H2O-Zwischenschicht läuft wie folgt ab:
Erster Schritt: Der Außenschlauch 4, der eine beliebige Länge haben kann wird zunächst mit H2O gefüllt und an einem Ende abgedichtet.
Zweiter Schritt: Die Innenseele des Lichtleiters bestehend aus Schlauch 3, lichtleitender Flüssigkeit 1 und den Fenstern 2a und 2b wird in konventioneller Weise hergestellt.
Dritter Schritt: Die Innenseele wird in den mit H2O gefüllten Außenschlauch 4 hineingeschoben bis zur Bündigkeit der beiden Schlauchenden, wobei Wasser aus Schlauch 4 verdrängt wird.
Vierter Schritt: An der Bündigkeitsstelle wird die erste Dichtung in Form einer O-Ring Quetsche oder einer Krimphülse angebracht, so daß beide konzen­ trische Schlauchenden einseitig mit dem Lichtleiterfenster verpreßt sind.
Fünfter Schritt: Schlauch 4 wird in etwa bündig mit dem zweiten Lichtleiter­ fenster bzw. dem Ende von Schlauch 3 abgeschnitten.
Sechster Schritt: Die zweite Dichtung kann jetzt analog der ersten durch­ geführt werden. Die nahezu vollständig mit H2O ausgefüllte Zwischenschicht 5 ergibt sich aufgrund dieser Vorgehensweise ohne Schwierigkeiten von selbst.

Claims (12)

1. Flüssigkeitslichtleiter für den UVC-Bereich von 220nm bis 280nm umfas­ send einen Teflon® FEP- oder einen Hyflon® MFA-Lichtleiterschlauch (3) welcher innen mit einem Fluorpolymer beschichtet ist, wobei die Schichtdicke < 1µ beträgt und der Brechungsindex des Beschichtungs­ materials unterhalb von 1,333 liegt, dadurch gekennzeichnet, daß als lichtleitende Flüssigkeit (1) eine wäßrige Lösung von NaH2PO4 verwendet wird.
2. Flüssigkeitslichtleiter nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die lichtleitende Flüssigkeit (1) einen Brechungsindex von unter 1,40 aufweist.
3. Flüssigkeitslichtleiter nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die wäßrige Lösung eine Konzentration von 2,5 bis 6,5 mol/l NaH2PO4 aufweist.
4. Flüssigkeitslichtleiter nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Lichtleiterschlauch (3) ummantelt ist und daß zwischen Mantel (4) und Lichtleiterschlauch (3) sich Wasser (5) oder eine wäßrige Lösung (5) befindet, deren partieller Wasserdampfdruck größer als oder gleich wie der der lichtleitenden NaH2PO4-Lösung ist.
5. Flüssigkeitslichtleiter nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß der Innendurchmesser des Mantels (4) maximal 1 mm, vorzugsweise nicht mehr als 0,5 mm, größer ist als der Außendurchmesser des Lichtleiterschlauches (3) und daß der Mantel (4) ebenfalls ein Schlauch ist, welcher konzentrisch um den Lichtleiterschlauch (3) angeordnet ist.
6. Flüssigkeitslichtleiter nach einem der Ansprüche 4 oder 5, dadurch gekennzeichnet, daß der Mantelschlauch (4) ein Fluorpolymer enthält oder aus diesem besteht.
7. Flüssigkeitslichtleiter nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß der Mantelschlauch (4) aus Teflon® FEP, Teflon® PTFE, Hyflon® MFA, Teflon® PFA, Teflon® PCTFE, Teflon® ETFE, THV (3M) oder einem Fluorelastomer besteht.
8. Flüssigkeitslichtleiter nach einem der Ansprüche 5, 6 oder 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Wandstärke des Mantelschlauches (4) geringer ist als die Wandstärke des Lichtleiterschlauches (3).
9. Flüssigkeitslichtleiter nach einem der Ansprüche 4 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß der Lichtleiterschlauch (3) zusammen mit dem Mantelschlauch (4) mit einer einzigen Krimphülse oder einer einzigen O- Ring-Quetschdichtung (6a, 6b) mit den zylindrischen Quarzfenstern (2a, 2b) des Lichtleiters verpreßt sind.
10. Flüssigkeitslichtleiter nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Wandstärke des Lichtleiterschlauches (3) mindestens 0,75 mm beträgt und dieser nicht ummantelt ist.
11. Verwendung einer wäßrige NaH2PO4-Lösung mit einem Brechungs­ index unterhalb von 1,4 und/oder einer Konzentration von 2,5 bis 6,5 mol/l als lichtleitende Flüssigkeit in einem UVC-Lichtleiter im Wellen­ längenbereich von 220nm bis 280nm.
12. Verfahren zur Herstellung eines UVC-Flüssigkeitslichtleiters nach einem der Ansprüche 4 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß
  • a) der innere Lichtleiterschlauch (3) mit der wäßrigen NaH2PO4- Lösung (1) gefüllt und an beiden Enden mit Quarzstöpseln (2a, 2b) abgedichtet wird;
  • b) der äußere Mantelschlauch (4) an einem Ende abgedichtet und mit Wasser oder einer wäßrigen Lösung gefüllt wird;
  • c) der innere Lichtleiterschlauch (3) in den äußeren mit Wasser oder Lösung gefüllten Mantelschlauch (4) hineingeschoben wird bis Bündigkeit besteht, wobei er Wasser bzw. Lösung aus dem äußeren Mantelschlauch (4) verdrängt;
  • d) an der Bündigkeitsstelle eine erste Dichtung in Form einer O-Ring Quetsche (6a, 6b) oder einer Krimphülse angebracht wird, so daß beide konzentrischen Schlauchenden einseitig mit dem ersten Lichtleiterfenster verpreßt sind;
  • e) der äußere Mantelschlauch (4) mit dem zweiten Lichtleiterfenster in etwa bündig abgeschnitten und die zweite Dichtung analog der ersten Dichtung angebracht wird.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6898216B1 (en) 1999-06-30 2005-05-24 Lambda Physik Ag Reduction of laser speckle in photolithography by controlled disruption of spatial coherence of laser beam

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DE59806472D1 (de) 2003-01-09
DE29722130U1 (de) 1998-03-26

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