DE19751710A1 - Magnetkörper mit Korrosionsschutzbeschichtung - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft Magnetkörper, welche gegen Einwirkung chemischer Stoffe auf ihre Außenflächen eine Schutzschicht aufweisen.

Unter Magnetkörper werden hierbei sowohl aus ma­ gnetischen als auch aus magnetisierbaren Stoffen bestehende Bauteile verstanden.

Aus der DE 38 17 467 ist ein Verfahren zum Schüt­ zen von Werkstücken aus magnetisierbarem Material gegen das Verspröden verursachende Eindringen von Wasserstoff bekannt. Hierbei wird als Schutz­ schicht eine aus Silizium-Kohlenstoff bestehende Schicht mit einem Überzug aus amorphem Kohlenstoff mit Wasserstoffatomen in der Matrix auf zu schüt­ zende Magnete mittels eines Verfahrens der plasma­ angeregten chemischen Dampfabscheidung auf die Flächen aufgetragen. Die Schutzschicht selbst be­ steht aus mindestens zwei Schichtlagen, nämlich aus einer unmittelbar auf dem magnetisierbaren Substrat aufgetragenen, gut haftenden Grund- oder Haftschicht aus Kohlenstoff mit Silizium und einer darauf abgeschiedenen dichteren, siliziumfreien oder siliziumhaltigen Schicht aus amorphem Kohlen­ stoff. Die derartig hergestellten Schutzschichten weisen typischerweise Dicken von 1 µm-3 µm auf.

Alternativ zu den vorgenannten anorganischen Schichten sind Schutzschichten für Magnete, insbe­ sondere Dauermagnete bekannt, die aus organischen Substanzen bestehen. Diese Schichten werden auf die Magnetkörper z. B. mittels der Kathoden- Elektrotauch-Lackierung oder als Pulver- oder als Naßlacke aufgetragen.

In der Praxis hat sich nun herausgestellt, daß die vorgenannten anorganischen bzw. organischen Schutzschichten bereits nach kurzer Zeit beim Ein­ satz unter atmosphärischen Bedingungen ihre Korro­ sionsschutzfähigkeiten verlieren, wenn die äußere Schutzschicht beim Einrichten und der Montage der Magnete, z. B. auf einem Magnetjoch durch Zusam­ menstöße aufgrund der starken magnetischen Anzie­ hung untereinander, mechanisch beschädigt werden. Die Schutzschichten werden hierbei teilweise, je­ doch optisch nicht ohne weiteres sichtbar entfernt und verlieren damit lokal ihre Schutzfunktion ge­ genüber Korrosion verursachenden Stoffen. Die Ero­ sion und Korrosion des nunmehr partiell unge­ schützten Magnetmaterials führt dann zu einer schnellen Auflösung der Magnetkörper. Werden der­ artige Magnetkörper z. B. in Umgebungen mit erhöh­ ter Temperatur eingesetzt und hierbei durch ein Kühlmedium zwangsläufig temperiert, so korrodiert der Magnet bevorzugt dort, wo hohe Strömungsge­ schwindigkeiten des Kühlmediums auftreten. Durch die im Kühlmedium mitgeführten Korrosionsprodukte wird der Abrieb der Schutzschichten nachteilig noch weiter verstärkt.

Besonders gefährdet gegen Korrosionseinwirkung z. B. durch oxydierende Substanzen sind die in ei­ nem Sinterverfahren hergestellten Dauermagnete, insbesondere Selten-Erd-Dauermagnetwerkstoffe, welche aus einer Eisen-Neodym-Bor- oder einer Ko­ balt-Samarium-Legierung bestehen. Diese Magnet­ werkstoffe werden zudem auch durch die Einwirkung von Wasserstoff sehr schnell zerstört. Insbesonde­ re Neodym enthaltende Magnete zersetzen sich schnell in Wasser oder Wasserdampf, da die magne­ tischen Anteile, insbesondere Neodym mit Wasser bzw. Wasserdampf zu löslichen Verbindungen reagie­ ren. Diese Korrosionsanfälligkeit ist insbesondere dann von Nachteil, wenn die Magnete in feuchter oder wäßriger Umgebung eingesetzt werden. Auch die bekannten organischen, aus Kunststoffen herge­ stellten Schichten sind von ihrer chemischen Natur her mehr oder weniger durchlässig für Wasser oder Wasserdampf und damit nicht geeignet, Wasser oder Wasserdampf grundsätzlich von dem Magnetkörper selbst fernzuhalten.

Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, einen gegenüber dem vorliegenden Stand der Technik wirk­ sameren Schutz von Magneten vor der Einwirkung von chemisch reaktiven, insbesondere flüssigen oder gasförmigen Stoffen zu schaffen.

Gelöst wird die Aufgabe erfindungsgemäß dadurch, daß der einzelne Magnetkörper mit einer diesen allflächig umgebenden Schutzschicht, welche aus einem an dem Magnetkörper anliegenden Folienzu­ schnitt besteht, bedeckt wird, wobei benachbarte, einander gegenüberliegende Seitenkanten des Foli­ enzuschnitts derartig mit Mitteln verbunden sind, daß der Magnetkörper in dem vom Folienzuschnitt umschlossenen Hohlraum eingekapselt ist. Die Ober­ fläche des zu umhüllenden Magnetkörpers entspricht im wesentlichen der Abwicklung des entfalteten Fo­ lienzuschnitts. Die Folienzuschnitte werden aus großflächigen Einzelfolien oder Folienbändern in Form des Folienzuschnitts herausgeschnitten oder herausgestanzt oder erodiert oder geätzt. Da der­ artige Folienbänder konstante Dicken mit sehr ge­ ringen Toleranzen haben, weisen die aus den Foli­ enzuschnitten bestehenden Schutzschichten für ein­ zelne Magnetkörper als auch für eine z. B. in ei­ ner Magnetanordnung gemeinsam verwendeten Vielzahl von Magneten vorteilhaft konstante Dicken auf.

Das Auftreten von infolge ungleichmäßiger Ausbil­ dung der Schutzschicht auftretender mechanischer Beschädigung und Korrosion der Magnetkörper wird damit vorteilhaft vermieden. Zur Festlegung der die einzelnen Flächen des Magnetkörpers abdeckenden Teilflächen des Folienzuschnitts wird dieser mit Faltlinien versehen, entlang derer der Folienzu­ schnitt entsprechend den zueinander abgewinkelten Flächen des Magnetkörpers auf dessen Flächen ge­ faltet wird. Der Magnetkörper wird hierzu auf den Folienzuschnitt gelegt und der Folienzuschnitt an­ schließend vollständig mit seinen Teilflächen an dem Magnetkörper angefaltet. Gegenüberliegende Stoßkanten des Folienzuschnitts werden mittels Verkleben oder Verschweißen oder Verlöten dauer­ haft und dichtend miteinander verbunden, wodurch der Magnetkörper vollständig von dem Außenraum ab­ gekapselt ist.

Durch die gleichmäßige Beschichtung der Magnetkör­ per ist es möglich, Magnetanordnungen herzustel­ len, welche eine Vielzahl von zueinander ausge­ richteten Magnetkörpern aufweisen. Hierbei kommt der exakten Ausrichtung der Magnetkörper und der damit verbundenen räumlichen Lage des erzeugten Magnetfeldes besondere Bedeutung zu. Durch die gleichmäßige Dicke der Schutzschicht werden Ver­ kippungen und Fehlstellungen der Magnetkörper zu­ einander vorteilhaft vermieden.

Gemäß Patentanspruch 2 besteht der Folienzuschnitt aus einem metallischen Werkstoff. Im Gegensatz zu nichtmetallischen Schutzschichten weisen Schutz­ schichten aus Metall eine geringere Durchlässig­ keit für Gase auf, welche von dem Magnetkörper fernzuhalten sind. Die metallischen Werkstoffe um­ fassen gemäß Patentanspruch 4 solche aus Kupfer, Zinn oder Nickel oder Blei oder Zinn oder Kupfer- Zink-Legierung oder Chrom-Nickel-Legierung oder Titan-Zink-Legierung bzw. solche aus den vorge­ nannten Metallen bestehende Legierungen.

Alternativ zu metallischen Werkstoffen sind auch Folienzuschnitte bestehend aus Kunststoffen oder metallisierte Kunststoffolie als Folienzuschnitt geeignet.

Werden die Folienzuschnitte wie mit Patentanspruch 3 vorgeschlagen, einstückig ausgebildet, so können diese in besonders ökonomischer Weise hergestellt werden. Zum Verbinden der benachbart einander ge­ genüberliegenden Seitenkanten des auf dem Magnet­ körper anliegenden Folienzuschnitts eignen sich entsprechend dem Werkstoff des verwendeten Folien­ zuschnitts Löten, Verschweißen oder Verkleben. Die durch die einander gegenüber liegenden Stoßkanten ausgebildeten Nuten werden auf diese Weise vor­ teilhaft dauerhaft dichtend für Flüssigkeiten und Gase verschlossen.

Die Folienzuschnitte weisen je nach Größe des ver­ wendeten Magnetkörpers eine Dicke von bis zu 1,5 mm auf. Folienzuschnitte mit kleinerer Dicke, vorzugsweise im Dickenbereich von 0,05 mm bis 1 mm, können besonders vorteilhaft eng an die Flä­ chen des Magnetkörpers angelegt werden, wodurch die räumliche Ausdehnung des Magnetkörpers nur un­ wesentlich vergrößert wird. Dieses ist insbesonde­ re dann von Vorteil, wenn in den bereits im Be­ trieb befindlichen Magnetanordnungen die z. B. durch herkömmliche Verfahren mit einer Schutz­ schicht überzogenen Magnetkörper gegen erfindungs­ gemäße Magnetkörper auszutauschen sind. In diesem Fall können Magnetkörper gleicher Abmessungen ver­ wendet werden, die mit den vorgenannten Folienzu­ schnitten in einer Dicke von 0,05 mm erfindungsge­ mäß bedeckt sind. Änderungen an den auf eine be­ stimmte Magnetkörpergröße ausgelegten Magnethalte­ rungen der Magnetanordnungen sind dann vorteilhaft nicht erforderlich. Ein weiterer Vorteil ist, daß die Magnetkörper einzeln austauschbar sind ohne daß die Schutzschicht für die nicht ausgetauschten Magnetkörper beschädigt wird, was z. B. bei mit ei­ ner einzigen durchgängigen Lackschicht beschichte­ ter Magnetkörper möglich ist.

Erfindungsgemäße Magnetkörper eignen sich insbe­ sondere zur Verwendung in Vorrichtungen zur Plas­ maerzeugung, wie in Anspruch 8 beschrieben. Derar­ tige Vorrichtungen bestehen im wesentlichen aus einer in eine Vakuumkammer eingebrachte Kathode und einer der Kathode zugeordneten Anode zur Er­ zeugung eines Plasmas, welches nach Anlegen eines elektrischen Potentials zwischen Kathode und Anode zündet und entsprechend dem zugeführten Plasmagas und Gasdruck den Raum zwischen Kathode und Anode erfüllt. Derartige Plasmen können durch magnetfel­ derzeugende Magnetkörper in definierter Weise räumlich verändert werden, so daß z. B. das Plasma innerhalb eines vorbestimmten räumlichen Volumens durch eine spezifische Magnetfeldauslegung be­ schränkt werden kann. Die z. B. hierfür eingesetz­ ten und aus einer Eisen-Neodym-Bor-Legierung be­ stehenden Dauermagnete sind hierzu innerhalb oder außerhalb der Vakuumkammer angeordnet.

Eine weitere Anwendung stellt der Einsatz erfin­ dungsgemäßer Magnete in Kathodenzerstäubungsvor­ richtungen dar, bei welchen das zwischen Anode und Kathode brennende Plasma zur Zerstäubung eines Targets, welches auf Kathodenpotential liegt, dient. Hierbei ist es erforderlich, daß die die räumliche Ausdehnung des Plasmas bestimmenden ma­ gnetfelderzeugenden Magnetkörper üblicherweise un­ mittelbar hinter der Kathode in Targetnähe ange­ ordnet sind. Während des Kathodenzerstäubungspro­ zesses wird das zerstäubende Target und die das Target tragende Targetrückplatte, welche als Ka­ thodenkörper dient, sehr stark erwärmt, was eine Kühlung des Kathodenkörpers durch z. B. ein durch diesen durchströmendes Kühlmedium erforderlich macht. Hierbei wird angestrebt, die Wärme unmit­ telbar in Targetnähe in das Kühlmedium zu überfüh­ ren. Die ebenfalls im Kathodenkörper angeordneten Magnetkörper werden dabei zwangsläufig von dem Kühlmedium, welches für Magnetwerkstoffe korrosiv wirkt, umströmt, wodurch eine Erhitzung der Ma­ gnetkörper vorteilhaft vermieden wird. Die Verwen­ dung erfindungsgemäßer, geschützter Magnetkörper in derartigen Kathodenzerstäubungsvorrichtungen hat nun ergeben, daß die mit einer Kupferfolie von 0,15 mm bzw. 0,2 mm Dicke ummantelten Magnetkörper selbst bei erhöhten Arbeitstemperaturen über einen Zeitraum von mehreren Monaten keinerlei Korrosion aufwiesen. Als Kühlmedium diente hierbei Wasser, welches durch in dem Kathodenkörper eingelassene Kühlkanäle und in Kontakt mit den durch Folienzu­ schnitte geschützten Magnetkörper strömt.

Weitere vorteilhafte Merkmale der Erfindung sind in den Unteransprüchen und in der Beschreibung er­ läutert. Im weiteren wird die Erfindung anhand ei­ nes besonders bevorzugten Ausführungsbeispiels nä­ her erläutert. Es zeigen:

Fig. 1 einen abgewickelten, dreiteiligen Zu­ schnitt für einen quaderförmigen Magnet­ körper mit Faltlinien,

Fig. 2 einen einteiligen Folienzuschnitt für ei­ nen quaderförmigen Magnetkörper mit Falt­ linien,

Fig. 3 einen Folienzuschnitt mit eingezeichneten Faltlinien für einen quaderförmigen Ma­ gnetkörper,

Fig. 4 einen auf dem in Fig. 3 dargestellten Fo­ lienzuschnitt aufliegenden Magnetkörper und

Fig. 5 eine Kathodenzerstäubungsvorrichtung in Querschnittsansicht mit eingesetzten kor­ rosionsgeschützten Magnetkörpern in sche­ matischer Darstellung.

Die als Schutzschicht einen Magnetkörper allflä­ chig umgebende Folie besteht aus einem Folienzu­ schnitt 30, wie er in Fig. 1 abgewickelt darge­ stellt ist. Der Zuschnitt 30 besteht aus drei ein­ zelnen Zuschnitteilen 31, 33, 34, welche geeignet sind, einen quadratischen Querschnitt aufweisenden und z. B. in Fig. 4 dargestellten Magnetkörper 60 vollständig zu umwickeln. Das Zuschnitteil 31 hat eine im wesentlichen quadratische Grundform, wel­ che durch parallel zueinander verlaufende Faltli­ nien 37a, 37b, 37c, 37d in einzelne, den Außenflächen 62a, 62b, 62c, 62d, 62e des Magnetkörpers 60 zugeord­ nete Teilflächen 32a, 32b, 32c, 32d, 32e unterteilt ist. Um den Magnetkörper 60 vollflächig, insbeson­ dere auch die Stirnflächen 62c, 62d, mit einer Schutzschicht zu bedecken, sind die Teilflächen 32a, 32b, 32c, 32d an ihren Kurzseiten zu Verschluß­ zungen 35a, 35b, 25c, 35d; 36a, 36b, 36c, 36d ausgebil­ det. Diese Verschlußzungen 35a, 35b, 35c, 35d; 36a, 36b, 36c, 36d werden über die Kanten des Magnet­ körpers 60 auf die Stirnflächen 62c, 62d abgefal­ tet, wodurch die Stirnflächen 62c, 62d nicht über­ lappend, zunächst nur teilweise bedeckt werden. Die anschließend auf die teilbedeckten Stirnflä­ chen 62c, 62d aufgebrachten Stirnseitenabdeckungen 33, 34 bedecken die Stirnflächen 62c, 62d dann voll­ ständig. In analoger Weise wird die Teilfläche 32e über eine Langseite 15 des Magnetkörpers 60 abge­ klappt, so daß diese teilweise mit der durch die Teilfläche 32a bedeckten Außenfläche des Magnet­ körpers 60 überlappt. Die durch die Überlappung zwischen den Stirnseitenabdeckungen 33, 34 und der Teilfläche 32e mit dem Zuschnitteil 31 gebildete Deckkanten werden anschließend mittels eines Weichlötverfahrens vollständig dichtend für Flüs­ sigkeiten und Gase verschlossen, so daß der Ma­ gnetkörper 60 innerhalb des Zuschnitts 30 einge­ kapselt ist.

Ein weiteres Ausführungsbeispiel eines erfindungs­ gemäßen Folienzuschnittes in seiner abgewickelten Darstellung zeigt Fig. 2. Der Folienzuschnitt 40 besteht aus einem einstückigen Zuschnitteil 41, welches zur vollständigen Abdeckung eines einen quadratischen Querschnitt aufweisenden Magnetkör­ pers 60 (siehe Fig. 4) dient. Das Zuschnitteil 41 besitzt eine quadratische Grundform, welche durch Faltlinien 47a, 47b, 47c, 47d in die gleichgroßen Teilflächen 42b, 42c, 42d, 42e und eine kleinere Teilfläche 42a unterteilt ist. An die Teilflächen 42c bzw. 42d sind jeweils paarweise identische Verschlußlappen 43b, 44b bzw. 43a, 44a angesetzt. Diese Verschlußlappen 43a, 43b; 44a, 44b selbst sind durch gestrichelt eingezeichnete Faltlinien in einzelne, unterschiedliche Flächen unterteilt. Diese Teilflächen der Verschlußlappen 43a, 43b; 44a, 44b werden an den Faltlinien des mit seinen Teilflächen 42a, 42b, 42c, 42d, 42e auf einem Ma­ gnetträger 60 anliegenden Zuschnitteils 41 auf die benachbarten Außenflächen des Magnetträgers 60 ab­ gewinkelt, so daß auch dessen stirnseitige Außen­ flächen 62c, 62d vollständig abgedeckt sind. Zum dauerhaften dichten Verbinden insbesondere der Teilfläche 42a mit der Teilfläche 42e ist ein Löt­ verfahren vorgesehen, welches in Abhängigkeit der Werkstoffwahl des Zuschnitts 40 ausgewählt wird.

Ein zu den vorgenannten, in den Fig. 1 und 2 dar­ gestellten Zuschnitten 30, 40 alternativer Zu­ schnitt ist in Fig. 3 in seiner Abwicklung und in Fig. 4 zusammen mit dem zu bedeckenden Magnetkör­ per dargestellt. Der Zuschnitt 50 weist eine im wesentlichen quadratische Grundform auf, welche durch insgesamt vier parallel zueinander verlau­ fende, gestrichelt eingezeichnete Faltlinien 57a, 57b, 57c, 57d in fünf Teilflächen 52a, 52b, 52c, 52d, 52e, welche jeweils als Rechtecke ausgebildet sind, unterteilt ist. Die mittige Teilfläche 52c besitzt in Längsrichtung eine grö­ ßere Ausdehnung als die übrigen Teilflächen 52a, 52b, 52d, 52e und weist endseitig jeweils einen Verschlußlappen 54a bzw. 54b auf. Die Verschluß­ lappen 54a, 54b sind dazu vorgesehen, wie in Fig. 4 dargestellt, die stirnseitigen Außenfläche 62c und 62d des Magnetkörpers 60 zu bedecken. Der Magnet 60 besitzt in seiner Längsrichtung eine kleinere Ausdehnung als die Längsrichtung des Zuschnitts 50. Der an den Außenflächen 62a, 62b, 62c, 62d, 62e anliegende Zuschnitt 50 überragt somit die jeweils an den Stirnseiten 62c und 62d in Längsrichtung. Die überstehenden Bereiche der Teilflächen 52, 52b, 52c, 52d, 52e werden über die Kanten des Ma­ gnetkörpers 60 auf die stirnseitigen Außenflächen 62e, 62d abgewinkelt und abschließend mit den eben­ falls über eine Kante einer Kurzseite des Magnet­ körpers 60 abgewinkelten stirnseitigen Außenflä­ chen 62e bzw. 62d vollständig bedeckt. Die über­ lappenden Teilflächen 52a mit 52e sowie 54a mit den auf der Außenfläche 62d teilweise abgewinkel­ ten Teilflächen 52a, 52b, 52d, 52e werden ebenso wie die überlappende Verschlußlappe 54b mit den Teilflächen 52a, 52b, 52d, 52e mittels eines Lötver­ fahrens dichtend und dauerhaft miteinander verbun­ den.

Als Werkstoff für die Zuschnitte 30, 40, 50 haben sich in der Praxis Kupfer, Zinn, Zink, Chrom- Nickel-Legierungen als gut geeignet herausge­ stellt. Typische Schichtdicken der Folienzuschnit­ te 30, 40, 50 liegen im Bereich von 0,05 mm bis 1,5 mm. Für Magnetkörper mit den Abmessungen 10 mm × 10 mm × 50 mm haben sich Folienzuschnitte mit Dicken von 0,15 mm als besonders vorteilhaft er­ wiese, da diese dicht auf den Außenflächen der zu schützenden Magnetkörper anliegen.

Derartige durch Folienzuschnitte 30, 40, 50 gekap­ selte Magnetkörper 60 finden bevorzugt Anwendung in Kathodenanordnungen 11, welche zur Erzeugung eines Plasmas zwischen einer Kathode und einer in der Fig. 5 nicht dargestellten Anode eingesetzt werden. Die Kathodenanordnung 11 ist Teil einer nicht dargestellten Kathodenzerstäubungsvorrich­ tung, welche zum plasmainduzierten Aufsputtern von Material auf Substraten bekannt sind. Hierzu weist die Kathodenanordnung 11 ein zu sputterndes Target 6 auf, welches randseitig von Bügeln 10a, 10b, wel­ che andernends an einer Bodenplatte 24 eingehakt sind, gehalten wird. Das oberhalb des Targets 6 brennende und auf dieses sputternd einwirkende Plasma wird durch von auf der Rückseite des Tar­ gets angeordneten Magnetkörpern 16a, 16b, 16c er­ zeugtes Magnetfeld in seiner räumlichen Ausdehnung und Position definiert. Das von den Magnetkörpern 16a, 16b, 16c erzeugte Magnetfeld ist schematisch durch die eingezeichnete Magnetfeldlinie 17 ange­ deutet. Das auf das Target 6 einwirkende Plasma erwärmt dieses, welches einen Großteil der Wärmee­ nergie an die mit dem Target 6 verbundene Targe­ trückplatte 8 ableitet. Um ein Überhitzen des Tar­ gets 6, der Targetrückplatte 8 und der mit der Targetrückplatte in wärmeleitender Verbindung be­ findlichen Kantenteile 12a, 12b zu verhindern, sind benachbart zur Targetrückplatte 8 und von dieser durch eine Membran 7 getrennt, Kühlmittelkanäle 14a, 14b vorgesehen, welche in einem Kathodenkörper 13 ausgebildet sind. Durch die Kühlmittelkanäle 14a, 14b strömt ein flüssiges oder gasförmiges Kühlmedium, welches die über die Membran 7 von der Targetrückplatte 8 auf den Kathodenkörper 13 ein­ strahlende Wärmeenergie abführt. Die direkt an die Kühlmittelkanäle 14a, 14b angrenzenden Magnete 16a, 16b, 16c werden zwecks ihrer Kühlung ebenfalls von dem Kühlmedium vollständig umspült, um deren Aufheizung weitestgehend zu vermeiden. Die Magnete 16a, 16b, 16c bestehen aus einzelnen Magnetkörpern, welche in erfindungsgemäßen Folienzuschnitten vollständig gegen Einwirkung des Kühlmediums ge­ schützt gekapselt sind. Um die flächenhafte Aus­ dehnung des Plasmas auf der Vorderseite des Tar­ gets 6 einzustellen, sind eine Vielzahl weitere, in Fig. 5 nicht dargestellte, parallel außerhalb der Zeichenebene zu den Magneten 16a, 16b, 16c ange­ ordnete Magnete vorgesehen. Die Kühlmittelkanäle 14a, 14b sind durch zwischen dem Kathodenkörper 13 und den Kantenteilen 12a, 12b angeordneten Dich­ tungselementen 9a, 9b gegen Austritt von Kühlflüs­ sigkeit oder Kühlgas hermetisch abgeschlossen. Die Dichtungselemente 9a, 9b werden über in dem Katho­ denkörper 13 randseitig angeordnete und diesen durchragende Schrauben 18a, 18b fest gegen den Ka­ thodenkörper 13 und die Kantenteile 12a, 12b ange­ preßt. Der Kathodenkörper 13 selbst ist mit einer an diesem angesetzten Keilleiste und zwei auf der Bodenplatte 24 verschiebbaren Keilen 22a, 22b in Bezug zum Target 6 einerseits und der Bodenplatte 24 andererseits räumlich fixierbar. Hierzu werden die Keile 22a, 22b zueinander verschoben und erzeu­ gen über ihre Schrägflächen und die aufliegende Keilleiste 20 eine auf den Kathodenkörper 13 wir­ kende Spannkraft, die das Target 6 in Bezug zum Kathodenkörper 13 und den Magneten 16a, 16b, 16c fi­ xiert.

Bezugszeichenliste

2

Zerstäubungskathode

5

Boden

6

Target

7

Membran

8

Targetrückplatte

9

a, b Dichtungselement

10

a, b Bügel

11

Kathodenanordnung

12

a, b Kantenteil

13

Kathodenkörper

14

a, b Kühlmittelkanal

15

Langseite

16

a, b, c Kühlmittelkanal

17

Magnetfeldlinie

18

a, b Schraube

20

Keilleiste

22

a, b Keil

24

Bodenplatte

30

Zuschnitt, Folienzuschnitt 3-teilig

31

Zuschnitteil

32

a, b, c, d, e Teilfläche

33

Stirnseitenabdeckung, Zuschnitteil

34

Stirnseitenabdeckung, Zuschnitteil

35

a, b, c, d Verschlußzunge

36

a, b, c, d Verschlußzunge

37

a, b, c, d Faltlinie

40

Zuschnitt, Folienzuschnitt, einteilig

41

Zuschnitteil

42

a, b, c, d, e Teilfläche

43

a, b Verschlußlappen

44

a, b Verschlußlappen

47

a, b, c, d Faltlinie

50

Zuschnitt, Folienzuschnitt

51

Zuschnitteil

52

a, b, c, d, e Teilfläche

54

a, b Verschlußlappen

57

a, b, c, d Faltlinie

60

Magnetkörper

62

a, b, c, d, e Außenfläche

Claims (10)

1. Magnetkörper, vorzugsweise gefertigt aus gesinterten, metallischen und/oder kerami­ schen Werkstoffen mit einer den Magnetkörper vollflächig gegen Einwirkung chemischer Stof­ fe umgebenden Schutzschicht, gekennzeichnet dadurch, daß die Schutzschicht aus einem an dem Magnetkörper (16a, 16b, 16c; 60) anliegen­ den Folienzuschnitt (30, 40, 50) besteht, wel­ cher mit seinen Teilflächen (32a, 32b, 32c, 32d, 32e; 35a, 35b, 35c, 35d; 36a, 36b, 36c, 36d; 42a, 42b, 42c, 42d, 42e; 43a, 43b; 44a, 44b; 52a, 52b, 52c, 52d, 52e; 54, 56) die Außenflächen (62a, 62b, 62c, 62d, 62e) des Magnetkörpers (60) vollständig bedeckt und wobei benachbarte, einander gegenüberliegende Teilflächen (32a, 32e) mit ihren Seitenkanten derartig mit Mitteln dauerhaft verbunden sind, daß der Ma­ gnetkörper (16a, 16b, 16c; 60) in dem vom Foli­ enzuschnitt (30, 40, 50) umschlossenen Hohlraum vollständig eingekapselt ist, wodurch der Kontakt des Magnetkörpers (16a, 16b, 16c; 60) mit chemisch reaktiven Stoffen verhindert ist.

2. Magnetkörper nach Anspruch 1, dadurch gekenn­ zeichnet, daß der Folienzuschnitt (30, 40, 50) aus einem metallischen Werkstoff besteht.

3. Magnetkörper nach Anspruch 1 und/oder 2, da­ durch gekennzeichnet, daß der Folienzuschnitt (40, 50) einstückig ausgebildet ist.

4. Magnetkörper nach mindestens einem der An­ sprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Folienzuschnitt (30, 40, 50) aus Kupfer oder aus Zinn oder aus Nickel oder aus Blei oder aus Zink oder einer Kupfer-Zink- Legierung oder einer Chrom-Nickel-Legierung oder einer Titan-Zink-Legierung besteht.

5. Magnetkörper nach mindestens einem der An­ sprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Folienzuschnitt (30, 40, 50) aus einer Le­ gierung besteht, welche mindestens zwei der Metalle Kupfer, Zinn, Nickel, Blei, Zink ent­ hält.

6. Magnetkörper nach mindestens einem der An­ sprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die benachbart einander gegenüberliegenden Seitenkanten des an den Magnetkörper (16a, 16b, 16c; 60) anliegenden Folienzu­ schnitts (30, 40, 50) derartig miteinander ver­ lötet oder verschweißt oder verklebt sind, daß der Folienzuschnitt (30, 40, 50) den Ma­ gnetkörper (16a, 16b, 16c; 60) dichtend, insbe­ sondere für Flüssigkeiten oder Gase, umman­ telt.

7. Magnetkörper nach mindestens einem der An­ sprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß der Folienzuschnitt (30, 40, 50) eine Dicke von bis zu 1,5 mm, vorzugsweise von 0,05 mm bis 1 mm besitzt.

8. Verwendung eines Magnetkörpers (16a, 16b, 16c) nach mindestens einem der Ansprüche 1 bis 7 in einer Vorrichtung zur Plasmaerzeugung mit einer in eine Vakuumkammer einbringbaren Ka­ thode und einer der Kathode zugeordneten An­ ode zur Erzeugung eines Plasmas, wobei die Magnetkörper (16a, 16b, 16c; 60) derartig zum vom Plasma erfüllten Raum angeordnet sind, daß das von dem Magnetkörper (16a, 16b, 16c; 60) erzeugte Magnetfeld (70) auf das Plasma einwirkt, und wobei der im Folienzuschnitt (30, 40, 50) gekapselte Magnetkörper (16a, 16b, 16c; 60) mit einem vorzugsweise flüssigen oder gasförmigen Kühlmedium in wär­ meleitendem Kontakt steht, wodurch der Ma­ gnetkörper (16a, 16b, 16c; 60) temperierbar ist.

9. Verwendung eines Magnetkörpers nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß das Kühlmedium Wasser enthält.

10. Magnetkörper nach mindestens einem der An­ sprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß der Folienzuschnitt (30, 40, 50) aus einer Kunststoffolie oder einer metallisierten Kunststoffolie besteht.