DE19817124A1 - IC-Testgerät - Google Patents

Description

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein IC-Testgerät, und insbesondere auf ein IC-Testgerät, das mit einer zur Erfassung des Positionierungszustands bzw. Ausrichtungszustands dienenden Erfassungseinrichtung versehen ist, die an einer Handhabungseinrichtung angeordnet ist und zum Untersuchen der Haltung eines ICs dient, das ein zu messendes oder zu testendes Bauelement darstellt und dessen Haltung bzw. Ausrichtung erfaßt wird, während es auf einer Kontaktanordnung eines IC-Sockels angeordnet ist.

Ein IC-Testgerät weist eine im allgemeinen als Handhabungseinrichtung bezeichnete Vorrichtung auf, durch die zu testende ICs (Chips bzw. integrierte Schaltungen) aufeinanderfolgend auf einen IC-Sockel des Testgeräts aufgebracht werden und die die getesteten ICs auf der Grundlage der Testergebnisse klassifiziert bzw. sortiert. Weiterhin weist ein IC-Testgerät eine eigenständige Testvorrichtung auf, die ein Testsignal an einen zu testenden IC zur Durchführung eines elektrischen Tests anlegt. An der Handhabungseinrichtung ist eine Sockelführung bzw. Sockel­ halterung in abnehmbarer Weise angebracht, wobei auf der Sockelführung ein IC-Sockel angebracht ist, der einen zu testenden IC trägt.

Unter Bezugnahme auf Fig. 3 wird nachfolgend eine herkömmliche Ausführungsform erläutert. Ein IC-Sockel 2 und eine Sockelführung bzw. Sockelhalterung 3, auf der der IC-Sockel 2 montiert ist, variieren in Abhängigkeit von der Art des jeweils zu testenden ICs, der aus einer Vielzahl unterschiedlicher ICs ausgewählt ist. Wenn unterschiedliche Arten von ICs getestet werden sollen, ist es daher notwendig, sowohl den IC-Sockel 2 als auch die Sockelhalterung 3 auszutauschen.

In Fig. 3 ist ein IC-Sockel 2 dargestellt, dessen äußere Form im wesentlichen rechteckförmig ist und der auf einer Sockelführung bzw. Sockelhalterung 3 angeordnet ist, die ihrerseits wiederum an der Basis einer Handhabungseinrichtung angebracht ist. Eine IC-Halterungseinrichtung bzw. IC-Ausrichteinrichtung 20 weist einen Querschnitt auf, der in der horizontalen Ebene rechteck­ förmig ist und so ausgelegt ist, daß er der äußeren Konfiguration eines ICs entspricht. Die IC-Ausrichteinrichtung 20 weist jeweils paarweise sich gegenüberliegende Seiten auf, die parallel zueinander verlaufen. Wenn ein IC1, der durch eine Greifeinrichtung bzw. Anziehungs- oder Ansaugfläche (nicht gezeigt) ergriffen und gehalten wird, auf die IC-Ausrichteinrichtung 20 planmäßig herabfällt, wird die Orientierung des ICs durch die IC-Ausrichteinrichtung 20 festge­ legt. Die IC-Ausrichteinrichtung 20 weist hierbei eine bodenseitige Oberfläche (Bodenfläche) 21, ein Paar von abgeschrägten, seitlichen, verjüngend verlaufenden Führungsoberflächen 22X, und ein Paar von abgeschrägten, in Längsrichtung verlaufenden, verjüngend ausgebildeten Führungs­ oberflächen 22Y auf, durch die der herunterfallende IC1 so geführt wird, daß seine untere Fläche 13 in korrekte Berührung mit der bodenseitigen Fläche 21 der IC-Ausrichteinrichtung 20 gebracht wird, wobei die jeweiligen Flächen 13 und 21 parallel zueinander orientiert sind. Der Ansaug­ kopf, der den an ihn angezogenen IC festhält, wird oberhalb der IC-Ausrichteinrichtung 20 positioniert und dann nach unten bewegt, woraufhin die ausgeübte Ansaugkraft freigegeben wird, so daß der IC1 auf die IC-Ausrichteinrichtung 20 herabfallen kann. Der IC1 weist An­ schlußstifte 11 auf, deren freie Enden bei dieser Herabfallbewegung mit den in Längsrichtung verlaufenden, abgeschrägten Führungsflächen 22Y in Berührung gelangen, wohingegen die Außenseite des Gehäuses 12 des ICs1 mit den seitlichen, schräg verlaufenden Führungsflächen 22X in Berührung gelangt. Der IC1 bewegt sich somit nach unten, wobei er hierbei durch diese schräg verlaufenden Führungsflächen in der angegebenen Weise geführt wird. Wenn der IC1 dann in den Ruhezustand gelangt, bei dem die untere Fläche 13 des ICs1 in korrekter Berührung mit der bodenseitigen Fläche 21 der IC-Ausrichteinrichtung 20 steht, sind die Anschlußstifte 11 des ICs1 hierbei zur gleichen Zeit auch auf einer Sockelkontaktanordnung 24 (siehe Fig. 2) positioniert. Die Sockelkontaktanordnung 24 ist mit einem eigenen bzw. zugehörigen IC-Testgerät über einen Adaptersockel 5, eine Sockelplatine oder eine Anpassungsplatine bzw. Zwischenplatine 6 verbunden.

Es ist eine Erfassungseinrichtung zur Erfassung der Positionierung bzw. Ausrichtung der ICs vorgesehen, die überprüft, ob der IC1 korrekt an der IC-Ausrichteinrichtung 20 des IC-Sockels 2 positioniert ist oder nicht. Die Erfassungseinrichtung weist einen nach dem Lichttransmissions­ prinzip arbeitenden Sensor auf, der ein Licht projizierendes bzw. Licht aussendendes Element 41 und ein Lichtempfangselement 42 enthält, das das von dem Licht aussendenden Element 41 ausgesandte Licht empfängt. Wie in Fig. 3 gezeigt ist, ist das das Licht aussendende Element 41 bei dem Stand der Technik in eine Durchgangsöffnung 3TL eingeführt, die in der Sockelhalterung 3 ausgebildet ist und die links von dem zu messenden IC1 angeordnet ist. Das Lichtempfangs­ element 42 ist demgegenüber in eine Durchgangsöffnung 3TR eingeführt, die in der Sockelhalte­ rung 3 ausgebildet ist und rechts von dem zu messenden IC1 angeordnet ist. Wenn das Licht aussendende Element 41 Licht aussendet, wird dieses Licht durch den IC1 unterbrochen, falls dieser vorhanden ist, so daß das Licht nicht durch das Lichtempfangselement 42 empfangen wird. Wenn im Gegensatz hierzu kein IC1 vorhanden ist, trifft das Licht, das von dem Licht aussendenden Element 41 projiziert wurde, direkt auf das Lichtempfangselement 42 auf, woraus erkennbar ist, daß kein IC1 vorhanden ist.

Damit eine Vielzahl von unterschiedlichen ICs getestet werden kann, ist es bei der herkömmli­ chen Ausführungsform allerdings erforderlich, daß das Licht aussendende Element 41 und das Lichtempfangselement 42 aus den Durchgangslöchern 3TL und 3TR, die in dem gegenwärtig benutzten IC-Sockel 2 und der Sockelhalterung 3 vorhanden sind, herausgenommen werden, und daß der IC-Sockel 2 und die Sockelhalterung 3 als Satz gegen einen anderen, einen IC-Sockel 2 und eine Sockelhalterung 3 enthaltenden Satz ausgetauscht wird, der an den Typ des nachfol­ gend zu testenden ICs angepaßt ist und der dann an der Basis der Handhabungseinrichtung angebracht wird. Anschließend müssen das das Licht aussendende Element 41 und das Lichtempfangselement 42 erneut in den Durchgangsöffnungen 3TL und 3TR in der ausgetausch­ ten Sockelhalterung 3 angebracht werden, was einen Nachteil darstellt.

Es ist eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein IC-Testgerät zu schaffen, das einen leichten Austausch einer Sockelführung bzw. Sockelhalterung, die einen IC-Sockel aufweist, in Abhän­ gigkeit von dem Typ des zu testenden ICs erlaubt und bei dem keine Notwendigkeit mehr besteht, ein Licht aussendendes Element und ein Lichtempfangselement herauszunehmen und wieder einzuführen.

Diese Aufgabe wird mit den im Patentanspruch 1 genannten Merkmalen gelöst.

Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen angegeben.

In Übereinstimmung mit der vorliegenden Erfindung wird ein IC-Testgerät geschaffen, das eine Handhabungseinrichtung enthält, an der ein IC-Sockel und eine Sockelhalterung (Sockelführung), auf der der IC-Sockel zentral angebracht ist, angeordnet sind. Das IC-Testgerät umfaßt hierbei eine für das Sendelicht vorgesehene Lichtführung (bzw. Lichtleiter), die in der Sockelhalterung eingebettet ist und eine Lichteinfallseite (Lichteintrittsende), die an dem umfangsseitigen Rand der Sockelhalterung angeordnet ist, und eine Licht abstrahlende Seite (Lichtaustrittsende) aufweist, an der eine Licht reflektierende Oberfläche gebildet ist. Weiterhin enthält das Testgerät und/oder die Handhabungseinrichtung eine zur Führung des empfangenen Lichts dienende Lichtführung (bzw. Lichtleiter), die in der Sockelhalterung so eingebettet ist, daß sie parallel zu der für das Sendelicht vorgesehenen Lichtführung verläuft, und die eine Lichteintrittsseite (Lichteinfallsende) umfaßt, an der eine Licht reflektierende Oberfläche gebildet ist. Weiterhin sind ein Licht projizierendes oder aussendendes Element, das an der Handhabungseinrichtung so angeordnet ist, daß es der für das Sendelicht vorgesehenen Lichtführung gegenüberliegt, und ein Lichtempfangselement vorhanden, das an der Handhabungseinrichtung so angeordnet ist, daß es der für das Empfangslicht bzw. den Lichtempfang vorgesehenen Lichtführung gegenüberliegt.

Das IC-Testgerät kann einen einzigen, durch die für das Sendelicht vorgesehene Lichtführung und die für den Lichtempfang vorgesehene Lichtführung gebildeten Satz enthalten.

Weiterhin kann die für das Sendelicht vorgesehene Lichtführung in dem IC-Testgerät durch ein Paar von gegenseitig benachbarten bzw. nahe beieinander angeordneten, parallelen, für das Sendelicht vorgesehenen Lichtführungen (Lichtleitern) gebildet sein, die unterschiedliche Längen aufweisen. Die für den Lichtempfang vorgesehene Lichtführung kann gleichfalls durch ein Paar von gegenseitig benachbarten bzw. nahe beieinander angeordneten, parallelen, für den Licht­ empfang vorgesehene Lichtführungen (Lichtleitern) gebildet sein, die unterschiedliche Längen besitzen. Hierbei kann der längenmäßige Unterschied zwischen den Längen des Paars von nahe beieinander angeordneten, parallelen, für das Sendelicht vorgesehenen Lichtführungen, und der längenmäßige Unterschied zwischen den Längen der beiden nahe beieinander angeordneten, parallelen für den Lichtempfang vorgesehenen Lichtführungen in einer solchen Weise gewählt werden, daß sie der Größe der äußeren Abmessungen eines zu messenden ICs entsprechen.

In dem IC-Testgerät können weiterhin eine zusätzliche, für das Sendelicht vorgesehene Lichtfüh­ rung (bzw. Lichtleiter), die in der Sockelhalterung 3 so eingebettet ist, daß sie rechtwinklig zu der vorstehend erwähnten, für das Sendelicht vorgesehenen Lichtführung verläuft, eine weitere, für den Lichtempfang vorgesehene Lichtführung (bzw. Lichtleiter), die in der Sockelhalterung 3 so eingebettet ist, daß sie parallel zu der weiteren, für das Sendelicht vorgesehenen Lichtführung verläuft, ein Licht projizierendes bzw. Licht aussendendes Element, das so angeordnet ist, daß es der weiteren, für das Sendelicht vorgesehenen Lichtführung gegenüberliegt, und ein Lichtemp­ fangselement vorgesehen sein, das so angeordnet ist, daß es der weiteren, für den Lichtempfang vorgesehenen Lichtführung gegenüberliegt.

Bei dem erfindungsgemäßen IC-Testgerät können der erste Satz, der durch die zuerst erwähnte, für das Sendelicht vorgesehene Lichtführung und die für den Lichtempfang vorgesehene Lichtführung gebildet ist, und/oder der weitere Satz, der durch die weitere, für das Sendelicht vorgesehene Lichtführung und die für den Lichtempfang vorgesehene Lichtführung gebildet ist, durch einen Satz aus zwei gegenseitig benachbarten bzw. nahe beieinander angeordneten, parallelen, für das Sendelicht vorgesehenen Lichtführungen, die unterschiedliche Längen aufweisen, und zwei gegenseitig benachbarte bzw. nahe beieinander angeordnete, parallele, für den Lichtempfang vorgesehene Lichtführungen, die unterschiedliche Längen besitzen, gebildet sein. Der längenmäßige Unterschied zwischen den Längen der beiden nahe beieinander angeord­ neten, parallelen, für das Sendelicht vorgesehenen Lichtführungen, und der längenmäßige Unterschied zwischen den Längen der beiden nahe beieinander angeordneten, parallelen, für den Lichtempfang vorgesehenen Lichtführungen können bei dem erfindungsgemäßen IC-Testgerät in einer solchen Weise gewählt sein, daß sie den Größen der äußeren Abmessungen eines zu messenden ICs entsprechen.

Bei dem erfindungsgemäßen IC-Testgerät können sowohl der erste Satz, der durch die zuerst erwähnte, für das Sendelicht vorgesehene Lichtführung und die für den Lichtempfang vorgese­ hene Lichtführung gebildet ist, als auch der weitere Satz, der durch die weitere, für das Sendelicht vorgesehene Lichtführung und die für den Lichtempfang vorgesehene Lichtführung gebildet ist, jeweils durch einen Satz aus zwei gegenseitig benachbarten bzw. nahe beieinander angeordneten, parallelen, für das Sendelicht vorgesehene Lichtführungen mit jeweils unter­ schiedlicher Länge, und zwei gegenseitig benachbarten bzw. nahe beieinander angeordneten, parallelen, für den Lichtempfang vorgesehenen Lichtführungen mit jeweils unterschiedlichen Längen gebildet sein. Bei dem IC-Testgerät können der längenmäßige Unterschied zwischen den Längen der beiden nahe beieinander angeordneten, parallelen, für das Sendelicht vorgesehenen Lichtführungen, und der längenmäßige Unterschied zwischen den Längen der nahe beieinander angeordneten, parallelen, für den Lichtempfang vorgesehenen Lichtführungen so gewählt sein, daß sie der Größe der äußeren Konfiguration eines zu messenden ICs entsprechen.

Die Erfindung wird nachstehend anhand von Ausführungsbeispielen unter Bezugnahme auf die Zeichnungen näher erläutert.

Fig. 1 zeigt eine schematische Darstellung eines Ausführungsbeispiels des in Übereinstim­ mung mit der vorliegenden Erfindung stehenden IC-Testgeräts,

Fig. 2 zeigt einen Querschnitt, der entlang der in Fig. 1 dargestellten Linie 2-2' geschnitten und in der durch einen Pfeil bezeichneten Richtung gesehen ist, und

Fig. 3 zeigt eine schematische Darstellung einer herkömmlichen Ausführungsform.

Unter Bezugnahme auf die Fig. 1 und 2 wird nachfolgend ein Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung erläutert. Fig. 1 zeigt eine Draufsicht auf dieses Ausführungsbeispiel, wohingegen in Fig. 2 ein Querschnitt dargestellt ist, der entlang der in Fig. 1 gezeigten Linie 2-2' geschnitten und in der in Fig. 1 durch einen Pfeil bezeichneten Richtung gesehen ist.

In den Fig. 1 und 2 sind ein im wesentlichen quadratischer IC-Sockel 2 und eine Sockelfüh­ rung bzw. Sockelhalterung 3 dargestellt. Die Sockelhalterung 3 ist in ihrer Mitte mit einem im wesentlichen quadratischen Schlitz (Ausnehmung) 30 versehen, der kleiner ist als der IC-Sockel 2. Der quadratische Schlitz 30 ist in seinem Bodenbereich auf erhöhte Abmessungen vergrößert und dient in diesem Bereich zur Aufnahme des IC-Sockels 2, wobei eine Stufe oder Schulter 30S (bzw. 33S) gebildet ist. Die Sockelhalterung 3 ist in einer Basis 50 einer Handhabungseinrich­ tung positioniert und an dieser befestigt, wobei der IC-Sockel 2 in den quadratischen Schlitz 30 passend eingebracht ist. Dies wird dadurch erreicht, daß Führungsstifte 36 in Führungslöcher 35 eingeführt werden, die in der Sockelhalterung 3 ausgebildet sind.

Bei dem vorliegenden Ausführungsbeispiel ist der IC-Sockel 2 als ein für ein BGA-IC ausgelegter Sockel (BGA-IC bezeichnet hierbei einen "Ball Grid Arrav"-IC, d. h. einen IC mit matrixförmig oder gitterförmig angeordneten kugelförmigen Kontakten) ausgeführt. An den den vier Ecken des quadratischen Schlitzes benachbarten Positionen ist die Sockelhalterung 3 mit Durchgangslö­ chern 3H, die bis zu der Schulter 30S (bzw. 33S) reichen, versehen. Weiterhin ist in dem IC-Sockel 2 und einer Sockelplatine 5 ein Durchgangsloch 2S ausgebildet, dessen Achse jeweils mit der Achse des zugehörigen Durchgangslochs 3H ausgerichtet ist. Schrauben 33 sind durch die Durchgangslöcher 3H und die entsprechenden Durchgangslöcher 2S hindurchgeführt, durch die der IC-Sockel 2 an der Sockelhalterung 3 befestigt wird.

Aus Lötmittel bestehende Kugeln bzw. Lötkugeln 11' dienen als IC-Anschlüsse und sind an der unteren Fläche des als BGA-Chip ausgeführten ICs in matrixförmiger Anordnung ausgebildet. Prismaförmige Führungsblöcke 22 sind an der oberen Fläche des IC-Sockels 2 entlang dessen sich jeweils gegenüberliegenden Seiten in einer Region fest angebracht, die außerhalb einer matrixförmigen Anordnung von Ausnehmungen 23 liegt. Die Ausnehmungen 23 dienen zur Aufnahme der Lötmittelkugeln, die an dem BGA-IC ausgebildet sind. Die sich jeweils gegenüber­ liegenden Führungsblöcke 22 besitzen gleich große Länge, wobei ihre sich gegenüberliegenden Oberflächen als schräg verlaufende Führungsflächen 22X und 22Y ausgebildet sind, so daß der zwischen ihnen vorhandene Abstand sich in der nach oben weisenden Richtung vergrößert. Ein Paar, d. h. die beiden sich jeweils gegenüberliegenden Führungsblöcke 22 weisen jeweils eine Länge auf, die kleiner ist als der Abstand zwischen den beiden anderen, sich gegenüberliegenden Führungsblöcken 22, und sind weiterhin mit jeweils gleichen Abständen zu den beiden anderen Führungsblöcken angeordnet. Der Raum, der von den keilförmigen, an den vier Führungsblöcken 22 ausgebildeten Führungsflächen 22X und 22Y im wesentlichen umschlossen ist, definiert die IC-Anlagefläche bzw. den IC-Aufnahmebereich 20. Dieser IC-Aufnahmebereich weist somit, im Querschnitt gesehen, in der horizontalen Ebene eine quadratische Konfiguration auf, die ähnlich ist wie die äußere Gestalt des ICs, wobei die vier Ecken des IC-Aufnahmebereichs 20 offen sind.

Ein IC1' (bzw. IC1), der als IC mit matrixförmig angeordneten, kugelförmig ausgebildeten Anschlüssen versehen ist (BGA-IC) und durch eine nicht dargestellte Haltefläche bzw. Ansaug­ fläche festgehalten wird, wird hinsichtlich seiner Orientierung durch den IC-Aufnahmebereich 20 ausgerichtet, wenn man ihn in den IC-Aufnahmebereich 20 hineinfallen läßt. Der IC-Aufnahme­ bereich 20 weist hierbei im einzelnen eine bodenseitige Fläche 21, zwei schräg angeordnete und in Seitenrichtung verlaufende, keilförmige Führungsflächen 22X und zwei angeschrägte, in Längsrichtung verlaufende, keilförmige Führungsflächen 22Y zur Führung des hineinfallenden ICs IC1 auf, so daß die untere Fläche 13 des ICs IC1 in korrekten Kontakt mit der bodenseitigen Fläche 21 des IC-Aufnahmebereichs 20 gebracht wird. Die jeweiligen, durch die schräg verlau­ fenden Führungsflächen gebildeten Paare verlaufen hierbei jeweils parallel zueinander.

Die Haltefläche (Haltekissen), an der der IC IC1 in angezogener oder angesaugter Position festgehalten wird, wird oberhalb des IC-Aufnahmebereichs 20 positioniert und dann nach unten bewegt, wonach die auf die Haltefläche ausgeübte Ansaugung freigegeben wird, so daß der IC IC1 herabfallen kann.

Das äußere Gehäuse 12 des nach unten fallenden ICs IC1 gelangt mit den in Längsrichtung verlaufenden, schrägen Führungsflächen 22Y und auch mit den in Seitenrichtung verlaufenden, schrägen Führungsflächen 22X in Berührung, so daß sich der IC IC1 nach unten bewegt, wobei er durch diese schrägen Führungsflächen geführt wird. Wenn der IC IC1 zum Stillstand gelangt, wenn seine untere Fläche 13 in korrekten Kontakt mit der bodenseitigen Fläche 21 des IC-Aufnahmebereichs 20 gelangen, sind gleichzeitig hiermit auch die an dem IC IC1 befindlichen, aus Lötmittel bestehenden Kugeln 11' (Anschlüsse) in den diese Kugeln aufnehmenden Ausneh­ mungen 23 positioniert, so daß die Kugeln (Anschlüsse) 11' mit den einzelnen Kontakten 24 des Sockels in Kontakt gebracht sind. Es ist ersichtlich, daß in der bodenseitigen Fläche 21 des IC-Aufnahmebereichs 20 insgesamt 36 Ausnehmungen 23 in matrixförmiger Anordnung ausgebildet sind. Jeder der Kontakte 24 des Sockels ist über einen zugehörigen, kontaktierenden nachgiebi­ gen Stift 25 mit der Sockelplatine 5 verbunden und weiterhin mit dem eigenständigen IC-Testgerät über die Sockelplatine, eine Anpassungsplatine oder einen anderen Pfad verbunden. In der Sockelhalterung 3 ist ein Führungsloch 35 ausgebildet, über das die Sockelhalterung 3 an der Basis 50 der Handhabungseinrichtung des IC-Testgeräts angebracht werden kann. Mit dem Führungsloch 35 steht ein Führungsstift 36 in Eingriff, der von der Handhabungseinrichtung ausgeht.

Bei dem vorliegenden Ausführungsbeispiel ist eine Erfassungseinrichtung zur Erfassung des Positionierungszustands vorhanden, die überprüft, ob ein IC IC1 korrekt in dem IC-Aufnahmebe­ reich 20 des Sockels 2 angeordnet ist. Die Erfassungseinrichtung arbeitet mit einem Sensor des Lichtschrankentyps, der ein Licht projizierendes bzw. aussendendes Element 41 und ein Licht empfangendes Element 42 enthält. Wie in den Fig. 1 und 2 dargestellt ist, sind insgesamt vier Paare aus Licht aussendenden Elementen 41 und Licht empfangenden Elementen 42, die das von den Licht aussendenden Elementen 41 ausgesandte Licht empfangen, vorgesehen.

Genauer gesagt, ist ein erstes Paar, das aus einem ersten, Licht projizierenden bzw. aussenden­ den Element 411 und einem ersten, Licht empfangenden Element 421, das das von dem Licht aussendenden Element 411 ausgesandte bzw. gerichtete Licht empfängt, besteht, ein zweites Paar, das aus einem zweiten, Licht projizierenden bzw. aussendenden Element 412 und einem zweiten, Licht empfangenden Element 422, das das von dem Licht aussendenden Element 412 ausgesandte Licht empfängt, besteht, ein drittes Paar, das aus einem dritten, Licht projizierenden bzw. aussendenden Element 413 und einem dritten, das von dem Licht aussendenden Element 413 ausgesandte Licht empfangenden Element 423 besteht, und ein viertes Paar vorgesehen, das ein viertes Licht projizierendes bzw. aussendendes Element 414 und ein viertes, Licht empfangendes Element 424 umfaßt, das das von dem Licht aussendenden Element 414 ausgesandte Licht empfängt.

Das erste, Licht aussendende Element 411 und das zweite, Licht aussendende Element 412 bilden zusammen ein Paar 41y für die Richtung Y, wohingegen das dritte, Licht aussendende Element 413 und das vierte, Licht aussendende Element 414 zusammen ein Elementpaar 41x für die Richtung X bilden. In gleichartiger Weise bilden das erste, Licht empfangende Element 421 und das zweite, Licht empfangende Element 422 zusammen ein Elementpaar 42y für die Richtung Y, wohingegen das dritte, Licht empfangende Element 423 und das vierte, Licht empfangende Element 424 gemeinsam ein Elementpaar 42x für die Richtung X bilden. Die beiden Elementpaare 41x und 41y und die beiden Elementpaare 42x und 42y sind an der Handhabungseinrichtung des IC-Testgeräts an Positionen angeordnet, die nahe bei den jeweiligen Lichteintrittsenden bzw. Lichteinfallsenden und den Lichtaustrittsenden von zwei Paaren aus das eintretende Licht führenden Lichtleitern bzw. Lichtführungen 31 (311, 312, 313, 314) bzw. nahe bei den Lichtaustrittsenden von zwei Paaren aus für das empfangene Licht vorgesehenen Lichtleitern bzw. Lichtführungen 32 (321, 322, 323, 324) liegen, wobei die beiden, Licht aussendenden Elementpaare und die beiden, Licht empfangenden Paare um den peripheren Rand der Sockelhalterung 3 herum angeordnet sind, derart, daß sie den jeweiligen Lichteintrittsenden bzw. den Lichtabstrahlungsenden der Lichtführungen 31 und 32 gegenüberliegen.

Im folgenden wird ein Lichtpfad erläutert, der von den Licht aussendenden Elementen 41x, 41y zu den Licht empfangenden Elementen 42x, 42y führt.

Die Lichtführungen 311, 312, 313, 314, 321, 322, 323 und 324 bilden einen Teil der Licht­ pfade, die von den Licht aussendenden Elementen 41x und 41y zu den Licht empfangenden Elementen 42x und 42y führen, und sind in der Sockelhalterung 3 eingebettet. Genauer gesagt, sind die erste und zweite, für das ausgesendete Licht vorgesehenen Lichtführungen 311 und 312, deren lichteinfallsseitige Enden so angeordnet sind, daß sie dem ersten bzw. dem zweiten Licht aussendenden Element 411 bzw. 412 gegenüberliegen, in der Sockelhalterung 3 so eingebettet, daß sie sich entlang einer Seite der Sockelhalterung 3 in der Richtung X erstrecken. Die lichtaustrittsseitigen Enden dieser für das ausgesandte Licht vorgesehenen Lichtführungen sind benachbart zu dem Umfang des IC-Sockels an einer ersten Position X, die mit der äußersten linken Spalte der matrixförmigen Anordnung von die kugelförmigen Anschlüsse aufnehmenden Ausnehmungen 23 ausgerichtet ist, bzw. an einer zweiten Position X nahe bei dem Umfang des IC-Sockels positioniert, die mit der rechts außen befindlichen Spalte der matrixförmigen Anord­ nung ausgerichtet ist.

Die dritte und die vierte, für das ausgesendete Licht vorgesehene Lichtführung 313 und 314, deren lichteintrittsseitigen Enden so angeordnet sind, daß sie dem dritten bzw. dem vierten, Licht aussendenden Element 413 bzw. 414 gegenüberliegen, sind in der Sockelhalterung 3 eingebettet und erstrecken sich in der Richtung Y entlang einer Seite der Sockelhalterung 3. Die lichtaustrittsseitigen Enden dieser für das ausgesandte Licht vorgesehenen Lichtführungen 313, 314 sind benachbart zu dem peripheren Rand des IC-Sockels an einer ersten Position Y, die mit der obersten Reihe der matrixförmigen Anordnung der zur Aufnahme der kugelförmigen An­ schlüsse vorgesehenen Ausnehmungen 23 ausgerichtet ist, bzw. an einer zweiten Position Y angeordnet, die mit der untersten Reihe der matrixförmigen Anordnung ausgerichtet ist.

Die für das ausgesendete Licht vorgesehenen Lichtführungen 311, 312, 313, 314, die so angeordnet sind, daß sie dem für die Richtung Y vorgesehenen, durch die Licht aussendenden Elemente gebildeten Elementpaar 41y bzw. dem durch die Licht aussendenden Elemente gebildeten Elementpaar 41x für die Richtung X gegenüberliegen, weisen hierbei unterschiedliche (oder paarweise unterschiedliche) Längen auf. Anstelle des Einsatzes jeweils eines Elementpaars bei dem für die Richtung Y vorgesehenen, Licht aussendenden Elementpaar 41x und dem für die Richtung X vorgesehenen, Licht aussendenden Elementpaar 41x ist es auch möglich, anstelle jeweils eines Paars nur ein einziges, Licht aussendendes Element vorzusehen.

Die erste und die zweite, für das Empfangslicht vorgesehenen Lichtführungen 321 und 322 weisen Lichtabstrahlungsenden bzw. Lichtaustrittsenden auf, die so angeordnet sind, daß sie dem ersten bzw. dem zweiten, Licht empfangenden Element 421 bzw. 422 jeweils gegenüber­ liegen, und sind in der Sockelhalterung 3 eingebettet. Die Lichtführungen 321 und 322 er­ strecken sich in der Richtung X entlang der anderen Seite der Sockelhalterung 3. Die lichtein­ trittsseitigen Enden dieser Lichtführungen 321 und 322 sind benachbart zu dem umfangsseitigen Rand des IC-Sockels 2 an einer ersten Position X, die mit der äußersten linken Spalte der matrixförmigen Anordnung von Ausnehmungen 23 ausgerichtet ist, bzw. an einer zweiten Position X angeordnet, die mit der äußersten rechten Spalte der matrixförmigen Anordnung ausgerichtet ist.

Die dritte und die vierte, für den Lichtempfang vorgesehene Lichtführung 323 und 324 weisen Lichtabstrahlungsenden bzw. Lichtaustrittsenden auf, die so angeordnet sind, daß sie dem dritten bzw. dem vierten Licht empfangenden Element 423 bzw. 424 jeweils gegenüberliegen. Die Lichtführungen 323 und 324 sind in der Sockelhalterung 3 eingebettet und erstrecken sich in der Richtung Y entlang der anderen Seite der Sockelhalterung 3. Die lichteintrittsseitigen Enden dieser Lichtführungen 323 und 324 sind benachbart zu dem umfangsmäßigen Rand des IC-Sockels 2 an einer ersten Position Y, die mit der äußersten rechten Zeile der matrixförmigen Anordnung von Ausnehmungen 23 ausgerichtet ist, bzw. an einer zweiten Position Y angeord­ net, die mit der untersten Zeile der matrixförmigen Anordnung ausgerichtet ist.

Es ist ersichtlich, daß die Lichtführungen 321, 322, 323 und 324, die dem für den Lichtempfang vorgesehenen Elementpaar 42y und dem für den Lichtempfang vorgesehenen Elementpaar 42x gegenüberliegen, jeweils (paarweise) unterschiedliche Längen aufweisen.

Das lichtaustrittsseitige Ende der Lichtführungen 311, 312, 313 und 314 und das lichteintritts­ seitige Ende der Lichtführungen 321, 322, 323 und 324 sind jeweils mit einer Licht reflektieren­ den Oberfläche r versehen, die einen Winkel von vorzugsweise 45° mit der Längsrichtung jeder Lichtführung bildet. Die Lichtführung kann aus einem optischen Glas bestehen, und es kann die Licht reflektierende Oberfläche r in einfacher Weise dadurch gebildet werden, daß das freie Ende des Glases in einem Winkel von 45°, bezogen auf die Längsrichtung der Lichtführung, geschlif­ fen und poliert wird.

In Fig. 1 ist die optische Achse des Sensors hinsichtlich der Lichtaussendung aus der Lichtfüh­ rung 311 mit 43 bezeichnet. Die optische Achse 43 des Sensors ist in der Elevation bzw. in ihrer Höhenlage so ausgewählt, daß sie oberhalb der oberen Fläche 21 des IC-Sockels 2 (oder oberhalb der bodenseitigen Fläche 21 des IC-Aufnahmebereichs 20) liegt, jedoch unterhalb der Höhenlage eines ICs und vorzugsweise bei einem Niveau liegt, das unterhalb der Hälfte der Höhenerstreckung des ICs liegt. Wenn ein zu testender IC korrekt auf dem IC-Sockel 2 angeord­ net ist, ergibt sich somit, daß das Licht, das durch der von dem IC belegten Raum verläuft, auf das lichteintrittsseitige Ende der für den Lichtempfang vorgesehenen Lichtführung auftrifft (oder nicht auftrifft), so daß es möglich ist, jegliche geringfügige Abnormalität hinsichtlich der Haltung bzw. Ausrichtung des ICs zu erfassen.

Licht, das von dem ersten, Licht aussendenden Element 411 ausgesandt wird, trifft auf die erste Lichtführung 311, die dem Licht aussendenden Element 411 gegenüberliegend angeordnet ist, auf, wird durch die Licht reflektierende Oberfläche r an dem freien Ende der Lichtführung 311 reflektiert und daher hinsichtlich seines Lichtausbreitungspfads in einem Winkel von 90° bei seiner weiteren Ausbreitung umgelenkt, trifft dann auf die Licht reflektierende Oberfläche r an dem freien Ende der ersten, für den Lichtempfang vorgesehenen Lichtführung 321 auf, durch die es so reflektiert wird, daß der Ausbreitungspfad des Lichts in einem Winkel von 90° umgelenkt wird, und pflanzt sich dann durch die Lichtführung 321 fort, wobei es von dem Ende der Lichtführung 321 ausgesendet wird und auf das erste Licht empfangende Element 421 auftrifft, das der Lichtführung 321 gegenüberliegend angeordnet ist. In gleichartiger Weise trifft auch das Licht, das von dem zweiten, Licht aussendenden Element 412 ausgesandt wird, auf das zweite Licht empfangende Element 422 auf und wird von diesem detektiert. Ebenso wird das Licht, das von dem dritten Licht aussendenden Element 413 ausgesandt wird, durch das dritte Licht empfangende Element 423 empfangen, während das von dem vierten Licht aussendenden Element 414 ausgesandte Licht von dem vierten Licht empfangenden Element 424 detektiert wird.

Nachfolgend wird der Ablauf der Montage näher erläutert. Anfänglich werden das für die Richtung Y vorgesehene, zur Lichtaussendung dienende Elementenpaar 41y, das für die Richtung X vorgesehene, zur Lichtaussendung dienende Elementpaar 41x, das für die Richtung Y vorgesehene, Licht empfangende Elementpaar 42y und das für die Richtung X vorgesehene, Licht empfangende Elementpaar 42x an der Basis 50 der Handhabungseinrichtung montiert, wobei hierzu Montageelemente 51 eingesetzt werden. Diese Paare werden so angebracht, daß zwischen ihnen ein Abstand vorhanden ist, der es ermöglicht, eine Sockelhalterung, die hinsicht­ lich ihrer äußeren Abmessungen maximale, bei dem Einsatz zu erwartende Größe aufweist, als Sockelhalterung 3 zwischen diesen vier Paaren anzuordnen und zu befestigen. Die positions­ mäßige Beziehung wird auf diese Weise derart festgelegt, daß Licht, das von dem für die Richtung Y vorgesehenen, Licht aussendenden Elementpaar 41y ausgesandt wird, auf die erste Lichtführung 311 bzw. die zweite Lichtführung 312 auftrifft, und daß Licht, das von dem für die Richtung X vorgesehenen, Licht aussendenden Elementpaar 41x ausgesandt wird, auf die dritte Lichtführung 313 bzw. auf die vierte Lichtführung 314 auftrifft, wohingegen Licht, das von der ersten, für den Lichtempfang vorgesehenen Lichtführung 321 ausgesandt wird, auf das erste Licht empfangende Element 421 auftrifft, Licht, das von der zweiten, für den Lichtempfang vorgesehenen Lichtführung 322 austritt, auf das zweite Licht empfangende Element 422 auftrifft, Licht, das von der dritten, für den Lichtempfang vorgesehenen Lichtführung 323 austritt, auf das dritte Licht empfangende Element 423 auftrifft, und Licht, das von der vierten, für den Lichtempfang vorgesehenen Lichtführung 324 ausgesendet wird, auf das vierte Licht empfangende Element 424 auftrifft. Nachfolgend wird die Höhenlage des IC-Sockels 2, der für ein BGA-IC vorgesehen ist, relativ zu der Sockelhalterung 3 justiert.

Das beschriebene IC-Testgerät ist somit mit einer Erfassungseinrichtung zur Erfassung des Positionierungszustands bzw. Ausrichtungszustands versehen, die in der vorstehend erläuterten Weise aufgebaut ist und dazu dient, die Haltung eines ICs, d. h. eines zu messenden oder testenden Bauelements zu untersuchen, das auf die Kontakte aufgebracht ist, die auf dem IC-Sockel angeordnet sind. Wenn hierbei Licht von dem zur Lichtaussendung vorgesehenen Elementpaar ausgesandt wird, wird dieses Licht durch den IC IC1 unterbrochen, wenn dieser in dem IC-Aufnahmebereich vorhanden ist, so daß verhindert wird, daß Licht auf die Lichtemp­ fangselemente auftrifft. Wenn im Gegensatz hierzu aber kein IC IC1 vorhanden ist, trifft das Licht, das von den Licht aussendenden Elementen abgestrahlt wird, direkt auf die Licht empfan­ genden Elemente auf und wird von diesen empfangen, was die Erfassung, daß kein IC IC1 in dem IC-Aufnahmebereich 20 vorhanden ist, ermöglicht.

Gemäß den vorstehenden Erläuterungen können die Licht aussendenden Elemente 411, 412, 413 und 414 jeweils ein optisches System enthalten, das eine oder mehrere Linsen enthält, das oder die Licht, das von einem Licht aussendenden, an einer nicht gezeigten Handhabungseinrich­ tung vorhandenen Element durch eine optische Phase Faser erhalten wird, zu einem dünnen Strahl konvergiert bzw. konvergieren, wobei dieser dünne Strahl in das lichteintrittsseitige Ende der für das Sendelicht vorgesehenen Lichtführung eingeleitet wird. Alternativ kann jedes sendende Element selbst jeweils ein Licht aussendendes Element und eine Projektionslinse enthalten, und es kann elektrische Leistung von der Handhabungseinrichtung zu dem Licht aussendenden Element gespeist werden. In gleichartiger Weise können auch die Licht empfan­ genden Elemente 421, 422, 423 und 424 jeweils eine Linse und einen für den Lichteintritt vorgesehenen Endbereich einer optischen Faser enthalten, so daß das empfangene Licht durch die optische Faser zu einem Photodetektor geleitet werden kann, der an der nicht gezeigten Handhabungseinrichtung vorgesehen ist. Alternativ kann jedes Licht empfangende Element auch eine Linse und einen Photodetektor umfassen, wobei in diesem Fall das Erfassungssignal zu der Handhabungseinrichtung geleitet wird.

Der IC-Sockel, der vorstehend unter Bezugnahme auf die Fig. 1 und 2 erläutert worden ist, ist zur Aufnahme eines ICs des BGA-Typs (IC mit in Gitterform angeordneten, kugelförmigen Anschlüssen) ausgelegt. Für ICs mit der in Fig. 3 dargestellten Ausführungsform oder für andere Arten von ICs werden die Längen der für das Sendelicht vorgesehenen Lichtführungen 311, 312, 313 und 314 sowie der für den Lichtempfang vorgesehenen Lichtführungen 321, 322, 323 und 324 in Abhängigkeit von der Größe der Außenkonfiguration bzw. der Außenabmessungen und der Anschlußanordnung des jeweiligen ICs festgelegt, und es werden die Sockelhalterungen 3 bereits vorab bereitgestellt, die solche Lichtführungen intern enthalten. Wenn die Sockelhalte­ rungen derart ausgelegt werden, kann der Abstand zwischen zwei Lichtführungen, die gemein­ sam jeweils ein Paar für die Licht aussendenden Elemente und/oder die Licht empfangenden Elemente bilden, unabhängig von der Anzahl unterschiedlicher ICs oder unabhängig von den jeweiligen ICs festgelegt werden und kann so gewählt werden, daß er gleich groß ist wie ein vorgegebener Abstand zwischen den beiden, als Paar vorgesehenen Licht aussendenden Elementen.

Wie vorstehend erläutert, ist es bei dem erfindungsgemäßen Halbleiterbauelement-Testgerät dann, wenn der Typ eines zu messenden bzw. zu testenden Bauelements, insbesondere eines ICs, gewechselt werden soll, lediglich erforderlich, allein die Sockelhalterung 3 entsprechend zu wählen, ohne daß eine Wegnahme oder ein Austausch des das Licht aussendenden Element­ paars oder des das Licht empfangenden Elementpaars notwendig ist. Die ausgewählte Sockelhal­ terung 3 verfügt über jeweils in ihr eingebettete Lichtführungen für das zu sendende und das empfangene Licht, wobei die Lichtführungen jeweilige Längen besitzen, die den unterschiedli­ chen Gestalten und Größen der zu testenden Bauelemente, insbesondere ICs, entsprechen. Es besteht keine Notwendigkeit, die Gestalt und die Anordnungsposition des das Licht projizieren­ den bzw. aussendenden Elementpaars und des das Licht empfangenden Elementpaars zu ändern. Wenn Lichtführungen eingesetzt werden, die jeweils mit einer Licht reflektierenden Oberfläche r an dem lichtaustrittsseitigen Ende der das Sendelicht führenden Lichtführung(en) und an dem lichteintrittsseitigem Ende der für den Lichtempfang vorgesehenen Lichtführung(en) versehen sind, ist es lediglich erforderlich, Sockelhalterungen vorzusehen, die Lichtführungen mit vorbe­ stimmten Längen aufweisen, die jeweils in Abhängigkeit von dem Typ der ICs festgelegt sind. Wenn der längenmäßige Unterschied zwischen den Längen der beiden benachbart zueinander eingebetteten, für das Sendelicht vorgesehenen Lichtführungen sowie der längenmäßige Unterschied zwischen den Längen der beiden benachbart zueinander eingebetteten, für den Lichtempfang vorgesehenen Lichtführungen so gewählt werden, daß sie geringfügig kleiner sind als die Größe der äußeren Konfiguration des ICs, besteht die einzige Anforderung darin, Sockel­ halterungen 3 vorzusehen, die an die jeweiligen Arten von ICs angepaßt sind. Wenn zwei oder mehr Sensoren, die nach dem Lichtdurchstrahlungsprinzip bzw. Lichtschrankenprinzip arbeiten und in unterschiedlichen Richtungen wirksam sind, vorgesehen werden, läßt sich auch jegliche Verkippung eines ICs, der in beliebiger Orientierung auf dem IC-Sockel angeordnet ist, erfassen, so daß sich auch eine solche abnormale Haltung mit erhöhter Zuverlässigkeit vorteilhafter Weise detektieren läßt.

Mit dem beschriebenen IC-Testgerät läßt sich die Haltung eines zu untersuchenden ICs in einer für eine jeweilige Art von IC angepaßten Weise einfach und zuverlässig erfassen. Das IC-Testgerät enthält eine Handhabungseinrichtung, an der ein IC-Sockel 2 und eine Sockelhalterung 3 angeordnet sind, die zentral in ihrer Mitte mit einer quadratischen Öffnung 30 versehen ist, in die der IC-Sockel 2 einpaßbar ist. In der Sockelhalterung 3 ist eine Lichtführung eingebettet, die zur Führung von Sendelicht dient und ein lichtaustrittsseitiges Ende besitzt, an dem eine Licht reflektierende Oberfläche r ausgebildet ist. In der Sockelhalterung 3 ist darüber hinaus eine weitere Lichtführung eingebettet, die ein lichteintrittsseitiges Ende aufweist, an der eine Licht reflektierende Oberfläche ausgebildet ist. Diese Lichtführung dient zur Führung von empfange­ nem Licht und ist parallel zu der für das Sendelicht vorgesehenen Lichtführung angeordnet. Weiterhin sind ein für die Lichtaussendung vorgesehenes Element, das der für das Sendelicht vorgesehenen Lichtführung gegenüberliegend angeordnet ist, und ein Lichtempfangselement vorgesehen, das so angeordnet ist, daß es der für den Lichtempfang vorgesehenen Lichtführung gegenüberliegt.

Claims (16)

1. IC-Testgerät mit einer Handhabungseinrichtung, durch die zu testende ICs aufeinan­ derfolgend auf einen IC-Sockel (2) aufbringbar und die jeweils getesteten ICs von diesem IC-Sockel (2) abnehmbar sind, und mit einer Testeinrichtung, durch die ein Testsignal an einen zu testenden IC zur Durchführung einer Messung anlegbar ist, mit
einer Sockelhalterung (3), die an der Handhabungseinrichtung abnehmbar angebracht ist und in deren Mitte der IC-Sockel (2), auf dem ein zu testender IC anzuordnen ist, angebracht ist,
einer ersten Lichtführungseinrichtung (311 bis 314), die ein lichteintrittsseitiges Ende aufweist, das an dem Umfangsrand der Sockelhalterung (3) angeordnet ist, und die zum Führen von einfallendem Licht sowie zum Aussenden des Lichts derart dient, daß dieses durch einen Raum (20) hindurchläuft, in dem ein zu testender IC (IC1) auf dem IC-Sockel (2) anzuordnen ist,
einer zweiten Lichtführungseinrichtung (321 bis 324), die ein lichteintrittsseitiges Ende aufweist, das benachbart zu dem umfangsmäßigen Rand des IC-Sockels (2) angeordnet ist und zum Empfangen des Lichts, das durch den zur Aufnahme des ICs vorgesehenen Raum (20) hindurchgetreten ist, ausgelegt ist, wobei die zweite Lichtführungseinrichtung (321 bis 324) zum Führen des empfangenen Lichts dient und ein lichtaustrittsseitiges Ende aufweist, über das das empfangene Licht an dem umfangsmäßigen Rand der Sockelhalterung (3) ausgebbar ist,
einer Lichtsendeeinrichtung (41x, 41y, 411 bis 414), die an der Handhabungseinrich­ tung angebracht ist und ein lichtaustrittsseitiges Ende aufweist, das vom lichteintrittsseitigen Ende der ersten Lichtführungseinrichtung (411 bis 414) beabstandet und so angeordnet ist, daß es dem lichteintrittsseitigem Ende der ersten Lichtführungseinrichtung gegenüberliegt, und
einer Lichtempfangseinrichtung (42x, 42y, 421 bis 424), die an der Handhabungsein­ richtung befestigt ist und ein Lichtempfangsende aufweist, das so angeordnet ist, daß es dem lichtaustrittsseitigem Ende der zweiten Lichtführungseinrichtung (321 bis 324) mit Abstand gegenüberliegt.

2. IC-Testgerät nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die erste Lichtfüh­ rungseinrichtung eine einzige Lichtführung (311, 312) aufweist, und daß die zweite Lichtfüh­ rungseinrichtung eine einzige Lichtführung (321, 322) umfaßt.

3. IC-Testgerät nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die erste Licht­ führungseinrichtung ein Paar von benachbart zueinander und parallel verlaufenden, für das Sendelicht vorgesehene Lichtführungen (311, 312) umfaßt, die unterschiedliche Längen aufweisen, und daß die zweite Lichtführungseinrichtung ein Paar von benachbart zueinander und parallel angeordneten, zur Führung von empfangenem Licht dienende Lichtführungen (321, 322) enthält, die unterschiedliche Längen besitzen.

4. IC-Testgerät nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß der längenmäßige Unterschied zwischen den beiden benachbart zueinander und parallel angeordneten, für das Sendelicht vorgesehenen Lichtführungen (311, 312), und der längenmäßige Unterschied zwischen den beiden benachbart zueinander und parallel angeordneten, für den Lichtempfang vorgesehenen Lichtführungen (321, 322) so gewählt sind, daß sie der Größe der äußeren Abmessungen eines zu messenden ICs entsprechen.

5. IC-Testgerät nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß in der Sockelhalterung (2) eine weitere, für das Sendelicht vorgesehene Lichtführung (313, 314) derart eingebettet ist, daß sie in einer Richtung verläuft, die sich von der Erstreckungsrich­ tung der erstgenannten, für das Sendelicht vorgesehenen Lichtführung (311, 312) unterscheidet, daß in der Sockelhalterung (3) eine weitere, für den Lichtempfang vorgesehene Lichtführung (323, 324) derart eingebettet ist, daß sie in einer Richtung verläuft, die sich von der Er­ streckungsrichtung der erstgenannten, für den Lichtempfang vorgesehenen Lichtführung (321, 322) unterscheidet, daß an der Handhabungseinrichtung eine weitere, Licht aussendende Einrichtung (413, 414) befestigt ist, die derart angeordnet ist, daß sie sich nahe bei dem lichteintrittsseitigen Ende der weiteren, für das Sendelicht vorgesehenen Lichtführung (313, 314) befindet und dieser gegenüberliegt, und daß eine weitere Lichtempfangseinrichtung (423, 424) an der Handhabungseinrichtung befestigt und derart angeordnet ist, daß sie sich nahe bei dem lichtaustrittsseitigen Ende der weiteren, für den Lichtempfang vorgesehenen Lichtführung (323, 324) befindet und dieser gegenüberliegt.

6. IC-Testgerät nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die zuerst erwähnte, für das Sendelicht vorgesehene Lichtführung (311, 312) und die für den Lichtempfang vorgese­ hene Lichtführung (321, 322) und/oder die weitere, für das Sendelicht vorgesehene Lichtführung (313, 314) und die für den Lichtempfang vorgesehene Lichtführung (323, 324) jeweils ein Paar gegenseitig benachbarter, paralleler, für das Sendelicht vorgesehene Lichtführungen (311, 312, 313, 314) mit jeweils unterschiedlichen Längen und ein Paar von gegenseitig benachbarten, parallelen, für den Lichtempfang vorgesehenen Lichtführungen (321, 322, 323, 324) mit unterschiedlichen Längen umfassen.

7. IC-Testgerät nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß der längenmäßige Unterschied zwischen dem Paar von gegenseitig benachbarten, parallelen, für das Sendelicht vorgesehenen Lichtführungen (311, 312, 313, 314) und der längenmäßige Unterschied zwischen dem Paar von gegenseitig benachbarten, parallelen, für den Lichtempfang vorgesehe­ nen Lichtführungen (321, 322, 323, 324) derart gewählt sind, daß sie der Größe der äußeren Abmessungen eines zu messenden ICs entsprechen.

8. IC-Testgerät nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Sockelhalterung (3) in ihrer Mitte mit einem quadratischen Schlitz oder einer quadrati­ schen Ausnehmung (33S) versehen ist, die in ihrem unteren Bereich größer ist als die Außenab­ messungen des IC-Sockels (2), und die in ihrem oberen Bereich kleiner ist als die Außenabmes­ sungen des IC-Sockels (2), wobei der IC-Sockel in die quadratische Ausnehmung auf der kleineren Seite eingepaßt ist bzw. in den kleineren, oberen Bereich.

9. IC-Testgerät nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß prismenförmige Führungsblöcke (22) an der oberen Fläche des IC-Sockels (2) fest an solchen Positionen angebracht sind, die nahe bei den vier Seiten des Außenrands des IC-Sockels (2) liegen, daß die Führungsblöcke (22) eine Länge besitzen, die kleiner ist als die Längen der jeweiligen Außenseiten des IC-Sockels (2), und daß die sich jeweils gegenüberliegenden Führungsblöcke (22) schräg verlaufende Führungsflächen (22x, 22y) aufweisen, wobei sich der zwischen den Führungsflächen vorhandene Abstand in Richtung nach oben vergrößert.

10. IC-Testgerät nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Ende der jeweiligen, für das Sendelicht vorgesehenen Lichtführungseinrichtungen (311, 312, 313, 314), das jeweils benachbart zu dem IC-Sockel (2) angeordnet ist, mit einer Spiegel­ fläche (r) versehen ist, durch die das Licht in einer Richtung umgelenkt wird, die sich von der Erstreckungsrichtung der zweiten Lichtführungseinrichtung (321 bis 324) unterscheidet.

11. IC-Testgerät nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Außenform des IC-Sockels (2) im wesentlichen einem Parallelogramm entspricht, und daß die erste und die zweite Lichtführungseinrichtung (311 bis 314, 321 bis 324) sich entlang der sich jeweils gegenüberliegenden Seiten des IC-Sockels (2) erstrecken.

12. IC-Testgerät nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die erste und die zweite Lichtführungseinrichtung (311 bis 314, 321 bis 324) jeweils durch einen Glasstab gebildet sind.

13. IC-Testgerät nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Licht aussendende Einrichtung (41x, 41y, 411, 412, 413, 414) eine optische Einrich­ tung aufweist, durch die Licht, das von der Handhabungseinrichtung durch eine optische Faser zugeführt wird, derart konvergierbar ist, daß das Licht auf das lichteintrittsseitige Ende der ersten Lichtführungseinrichtung (311 bis 314) einstrahlbar ist.

14. IC-Testgerät nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Licht aussendende Einrichtung (41x, 41y, 411, 412, 413, 414) eine Licht aussendende Einrichtung aufweist, die durch die Handhabungseinrichtung zur Lichtaussendung gespeist bzw. gesteuert wird.

15. IC-Testgerät nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Lichtempfangseinrichtung (42x, 42y, 421, 422, 423, 424) eine optische Einrichtung umfaßt durch die Licht, das von dem lichtaustrittsseitigen Ende der zweiten Lichtführungsein­ richtung (321 bis 324) ausgesendet wird, konzentrierbar und zu der Handhabungseinrichtung über eine optische Faser speisbar ist.

16. IC-Testgerät nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Lichtempfangseinrichtung (42x, 42y, 421, 422, 423, 424) eine Photodetektoreinrich­ tung umfaßt, die Licht, das von dem lichtaustrittsseitigen Ende der zweiten Lichtführungseinrich­ tung (321, 322, 323, 324) austritt, erfaßt und ein Erfassungssignal an die Handhabungseinrich­ tung abgibt.