DE19755566A1 - Verfahren zum Auswuchten von Drehanoden für Röntgenröhren - Google Patents

Description

Die Erfindung bezieht sich allgemein auf ein Verfah­ ren zum präzisen Fertigen von Röntgenanoden und insbesondere auf ein Verfahren zum dynamischen Auswuchten derartiger An­ oden um ihre Drehachsen.

In Röntgenmaschinen und damit im Zusammenhang stehen­ den Einrichtungen (z. B. Computer-Axialtomographie-Scanner) werden Röntgenphotonen erzeugt, indem ein fokussiertes Elek­ tronenbündel von einer Kathode auf eine rotierende Anode, insbesondere auf die Ziel- bzw. Targetfläche der Anode, ge­ richtet werden. Der Fokal- bzw. Brennpunkt des Röntgen­ strahls, der dazu verwendet wird, ein Diagnosebild zu erzeu­ gen, wird durch die Targetfokalspur, die Fläche des Elektro­ nenbündelaufpralls auf die Anode, gebildet. Gute Beschreibun­ gen über den allgemeinen Stand der Technik in der Röntgenröh­ renstruktur und deren Betrieb kann in den US-Patentschriften 3 851 204, 4 052 640, 4 132 916, 4 953 190 und 5 422 527 ge­ funden werden.

Um Bilder zu erzeugen, die frei von Artefakten und unerwünschter Bewegung sind, ist ein stabiler Fokalpunkt kri­ tisch. Die Stabilität des Punktes ist weitgehend davon abhän­ gig, wie gut die Anode um ihre Drehachse ausgewuchtet bzw. symmetriert ist. Wenn die Anode nicht ausgewuchtet ist, kann die Zentrifugalkraft bewirken, daß sich die Anode während der Rotation verformt, das Anodentarget um die Ebene, die zu der Drehachse der Anode senkrecht ist, schwenkt oder kippt und bewirkt, daß der Fokalpunkt zittert. Da sich die Zentrifugal­ kraft der Unwucht (und somit die Amplitude der Kippbewegung) mit dem Quadrat der Drehkraft ändert, nimmt dieses Zittern bei höheren Drehzahlen zu. Wenn die Drehzahl weiterhin in Richtung auf die kritische Drehzahl der Anode zunimmt, d. h. irgendeine Eigen- oder Resonanzfrequenz in der Anodenanord­ nung, kann das Zittern besonders betont werden.

Die Anodensymmetrie bzw. -wucht ist auch kritisch für die Lebensdauer der Röntgenröhreneinrichtung, da sie die Abnutzung auf die den Anodenrotor tragende Lager beeinflußt. Lagerabnutzung bewirkt zahlreiche Probleme, wie beispiels­ weise übermäßige Erwärmung und thermisches Kriechen der Anode (was eine Fokalpunktdrift zur Folge hat); Lager/Rotor-Tren­ nung und Drift von Teilchen in Richtung auf die Kathode (was eine Lichtbogenbildung zur Folge hat); und ein Lagerklappern (was ein zusätzliches Fokalpunktzittern und auch übermäßigen Lärm bewirkt) neben anderen Problemen. Gute Erläuterungen von diesen und damit in Zusammenhang stehenden Problemen können in den US-Patentschriften 4 187 442, 4 272 696, 4 276 493, 4 393 511, 4 481 655, 4 569 070, 4 573 185, 4 914 684, 4 928 296 und 5 461 659 gefunden werden.

Aufgrund der vorstehenden Überlegungen werden Anoden im allgemeinen bis zu einem hohen Präzisionsgrad ausgewuch­ tet, üblicherweise auf weniger als 0,25 Gramm/Zentimeter Re­ stunwucht. Dynamisches Auswuchten wird dadurch ausgeführt, daß die Anode mit einer Drehzahl rotiert, die wesentlich un­ ter der kritischen Drehzahl liegt, und zwei Korrekturebenen verwendet werden, um die Unsymmetrie zu beseitigen. Dieses dynamische Auswuchtverfahren ist allgemein bekannt, und eine prägnante Erläuterung kann beispielsweise in "Marks' Standard Handbook for Mechanical Engineers" (Avallone et al, 9. Auf­ lage 1987) auf den Seiten 5-70 bis 5-74 gefunden werden. Es ist eine breite Vielfalt von Einrichtungen zum Ausführen des Verfahrens bekannt, und diese Einrichtungen verwenden im all­ gemeinen Mittel zum Ermitteln der Winkelstellung des Targets (z. B. Wellencodierer oder elektrische Aufnehmer) in Verbin­ dung mit Mitteln zum Feststellen der Amplitude der Unwucht (z. B. Kraftwandler oder Strobo-Blitzlichter). Zweckmäßiger­ weise gibt es kommerziell erhältliche dynamische Auswuchtma­ schinen, wie beispielsweise die, die von der Schenck Trebel Corporation (Deer Park, New York, U.S.A.) hergestellt werden, die eine schnelle und genaue Ausgabe dieser Parameter in al­ len vom Benutzer gewählten Korrekturebenen liefern. Wenn diese Parameter an den Korrekturebenen bekannt sind, können geeignete Mengen von Material an den Korrekturebenen hinzuge­ fügt oder entfernt werden, um die Unsymmetrie zu beseitigen.

Das oben beschriebene dynamische Auswuchtverfahren arbeitete in der Vergangenheit zum Auswuchten von Anoden im allgemeinen recht gut. Jedoch machen mehrere Faktoren das Verfahren für eine gegenwärtige Verwendung ungeeignet.

Erstens werden aufgrund der Steigerung in den Rönt­ genabgabeerfordernissen in den letzten Jahren die Anodentar­ gets von Röntgenröhren größer und schwerer, und die kriti­ schen Drehzahlen ihrer Anoden werden somit kleiner. Eine zu­ sätzliche Komplikation entsteht dadurch, daß Anoden technisch mehrere kritische Drehzahlen unterschiedlicher Typen haben: die starre kritische Drehzahl, d. h. die Grundfrequenz der ge­ samten Anode, wie sie sich bei einer relativ starren Welle verhält; die flexiblen kritischen Drehzahlen, die als die Grundfrequenzen der Subkomponenten der Anode (z. B. der Rotor, Target, usw.) beschrieben werden können, wenn eine Deforma­ tion der Subkomponenten (und Wechselwirkungen dazwischen) während der Rotation ins Spiel kommen; und Harmonische der starren und flexiblen kritischen Drehzahlen. In Abhängigkeit von der Struktur und den Materialeigenschaften der Anodensub­ komponenten kann die kleinste flexible kritische Drehzahl tatsächlich kleiner sein als die kleinste starre kritische Drehzahl.

Zweitens erfordern viele neuere Röntgenanwendungen erhöhte Betriebsdrehzahlen der Anode. Als eine Folge ist der Abstand zwischen Anodenbetriebsdrehzahlen und kritischen Drehzahlen in vielen Fällen verschwunden.

Drittens, und was am wichtigsten ist, arbeitet zwar das bekannte dynamische Auswuchtverfahren recht gut, um An­ oden zu liefern, die bei kleinen Betriebsdrehzahlen ausgewuchtet sind, es ist aber nicht geeignet für ein Aus­ wuchten oberhalb der ersten flexiblen kritischen Drehzahl. Als eine Folge sind die meisten Anoden, die gegenwärtig in Produktion sind, instabil bei Drehzahlen an oder nahe ihren ersten flexiblen kritischen Drehzahlen. Ein besseres Auswuch­ ten oberhalb der ersten flexiblen kritischen Drehzahl wird üblicherweise durch wiederholtes Ausführen des dynamischen Auswuchtens an der Anode bei verschiedenen Drehzahlen erhal­ ten, wobei die höchste Drehzahl der Betriebsdrehzahl der Anode angenähert ist. Dieses Verfahren ist jedoch zeitraubend, schwierig auszuführen und möglicherweise zerstörerisch. Dies gilt insbesondere in Anbetracht der Tatsache, daß trockene geschmierte Lager, die übliche Anoden tragen, nicht in Luft bei Betriebsdrehzahlen rotieren können, ohne daß ein schnel­ les Oxidieren und Abplatzen auftritt. Da die bekannten dyna­ mischen Auswuchteinrichtungen im allgemeinen hergestellt sind, um in Luft zu arbeiten, anstatt in dem Vakuum bzw. Un­ terdruck, bei dem die Anode arbeiten wird, wenn sie für ihren vorgesehenen Betrieb angeordnet ist, wird es effektiv unmög­ lich, das bekannte dynamische Auswuchtverfahren nahe der tatsächlichen Betriebsdrehzahl der Anode zu verwenden, ohne die Anode zu zerstören.

Es besteht deshalb in der Technik ein Bedürfnis für Verfahren zum dynamischen Auswuchten von Röntgenanoden bei kleinen Drehzahlen unter üblichen atmosphärischen Bedingungen (d. h. in einer oxidierenden Umgebung), wobei die entstehende, ausgewuchtete Anode dynamisch ausgewuchtet bleibt über einem Bereich von Betriebsdrehzahlen bis zu und einschließlich der flexiblen kritischen Drehzahl.

Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zum Aus­ wuchten einer Röntgenanode gemäß den Patentansprüchen. Zusam­ menfassend enthält das bevorzugte Verfahren die folgenden Schritte. Zunächst wird der Anodenrotor getrennt von dem An­ odentarget dynamisch ausgewuchtet in einem ersten Satz von Korrekturebenen. Als zweites wird die Anode zusammengebaut, indem das Anodentarget an dem Rotor befestigt wird. Schließlich wird die zusammengebaute Anode dynamisch ausge­ wuchtet in einem zweiten Satz von Korrekturebenen in dem Tar­ get. Somit wird das dynamische Auswuchten der Anode schritt­ weise ausgeführt, zunächst in dem Rotor und dann in der ge­ samten Anode. Dies ist ein Unterschied zu dem bekannten dyna­ mischen Auswuchtverfahren, bei dem nur die gesamte Anode dy­ namisch ausgewuchtet wird, im allgemeinen mit einer Korrektu­ rebene, die in dem Target gewählt wird, und einer innerhalb des Rotors.

Das erfindungsgemäße Verfahren hat mehrere Vorteile gegenüber den bekannten Verfahren, zu denen gehören:

• (1) Die durch das erfindungsgemäße Verfahren ausge­ wuchteten Anoden werden bis zu einem höheren Grad und über einem größeren Bereich von Betriebsdrehzahlen ausgewuchtet als Anoden, die durch die bekannten Verfahren ausgewuchtet wurden. Die Schritte des erfindungsgemäßen Verfahrens zum dy­ namischen Auswuchten können bei Drehzahlen ausgeführt werden, die wesentlich unterhalb der ersten kritischen Drehzahl der Anode liegen, aber die entstehende Anode ist trotzdem über einem Bereich von Betriebsdrehzahlen bis zu und höher als die erste flexible kritische Drehzahl ausgewuchtet.
• (2) Da die dynamischen Auswuchtungsschritte des er­ findungsgemäßen Verfahrens bei Drehzahlen ausgeführt werden können, die wesentlich unter der ersten kritischen Drehzahl liegen, kann das Verfahren in üblichen atmosphärischen Bedin­ gungen (d. h. in Luft) ausgeführt werden, und es sind keine Auswuchteinrichtungen erforderlich, die für einen Vakuumbe­ trieb speziell ausgelegt sind.

Die Erfindung wird nun mit weiteren Merkmalen und Vorteilen anhand der folgenden Beschreibung und Zeichnung von Ausführungsbeispielen näher erläutert.

Die Figur ist eine Seitenansicht von einer Röntgen­ röhrenanode.

In der Figur ist eine Anode 10 von üblichen bekannten Röntgenröhrenanoden dargestellt. Die Anode 10 enthält einen Rotor 12 mit einem nahegelegenen Ende 14 und einem entfernten Ende 16, an dem ein Target 18 befestigt ist. Das Target 18 enthält eine nahegelegene Fläche 20, auf der der Rotor 12 be­ festigt ist, und eine gegenüberliegende, entfernte Fläche 22, die durch einen Targetrand 24 begrenzt ist. Die Anode 10 ist in einer Röntgenröhre angebracht, wobei der Rotor 12 durch Lager 26 gehaltert ist. Der Rotor 12 wird durch eine elektro­ mechanische Einrichtung in Drehung versetzt, während ein Elektronenbündel auf das Target 12 aufprallt, um von einem Fokal- bzw. Brennpunkt Röntgenphotonen zu emittieren.

Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren wird zunächst der Rotor 12 genommen, der vorzugsweise bereits in seinen Lagern 26 angebracht ist, und dann wird der Rotor 12 durch Verwen­ dung des bekannten dynamischen Auswuchtverfahrens dynamisch ausgewuchtet. Genauer gesagt, wird dies dadurch getan, daß der Rotor 12 in seinen Lagern 26 um seine Drehachse in Rota­ tion versetzt wird, um die Amplitude und Winkellage der Ro­ torunwucht an zwei vom Benutzer definierten Korrekturebenen festzustellen. Diese Parameter können durch irgendwelche be­ kannten dynamischen Auswuchteinrichtungen ermittelt werden, z. B. die Schenck Trebel Model H1/10B Hartlager-Auswuchtma­ schine (Schenck Trebel Corp., Deer Park, New York, USA). Um eine Lagerbeschädigung zu vermeiden, wird die Ermittlung vor­ zugsweise bei einer Drehzahl ausgeführt, die wesentlich unter der ersten kritischen Drehzahl der Anode 10 liegt, von der der Rotor 12 später ein Teil sein wird. Da üblicherweise ver­ wendete Auswuchteinrichtungen Unwuchtmessungen mit höherer Genauigkeit liefern, wenn die Korrekturebenen weiter entfernt gewählt werden, sind die Korrekturebenen vorzugsweise soweit wie möglich auf dem Rotor 12 entfernt, z. B. nahe den gegen­ überliegenden Enden des Rotors 12 an den als Beispiel gewähl­ ten Korrekturebenen 28 und 30, wie es in der Figur darge­ stellt ist. Wenn die Größe und Winkellage der Unwucht an je­ der der Korrekturebenen 28 und 30 ermittelt sind, können die erforderlichen Materialmengen, um die Rotorunwucht zu korrigieren, von dem Rotor 12 an jeder Ebene 28 und 30 durch irgendwelche geeigneten Mittel entfernt werden, die in der Technik bekannt sind (z. B. Fräsen und/oder Elektronenbündel­ bearbeitung). Umgekehrt können statt dessen die entsprechenden Materialmengen hinzugefügt werden, um die Rotorunwucht zu korrigieren. Um die Unversehrtheit des auszuwuchtenden Rotors in dem größtmöglichen Umfang zu bewahren, ist es notwendig, daß der Rotor während der Beseitigung oder des Zusatzes von Material nicht von den Lagern 26 entfernt oder in ihnen ver­ schoben wird.

Dann wird das Target 18 an dem entfernten Ende 16 des Rotors 12 befestigt, um die zusammengesetzte Anode 10 zu bil­ den. (Wenn dies geschieht, ist es wiederum notwendig, daß der Rotor 12 nicht aus den Lagern 26 beseitigt oder in seiner Lage relativ zu den Lagern 26 verschoben wird.) Die Drehachse der gesamten Anode 10 ist die gleiche, wie diejenige des Ro­ tors 12. Die Anode 10 wird dann in den Lagern 26 in Rotation versetzt, und die dynamische Auswuchteinrichtung wird verwen­ det, um die Größe und Winkellage von Unwuchten innerhalb von zwei vom Benutzer definierten Korrekturebenen in der Anode 10 zu ermitteln. Vorzugsweise sind diese Korrekturebenen allein auf dem Target 18 angeordnet und so gewählt, daß sie soweit wie möglich im Abstand zueinander angeordnet sind. Als ein Beispiel können die Korrekturebenen auf gegenüberliegenden nahegelegenen und entfernten Flächen 20 und 22 des Targets 18 gewählt werden; für eine größere Einfachheit beim Entfernen oder Hinzufügen von Material, um die ermittelten Unwuchten auszugleichen, werden die Korrekturebenen jedoch im allgemei­ nen an der entfernten Fläche 22, d. h. an der Korrekturebene 32, und zusätzlich an einer Stelle auf dem Targetrand 24, z. B. an der Korrekturebene 34, gewählt. Wiederum wird das dy­ namische Auswuchten vorzugsweise bei einer Drehzahl vorgenom­ men, die wesentlich kleiner als die erste kritische Drehzahl der gesamten Anode 10 ist, um die Möglichkeit übermäßiger Schwingungen oder Abnutzung an den Lagern 26 zu verhindern. Da nun die effektive Masse des Rotors 12 durch Zusatz des Targets 18 vergrößert worden ist, um weiter sicherzustellen, daß keine ungewünschten Schwingungen und/oder Lagerbeschädi­ gungen während des Auswuchtens auftreten, kann es bevorzugt sein, die zusammengesetzte Anode bei einer kleineren Drehzahl auszuwuchten als derjenigen, bei der der Rotor 12 alleine ausgewuchtet wurde. Wenn andererseits die Masse der zusammen­ gesetzten Anode 10 genügend klein ist, so daß deutlich wird, daß Lagerabnutzung und übermäßige Schwingungen vermieden wer­ den können, kann es statt dessen vorzuziehen sein, die gesamte Anode 10 bei einer höheren Drehzahl auszuwuchten, da dies möglicherweise für ein genaueres Auswuchten sorgen kann.

In einigen Fällen, wenn beispielsweise der Targetrand 24 sehr schmal ist, kann es nicht ratsam sein, zwei Korrektu­ rebenen zu wählen, die beide das Target 18 schneiden, da sie in einem zu engen Abstand zueinander angeordnet sind und durch eine Auswuchtmaschine nicht so genau aufgelöst werden können. In diesem Fall werden zwei alternative Maßnahmen vor­ geschlagen. Als erstes kann es wünschenswert sein, die eine Korrekturebene auf dem Target 18 (z. B. an der Ebene 32) anzu­ ordnen und die eine auf dem Rotor 12 (z. B. an der Ebene 30). Zweitens können drei oder mehr Korrekturebenen verwendet wer­ den, z. B. alle Ebenen 28, 30 und 32, obwohl die meisten kom­ merziellen Auswuchteinrichtungen nicht eine Unwucht an drei Ebenen gleichzeitig auflösen. Die Auswuchtung, die durch ei­ nes der Verfahren erhalten wird, ist trotzdem einer Auswuch­ tung überlegen, die durch eines der bekannten Verfahren er­ halten wird, insbesondere bei Drehzahlen oberhalb der ersten flexiblen kritischen Drehzahl.

Die ausgewuchtete Anode, die durch das oben beschrie­ bene Verfahren erzeugt wird, ist zu einem wesentlich größeren Grad und über einem breiteren Bereich von Betriebsdrehzahlen ausgewuchtet als Anoden, die durch bekannte Verfahren ausge­ wuchtet sind. Ausgewuchtete Anoden, die durch das oben be­ schriebene Verfahren erzeugt sind, sind im allgemeinen auf einfache Weise identifizierbar, weil sie vier Ebenen haben, an denen Material hinzugefügt oder entfernt ist, um eine Un­ wucht zu korrigieren, beispielsweise an zwei Stellen auf dem Rotor und an zwei Stellen auf dem Target.

Claims (20)

1. Verfahren zum Auswuchten einer Drehanode, gekennzeichnet durch:

• a. ein Rotor wird in einem ersten Satz von Korrekturebenen bei einer ersten Drehzahl dynamisch ausgewuchtet,
• b. ein Target wird an dem Rotor befestigt, um die Anode zu bilden, und
• c. die Anode wird in einem zweiten Satz von Korrekturebenen bei einer zweiten Drehzahl dynamisch ausgewuchtet.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der zweite Satz von Korrekturebenen aus Korrekturebenen be­ steht, die in dem Target angeordnet sind.

3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die ersten und zweiten Drehzahlen unterhalb der ersten kriti­ schen Drehzahl der Anode liegen.

4. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die ersten und zweiten Drehzahlen im wesentlichen die glei­ chen sind.

5. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das dynamische Auswuchten des Rotors die Unterschritte ent­ hält:

• a. Drehen des Rotors um eine Drehachse,
• b. Ermitteln einer Unwucht des Rotors in einem ersten Satz von Korrekturebenen,
• c. Hinzufügen oder Entfernen von Material von dem Rotor in jeder Korrekturebene des ersten Satzes von Korrekturebenen, wobei die Materialmenge, die in jeder Ebene hinzugefügt oder entfernt wird, ausreichend ist, um die darin vorhandene Un­ wucht wesentlich zu verkleinern.

6. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das dynamische Auswuchten der Anode die Unterschritte ent­ hält:

• a. Drehen der Anode um eine Drehachse,
• b. Ermitteln einer Unwucht der Anode in dem zweiten Satz von Korrekturebenen,
• c. Hinzufügen oder Entfernen von Material von der Anode in jeder Korrekturebene des zweiten Satzes von Korrekturebenen, wobei die Materialmenge, die in jeder Ebene hinzugefügt oder entfernt wird, ausreicht, um die Unwucht darin wesentlich zu verkleinern.

7. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß der zweite Satz von Korrekturebenen das Target schneidet.

8. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Rotor ein entferntes Ende, an dem das Target befestigt ist, ein gegenüberliegendes nahegelegenes Ende und einen Mit­ telpunkt aufweist, der äquidistant von den entfernten und na­ hegelegenen Enden angeordnet ist, und wobei der erste Satz von Korrekturebenen auf gegenüberliegenden Seiten des Mittel­ punktes angeordnete Korrekturebenen aufweist.

9. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Target eine nahegelegene Fläche, von der der Rotor aus­ geht, und eine gegenüberliegende, entfernte Fläche aufweist, die durch einen Targetrand begrenzt ist, und wobei der zweite Satz von Korrekturebenen eine Korrekturebene, die die ent­ fernte Fläche schneidet, und eine Korrekturebene aufweist, die den Targetrand schneidet.

10. Ausgewuchtete Anode, die durch das Verfahren gemäß einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 9 hergestellt ist.

11. Verfahren zum Auswuchten einer Drehanode, gekennzeichnet durch:

• a. Bereitstellen eines Rotors und eines getrennten Targets, wobei der Rotor und das Target zur Bildung der Anode aneinander befestigt werden können,
• b. Drehen des Rotors um eine Drehachse bei einer ersten Dreh­ zahl,
• c. Ermitteln einer Unwucht des Rotors an einem ersten Paar von den Rotor schneidenden Korrekturebenen,
• d. Entfernen von Material von dem Rotor an dem ersten Paar von Korrekturebenen, um den Rotor dynamisch auszuwuchten,
• e. Befestigen des Targets an dem Rotor zur Bildung der Anode

.

12. Ausgewuchtete Anode, die durch das Verfahren gemäß An­ spruch 11 hergestellt ist.

13. Verfahren nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß:

• a. die Anode um die Drehachse bei einer zweiten Drehzahl ge­ dreht wird,
• b. eine Unwucht der Anode bei einem zweiten Paar von Korrek­ turebenen ermittelt wird und
• c. Material von dem Target an dem zweiten Paar von Korrektu­ rebenen entfernt wird, um die Anode dynamisch auszuwuchten.

14. Verfahren nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß das Target eine nahegelegene Fläche, von der der Rotor aus­ geht, und eine gegenüberliegende, entfernte Fläche aufweist, die durch einen Targetrand begrenzt ist, und wobei das zweite Paar von Korrekturebenen eine Korrekturebene, die die ent­ fernte Fläche schneidet, und eine Korrekturebene aufweist, die den Targetrand schneidet.

15. Verfahren nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß die zweite Drehzahl unter der ersten kritischen Drehzahl der Anode liegt.

16. Verfahren nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß die ersten und zweiten Drehzahlen im wesentlichen gleich sind.

17. Verfahren nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß der Rotor ein entferntes Ende, an dem das Target befestigt ist, und ein gegenüberliegendes, nahegelegenes Ende und einen Mittelpunkt aufweist, der äquidistant von den entfernten und nahegelegenen Enden angeordnet ist, und wobei das erste Paar von Korrekturebenen auf gegenüberliegenden Seiten des Mittel­ punktes angeordnete Korrekturebenen aufweist.

18. Verfahren nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß die erste Drehzahl unter der ersten kritischen Drehzahl der Anode liegt.

19. Verfahren zum Auswuchten einer Drehanode, gekennzeichnet durch:

• a. Bereitstellen eines Rotors und eines getrennten Targets, wobei der Rotor und das Target zur Bildung der Anode aneinan­ der befestigt werden können,
• b. der Rotor um eine Drehachse bei einer ersten Drehzahl ge­ dreht wird, die unter der ersten kritischen Drehzahl der An­ ode liegt, und gleichzeitig eine Unwucht des Rotors bei einem ersten Paar von den Rotor schneidenden Korrekturebenen ermit­ telt wird,
• c. an dem ersten Paar von Korrekturebenen Material zu dem Ro­ tor hinzugefügt oder von dem Rotor entfernt wird, um den Ro­ tor dynamisch auszuwuchten,
• d. das Target zur Bildung der Anode an dem Rotor befestigt wird,
• e. die Anode um die Drehachse bei einer zweiten Drehzahl un­ ter der ersten kritischen Drehzahl der Anode gedreht wird und gleichzeitig eine Unwucht der Anode bei einem zweiten Paar von Korrekturebenen ermittelt wird, die das Target schneiden,
• f. an dem zweiten Paar von Korrekturebenen Material zu dem Target hinzugefügt oder von dem Target entfernt wird, um die Anode dynamisch auszuwuchten.

20. Ausgewuchtete Anode, die durch das Verfahren gemäß An­ spruch 19 hergestellt ist.