DE19732929A1 - Musterträger für eine Vakuumbeschichtungsvorrichtung - Google Patents
Musterträger für eine VakuumbeschichtungsvorrichtungInfo
- Publication number
- DE19732929A1 DE19732929A1 DE1997132929 DE19732929A DE19732929A1 DE 19732929 A1 DE19732929 A1 DE 19732929A1 DE 1997132929 DE1997132929 DE 1997132929 DE 19732929 A DE19732929 A DE 19732929A DE 19732929 A1 DE19732929 A1 DE 19732929A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- sample carrier
- bore
- pattern carrier
- compressed air
- separating agent
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/04—Coating on selected surface areas, e.g. using masks
- C23C14/042—Coating on selected surface areas, e.g. using masks using masks
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/56—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
- C23C14/562—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks for coating elongated substrates
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
Die Erfindung betrifft einen Musterträger für eine
Vorrichtung zum Herstellen von metallfreien Parti
en bei im Vakuum beschichteten Folienbahnen, ins
besondere für Kondensatoren, bestehend aus einer
Prozeßkammer und einer Wickeleinrichtung mit dreh
bar gelagerten Umlenk- und Spannwalzen, mindestens
einer den Musterträger bildenden rotierenden
Druckwalze und einer Beschichtungs-, Aufwickel- und
Abwickelrolle sowie einer Beschichtungsquelle
und einem Gefäß mit Austrittsdüse zur Aufnahme des
Trennmittels und einer Abstreif- oder Dichtleiste
zum Zurückhalten des überschüssigen Trennmittels.
Es ist ein Verfahren für die Metallisierung von
Plastikfolien bekannt (US 4,832,983), bei dem die
Folienbahn über eine rotierbare Walze aus Gummi
geführt ist, deren zylindrische Umfangsfläche mit
dem gewünschten Hochdruckmuster versehen ist, wo
bei die einzelnen über die Umfangsfläche hervor
stehenden Muster-Elemente einen Ölfilm an ihrer
Oberfläche aufweisen, der beim Abrollen auf der
Folienbahn die dem Muster entsprechenden Ölfilm-
Abdrücke erzeugt. Die mit dem Öl-Muster versehene
Folienbahn wird anschließend über eine gekühlte
Walze geführt und dabei gleichzeitig bedampft, wo
bei sich der Metall-Dampf auf den ölfreien Partien
der Folie niederschlägt.
Dieses bekannte Verfahren hat den Nachteil, daß
keine beliebigen bzw. frei wählbaren Muster auf
den Folien mit Trennmittel markierbar sind, wobei
die Gleichmäßigkeit des aufgebrachten Trennmittel
films ungenügend ist, so daß die Partien, auf de
nen sich Metall niedergeschlagen hat, eine un
scharfe Kontur aufweisen, wobei außerdem auch
nicht gewährleistet ist, daß Trennmittel nicht zu
sätzlich Partien der Folienbahn benetzt, die mit
Metall beschichtet werden sollen.
Man hat deshalb bereits ein Verfahren zum Erzeugen
von Mustern auf Substraten unter stellenweiser Be
schichtung der Substrate mit einem eine nachfol
gende Beschichtung verhindernden Medium sowie
durch nachfolgendes Aufbringen mindestens einer
Funktionsschicht vorgeschlagen (DE 43 10 085),
nach dem man einen Musterträger nach Maßgabe des
zu erzeugenden Musters mit einem Vertiefungsmuster
versieht, bei dem die räumliche Verteilung der
Vertiefungen den nicht zu beschichtenden Oberflä
chenbereichen des Substrats entspricht, wobei man
die Vertiefungen mit dem Dampf des die Beschich
tung verhindernden Mediums füllt, das Substrat im
wesentlichen synchron mit dem Musterträger bewegt,
wobei die Vertiefungen mit ihren offenen Seiten
auf die Substratoberfläche ausgerichtet sind, wo
bei der in Vertiefungen enthaltene Dampf zur Kon
densation auf das Substrat aufgebracht wird, wobei
nach dem Kondensieren mindestens eines Teils die
ses Dampfes das Substrat mit mindestens einer
Funktionsschicht versehen ist. Die Austrittsdüse
ist dazu als Schlitz oder Lochreihe ausgebildet,
wobei der aus dieser ausströmende Trennmitteldampf
in einen Raum eintritt, der einerseits von einem
Musterträger begrenzt ist und andererseits von
Wandteilen, die gegenüber dem Musterträger mit
Hilfe von an diesem unmittelbar anliegenden oder
aber einen engen Spalt mit diesem bildenden Dicht
leisten oder Dichtlippen abgedichtet sind, wobei
der Raum einen gegenüber dem benachbarten Raum er
höhten Druck aufweist.
Obwohl das bekannte Verfahren (nach der DE 43 10 085)
gute Ergebnisse erbringt, hat es den
noch den Nachteil, daß die mit einer bestimmten
Vorspannung am Musterträger anliegenden Dichtlei
sten oder Dichtlippen den Musterträger bzw. die
Druckwalze infolge der unvermeidbaren Reibung zwi
schen den Teilen unzulässig aufheizt. Der vorlie
genden Erfindung liegt deshalb die Aufgabe zugrun
de, diese Aufheizung zu kompensieren und sicher zu
stellen, daß der Musterträger stets mit einer vor
bestimmten Temperatur arbeitet.
Erfindungsgemaß wird diese Aufgabe dadurch gelöst,
daß der Musterträger eine sich in Längsrichtung
erstreckende Sacklochbohrung aufweist, in die ein
von einem Rohrzuschnitt beabstandet umschlossenes
Heizelement hineinragt, wobei der Rohrzuschnitt
und das Heizelement von einem ortsfesten Lagerbock
gehalten sind, der im übrigen das zylindrische,
drehfeste Außenteil des Musterträgers aufweist und
der mit einer Zu- und einer Rückströmbohrung ver
sehen ist, die an eine Druckluftquelle angeschlos
sen sind, wobei die eine Bohrung mit dem zwischen
Heizstab und Rohrzuschnitt gebildeten Ringraum und
die andere Bohrung mit dem von der Innenwand des
Musterträgers und der Außenwand des Rohrzuschnitts
gebildeten Ringraum verbunden ist.
Weitere Einzelheiten und Merkmale sind in den Pa
tentansprüchen näher beschrieben und gekennzeich
net.
Die Erfindung läßt die verschiedensten Ausfüh
rungsmöglichkeiten zu; eine davon ist in den an
hängenden Zeichnungen näher dargestellt, und zwar
zeigen:
Fig. 1 den Musterträger mit den an beiden En
den vorgesehenen Lagerböcken,
Fig. 2 die Stirnansicht auf den Lagebock mit
Kühlmittelanschlüssen und
Fig. 3-5 verschiedene Schnitte durch den die
Kühlmittelanschlüsse aufweisenden La
gerbock.
Der in den Fig. 1 bis 5 dargestellte Musterträ
ger 2 ist üblicherweise unmittelbar vor der Be
schichtungswalze einer Vakuumbeschichtungsvorrich
tung angeordnet und rotiert oberhalb eines Gefäßes
zur Aufnahme des Trennmittels, beispielsweise von
Öl, und verschließt dabei den am Gefäß vorgesehe
nen Austrittsspalt für das zu verdampfende Trenn
mittel, wobei Abstreif- oder Dichtleisten, die das
verdampfte Trennmittel in dem Vertiefungsmuster im
Musterträger 2 einschließen bzw. den überschüssige
Trennmitteldampf einer Kammer zurückhalten, in dem
Verdampfer angeordnet sind. Die am rotierenden Mu
sterträger 2 anliegenden, die Spalte zwischen dem
Gefäß und der Umfangsfläche des Musterträgers 2
abdichtenden Dichtleisten bewirken infolge der
zwischen diesen Teilen vorhandenen Reibung eine
unerwünschte und unkontrollierbare Erwärmung des
Musterträgers 2. Der Musterträger 2 ist an beiden
Enden mit Lagerzapfen 3,4 versehen, mit denen er
in Wälzlagern 5,6 ruht, die ihrerseits in ortsfe
sten Lageböcken gehalten sind. Der in der Zeich
nung Fig. 1 das linke Wälzlager 5 tragende zwei
teilige Lagerbock 7, 20 bildet gleichzeitig die
Halterung für einen Heizstab 8, der in die Sack
lochbohrung 9 des Musterträgers 2 hineinragt und
sich dabei nahezu über die gesamte Länge des Wal
zenkörpers des Musterträgers 2 erstreckt. Der
Heizstab 8 ist beabstandet von einem Rohrstück
oder Rohrzuschnitt 10 umschlossen, dessen eines
Ende ebenfalls fest mit dem Lagerbock 7 verbunden
ist. Der zwischen dem Rohrzuschnitt 10 und dem
Heizstab 8 verbleibende kreiszylindrische Ringraum
11 steht mit einer Anschlußbohrung 12 in Verbin
dung, während die Sacklochbohrung 9 über einen ge
genüber dieser verengten Bohrungsabschnitt 13 im
Lagerzapfen 4 mit einer Querbohrung 14, 14' korre
spondiert. Der Lagerbock 7 ist außerdem mit einer
teilweise mit Schmiermittel gefüllten Ringnut 15
versehen, die sich konzentrisch zu der Stufenboh
rung 16 für den Lagerzapfen 4 erstreckt und über
einen Kanal 17 mit der Querbohrung 14 verbunden
ist. In die Stufenbohrung 16 sind zwei Dichtringe
18, 19 eingesetzt, über die der von der Ringnut 15
gebildete Ringraum einerseits gegenüber dem Wälz
lager 5 und andererseits gegenüber dem vom Deckel
20 und der Stufenbohrung 16 gebildeten Raum 21
links von der Ringnut 15 abgedichtet ist. Das
Kühlmittel, in diesem Falle Druckluft, strömt über
den Anschlußstutzen 22 der Anschlußbohrung 12 in
den Ringraum 11 ein und von diesem aus über das
offene Ende des Rohrzuschnitts 10 in die Sackloch
bohrung 9 und zurück über den Bohrungsabschnitt 13
in den Raum 21 und von diesem aus zurück in den
Anschlußstutzen 23. Mit Hilfe dieses Kühlmittel
stromes kann erreicht werden, daß sich der Muster
träger 2 stets auf einer vorbestimmten Temperatur
befindet, so daß eine zuverlässige Abgabe des
Trennmittels an die am Musterträger 2 vorbeilau
fenden, zu beschichtenden Folien gewährleistet
ist. Im Falle, daß die Temperatur des Musterträ
gers unter den vorgegebenen Wert absinken sollte,
kann der Heizstab 8 aktiviert werden, so daß die
ser die Wandung des Musterträgers 2 über das durch
die Sacklochbohrung 9 strömende Luftpolster tempe
riert. Das Schmiermittel im Ringraum 15 trägt da
für Sorge, daß die Dichtungen 18, 19 nicht versprö
den oder verkoken oder trocken laufen.
2
Musterträger
3
Lagerzapfen
4
Lagerzapfen
5
Wälzlager
6
Wälzlager
7
Lagerbock
8
Heizstab
9
Sacklochbohrung
10
Rohrzuschnitt
11
Ringraum
12
Anschlußbohrung
13
Bohrungsabschnitt
14
,
14
' Querbohrung
15
Ringnut
16
Stufenbohrung
17
Kanal
18
Dichtring
19
Dichtring
20
Deckel
21
Raum
22
Anschlußstutzen
23
Anschlußstutzen
Claims (2)
1. Musterträger (2) für eine Vorrichtung zum
Herstellen von metallfreien Partien bei im
Vakuum beschichteten Folienbahnen, insbeson
dere für Kondensatoren, bestehend aus einer
Prozeßkammer und einer Wickeleinrichtung mit
drehbar gelagerten Umlenk- und Spannwalzen,
mindestens einer den Musterträger (2) bilden
den rotierenden Druckwalze und einer Be
schichtungs-, Aufwickel- und Abwickelrolle
sowie einer Beschichtungsquelle und einem Ge
fäß mit Austrittsdüse zur Aufnahme des Trenn
mittels und einer Abstreif- oder Dichtleiste
zum Zurückhalten des überschüssigen Trennmit
tels, dadurch gekennzeichnet, daß der zwei
seitig gelagerte Musterträger (2) eine sich
in Längsrichtung erstreckende Sacklochbohrung
(9) aufweist, in die ein von einem Rohrzu
schnitt (10) beabstandet umschlossenes Heize
lement (8) hineinragt, wobei der Rohrzu
schnitt (10) und das Heizelement (8) von ei
nem ortsfesten Lagerbock (7, 20) gehalten
sind, der im übrigen das zylindrische, dreh
feste Außenteil (5) des einen Musterträgerla
gers aufweist und der mit einer Zu- und einer
Rückströmbohrung (12, 14) versehen ist, die an
eine Druckluftquelle angeschlossen sind, wo
bei die eine Bohrung (12) mit dem zwischen
Heizstab (8) und Rohrzuschnitt (10) gebilde
ten Ringraum (11) und die andere Bohrung (14)
mit dem von der Innenwand des Musterträgers
(2) und der Außenwand des Rohrzuschnitts (10)
gebildeten Ringraum (13) verbunden ist.
2. Musterträger nach Anspruch 1, dadurch gekenn
zeichnet, daß der vom mit den Druckluftan
schlüssen (12, 22 bzw. 14, 23) versehenen La
gerbock (7, 20) gehaltene Lagerzapfen (4) des
Musterträgers (2) mit Hilfe zweier koaxial
zueinander angeordneter Dichtringe (18, 19)
gegesnüber der Stufenbohrung (16) abgedichtet
ist, wobei der eine Dichtring (19) auf der
den Druckluftanschlüssen (12, 22 bzw. 4, 23)
zugekehrten Seite einer Ringnut (15) und der
andere Dichtring (18) auf der dieser Ringnut
(15) abgekehrten Seite vorgesehen ist, wobei
die Ringnut (15) über eine Längsbohrung (17)
mit einem Druckluftkanal, beispielsweise der
Rückströmbohrung (14) verbunden ist und zu
mindest teilweise mit Schmiermittel gefüllt
ist.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE1997132929 DE19732929A1 (de) | 1997-07-31 | 1997-07-31 | Musterträger für eine Vakuumbeschichtungsvorrichtung |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE1997132929 DE19732929A1 (de) | 1997-07-31 | 1997-07-31 | Musterträger für eine Vakuumbeschichtungsvorrichtung |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE19732929A1 true DE19732929A1 (de) | 1999-02-04 |
Family
ID=7837436
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE1997132929 Withdrawn DE19732929A1 (de) | 1997-07-31 | 1997-07-31 | Musterträger für eine Vakuumbeschichtungsvorrichtung |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE19732929A1 (de) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1975272A1 (de) * | 2007-03-27 | 2008-10-01 | Galileo Vacuum Systems S.p.A. | Vorrichtung zur Vakuumabscheidung einer Beschichtung auf ein endloses Material mit einem Gerät zum Auftragen von Flüssigkeit. |
US7984689B2 (en) | 2007-04-03 | 2011-07-26 | Applied Materials, Inc. | Device for the continuous coating of a strip-like substrate |
DE202014104199U1 (de) | 2014-09-05 | 2014-10-22 | Applied Materials, Inc. | Substrat mit Beschichtung mit variablem Reflexionsverhalten |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4010753C1 (de) * | 1990-04-03 | 1991-12-05 | Steiner Gmbh & Co. Kg, 5927 Erndtebrueck, De | |
DE19605595A1 (de) * | 1996-02-15 | 1997-08-21 | Leybold Ag | Verfahren zum örtlich begrenzten Aufbringen einer Schicht auf ein Substrat |
-
1997
- 1997-07-31 DE DE1997132929 patent/DE19732929A1/de not_active Withdrawn
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4010753C1 (de) * | 1990-04-03 | 1991-12-05 | Steiner Gmbh & Co. Kg, 5927 Erndtebrueck, De | |
DE19605595A1 (de) * | 1996-02-15 | 1997-08-21 | Leybold Ag | Verfahren zum örtlich begrenzten Aufbringen einer Schicht auf ein Substrat |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1975272A1 (de) * | 2007-03-27 | 2008-10-01 | Galileo Vacuum Systems S.p.A. | Vorrichtung zur Vakuumabscheidung einer Beschichtung auf ein endloses Material mit einem Gerät zum Auftragen von Flüssigkeit. |
WO2008116617A1 (en) * | 2007-03-27 | 2008-10-02 | Galileo Vacuum Systems S.P.A. | Device for vacuum deposition of a coating on a continuous material, with liquid applicator |
EP1990442A1 (de) * | 2007-03-27 | 2008-11-12 | Galileo Vacuum Systems S.p.A. | Vorrichtung zur Vakuumbeschichtung eines durchgehenden Material, mit einem Flüssigkeitsapplikator |
US7984689B2 (en) | 2007-04-03 | 2011-07-26 | Applied Materials, Inc. | Device for the continuous coating of a strip-like substrate |
DE202014104199U1 (de) | 2014-09-05 | 2014-10-22 | Applied Materials, Inc. | Substrat mit Beschichtung mit variablem Reflexionsverhalten |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP1750864B1 (de) | Verfahren und vorrichtung zur kühlung und/oder schmierung von walzen und/oder walzgut | |
DE2526078C3 (de) | Walzenkühlvorrichtung für ein Quartowalzgerüst | |
DE69910197T2 (de) | System zum auftragen von unter druck zugeführtem beschichtungsmaterial | |
DE3526283A1 (de) | Durchbiegungssteuerbare und beheizbare walze | |
CH660213A5 (de) | Durchbiegungssteuerbare walze. | |
DE19735603C1 (de) | Vakuumbeschichtungsanlage für Mehrschichtsysteme | |
DE4100643C1 (de) | ||
EP0618305B1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Erzeugung von Mustern auf Substraten | |
DE19653911C2 (de) | Druckmaschinenwalze mit einer farbfreundlichen Beschichtung der Ballenfläche des Walzenkerns, insbesondere Farbwalze | |
DE19919234A1 (de) | Beschichtungsanlage | |
DE19732929A1 (de) | Musterträger für eine Vakuumbeschichtungsvorrichtung | |
DE102017222918A1 (de) | Wälzlageranordnung | |
DE19637759C2 (de) | Widerstands-Nahtschweißmaschine und Verfahren zum Schutz von Schweißelektroden | |
EP2188073B1 (de) | Walzgerüst zum walzen von metallischen bändern sowie walze oder rolle für ein solches walzgerüst | |
EP1115950B1 (de) | Rakelstange für eine beschichtungsvorrichtung | |
DE19814111B4 (de) | Nockenfolgemechanismus | |
DE68908264T2 (de) | Walzverfahren und Walzwerk. | |
DE69606864T2 (de) | Einsätze zur streifenförmigen beschichtung | |
DE3903599A1 (de) | Maschine zum anbringen eines klebmittels auf langgestrecktem bahnmaterial | |
DE2629440C3 (de) | Innengekühlte Rollgangsrolle für ein Blechwalzwerk | |
EP0452337A1 (de) | Prägekalander | |
WO2020221654A1 (de) | Walzen eines walzguts | |
WO2008049543A1 (de) | Bandschleuse | |
DE4311581A1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Erzeugung von Muster auf Substraten | |
DE4209712A1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Durchmesserbeeinflussung im Endbereich von Durchbiegungseinstellwalzen |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OM8 | Search report available as to paragraph 43 lit. 1 sentence 1 patent law | ||
8139 | Disposal/non-payment of the annual fee |