DE19746483A1 - Vorrichtung zur Formgebung von Objekten - Google Patents
Vorrichtung zur Formgebung von ObjektenInfo
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Description
Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung zur Formgebung von Objekten durch
Materialabtragung von deren Oberfläche mit einem gepulsten Laserstrahl und einer
Ablenkeinrichtung, durch die der Laserstrahl über die Objektoberfläche geführt wird.
Sie ist vorzugsweise zur Formgebung von natürlichen optischen Linsen aus biologi
scher Substanz oder von künstlichen optischen Linsen geeignet.
Im Stand der Technik sind verschiedene Vorrichtungen und Verfahren bekannt, die mit
Hilfe von Laserstrahlung zum Abtragen von Material von einer Objektoberfläche und
damit zur Formung dieser Objekte geeignet sind, wie beispielsweise zur Ablation von
Gewebe im Bereich der Hornhaut des Auges bzw. zum ophthalmologischen Formen
von Augenlinsen.
Die ersten Veröffentlichungen dazu, eine Fehlsichtigkeit des menschlichen Auges
durch Abflachung oder Aufsteilung der Hornhaut zu beeinflussen, stammen etwa aus
den Jahren 1983 bis 1985. So ist mehr Hornhautgewebe im Zentrum der Augenlinse
als vergleichsweise in den peripheren Bereichen zu entfernen, um als Resultat eine
Abflachung und damit eine Korrektur der Kurzsichtigkeit des Auges zu erzielen. Wird
dagegen mehr Hornhautgewebe an der Peripherie als im Zentrum abgetragen, wird die
Krümmung der Hornhaut verstärkt und somit der Weitsichtigkeit des Auges entgegen
wirkt.
Daraus folgt, daß in Abhängigkeit von der Indikation von einzelnen Oberflächenab
schnitten der Hornhaut bzw. der Cornea unterschiedliche Mengen an biologischer Sub
stanz abzutragen sind. Dazu kommt, daß je nach Ausmaß der erforderlichen Korrektur
und je nach Bearbeitungsfortschritt die Menge der je Zeiteinheit abzutragenden Sub
stanz unterschiedlich sein kann; so ist beispielsweise im ersten Bearbeitungsstadium
eine größere Menge abzutragen als im abschließenden Stadium der Feinbearbeitung, in
dem es vor allem darauf ankommt, glatte Oberflächen auf der korrigierten Krümmung
zu erzielen.
Ein wesentlicher Faktor für die Abtragungsmenge je Zeiteinheit und damit auch für
eine veränderbare definierte Abtragungsrate ist einmal die Intensität der Laserstrahlung
an sich, d. h. die mit der Strahlung in das abzutragende Material eingebrachte Energie,
zum anderen aber auch die Intensitätsverteilung im Querschnitt der Laserstrahlung
bzw. im Spot, der je Laserimpuls auf die Objektoberfläche gesetzt wird. Denn ist die
Intensitätsverteilung im Strahlungsquerschnitt unterschiedlich, erfolgt auch ein unter
schiedlicher Mengenabtrag über die Querschnittsfläche.
Ein unterschiedlicher Mengenabtrag über die Querschnittsfläche ist dann wünschens
wert, wenn beispielsweise an den Rändern des Querschnittes bzw. Spots weniger Mate
rial abladiert werden soll als in einem zentralen Strahlungsbereich, weil so die Ausbil
dung steiler Randbereiche im verbleibenden Material vermieden werden kann.
Die von einem Excimerlaser ausgehende Strahlung weist einen rechteckigen Quer
schnitt auf, in welchem in Richtung der größeren Querschnittslänge eine, von Intensi
tätsschwankungen abgesehen, gleichmäßigere Intensitätsverteilung gegeben ist als in
der senkrecht dazu orientierten Richtung der kürzeren Querschnittsseite, wo die Inten
sität von der Strahlungsmitte aus zu den Rändern hin glocken- bzw. gaußförmig ab
fällt. Soll die Strahlung in einer Querschnittsrichtung oder auch innerhalb des gesam
ten Querschnittes homogenisiert werden, sind aufwendige Maßnahmen erforderlich.
Bekannt ist beispielsweise die Homogenisierung durch Streuplatten mit nachgeschalte
ten Blenden und durch die Verwendung abrasiver Blenden.
Vorrichtungen zum Homogenisieren der Strahlungsintensität insbesondere in Excimer-Laser
strahlung sind beispielsweise beschrieben in den Veröffentlichungen DE 42 20 705
, JP 07027993, EP 0 232 037 und EP 0 100 242. Die hier dargestellten Anordnun
gen dienen dazu, die Strahlungsintensität über den gesamten Strahlungsquerschnitt
möglichst gleichförmig zu verteilen. Eine über den gesamten Querschnitt gleichförmi
ge Intensität bedeutet aber eine "topfartige" Intensitätsverteilung, also eine in den
Randbereichen der Laserstrahlung sehr steil ansteigende bzw. steil abfallende Intensi
tät. Wird eine derartige Laserstrahlung nach dem Spotscanning-Prinzip über die zu be
handelnde Objektoberfläche geführt, hat die topfartige Intensitätsverteilung eine Stu
fenbildung des verbleibenden Materials in den Grenzbereichen von Spot zu Spot zur
Folge. Solch stufenartige Unregelmäßigkeiten auf der Hornhaut führen zu störenden
optischen Erscheinungen bei der Sinneswahrnehmung.
In der OS-DE 44 29 193 A1 ist eine weitere Vorrichtung zur Erzeugung einer quer
schnittshomogenisierten Laserstrahlung wie auch die Verwendung dieser Strahlung bei
der Materialabtragung beschrieben. Hier wird eine von einem Festkörperlaser ausge
hende gepulste Laserstrahlung durch eine optische Faser geführt und dabei moden
homogenisiert. Nachteiligerweise ist die hier beschriebene Anordnung nicht zum Spot
scanning geeignet, d. h. es sind nur relativ große Oberflächenabschnitte (Spots) in ihrer
Gesamtheit bearbeitbar.
Hinweise auf die ganzflächige Ablation der Cornea mit einem Festkörperlaser bei gauß
förmiger Intensitätsverteilung im Strahlungsquerschnitt enthält die Veröffentlichung
"Fundamental mode photoablation of the cornea for myoptic correction", T Sailer und
J. Wollensack, Laser and Light in Ophthalmology vol. 5 no. 4 pp 199-203, 1993. Die dort
beschriebenen Verfahrensweise geht davon aus, daß ein solcher Laser eine räumlich
homogene Strahlung im Grundmode TEM00 abgibt. Allerdings steht im Grundmode
TEM00 nur ein Teil der abgestrahlten Energie zur Verfügung, die beispielsweise für die
Hornhautablation nicht ausreicht.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung der vorbeschriebenen Art
so weiterzubilden, daß die Formgebung schnell und effektiv ausführbar ist und das
Verbleiben störender Mikrostrukturen auf der Objektoberfläche vermieden wird.
Erfindungsgemäß wird die Aufgabe dadurch gelöst, daß eine optische Einrichtung zur
Änderung der Verteilung der Strahlungsintensität innerhalb des Laserstrahlquerschnit
tes vorgesehen ist und die Strahlungsintensität nach Durchgang des Laserstrahles
durch diese optische Einrichtung in mindestens einer Querschnittsrichtung durch den
Laserstrahl eine glocken- oder gaußförmige oder glocken- oder gaußformähnliche Ver
teilung aufweist.
Im Gegensatz zu dem nach dem Stand der Technik bekannten Aufbringen sich gegen
seitig überlappender Spots mit topfartiger Verteilung der Strahlungsintensität auf die
abzutragende Oberfläche besteht erfindungsgemäß der Vorteil, daß bei der Überlap
pung von Spots mit gaußähnlicher Intensitätsverteilung sehr schnell eine sehr glatte
Gesamtoberfläche realisierbar ist. Auf der Oberfläche bleibt keine stufig steilen Struk
tur, eine Nachbearbeitung der Oberfläche ist deshalb nicht oder nur in begrenztem
Maße erforderlich. Das hat zur Folge, daß die Bearbeitungszeit insbesondere bei der
Korrektur von Krümmungen der Hornhaut mit Benutzung der erfindungsgemäßen Vor
richtung wesentlich verkürzt werden kann. Außerdem besteht gegenüber dem Stand
der Technik der Vorteil, daß der Abtrag nicht nur über die gesamte Oberfläche möglich
ist, sondern aufgrund des Scanning-Prinzips lokal begrenzt auch auf kleinen Abschnit
ten der Oberfläche vorgenommen werden kann.
In einer Ausgestaltung der Erfindung ist vorgesehen, daß die optische Einrichtung
mindestens ein optisches Element umfaßt, das zum Zweck der Änderung der Intensi
tätsverteilung wahlweise in den Laserstrahlengang eingebracht oder aus dem Laser
strahl entfernt werden kann, wobei das mindestens ein optische Element mit einer dif
fraktiven und/oder refraktiven und/oder holographischen mikrooptisch wirksamen, zur
Beeinflussung der Intensitätsverteilung im Laserstrahlungsquerschnitt geeigneten
Struktur versehen ist.
Das in der optischen Einrichtung enthaltene optische Element oder auch mehrere in
der optischen Einrichtung vorgesehene optische Elemente sind mit einer mikrooptisch
wirksamen Struktur versehen, die zur Beeinflussung der Intensitätsverteilung innerhalb
der Laserstrahlung geeignet ist. Dabei ist die Struktur beispielsweise mit Elektronen
strahl- oder Photolithographieverfahren auf das optische Element aufgebracht, wo
durch das optische Element ein mikrooptisch wirksames Höhenprofil, eine über seine
Querschnittsfläche sich erstreckende Variation des Brechungsindex und/oder eine Va
riation der Absorption aufweist. Mit der Wahl des Strukturverlaufes wird die Reflexion
und/oder Transmission der Lichtwellen gezielt beeinflußt. Die Strukturen können bei
spielsweise als streifenförmige, kreuzförmige, trichterförmige oder anderweitig ge
formte Vertiefung und/oder Erhebung auf einer Fläche des Elementes ausgebildet sein.
Das optische Element bzw. die optischen Elemente sind in der Regel aus Silizium, Glas
oder Kunststoff gefertigt. Die optisch wirksame Oberfläche kann sphärisch, asphärisch,
zylindrisch oder elliptisch geformt sein. Optische Elemente mit derartigen Strukturen
besitzen eine hohe Wirksamkeit bei der Umverteilung der Strahlungsintensität inner
halb des Laserstrahles.
So kann ein optisches Element vorgesehen sein, das eine radialsymmetrische Intensi
tätsverteilung innerhalb des Laserstrahlquerschnittes erzeugt, bei der im Zentrum des
Querschnittes ein Intensitätsmaximum und vom Zentrum zu den Randbereichen hin
eine glocken- oder gaußförmig abfallende Intensität vorhanden ist.
Die erfindungsgemäße Anordnung ist anwendbar im Zusammenhang mit verschieden
sten Lasersystemen bei Wellenlängen vom UV- bis in den IR-Bereich. Unabhängig von
der vom Laser ausgehenden Strahlform und Intensitätsverteilung im Laserstrahl wird
die für die Bearbeitung optimale Form und Verteilung erreicht. So wird durch das opti
sche Element beispielsweise eine unrunde, etwa von einem Excimerlaser ausgehende
Laserstrahlung mit inhomogener Intensitätsverteilung in eine runde Strahlung mit ho
mogener Intensitätsverteilung transformiert, mit der schließlich eine optimale Abtra
gung von Material an der Objektoberfläche erfolgen kann.
So hat beispielsweise der Laserstrahl, wie er für die photorefraktive Keratektomie (PRK)
oder das LASIK-Verfahren verwendet wird, einen rechteckigen Querschnitt von etwa
10 mm × 30 mm. In einem Schnitt parallel zur längeren Seite dieses Rechteckes ist das
Intensitätsprofil der Laserstrahlung etwa trapezförmig ausgebildet mit Intensitäts
schwankungen, die als "hot spots" bezeichnet werden. In Richtung der kleineren Sei
tenlänge betrachtet weist das Intensitätsprofil etwa Glocken- oder Gaußform auf. Durch
die erfindungsgemäße Einordnung eines der optischen Elemente in den Laserstrahlen
gang nimmt das Intensitätsprofil in jeder Schnittrichtung durch die Strahlungsachse
glocken- oder gaußförmig Gestaltung an.
Im Rahmen der Erfindung liegt eine Ausgestaltung, bei der vorgesehen ist, daß das
optische Element eine radialsymmetrische Intensitätsverteilung innerhalb des Laser
strahlquerschnittes erzeugt, bei der in einer kreisrunden zentralen Querschnittsfläche
eine etwa gleiche Intensität und von der zentralen Querschnittsfläche zu den Randbe
reichen der Laserstrahlung hin eine glocken- oder gaußförmig abfallende Intensität
vorhanden ist.
Durch diese im Kernbereich der Laserstrahlung weitestgehend konstante Intensität
wird im Zentrum eine hohe Abtragungsrate erreicht, während der glocken- bzw. gauß
förmige Abfall der Intensität zu den Randbereichen hin den Übergang zum nächsten
Spot insofern vorteilhaft herstellt, als eine stufenförmige Struktur in der Übergangszo
ne vermieden wird.
Alternativ hierzu kann vorgesehen sein, daß die optische Einrichtung mindestens ein
optisches Element beinhaltet, das zur Erzeugung unterschiedlicher Intensitätsvertei
lungen in unterschiedlichen Querschnittsrichtungen durch den Laserstrahl vorgesehen
ist. So ist es denkbar, daß das optische Element so ausgebildet ist, daß in zwei aufein
ander senkrecht stehenden Schnitten durch den Laserstrahl in einem Schnitt eine zu
mindest angenähert gaußförmige Intensitätsverteilung und im zweiten Schnitt eine
zumindest angenähert homogene Intensitätsverteilung erzielt wird. Vorteilhaft sollten
die Ablenkrichtung des Laserstrahles und der Querschnitt mit der homogenen Intensi
tätsverteilung senkrecht zueinander ausgerichtet sein.
In einer sehr vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung kann vorgesehen sein, daß die
optische Einrichtung mehrere optische Elemente umfaßt, die gleichzeitig oder zeitlich
nacheinander in den Laserstrahl einbringbar sind. Daraus ergibt sich der Vorteil, daß
die Intensitätsverteilung innerhalb des Strahlenganges während der Behandlung, d. h.
während des Materialabtrages von der Oberfläche oder auch in kurzen Behandlungs
pausen verändert werden kann, so daß die Strahlform und/oder die Intensitätsvertei
lung den jeweiligen Erfordernissen angeglichen werden kann, die sich während der
Bearbeitung unterschiedlich ergeben.
In diesem Zusammenhang kann vorteilhaft vorgesehen sein, daß die optischen Elemen
te gemeinsam auf einem beweglichen Träger angeordnet sind und mit der Bewegung
des Trägers deren Einbringen in den Strahlengang bzw. deren Entfernen aus dem
Strahlengang ausführbar ist. Damit ist ein unkompliziertes Austauschen möglich, wo
bei als gemeinsamer Träger ein drehbares Wechselrad vorgesehen sein kann, das um
eine parallel zu Strahlungsrichtung ausgerichtete Drehachse drehbar gelagert ist und
an dem die optischen Elemente auf einem Teilkreis angeordnet sind. Damit kann durch
eine Verdrehung des Wechselrades um einen Drehwinkel, der dem Bogenabstand zwei
er optischer Elemente auf dem Teilkreis entspricht, leicht das Auswechseln zweier Ele
mente im Strahlengang bewerkstelligt werden.
In der Regel ist im Strahlengang der Laserstrahlung ein Objektiv vorgesehen, mit dem
die Größe der Spotfläche festgelegt wird. In einer bevorzugten Ausgestaltung der Er
findung ist vorgesehen, daß im Strahlengang der Laserstrahlung ein optisches Variosy
stem zur Änderung der Größe der auf die Objektoberfläche gerichteten Spotfläche vor
gesehen ist. Damit lassen sich Spots verschiedener Größe während der Bearbeitung
realisieren, so daß beispielsweise zunächst eine Grobabrasterung der Oberfläche mit
großen Spot und nach entsprechender Änderung der Einstellung des Variosystems eine
Feinbearbeitung mit kleineren Spots erfolgen kann. Denkbar ist auch, eine abschlie
ßende Bearbeitung im Sinne einer Glättung der Gesamtoberfläche mit einem sehr gro
ßen, über die gesamte zu bearbeitende Fläche ausgedehnten Spot vorzunehmen.
Vorteilhaft sollten die Größe der auf die Objektoberfläche gerichteten Spotfläche, der
Ablenkwinkel für den Laserstrahl zwischen zwei aufeinander folgenden Pulsen und die
Pulsfrequenz der Laserstrahlung so aufeinander abgestimmt sein, daß die nebeneinan
der auf die Objektoberfläche gesetzten Spots sich um etwa 30% überdecken. Damit
wird bereits eine verhältnismäßig glatte Oberfläche erzielt, die keine stufenförmigen
Erhebungen aufweist.
Insofern besteht eine sehr bevorzugte Ausgestaltung der Erfindung darin, daß das Va
riosystem und/oder das Wechselrad mit elektronisch steuerbaren Stellantrieben verse
hen sind, deren Ansteuereingänge wie auch der Ansteuereingang der Ablenkeinrichtung
für den Laserstrahl mit Ausgängen einer Ansteuereinheit verbunden sind, wobei an den
Ausgängen der Ansteuereinheit Vorgabedaten für die Größe der Spotfläche und/oder
für die Drehbewegung des Wechselrades und/oder für den Ablenkwinkel der Laser
strahlung zwischen zwei Pulsen bzw. dem Abstand zwischen zwei Spotflächen anlie
gen.
Damit ist es vorteilhaft möglich, jeweils von der Ansteuereinheit aus die einzelnen für
die Abtragungsgeschwindigkeit bzw. für die Qualität der zu erzielenden Oberfläche
bedeutsamen Vorgaben während der Bearbeitung oder innerhalb kurzer Bearbeitungs
pausen unkompliziert verändern zu können. Die Änderung der Vorgaben kann dabei in
Abhängigkeit von der erreichten Qualität der Oberfläche vorgenommen werden.
Insbesondere zur Bearbeitung der Hornhaut des Auges kann die erfindungsgemäße
Vorrichtung mit einer Einrichtung zur Erfassung von Istwerten der Krümmung einzelner
Oberflächenabschnitte und/oder der gesamten zu bearbeitenden Oberfläche ausge
stattet sein, die mit einem Istwertspeicher gekoppelt ist. Damit ist es möglich, Zwi
schenergebnisse qualitativ genau zu erfassen und daraus Schlußfolgerungen für die
weitere Bearbeitung zu ziehen. Weiterhin kann die Ansteuereinheit eingangsseitig mit
dem Istwertspeicher verbunden und in der Ansteuereinheit eine Rechenschaltung vor
gesehen sein, zur Ermittlung von Vorgabedaten für die Größe der Spotfläche und/oder
für die Drehbewegung des Wechselrades und/oder für den Ablenkwinkel des Laser
strahles aus dem Vergleich der Istwerte mit den Sollwerten dient, die beispielsweise
über eine separate Schnittstelle eingegeben werden.
Die Erfindung bezieht sich weiterhin auf ein Verfahren zur Formgebung von Objekten
durch Materialabtrag von der Objektoberfläche mit Hilfe eines gepulsten Laserstrahles,
der über die Objektoberfläche geführt wird bei dem während der Formgebung die Ver
teilung der Strahlungsintensität innerhalb des Laserstrahles und/oder die Größe der
Spotfläche, mit welcher der Laserstrahl auf die Objektoberfläche trifft und/oder der
Ablenkwinkel für den Laserstrahl verändert werden.
Eine vorteilhafte Ausgestaltung dieses Verfahrens sieht vor, daß zu Beginn der Form
gebung der Materialabtrag mit kleiner Spotfläche und zum Ende der Formgebung der
Materialabtrag mit zunehmend größerer Spotfläche erfolgt. Dabei kann vorgesehen
sein, daß in der Schlußphase der Formgebung der Materialabtrag mit einer Spotfläche
erfolgt, deren Größe der Gesamtgröße der zu bearbeitenden Objektoberfläche ent
spricht.
Weiterhin ist es vorteilhaft, wenn zu Beginn der Formgebung der Materialabtrag mit
topfförmig verteilter Intensität und zum Ende der Formgebung der Materialabtrag mit
zunehmend gaußförmig verteilter Intensität erfolgt.
Im Rahmen der Erfindung liegt auch ein Verfahren zur Ermittlung von geometrischen
Veränderungen an der Oberfläche von Objekten beim Betreiben einer Vorrichtung ge
mäß der vorhergehenden Beschreibung, bei dem vor, während und/oder unmittelbar
nach einem Materialabtrag eine Krümmungsmessung einzelner Oberflächenabschnitte
und/oder der gesamten zu bearbeitenden Oberfläche vorgenommen wird. Damit ist es
vorteilhaft möglich, das Ergebnis der Arbeit mit der vorgenannten Vorrichtung bzw.
das Ergebnis der Materialabtragung von einer Objektoberfläche zu bewerten. Das ist
insbesondere vorteilhaft bei der Anwendung dieser Vorrichtung und ihrer Ausgestal
tungen zum Zweck der Bearbeitung der Cornea des menschlichen Auges.
Das erfindungsgemäße Verfahren kann derart ausgestaltet sein, daß zum Zweck der
Krümmungsmessung ein Meßstrahlengang oder mehrere Meßstrahlengänge auf die
Oberfläche des Objektes gerichtet werden, die die Reflexionen dieser Meßstrahlengän
ge mittels einer Detektoreinrichtung erfaßt und daraus mittels einer Auswerteeinrich
tung Krümmungswerte ermittelt werden. Die Meßstrahlengänge sollten dabei eine In
tensität und eine Wellenlänge aufweisen, die im Gegensatz zum Bearbeitungsstrahlen
gang keine Veränderungen an der Oberfläche des Objektes bewirken. Derartige Ausge
staltungen, oftmals auch als Topographiesysteme bezeichnet, sind bekannt und sollen
deshalb hier nicht weiter ausgeführt werden.
Eine weitere Ausgestaltung des erfindungsgemäßen Verfahren sieht vor, daß die ermit
telten Krümmungswerte für die gesamte Oberfläche oder für einzelne Oberflächenab
schnitte als Istwerte einem Vergleich mit Sollwerten zugrundegelegt werden. Damit ist
es möglich, ausgehend vom aktuellen Bearbeitungsstand beim Materialabtrag unmit
telbare Schlußfolgerungen für die Erreichung des Bearbeitungszieles zu ziehen. Dies
bezüglich kann das erfindungsgemäße Verfahren weiterhin derart ausgestaltet sein,
daß aus dem Vergleich der Istwerte mit Sollwerten der Oberflächengestalt Vorgabeda
ten für einen nachfolgenden, zeitlich begrenzten Materialabtrag gewonnen werden,
wobei mit den Vorgabedaten der Ablenkwinkel der Laserstrahlung zwischen zwei auf
einanderfolgenden Impulsen und/oder die Größe der Spotfläche auf der Objektoberflä
che und/oder der Austausch eines optischen Elementes im Strahlengang durch Dreh
bewegung des Wechselrades vorgegeben wird.
Die erfindungsgemäße Vorrichtung und das erfindungsgemäße Verfahren sollen nach
folgend anhand eines Ausführungsbeispieles näher erläutert werden. In den zugehöri
gen Zeichnungen zeigen:
Fig. 1 eine prinzipielle Darstellung des optischen Systems der Vorrichtung;
Fig. 2 ein Wechselrad für die optischen Elemente;
Fig. 3 ein Blockschaltbild mit der Verknüpfung der einzelnen Baugruppen;
Fig. 4 gaußförmige Intensitätsverteilung im Strahlquerschnitt;
Fig. 5 Intensitätsverteilung mit etwa gleicher Intensität in einer zentralen Quer
schnittsfläche und glocken- oder gaußförmig abfallende Intensität von der
zentralen Querschnittsfläche zu den Randbereichen;
Fig. 6 gaußförmige Intensitätsverteilung im Strahlquerschnitt in Scannrichtung;
Fig. 7 etwa gleichförmige Intensität im Strahlquerschnitt senkrecht zur Scannrich
tung.
In Fig. 1 ist eine Vorrichtung zur Formung eines Objektes 1 mit Hilfe eines gepulsten
Laserstrahles 2, der von einem Excimerlaser 3 ausgeht, vorgesehen. Der Laserstrahl 2
wird mittels einer Ablenkeinrichtung 4, in der ein X-Scannerspiegel 5 und ein
Y-Scannerspiegel 6 vorgesehen sind, über die Oberfläche des Objektes 1 geführt. Mit
dem Energieeintrag in die Oberfläche des Objektes 1 durch den Laserstrahl 2 wird eine
Ablation des Materials bewirkt. Das Objekt 1 kann beispielhaft ein menschliches Auge
sein, dessen Cornea durch ophthalmologisches Formen bearbeitet wird, um Fehlsich
tigkeit auszugleichen. Es ist aber die Anwendung der erfindungsgemäßen Vorrichtung
beispielsweise auch zur Formung von künstlichen Linsen möglich, die zur Korrektur
von Fehlsichtigkeit vorgesehen sind.
Der vom Excimerlaser 3 ausgehende Laserstrahl 2 wird durch eine Containmentwand 7
mit Fenster 8 hindurchgeführt und erreicht über einen variablen Abschwächer 9, ein
Umlenkprisma 10, einen optischen Teiler 11 und über die Ablenkeinrichtung 4 die
Oberfläche des Objektes 1.
Zum Zweck der visuellen Beobachtung des Zielgebietes auf der Oberfläche des Objek
tes 1 wird ein von einer Laserdiode 12 ausgehender Zielstrahl mit einer Wellenlänge
635 nm über einen Umlenkspiegel 13 und den optischen Teiler 11 in den Laserstrahl 2
eingekoppelt.
Der vom Excimerlaser 3 ausgehende Laserstrahl 2 besitzt einen rechteckigen Quer
schnitt. Typischerweise ist die Strahlungsintensität innerhalb dieses rechteckigen
Querschnittes nicht homogen verteilt. Während das Intensitätsprofil in Richtung der
längeren Seite des Rechteckes etwa trapezartig mit Intensitätsschwankungen ausgebil
det ist, weist das Intensitätsprofil in Richtung der kurzen Rechteckseite eine etwa
Gauß- bzw. Glockenform auf.
Um die Verteilung der Strahlungsintensität innerhalb des Laserstrahles 2 nun so zu
beeinflussen, daß eine optimale Abtragung von Material von der Objektoberfläche er
folgen kann, ist erfindungsgemäß im Laserstrahlengang eine optische Einrichtung 14
zur Beeinflussung der Intensitätsverteilung innerhalb des Strahlungsquerschnittes vor
gesehen, und zwar in der Weise, daß die Intensität nach Durchgang durch die optische
Einrichtung 14 nicht mehr nur in einer Schnittrichtung durch den Laserstrahl 2 eine
glocken- oder gaußförmige oder glocken- oder gaußformähnliche Verteilung aufweist,
sondern in mehreren Schnittrichtungen.
Beispielhaft befindet sich in der optischen Einrichtung 14 ein optisches Element 15 im
Strahlengang, auf dem eine optisch wirksame Fläche mit einer diffraktiven mikroopti
schen Struktur ausgebildet ist, die beim Durchgang des Laserstrahles 2 eine Beeinflus
sung der Intensitätsverteilung im dargestellten Sinne bewirkt.
Je nach Gestaltung der mikrooptischen Struktur kann beispielsweise nach Durchgang
durch das optisches Element 15 eine radialsymmetrische Intensitätsverteilung inner
halb des Strahlquerschnittes vorhanden sein, bei der lediglich im Zentrum des Strahl
querschnittes ein Intensitätsmaximum und vom Zentrum zu den Randbereichen hin
eine glocken- oder gaußförmig abfallende Intensität vorhanden ist (vgl. Fig. 4). Der
Querschnitt des Laserstrahles ist nun weitestgehend kreisrund. Alternativ hierzu kann
beispielsweise ein optisches Element 15 mit einer Struktur vorgesehen sein, durch wel
che ebenfalls eine radialsymmetrische Intensitätsverteilung erreicht wird, bei der je
doch in einem flächig ausgedehnten zentralen Querschnittsbereich der Laserstrahlung
eine etwa homogene Intensitätsverteilung und von diesem zentralen Bereich zu den
Randbereichen der Laserstrahlung hin eine glocken- oder gaußförmig abfallende Inten
sität vorhanden ist (vgl. Fig. 5).
In unterschiedlichen Bearbeitungsstadien der Oberfläche des Objektes 1 kann es, um
eine optimale Materialabtragung zu gewährleisten, vor Weiterbearbeitung erforderlich
sein, die Intensitätsverteilungen im Laserstrahl 2 zu verändern. Um das ermöglichen zu
können, ist erfindungsgemäß vorgesehen, daß die optische Einrichtung 14 mehrere
verschiedene optische Elemente 15 umschließt, die wahlweise in den Strahlengang
eingebracht werden können.
Wie in Fig. 2 dargestellt, sind zu diesem Zweck zwei optische Elemente 15.1 und 15.2
auf einem Wechselrad 16 angeordnet. Das Wechselrad 16 ist um eine Drehachse 17,
die parallel zur Strahlungsrichtung der Laserstrahlung 2 ausgerichtet ist, drehbar an
geordnet und mit einem elektromechanischen Antrieb 18 gekoppelt. Beispielhaft kann
das optische Element 15.1 mit einer mikrooptischen Struktur versehen sein, die wie
oben beschrieben in einem Zentralbereich des Strahlenganges eine homogene Intensi
tätsverteilung und erst zu den Randbereichen hin eine glockenförmig abfallende Inten
sitätsverteilung erzeugt, während das optische Element 15.2 mit einer mikrooptischen
Struktur versehen ist, die bereits unmittelbar vom Zentrum ausgehend zu den Randbe
reichen hin nach allen Richtungen eine gauß- bzw. glockenförmig abfallende Intensität
erzeugt.
Alternativ hierzu kann selbstverständlich vorgesehen sein, daß weitere optische Ele
mente 15.1, 15.2, . . ., 15.n auf dem Wechselrad 16 angeordnet sind. So kann beispiels
weise das optische Element 15.n eine Struktur aufweisen, durch die der Strahlquer
schnitt der Laserstrahlung zwar seine Rechteckform behält, die Ausdehnung der Quer
schnittsfläche jedoch reduziert wird und dabei im Schnitt entlang der längeren Seite
des Rechteckes die Intensitätsverteilung weiter homogenisiert wird, während im Schnitt
entlang der kürzeren Seite dieses rechteckigen Querschnittes die Strahlungsintensität
der gaußförmigen Verteilung weiter angenähert wird. In Fig. 6 und Fig. 7 sind die Inten
sitätsverteilungen innerhalb eines Strahlenganges in zwei senkrecht zueinander ange
ordneten Schnittverläufen dargestellt. Demgemäß zeigt Fig. 6 die homogenisierte In
tensitätsverteilung in einer ersten dieser beiden Querschnittsrichtungen, Fig. 7 die
gaußförmige Verteilung der zweiten, senkrecht zur ersten orientierten Querschnitts
richtung. Die Querschnittsrichtung mit der gaußförmigen Verteilung gemäß Fig. 7 sollte
vorteilhafterweise mit der Ablenkrichtung des Laserstrahles gleich gerichtet sein.
Je nach Bedarf kann wahlweise eines dieser optischen Elemente 15.1, 15.2, . . ., 15.n in
den Strahlengang eingebracht werden, indem an den Antrieb 18 ein Ansteuerimpuls
ausgegeben und der Antrieb 18 dadurch veranlaßt wird, das Wechselrad 16 um einen
Drehwinkel um die Drehachse 17 zu bewegen, der dem Bogenabstand zum gewünsch
ten optischen Element auf dem Wechselrad 16 entspricht.
Im Strahlengang des Laserstrahles 2 der hier beschriebenen Vorrichtung ist weiterhin
ein Objektiv vorgesehen, das beispielhaft ein Varioobjektiv 19 sein kann. Mit dem Ob
jektiv wird die Spotgröße vorgegeben. Bei Verwendung eines Varioobjektivs 19 ist es
möglich ist, die Größe der auf die Objektoberfläche gerichteten Spots zu variieren.
Damit wird vorteilhaft erreicht, daß je nach Bearbeitungsstadium die Spotgröße so
wählbar ist, daß entweder eine Feinbearbeitung über die gesamte zu bearbeitende
Oberfläche, sofern der Spot auf diese Größe eingestellt wird, oder auch eine Intensiv
bearbeitung einzelner kleiner Oberflächenabschnitte vorgenommen werden kann, so
fern die Spotgröße auf eine geringere Ausdehnung reduziert wird.
Mit der erfindungsgemäßen Vorrichtung ist es nunmehr möglich, sowohl das Intensi
tätsprofil innerhalb des Strahlungsquerschnittes, die Größe des Laserspots auf der zu
bearbeitenden Fläche und auch den Ablenkwinkel zu variieren. Durch Abstimmung
dieser drei Parameter aufeinander ist im weitestgehenden Sinne eine effektive Bearbei
tung der Objektoberfläche in allen denkbaren Bearbeitungsstadien möglich.
Damit während der Bearbeitung oder unmittelbar nach der Bearbeitung einzelner Ober
flächenabschnitte eine Veränderung des Ablenkwinkels, der Spotgröße oder auch der
Intensitätsverteilung auf unkomplizierte Weise vorgenommen werden kann, ist ebenso
wie die das Wechselrad 16 auch das Varioobjektiv 19 mit einem ansteuerbaren elek
tromechanischen Antrieb gekoppelt.
Wie in Fig. 3 symbolisch dargestellt, sind in die von dem Excimerlaser 3 ausgehende
Laserstrahl 2 das Wechselrad 16, das Varioobjektiv 19 und die Ablenkeinrichtung 4
eingeordnet. Dabei sind der Excimerlaser 3 über einen Ansteuereingang 20, das Wech
selrad 16 über einen Ansteuereingang 21, das Varioobjektiv 19 über einen Ansteuer
eingang 22 und die Ablenkeinrichtung 4 über einen Ansteuereingang 23 mit einer An
steuereinheit 24 verbunden.
Die Ansteuereinheit 24 ist mit einer Schnittstelle 25 versehen, über die Stellwerte für
die Parameter Spotgröße, Ablenkwinkel und Intensitätsverteilung manuell eingegeben
werden können. Beispielsweise wird je nach gewünschter Intensitätsverteilung ein
Stellwert für die entsprechende Weiterschaltung des Wechselrades 16 eingegeben, um
ein diesem Stellwert zugeordnetes optisches Elemente 15.1 bis 15.n in den Laser
strahlengang einbringen zu können. Analog werden Stellwerte für die Einstellung des
Varioobjektivs eingegeben, die bestimmten Spotgrößen entsprechen.
Außerdem ist, einer Ausgestaltungsvariante der Erfindung entsprechend, nach Fig. 3
eine Einrichtung 26 zur Erfassung von Istwerten der Krümmung einzelner Oberflächen
abschnitte oder auch der gesamten zu bearbeitenden Oberfläche des Objektes 1 vor
gesehen. Die Einrichtung 26 ist dabei so ausgebildet, daß vor, während oder nach der
Bearbeitung durch topografische Messungen Krümmungswerte der Oberfläche ermit
telt werden. Die dazu erforderliche Meßstrahlung 29 wird auf dem Weg zum Objekt 1
über einen optischen Teiler 27 in den Laserstrahl 2 eingekoppelt, während das von der
Objektoberfläche reflektierte Licht mit der Information über die Krümmung der Ober
fläche ebenfalls mittels des optischen Teilers 27 wieder aus dem Laserstrahl 2 ausge
koppelt und beispielsweise auf eine Detektoreinrichtung innerhalb der Einrichtung 26
gerichtet wird.
Die ermittelten Krümmungswerte werden über einen Signalweg 28 an die Ansteuerein
heit 24 übergeben, in der eine Rechenschaltung (nicht separat dargestellt) enthalten
ist, die aus einem Vergleich mit den über die Schnittstelle 25 eingegebenen Sollwerten
für die einzelnen Parameter (Ablenkwinkel, Spotgröße, Intensitätsverteilung) und den
ermittelten Istwerten für die Oberflächenkrümmungen Vorgabedaten für die weitere
Bearbeitung der Oberfläche des Objektes 1 ermittelt und über die Ansteuereingänge
20 bis 23 ausgibt.
Mit der hier beispielhaft beschriebenen Vorrichtung ist vorteilhaft das erfindungsge
mäße Verfahren zur Formgebung von Objekten durch Materialabtrag von der Objekt
oberfläche mit Hilfe eines gepulsten Laserstrahles wie auch das Verfahren zur Ermitt
lung von geometrischen Veränderungen an der Oberfläche von Objekten bei Betreiben
dieser Vorrichtung ausführbar.
Ein wesentlicher Vorteil besteht wie bereits dargestellt darin, daß nach der Bearbeitung
einzelner Oberflächenabschnitte durch entsprechende Vorgabe der Spotgröße und der
Intensitätsverteilung innerhalb der Laserstrahlung eine weitere Glättung der Hornhaut
wölbung möglich ist. Auch läßt sich durch die Möglichkeit dieser ganzflächigen Ablati
on eine Verkürzung der Bearbeitungszeit erreichen. So lassen sich neben der Korrektur
von Myopie und Hyperopie am menschlichen Auge vorzugsweise auch Unregelmäßig
keiten, wie zum Beispiel irregulärer Astigmatismus, korrigieren.
Es hat sich auch gezeigt, daß auf diese Weise die Ausbildung sogenannter Central Is
lands vermieden werden kann, die bisher bei Verfahrensweisen und Vorrichtungen
nach dem Stand der Technik störend aufgetreten sind.
Bei der Benutzung der erfindungsgemäßen Vorrichtung empfiehlt es sich, zunächst
eine flächenhafte Ablation nach dem Spotscanning-Prinzip mit Spots vorzunehmen,
deren Ausdehnungen kleiner als die gesamte zu bearbeitende Oberfläche sind, wobei
eine glocken- bzw. gaußförmige Intensitätsverteilung im Laserstrahl 2 gewählt werden
sollte. In einem nächsten Schritt sollte die Ablation der zu behandelnden Oberfläche
mit Spots erfolgen, deren Größe im Bereich der Größe der zu bearbeitenden Oberfläche
liegt und deren Zentren auf das Zentrum der zu bearbeitenden Oberfläche gerichtet
sind, wobei eine Intensitätsverteilung innerhalb der Strahlung zu wählen ist, bei der in
einem Zentralbereich des Strahlenganges eine homogene Intensität, zu den Randberei
chen hin allseitig eine gaußförmig abfallende Intensität vorhanden ist.
In einer alternativen Verfahrensweise kann in einem ersten Schritt die Änderung der zu
bearbeitenden Oberfläche bzw. des zu bearbeitenden Oberflächenabschnittes nach
einem vorangegangenen Bearbeitungszyklus bestimmt werden, wozu die Einrichtung
26 zur Ermittlung von Krümmungswerten zu benutzen ist. In einem weiteren Schritt
werden mittels der Recheneinheit innerhalb der Ansteuereinheit 24 in Abhängigkeit
von den ermittelten Krümmungswerten Intensitätsverteilungen, Ablenkwinkel und
Spotgrößen für den nächstfolgenden Bearbeitungsschritt festgelegt, über die Ansteu
ereingänge 20 bis 23 an die betreffenden Baugruppen ausgegeben, mit Hilfe des von
der Laserdiode 12 ausgehenden Zielstrahles unter visueller Kontrolle die Zielposition
angefahren und schließlich der Excimerlaser 3 in Betrieb genommen. Nach einer zeit
lich begrenzten Bearbeitungsdauer kann dann wiederum im Sinne des ersten Schrittes
die Änderung der zu bearbeitenden Oberfläche bestimmt werden und daraus Schluß
folgerungen für die weitere Bearbeitungsweise abgeleitet werden.
So kann vorteilhaft das Vorhandensein von ausgeprägten Auswölbungen auf der Ober
fläche des Objektes 1 festgestellt und zu deren effektiver Korrektur eine andere Inten
sitätsverteilung innerhalb des Strahlenganges für den nächsten Bearbeitungsgang ge
wählt werden als bei einer normalen Korrektur einer Myopie. Die Einsatzmöglichkeit
von großen und kleinen Spots, bei denen in der Laserstrahlung gaußförmig oder auch
topfartig ausgebildete Intensitätsverteilungen gewählt werden können, oder bei denen
in einem Zentralbereich eine konstante Intensitätsverteilung zu verzeichnen ist, eröff
net Kombinationsvarianten, mit denen selbst extreme Oberflächenstrukturen optimal
korrigiert bzw. neu aufgebaut werden können, ohne daß visuell wahrnehmbare und
dadurch störende Unebenheiten auf der Objektoberfläche zurückbleiben.
1
Objekte
2
Laserstrahl
3
Excimerlaser
4
Ablenkeinrichtung
5
X-Scannerspiegel
6
Y-Scannerspiegel
7
Containmentwand
8
Fenster
9
variabler Abschwächer
10
Umlenkprisma
11
optischer Teiler
12
Laserdiode
13
Umlenkspiegel
14
optische Einrichtung
15
(
15.1
,
15.2
) optische Elemente
16
Wechselrad
17
Drehachse
18
Antrieb
19
Varioobjektiv
20
,
21
,
22
,
23
Ansteuereingänge
24
Ansteuereinheit
25
Schnittstelle
26
Einrichtung zur Ermittlung
27
optischer Teiler
28
Signalweg
29
Meßstrahlung
Claims (21)
1. Vorrichtung zur Formgebung von Objekten durch Materialabtrag von der Objekt
oberfläche, mit einem gepulsten Laserstrahl und einer Ablenkeinrichtung, durch
die der Laserstrahl über die Objektoberfläche geführt wird, dadurch gekenn
zeichnet, daß eine optische Einrichtung (14) zur Änderung der Verteilung der
Strahlungsintensität innerhalb des Laserstrahlquerschnittes vorgesehen ist und
die Strahlungsintensität nach Durchgang des Laserstrahles (2) durch diese opti
sche Einrichtung (14) in mindestens einer Querschnittsrichtung durch den Laser
strahl (2) eine glocken- oder gaußförmige oder glocken- oder gaußformähnliche
Verteilung aufweist.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die optische Einrich
tung (14) mindestens ein optisches Element (15) umfaßt, das zum Zweck der Än
derung der Intensitätsverteilung wahlweise in den Laserstrahlengang eingebracht
oder aus dem Laserstrahlengang entfernt werden kann, wobei das mindestens
ein optische Element (15) mit einer diffraktiven und/oder refraktiven mikroop
tisch wirksamen, zur Beeinflussung der Intensitätsverteilung im Laserstrahlungs
querschnitt geeigneten Struktur versehen ist.
3. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß ein optisches Ele
ment (15) vorgesehen ist, das eine radialsymmetrische Intensitätsverteilung in
nerhalb des Laserstrahlquerschnittes erzeugt, bei der in einer kreisrunden zen
tralen Querschnittsfläche eine etwa gleiche Intensität und von der zentralen
Querschnittsfläche zu den Randbereichen der Laserstrahlung hin eine
glocken- oder gaußförmig abfallende Intensität vorhanden ist.
4. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß ein optisches Ele
ment (15) vorgesehen ist, das eine radialsymmetrische Intensitätsverteilung in
nerhalb des Laserstrahlquerschnittes erzeugt, bei der im Zentrum des Quer
schnittes ein Intensitätsmaximum und vom Zentrum zu den Randbereichen hin
eine glocken- oder gaußförmig abfallende Intensität vorhanden ist.
5. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß ein optisches Ele
ment (15) vorgesehen ist, das zur Erzeugung unterschiedlicher Intensitätsvertei
lungen in unterschiedlichen Querschnittsrichtungen durch den Laserstrahl vorge
sehen ist.
6. Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß das optische Ele
ment (15) so ausgebildet ist, daß in zwei aufeinander senkrecht stehenden
Schnitten durch den Laserstrahl (2) in einem Schnitt eine zumindest angenähert
gaußförmige Intensitätsverteilung und im zweiten Schnitt eine zumindest ange
nähert homogene Intensitätsverteilung erzielt wird, wobei die Ablenkrichtung des
Laserstrahles senkrecht zur homogenen Intensitätsverteilung ausgerichtet ist.
7. Vorrichtung nach einem der vorgenannten Ansprüche, dadurch gekennzeichnet,
daß die optische Einrichtung (14) mehrere auf einem beweglichen Träger ange
ordnete optische Elemente (15) umfaßt, wobei mit der Bewegung des Trägers das
Einbringen der optischen Elemente (15) in den Laserstrahl (2) bzw. deren Entfer
nen aus dem Laserstrahl (2) ausführbar ist.
8. Vorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß der bewegliche Trä
ger als drehbares Wechselrad (16) ausgebildet ist, das um eine parallel zur
Strahlungsrichtung ausgerichtete Drehachse (17) drehbar gelagert ist und an
dem die optischen Elemente (15) auf einem Teilkreis angeordnet sind.
9. Vorrichtung nach einem der vorgenannten Ansprüche, dadurch gekennzeichnet,
daß im Laserstrahlengang ein optisches Variosystem zur Beeinflussung der Größe
der auf die Objektoberfläche gerichteten Spotfläche vorgesehen ist.
10. Vorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Größe der Spot
fläche in Bezug auf den Ablenkwinkel der Laserstrahlung zwischen zwei aufein
ander folgenden Pulsen und auf die Pulsfrequenz der Laserstrahlung so abge
stimmt ist, daß die einzelnen Spotflächen sich auf der Objektoberfläche um etwa
30% überdecken.
11. Vorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß das Variosystem
und/oder das Wechselrad (16) mit elektronisch steuerbaren Stellantrieben verse
hen sind, deren Ansteuereingänge (21, 22) wie auch ein Ansteuereingang (23) der
Ablenkeinrichtung (4) mit den Ausgängen einer Ansteuereinheit (24) verbunden
sind, wobei an den Ausgängen der Ansteuereinheit (24) Vorgabedaten für die
Größe der Spotfläche und/oder für die Drehbewegung des Wechselrades (16)
und/oder für den Ablenkwinkel anliegen.
12. Vorrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß eine Einrichtung
zur Erfassung von Istwerten der Krümmung einzelner Oberflächenabschnitte
und/oder der gesamten zu bearbeitenden Oberfläche vorgesehen und mit einem
Istwert-Speicher verbunden ist.
13. Vorrichtung nach Anspruch 11 oder 12, dadurch gekennzeichnet, daß die An
steuereinheit (24) eingangsseitig mit dem Istwert-Speicher und einem Sollwert-Speicher
verbunden ist und in der Ansteuereinheit (24) eine Rechenschaltung zur
Ermittlung von Vorgabedaten für die Größe der Spotfläche und/oder für die
Drehbewegung des Wechselrades (16) und/oder für den Ablenkwinkel des Laser
strahles (2) aus dem Vergleich der Istwerte mit den Sollwerten vorgesehen ist.
14. Verfahren zur Formgebung von Objekten durch Materialabtrag von der Objekt
oberfläche mit Hilfe eines gepulsten Laserstrahles, der über die Objektoberfläche
geführt wird, dadurch gekennzeichnet, daß während der Formgebung die Ver
teilung der Strahlungsintensität innerhalb des Laserstrahles (2) und/oder die
Größe der Spotfläche, mit welcher der Laserstrahl (2) auf die Objektoberfläche
trifft und/oder der Ablenkwinkel für den Laserstrahl (2) verändert werden.
15. Verfahren nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß zu Beginn der Form
gebung der Materialabtrag mit kleiner Spotfläche und zum Ende der Formgebung
der Materialabtrag mit zunehmend größerer Spotfläche erfolgt.
16. Verfahren nach Anspruch 14 oder 15, dadurch gekennzeichnet, daß in der
Schlußphase der Formgebung der Materialabtrag mit einer Spotfläche erfolgt, de
ren Größe der Gesamtgröße der zu bearbeitenden Objektoberfläche entspricht.
17. Verfahren nach Anspruch 14 bis 16, dadurch gekennzeichnet, daß zu Beginn der
Formgebung der Materialabtrag mit topfförmig verteilter Intensität und zum En
de der Formgebung der Materialabtrag mit zunehmend gaußförmig verteilter In
tensität erfolgt.
18. Verfahren zur Ermittlung von geometrischen Veränderungen an der Oberfläche
von Objekten beim Betreiben einer Vorrichtung gemäß den Ansprüchen 1 bis 13,
dadurch gekennzeichnet, daß vor, während und/oder unmittelbar nach einem
Materialabtrag eine Krümmungsmessung einzelner Oberflächenabschnitte
und/oder der gesamten zu bearbeitenden Oberfläche vorgenommen wird.
19. Verfahren nach Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet, daß zum Zweck der
Krümmungsmessung ein Meßstrahlengang oder mehrere Meßstrahlengänge auf
die Oberfläche des Objektes gerichtet, die Reflexionen dieser Meßstrahlengänge
mittels einer Detektoreinrichtung erfaßt und daraus mittels einer Auswerteein
richtung Krümmungswerte ermittelt werden.
20. Verfahren nach einem der Ansprüche 18 oder 19, dadurch gekennzeichnet, daß
die ermittelten Krummungswerte für die gesamte Oberfläche oder für einzelne
Oberflächenabschnitte des zu bearbeitenden Objektes als Istwerte einem Ver
gleich mit Sollwerten für die gesamte Oberfläche oder einzelnen Oberflächenab
schnitten zugrundegelegt werden.
21. Verfahren nach Anspruch 20, dadurch gekennzeichnet, daß aus dem Vergleich
der Istwerte mit Sollwerten Vorgabedaten für einen nachfolgenden, zeitlich be
grenzten Materialabtrag gewonnen werden, wobei mit den Vorgabedaten der
Ablenkwinkel des Laserstrahles zwischen zwei aufeinander folgenden Pulsen
und/oder die Größe der Spotfläche auf der Objektoberfläche und/oder die Inten
sitätsverteilung innerhalb des Laserstrahles (2) für den nachfolgenden Material
abtrag vorgegeben wird.
Priority Applications (14)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US09/530,167 US7128737B1 (en) | 1997-10-22 | 1990-10-20 | Object figuring device |
DE19746483A DE19746483C5 (de) | 1997-10-22 | 1997-10-22 | Vorrichtung zur Formgebung von optischen Linsen durch Materialabtrag |
DE29724852U DE29724852U1 (de) | 1997-10-22 | 1997-10-22 | Vorrichtung zur Formgebung von Objekten |
CA002309042A CA2309042C (en) | 1997-10-22 | 1998-10-20 | Object figuring device |
EP98955488A EP1034062B1 (de) | 1997-10-22 | 1998-10-20 | Vorrichtung zur formgebung von objekten |
EP04028996A EP1514633A3 (de) | 1997-10-22 | 1998-10-20 | Vorrichtung zum Formgebung von Objekten |
PCT/EP1998/006626 WO1999020429A1 (de) | 1997-10-22 | 1998-10-20 | Vorrichtung zur formgebung von objekten |
AU12297/99A AU1229799A (en) | 1997-10-22 | 1998-10-20 | Object figuring device |
DE1998512371 DE59812371D1 (de) | 1997-10-22 | 1998-10-20 | Vorrichtung zur formgebung von objekten |
AT98955488T ATE284293T1 (de) | 1997-10-22 | 1998-10-20 | Vorrichtung zur formgebung von objekten |
ES98955488T ES2232970T3 (es) | 1997-10-22 | 1998-10-20 | Dispositivo para el modelado de objetos. |
JP2000516804A JP2001520938A (ja) | 1997-10-22 | 1998-10-20 | 対象物形成装置 |
US11/552,435 US7545515B2 (en) | 1997-10-22 | 2006-10-24 | Object shaping device |
US12/466,732 US7859684B2 (en) | 1997-10-22 | 2009-05-15 | Object figuring device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19746483A DE19746483C5 (de) | 1997-10-22 | 1997-10-22 | Vorrichtung zur Formgebung von optischen Linsen durch Materialabtrag |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE19746483A1 true DE19746483A1 (de) | 1999-05-06 |
DE19746483C2 DE19746483C2 (de) | 2002-05-08 |
DE19746483C5 DE19746483C5 (de) | 2005-02-24 |
Family
ID=7846171
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19746483A Expired - Lifetime DE19746483C5 (de) | 1997-10-22 | 1997-10-22 | Vorrichtung zur Formgebung von optischen Linsen durch Materialabtrag |
DE1998512371 Expired - Lifetime DE59812371D1 (de) | 1997-10-22 | 1998-10-20 | Vorrichtung zur formgebung von objekten |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE1998512371 Expired - Lifetime DE59812371D1 (de) | 1997-10-22 | 1998-10-20 | Vorrichtung zur formgebung von objekten |
Country Status (9)
Country | Link |
---|---|
US (3) | US7128737B1 (de) |
EP (2) | EP1514633A3 (de) |
JP (1) | JP2001520938A (de) |
AT (1) | ATE284293T1 (de) |
AU (1) | AU1229799A (de) |
CA (1) | CA2309042C (de) |
DE (2) | DE19746483C5 (de) |
ES (1) | ES2232970T3 (de) |
WO (1) | WO1999020429A1 (de) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2004105661A1 (de) | 2003-06-02 | 2004-12-09 | Carl Zeiss Meditec Ag | Verfahren und vorrichtung zum präzisen bearbeiten von material |
EP1742311B1 (de) * | 2002-01-18 | 2011-03-09 | Carl Zeiss Meditec AG | Femtosekunden-Lasersystem zur präzisen Bearbeitung von Material und Gewebe |
EP1311778B2 (de) † | 2000-07-05 | 2018-08-29 | Flowserve Management Company | Verfahren zur formung einer mikro-topographie auf ringoberflächen mit einem laser |
EP3643443A4 (de) * | 2017-06-20 | 2020-10-07 | Amada Holdings Co., Ltd. | Laserverarbeitungsmaschine |
Families Citing this family (25)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE10024079A1 (de) * | 2000-05-17 | 2001-11-22 | Asclepion Meditec Ag | Verfahren und Vorrichtung zur Kontrolle der Energie und/oder Position eines gepulsten und gescannten Laserstrahles |
US6777645B2 (en) * | 2001-03-29 | 2004-08-17 | Gsi Lumonics Corporation | High-speed, precision, laser-based method and system for processing material of one or more targets within a field |
DE10328559B4 (de) * | 2003-06-24 | 2006-04-20 | Leibniz-Institut für Oberflächenmodifizierung e.V. | Verfahren zur Präzisionsbearbeitung von transparenten Materialien mit gepulster Laserstrahlung |
US7405815B1 (en) * | 2003-11-04 | 2008-07-29 | The Boeing Company | Systems and methods for characterizing laser beam quality |
US8158904B2 (en) * | 2004-08-13 | 2012-04-17 | Boston Scientific Scimed, Inc. | Method and apparatus for forming a feature in a workpiece by laser ablation with a laser beam having an adjustable intensity profile to redistribute the energy density impinging on the workpiece |
EP1858402B1 (de) * | 2005-01-21 | 2017-11-29 | Massachusetts Institute Of Technology | Verfahren und vorrichtung zur tomographischen abtastung mit optischer kohärenz |
US9352415B2 (en) | 2005-02-15 | 2016-05-31 | Carl Zeiss Meditec Ag | Method for generating an ablation program, method for ablating a body and means for carrying out said method |
US20070156230A1 (en) | 2006-01-04 | 2007-07-05 | Dugan Stephen R | Stents with radiopaque markers |
US8752267B2 (en) | 2006-05-26 | 2014-06-17 | Abbott Cardiovascular Systems Inc. | Method of making stents with radiopaque markers |
US8535372B1 (en) | 2006-06-16 | 2013-09-17 | Abbott Cardiovascular Systems Inc. | Bioabsorbable stent with prohealing layer |
US8128688B2 (en) | 2006-06-27 | 2012-03-06 | Abbott Cardiovascular Systems Inc. | Carbon coating on an implantable device |
US7823263B2 (en) | 2006-07-11 | 2010-11-02 | Abbott Cardiovascular Systems Inc. | Method of removing stent islands from a stent |
US7901452B2 (en) | 2007-06-27 | 2011-03-08 | Abbott Cardiovascular Systems Inc. | Method to fabricate a stent having selected morphology to reduce restenosis |
US7955381B1 (en) | 2007-06-29 | 2011-06-07 | Advanced Cardiovascular Systems, Inc. | Polymer-bioceramic composite implantable medical device with different types of bioceramic particles |
US8435437B2 (en) * | 2009-09-04 | 2013-05-07 | Abbott Cardiovascular Systems Inc. | Setting laser power for laser machining stents from polymer tubing |
US8568471B2 (en) | 2010-01-30 | 2013-10-29 | Abbott Cardiovascular Systems Inc. | Crush recoverable polymer scaffolds |
US8808353B2 (en) | 2010-01-30 | 2014-08-19 | Abbott Cardiovascular Systems Inc. | Crush recoverable polymer scaffolds having a low crossing profile |
DE102010011508B4 (de) * | 2010-03-15 | 2015-12-10 | Ewag Ag | Verfahren zur Herstellung zumindest einer Spannut und zumindest einer Schneidkante und Laserbearbeitungsvorrichtung |
US8726483B2 (en) | 2011-07-29 | 2014-05-20 | Abbott Cardiovascular Systems Inc. | Methods for uniform crimping and deployment of a polymer scaffold |
CN103998091B (zh) | 2011-10-21 | 2017-03-22 | 波士顿科学西美德公司 | 锁定导管毂 |
JP5775811B2 (ja) * | 2011-12-26 | 2015-09-09 | 浜松ホトニクス株式会社 | レーザ加工装置及びレーザ加工方法 |
CN103406663A (zh) * | 2013-08-19 | 2013-11-27 | 昆山远大精工机械有限公司 | 一种割炬驱动式激光切割设备 |
US20170334021A1 (en) * | 2014-12-15 | 2017-11-23 | Toyota Motor Europe | Systems for and method of welding using beam shaping means and shielding means |
US9999527B2 (en) | 2015-02-11 | 2018-06-19 | Abbott Cardiovascular Systems Inc. | Scaffolds having radiopaque markers |
US9700443B2 (en) | 2015-06-12 | 2017-07-11 | Abbott Cardiovascular Systems Inc. | Methods for attaching a radiopaque marker to a scaffold |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3914275A1 (de) * | 1989-04-14 | 1991-01-03 | Zeiss Carl Fa | Spiegel zur veraenderung der geometrischen gestalt eines lichtbuendels |
EP0651982A1 (de) * | 1993-11-08 | 1995-05-10 | Khalil Hanna | Maske zum Einbringen in einen Laserstrahl, um eine bestimmte Bearbeitung zu erreichen, insbesondere eine oberflächliche Abtragung an einem Organ oder einem Gegenstand, insbesondere einer Hornhaut, einer Linse oder einem Hornhautimplantat; Verfahren und Bearbeitungsvorrichtung zum Anwenden dieser Maske |
DE19514679A1 (de) * | 1995-01-11 | 1996-07-18 | Ulrich Dr Gehm | Optisches Profilierungssystem zur Erzeugung von Sphären mit GAUSS-Verteilung an Excimerlasern zur Bearbeitung von Augenoberflächen |
Family Cites Families (38)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE224322C (de) | ||||
CA1208466A (en) | 1982-07-28 | 1986-07-29 | Donald R. Scifres | Beam collimation and focusing of multi-emitter or broad emitter lasers |
ZA847841B (en) | 1983-11-17 | 1985-05-29 | Francis A L Esperance | Method and apparatus for ophthalmological surgery |
AU606315B2 (en) * | 1985-09-12 | 1991-02-07 | Summit Technology, Inc. | Surface erosion using lasers |
US4733944A (en) * | 1986-01-24 | 1988-03-29 | Xmr, Inc. | Optical beam integration system |
US4838266A (en) * | 1986-09-08 | 1989-06-13 | Koziol Jeffrey E | Lens shaping device using a laser attenuator |
US4911711A (en) * | 1986-12-05 | 1990-03-27 | Taunton Technologies, Inc. | Sculpture apparatus for correcting curvature of the cornea |
LU86927A1 (de) | 1987-06-19 | 1988-07-14 | Europ Communities | Kontinuierlich variables laserstrahl-daempfungsglied |
US5284477A (en) * | 1987-06-25 | 1994-02-08 | International Business Machines Corporation | Device for correcting the shape of an object by laser treatment |
US4931053A (en) * | 1988-01-27 | 1990-06-05 | L'esperance Medical Technologies, Inc. | Method and apparatus for enhanced vascular or other growth |
EP0346116B2 (de) | 1988-06-09 | 1997-01-02 | Visx Incorporated | Vorrichtung zur Laserformung der Hornhaut |
JPH0727993B2 (ja) | 1989-03-24 | 1995-03-29 | 松下電工株式会社 | 半導体チップキャリア及び半導体装置 |
DE59008308D1 (de) * | 1990-01-09 | 1995-03-02 | Ciba Geigy Ag | Faseroptische Vorrichtung für die photodynamische Behandlung von Tumoren. |
US5091626A (en) * | 1990-02-02 | 1992-02-25 | Hadassah Medical Organization | Method for the ablative reshaping of material surfaces |
US5061342A (en) * | 1990-05-18 | 1991-10-29 | Bausch & Lomb Incorporated | Target domain profiling of target optical surfaces using excimer laser photoablation |
US5204773A (en) * | 1990-10-01 | 1993-04-20 | General Electric Company | Ultraviolet light filter and filter system |
CA2029767C (en) * | 1990-11-13 | 1996-07-16 | Najeeb Ashraf Khalid | Laser scanning system for use in laser imaging |
JP3199124B2 (ja) | 1990-12-28 | 2001-08-13 | 株式会社ニデック | レーザアブレーション装置 |
US5231624A (en) * | 1991-08-01 | 1993-07-27 | Tandy Corporation | System and method using a reduce profile light beam for high density recording on optical media |
US5637109A (en) * | 1992-02-14 | 1997-06-10 | Nidek Co., Ltd. | Apparatus for operation on a cornea using laser-beam |
DE4220705C2 (de) | 1992-06-24 | 2003-03-13 | Lambda Physik Ag | Vorrichtung zum Aufteilen eines Lichtstrahles in homogene Teilstrahlen |
DE4232690C1 (de) | 1992-09-30 | 1994-04-07 | Aesculap Ag | Verfahren und Vorrichtung zur Formkorrektur einer Linse |
US5463200A (en) * | 1993-02-11 | 1995-10-31 | Lumonics Inc. | Marking of a workpiece by light energy |
JPH0727993A (ja) | 1993-07-07 | 1995-01-31 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光ビーム均一化光学系 |
US5800424A (en) * | 1994-06-24 | 1998-09-01 | Nidek Co., Ltd. | Apparatus for use in operating upon a cornea |
US6302877B1 (en) * | 1994-06-29 | 2001-10-16 | Luis Antonio Ruiz | Apparatus and method for performing presbyopia corrective surgery |
DE4429193A1 (de) | 1994-08-18 | 1996-02-22 | Aesculap Ag | Vorrichtung zur Erzeugung einer querschnittshomogenisierten Laserstrahlung und Verwendung dieser Strahlung |
DE4441425A1 (de) | 1994-11-22 | 1995-08-24 | Ulrich Dr Gehm | Optisches Profilierungssystem mit Strahlnachführung zur chirurgischen Oberflächenbearbeitung von Augenoberflächen |
WO1996033839A1 (en) * | 1995-04-26 | 1996-10-31 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Method and apparatus for step and repeat exposures |
JPH0973041A (ja) * | 1995-06-26 | 1997-03-18 | Oki Electric Ind Co Ltd | 自由空間光配線用のマイクロ光学系およびそのセッティング方法 |
JPH0966383A (ja) | 1995-09-04 | 1997-03-11 | Ricoh Co Ltd | レーザ加工装置 |
US5906608A (en) * | 1996-01-31 | 1999-05-25 | Nidek Co., Ltd. | Ablation apparatus |
DE19703661B4 (de) | 1996-01-31 | 2007-12-20 | Nidek Co., Ltd., Gamagori | Ablationsvorrichtung |
DE19619481C1 (de) * | 1996-05-14 | 1997-11-27 | Aesculap Meditec Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zum Abtragen von Material mit einem Laserstrahl |
DE19623749A1 (de) | 1996-06-14 | 1997-05-07 | Vladimir Prof Dr Semchishen | Optik zur Profilierung von Laserstrahlen, insbesondere von Excimerlasern |
US6193710B1 (en) | 1998-07-16 | 2001-02-27 | Visx, Incorporated | Method for scanning non-overlapping patterns of laser energy with diffractive optics |
DE19836649C2 (de) * | 1998-08-13 | 2002-12-19 | Zeiss Carl Meditec Ag | Medizinisches Handstück |
US6086204A (en) * | 1999-09-20 | 2000-07-11 | Magnante; Peter C. | Methods and devices to design and fabricate surfaces on contact lenses and on corneal tissue that correct the eye's optical aberrations |
-
1990
- 1990-10-20 US US09/530,167 patent/US7128737B1/en not_active Expired - Lifetime
-
1997
- 1997-10-22 DE DE19746483A patent/DE19746483C5/de not_active Expired - Lifetime
-
1998
- 1998-10-20 CA CA002309042A patent/CA2309042C/en not_active Expired - Lifetime
- 1998-10-20 EP EP04028996A patent/EP1514633A3/de not_active Withdrawn
- 1998-10-20 EP EP98955488A patent/EP1034062B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1998-10-20 AU AU12297/99A patent/AU1229799A/en not_active Abandoned
- 1998-10-20 ES ES98955488T patent/ES2232970T3/es not_active Expired - Lifetime
- 1998-10-20 DE DE1998512371 patent/DE59812371D1/de not_active Expired - Lifetime
- 1998-10-20 JP JP2000516804A patent/JP2001520938A/ja active Pending
- 1998-10-20 AT AT98955488T patent/ATE284293T1/de not_active IP Right Cessation
- 1998-10-20 WO PCT/EP1998/006626 patent/WO1999020429A1/de active IP Right Grant
-
2006
- 2006-10-24 US US11/552,435 patent/US7545515B2/en not_active Expired - Fee Related
-
2009
- 2009-05-15 US US12/466,732 patent/US7859684B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3914275A1 (de) * | 1989-04-14 | 1991-01-03 | Zeiss Carl Fa | Spiegel zur veraenderung der geometrischen gestalt eines lichtbuendels |
EP0651982A1 (de) * | 1993-11-08 | 1995-05-10 | Khalil Hanna | Maske zum Einbringen in einen Laserstrahl, um eine bestimmte Bearbeitung zu erreichen, insbesondere eine oberflächliche Abtragung an einem Organ oder einem Gegenstand, insbesondere einer Hornhaut, einer Linse oder einem Hornhautimplantat; Verfahren und Bearbeitungsvorrichtung zum Anwenden dieser Maske |
DE19514679A1 (de) * | 1995-01-11 | 1996-07-18 | Ulrich Dr Gehm | Optisches Profilierungssystem zur Erzeugung von Sphären mit GAUSS-Verteilung an Excimerlasern zur Bearbeitung von Augenoberflächen |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
CD-ROM PAJ: Patent Abstracts of Japan, JP 09066383 A * |
Cited By (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1311778B2 (de) † | 2000-07-05 | 2018-08-29 | Flowserve Management Company | Verfahren zur formung einer mikro-topographie auf ringoberflächen mit einem laser |
US8585686B2 (en) | 2002-01-18 | 2013-11-19 | Carl Zeiss Meditec Ag | Femtosecond laser system for the exact manipulation of material and tissues |
US10123906B2 (en) | 2002-01-18 | 2018-11-13 | Carl Zeiss Meditec Ag | Femtosescond laser system for the exact manipulation of material and tissues |
EP1742311B1 (de) * | 2002-01-18 | 2011-03-09 | Carl Zeiss Meditec AG | Femtosekunden-Lasersystem zur präzisen Bearbeitung von Material und Gewebe |
EP2352210A1 (de) * | 2002-01-18 | 2011-08-03 | Carl Zeiss Meditec AG | Femtosekunden-Lasersystem zur präzisen Bearbeitung von Material und Gewebe |
EP2298254A1 (de) | 2003-06-02 | 2011-03-23 | Carl Zeiss Meditec AG | Verfahren und Vorrichtung zum präzisen Bearbeiten von Material |
US8171937B2 (en) | 2003-06-02 | 2012-05-08 | Carl Zeiss Meditec Ag | Method and apparatus for precision working of material |
EP2805697A1 (de) | 2003-06-02 | 2014-11-26 | Carl Zeiss Meditec AG | Vorrichtung zum präzisen Bearbeiten von Material |
US9320650B2 (en) | 2003-06-02 | 2016-04-26 | Carl Zeiss Meditec Ag | Method and apparatus for precision working of an eye |
US9844464B2 (en) | 2003-06-02 | 2017-12-19 | Carl Zeiss Meditec Ag | Method and apparatus for precision working of material |
WO2004105661A1 (de) | 2003-06-02 | 2004-12-09 | Carl Zeiss Meditec Ag | Verfahren und vorrichtung zum präzisen bearbeiten von material |
US7351241B2 (en) | 2003-06-02 | 2008-04-01 | Carl Zeiss Meditec Ag | Method and apparatus for precision working of material |
US10898381B2 (en) | 2003-06-02 | 2021-01-26 | Carl Zeiss Meditec Ag | Method and apparatus for precision working of material |
EP3643443A4 (de) * | 2017-06-20 | 2020-10-07 | Amada Holdings Co., Ltd. | Laserverarbeitungsmaschine |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US7859684B2 (en) | 2010-12-28 |
ATE284293T1 (de) | 2004-12-15 |
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US7545515B2 (en) | 2009-06-09 |
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US7128737B1 (en) | 2006-10-31 |
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DE59812371D1 (de) | 2005-01-13 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
8127 | New person/name/address of the applicant |
Owner name: ASCLEPION-MEDITEC AG, 07745 JENA, DE |
|
D2 | Grant after examination | ||
8363 | Opposition against the patent | ||
8366 | Restricted maintained after opposition proceedings | ||
8392 | Publication of changed patent specification | ||
R071 | Expiry of right |