DE19732380A1

DE19732380A1 - Anzündelement für pyrotechnische Wirkmassen und Verfahren zu dessen Herstellung

Info

Publication number: DE19732380A1
Application number: DE1997132380
Authority: DE
Inventors: Horst Dr Ing Laucht; Heinz-Wilhelm Ehlbeck; Viktor Dipl Phys Tiederle; Horst Dr Reichardt; Markus Dipl Chem Dr Scholz; Uwe Dipl Ing Weis
Original assignee: Buck Werke & Co 73337 Bad Ueberkingen De GmbH; Buck Chemisch Technische Werke GmbH and Co; Temic Bayern Chemie Airbag GmbH; Temic Telefunken Microelectronic GmbH
Current assignee: Conti Temic Microelectronic GmbH; Rheinmetall Waffe Munition GmbH; ZF Airbag Germany GmbH
Priority date: 1997-07-25
Filing date: 1997-07-25
Publication date: 1999-02-11
Anticipated expiration: 2017-07-26
Also published as: DE19732380B4

Description

Die Erfindung betrifft ein Anzündelement für pyrotechnische Wirkmassen gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1 und Verfahren zu dessen Herstellung gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruchs 11.

Des weiteren ist aus der DE 42 22 223 C1 ein elektrisches Anzündmittel gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1 bekannt.

In herkömmlichen Anzündelementen wird eine dünne Drahtbrücke geringen Widerstandes (2Ω) durch einen Stromimpuls erhitzt und verdampft. Durch diesen rein thermischen Impuls wird dann die pyro technische Wirkmasse entzündet. In der DE 42 22 223 C1 wird dabei eine Dünnschicht-Zündbrücke aus Titan, Titannitrid oder einer überwiegend Titan enthaltenden Legierung vorgeschlagen, da Titan oder Titannitrid aufgrund ihrer hohen Wärmeleitfähigkeit und ihres gegenüber her kömmlichen Zündbrückenmaterialien höheren elektrischen Widerstandes beim Schmelzen eine großflächige und gleichmäßige Erhitzung der pyro technischen Wirkmasse gewährleisten. Die dafür erforderliche Zündenergie ist jedoch sehr hoch, da Titan einen Schmelzpunkt über 1660° Celsius aufweist; Titannitrid über 2900° Celsius und übliche Titanlegierungen liegen noch darüber.

Eine andere Variante unter Verwendung vorzugsweise des Halbleiter materials Polysilizium, dessen Wirkungsprinzip ebenfalls thermischer Natur ist, wird in US 4,708,060 beschrieben. Hierbei wird der ab einer erhöhten Temperatur auftretende negative Temperaturkoeffizient des Widerstands materials ausgenutzt. Dies führt im Zündmoment neben der Hitzeüber tragung zur Bildung eines dünnen Plasmas und einem konvektiven Druck effekt. Der Aufbau ist dabei vergleichbar mit einer Widerstandsbrücke.

Ein anderes Zündprinzip, beschrieben in US 5,080,016, basiert auf der Verwendung einer Metallhydridfolie. Auf dieser freitragenden Folie ist ein Kunststoffstreifen aufgebracht, der durch die thermische Zersetzung der Hydridschicht (Gasdruckentwicklung) infolge eines Spannungsimpulses zerteilt und Teile des Kunststoffstreifens (Flyer) beschleunigt werden und auf die in einigem Abstand angeordnete pyrotechnische Wirkmasse treffen, wobei diese durch die Druckwirkung (Schockwelle) des auftreffen den Kunststoffteils gezündet wird. Die zugeführte elektrische Energie wird somit zunächst in thermische Energie und Druck umgesetzt, was wiederum zu einer kinetischen Energie des Flyers führt, welche dieser beim Auftreffen auf die pyrotechnische Wirkmasse in Druck und Wärme umsetzt. Durch diese mehrfache Energieumwandlung treten jedoch erhebliche Wirkungsgradverluste auf, so daß die zur Zündung verwendete Spannung dabei im kV-Bereich liegen muß. Das Patent US 5,080,016 benennt die Elemente Titan, Zirkonium, Nickel und Palladium als geeignete Metalle, um entsprechend Wasserstoff einzulagern.

Generell ist auch die Wasserstoffspeicherung in Metallhydriden als bekannt anzusehen, was jedoch meist als negativer Effekt auf die Festigkeit des Metalls (Wasserstoff-Krankheit) unerwünscht ist. Dieser Effekt kann auch zur gezielten Speicherung von Wasserstoff eingesetzt werden (vgl. Bergmann/ Schäfer: Lehrbuch der Experimentalphysik, Bd. 6 1992, S. 452 f.).

Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, ein Anzündelement zu ent wickeln, welches durch eine geringe Initialisierungsenergie gezündet werden kann und diese mit möglichst geringen Wirkungsgradverlusten an die pyrotechnischen Zündmasse weitergibt. Das Anzündelement soll des weiteren einfach und in großen Stückzahlen herstellbar sein.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemaß mit den kennzeichnenden Merkmalen des ersten Patentanspruches sowie durch das Verfahren zur Herstellung gemäß den kennzeichnenden Merkmalen des Patentanspruchs 11 gelöst.

Kennzeichnend für die vorliegende Erfindung ist die Kopplung von physikalischem, chemischem und thermischem Energieeintrag aus dem Titanhydrid direkt in die pyrotechnische Wirkmasse bei wesentlich kleineren Initialisierungsenergiemengen. So reichen Niedervoltspannungen < 50 V und eine Initalisierungsenergie im Bereich einiger Millijoule aus, um die Zündung in Gang zu setzen. Wesentlich für die Energieeinsparung ist dabei die Eigenschaft des Titanhydrids, welch es sich bereits bei einer Lokal temperatur ca. 450° Celsius zersetzt, währenddessen bisher eine Schmelz temperatur von ca. 1660° Celsius aufgebracht werden mußte.

Beim Zersetzen des Titanhydrids wird aber atomarer Wasserstoff frei, was zu einem erheblichen Druckanstieg zwischen Zündbrückenschicht und pyrotechnischer Wirkmasse führt. Außerdem wirkt der atomare Wasserstoff selbst als Zündmittel (chemische Reaktion mit dem Sauerstoff und Bestandteilen der pyrotechnischen Wirkmasse). Dabei kann es auch zur Ausbildung eines Plasmas kommen.

Der verwendete metallische Bestandteil Titan weist ein relativ hohes Atom gewicht auf, so daß neben der Wirkung des bei der Zersetzung frei werden den reaktiven Wasserstoffs sowie der Wirkung des entstehenden Plasmas auch der Energieeintrag durch die erhitzten schweren Metallatome besonders hoch ist, was den Zündvorgang beschleunigt.

Diese Kopplung von Energieeinträgen führt zu einer sehr schnellen, im Mikrosekundenbereich liegenden Zündung der pyrotechnischen Wirkmasse, was bei nahezu allen praktischen Anwendungen von Zündelementen äußerst vorteilhaft ist.

Durch die geringe Zündspannung und Initialisierungsenergie reichen bereits Autobatterien o. ä. direkt und ohne aufwendige Spannungsverstärker zur Spannungsversorgung aus. Deshalb können diese Anzündelemente besonders vorteilhaft als Zünder für Airbags und andere Insassenschutzeinrichtungen verwendet werden.

Die thermische Isolationsschicht unter der Zündbrückenschicht verringert Energieverluste durch die Wärmeableitung in das Trägersubstrat hinein und erhöht somit die in Richtung der pyrotechnischen Wirkmasse fließende und somit wirksame Energiemenge. Durch Variation der Strukturgeometrie und insbesondere Dicke der thermischen Isolationsschicht kann daher auch die Zündzeit und die minimal erforderliche Zündspannung beeinflußt werden.

Durch die Anwendung eines halbleiterprozeßkompatiblen Herstellungs prozesses sowie die Verwendung eines Halbleitersubstrates als Träger substrat wird die Integration einer mikroelektronischen Schaltung zur Ansteuerung des Anzündelements auf kleinstem Raum möglich. Schaltungs technische Maßnahmen zur Absicherung des Anzündelements gegen hochfrequente Störimpulse und EMV-Einflüsse können ebenso vorteilhaft realisiert werden.

Um einen möglichst geringen Übergangswiderstand zwischen Zündbrücke und den Kontakten zu gewährleisten, werden zunächst aus der Zünd brückenschicht gegenüber der Zündbrücke großflächige Kontaktflächen ausgeformt und diese möglichst vollständig die Metallisierungsschichten der Kontakte berühren. Neben der Abscheidung der Metallisierungsschicht auf der Zündbrückenschicht ist auch eine Face-Down-Kontaktierung aus im Trägersubstrat integrierte Leitbahnbereiche denkbar, die Zündbrücken schicht von der entgegengesetzten Seite zu kontaktieren. Die Zündbrücken schicht kann dann auf die Trägersubstratoberfläche oder gegebenenfalls auch auf die zwischengeschobene strukturierte Metallisierungsschicht abgeschieden wird.

Eine Zündbrückenschicht zwischen 0,2 und 2 µm erlaubt bei einem spezifischen Widerstand des Titanhydrids von ca. 0,50 µΩ m eine recht große Oberfläche der Zündbrücke und gute Variationsmöglichkeiten durch Länge und Breite der Zündbrücke im bevorzugten Bereich des elektrischen Gesamtwiderstands der Zündbrückenschicht von 0,5 bis ca. 200 Ω.

Das zur Herstellung eines erfindungsgemäßen Anzündelements erforder liche verfahren wird in Patentanspruch 11 beschrieben, wobei insbesondere die gegenüber herkömmlichen Temperungsprozessen recht niedrige Temperatur von etwa 350° Celsius für die Wasserstoffeinlagerung sehr vorteilhaft ist. Während die Prozeßdauer bei niedrigeren Temperaturen (unter 300° Celsius) erheblich ansteigt, setzt bei höheren Temperaturen (über 400° Celsius) bereits der Zersetzungsprozeß des Titanhydrids ein, so daß eine Einlagerung von Wasserstoff nicht oder nur unter erheblich schwierigeren Prozeßbedingungen (Druck etc.) möglich wird.

In Zusammenhang damit ist auch die Weiterbildung gemäß Anspruch 13 zu betrachten, wonach beim Abscheiden der Metallisierungsschicht die Zündbrückenschicht gekühlt wird, so daß die lokale Temperatur die 350° Celsius nicht übersteigt.

Alle Herstellungsschritte sind dabei kompatibel für die Fertigung in Halbleiterfabriken ausgestaltet und können somit für eine Vielzahl von Anzündelementen gleichzeitig realisiert werden, indem als Trägersubstrat ein Siliziumwafer verwendet wird, der erst nach allen Herstellungsschritten zersägt wird.

Die Erfindung wird nachfolgend anhand von Ausführungsbeispielen und zugehörigen Zeichnungen näher erläutert.

Es zeigen:

Fig. 1 Anzündelement mit abgeschiedener und strukturierter TiH_x- Zündbrückenschicht (0,2<x<2) auf einem Trägersubstrat mit einer thermischen Isolationsschicht

Fig. 1a als Draufsicht ohne Kontaktmetallisierung,

Fig. 1b als Draufsicht mit Kontaktmetallisierung und

Fig. 1c als Schnittdarstellung,

Fig. 2 Anzündelement mit abgeschiedener und strukturierter TiH_x- Zündbrückenschicht (0,2<x<2) auf einem Trägersubstrat mit einer thermischen Isolationsschicht,

Fig. 2a als Draufsicht ohne Kontaktmetallisierung,

Fig. 2b als Draufsicht mit Kontaktmetallisierung und

Fig. 2c als Schnittdarstellung,

Fig. 3 thermodynamisch wirksame Länge l und Breite b der Zündstruktur,

Fig. 4 Prinzipschaltbild des Zündstromkreises,

Fig. 5 Anzündelement mit abgeschiedener und strukturierter TiH_x- Zündbrückenschicht (0,2<x<2) auf einem Trägersubstrat ohne eine thermische Isolationsschicht und mit einer direkt aufgebrachten pyrotechnischen Wirkmasse,

Fig. 6 Anzündelement mit abgeschiedener und strukturierter TiH_x- Zündbrückenschicht (0,2<x<2) auf einem Trägersubstrat mit einer thermischen Isolationsschicht sowie mit einer in geringem Abstand aufgebrachten pyrotechnischen Wirkmasse,

Fig. 7 Anzündelement mit aus dem Trägersubstrat herausgeführten Kontaktierung der Zündbrückenschicht,

Fig. 8 Anzündelement mit einer Dämmschicht auf der Zündbrücke.

Von grundlegender Bedeutung für alle im folgenden gezeigten Ausführungsbeispiele ist, daß alle Herstellungsschritte und Schichten durch halbleiterprozeßkompatibel sind. Es wird jeweils nur ein Anzündelement gezeigt; dieses wird jedoch mit einer Vielzahl identischer Anzündelemente auf einer Halbleitersubstratwaferscheibe realisiert. Grundsätzlich ist es aber auch möglich, anstelle eines Halbleitersubstrates ein anderes Trägersubstrat, bspw. eine Glas- oder Keramikfläche zu verwenden. Die Darstellung der Schichtdicken, -breiten und -längen ist schematisch und nicht maßstäblich.

Die Fig. 1 zeigt ein Anzündelement mit bereits abgeschiedener, strukturierter und hydrierter TiH_x;(0,2<x<2)-Zündbrückenschicht 2 auf einem Trägersubstrat 4 mit einer thermischen Isolationsschicht 3.

Die thermischen Isolationsschicht 3 ist in diesem Ausführungsbeispiel als geschlossene epitaktisch abgeschiedene SiO₂-Schicht ausgestaltet. Grundsätzlich kann diese aber auch durch Oxidation einer Siliziumsubstrat oberfläche hergestellt werden. Darüber hinaus sind auch andere Stoffe zur thermischen Isolation geeignet. Wesentlich für die Funktion ist jedoch, daß es weder durch die thermische Isolationsschicht 3 noch durch das Träger substrat 4, falls auf die thermische Isolationsschicht 3 verzichtet wird, die Zündbrückenschicht 2 elektrisch kurzgeschlossen wird.

Die Kontaktflächen 21 (siehe Fig. 1a) der TiH_x;(0,2<x<2)-Schicht sind verbreitert ausgeführt, um einen möglichst geringen Übergangswiderstand zu den Kontakten 1 zu erreichen. Entsprechend werden die Kontakte 1 als eine Al- Schicht oder eine andere Schicht aus einem hochleitfähigen Material realisiert (siehe Fig. 1b und Fig. 1c), um eine Kontaktierung zu erleichtern. Die Abmessungen der Kontaktflächen 21 richten sich nach den jeweils geforderten Kontaktierungsbedingungen. In Fig. 1c wird noch einmal die Abfolge der Schichten im Schnitt deutlich, wobei die variable Dicke d der thermischen Isolationsschicht 3 den Zündzeitpunkt und die mindestens erforderliche Zündspannung beeinflußt. Wird nämlich die Zündbrücken schicht 2 vom Strom durchflossen, so ist die Zeit bis zum Erreichen der kritischen Zersetzungstemperatur im wesentlichen von der Wärmeleit fähigkeit der Isolationsschicht 3 abhängig. Kann eine größere Wärmemenge über die Isolationsschicht 3 an das Trägersubstrat 4 abfließen, so verzögert sich der Zündzeitpunkt oder aber es muß eine höhere Leistung umgesetzt werden, was eine höhere Zündspannung bedeutet.

Wie Fig. 2 als zweites Ausführungsbeispiel zeigt kann die Titanhydrid schicht 2 auch direkt auf dem Trägersubstrat 4 abgeschieden werden, falls eine Verzögerung des Zündzeitpunktes gewünscht oder die Zündspannung entsprechend hoch gewählt wird und außerdem das Trägersubstrat nicht elektrisch leitfähig ist. Die Kontakte 1 sind dabei wieder auf der struk turierten Zündbrückenschicht 2 abgeschieden (vgl. Fig. 2b und 2c).

Fig. 3 verdeutlicht die letztlich wirksame Oberfläche der Zündbrücken schicht 2. Auch in dieser Fig. 3 wurde eine rechteckförmige Struktur der Zündbrücke 2 der wirksamen Länge l und Breite b gewählt. Diese Struktur ist besonders einfach über die bekannten Gleichungen R=ρ I/A und P=U²/R theoretisch zu berechnen und außerdem fertigungstechnisch einfach zu dimensionieren. Die kritische Zündeigenschaften, wie Zündzeiten und Zündspannungen können dadurch angepaßt werden.

Fig. 4 zeigt das Prinzipschaltbild des Zündstromkreises. Die Zündung erfolgt durch Anlegen einer elektrischen Spannung U im Niedervoltbereich an die metallisierten Kontakte 1. Infolge des einsetzenden Stromflusses kommt es zu einer joulschen Erwärmung der Titanhydrid-Zündbrücke 2, welche daraufhin durch ihre Erwärmung und die chemische Zersetzung (Freisetzung von reaktivem Wasserstoff) und eine Plasmaentladung den Zündvorgang in der direkt aufliegenden pyrotechnischen Wirkmasse 5 (vgl. Fig. 5) initiiert.

Die Anordnung der pyrotechnischen Wirkmasse 5 kann einerseits direkt auf der Zündbrückenschicht 2 erfolgen (siehe Fig. 5), um neben der Wasserstoffreaktion und Plasmawirkung auch die direkte Wärmeleitung zu nutzen. Oder es wird mittels abstandsbestimmender Zwischenschichten 6 zur Zündbrückenschicht 2 ein geringer Abstand 7 realisiert (siehe Fig. 6), um vornehmlich die reine Plasmawirkung auszunutzen.

Fig. 7 zeigt nun noch ein weiteres Ausführungsbeispiel, bei dem die Zündbrückenschicht 2 im Bereich der Kontaktflächen 21 von der unteren, der pyrotechnischen Wirkmasse entgegengesetzten Seite kontaktiert wird. Die Kontakte 1 sind bspw. in die Trägersubstratoberseite eingelassen. Zwischen den Kontakten 1 und unter dem wirksamen Bereich der Zünd brückenschicht 2 ist die thermische Isolationsschicht 3 vorgesehen, welche die Zündbrückenschicht 2 thermisch und elektrisch vom Trägersubstrat 4 isoliert. Zu den Kontakten 1 hin weist das Trägersubstrat Leitbahnbereiche 4.1 auf, die bspw. aus hochdotiertem Trägersubstratmaterial (Si) sind. Die beiden Leitbahnbereiche 4.1 sind durch einen Isolationsgraben 4.2 im Trägersubstrat 4 voneinander isoliert. Vorteil dieses Ausführungsbeispieles ist ggfs. der Verzicht auf eine Al-Schicht und externe Anschlüsse an die Kontakte. Außerdem wird die Berührung zwischen pyrotechnischer Wirkmasse und Zündbrückenschicht vereinfacht und verbessert.

Neben den vorangehend beschriebenen und in den Figuren gezeigten Ausführungsbeispielen sind insbesondere auch andere, zum Beispiel kreisförmige Ausgestaltungen der Zündbrückenschicht denkbar.

In Fig. 8 wiederum im Schnitt ein Ausführungsbeispiel einer weitere Weiterbildung der Erfindung dargestellt, wonach auf der Zündbrücken schicht 2 im wirksamen Bereich der Zündbrücke zwischen den Kontakten 1 eine Dämmschicht 7 abgeschieden ist. Durch eine derartige, bspw. aus Oxidmaterial bestehende Dämmschicht 7 kann der Aufheizprozeß der Zünd brückenschicht auf die für die Zersetzung erforderliche Temperatur durch eine Druckerhöhung beschleunigt werden. Die Dicke der Schicht und ihre Struktur (lokale Verjüngung der Dämmschicht 7 als Soll-Bruchstelle etc.) ist dabei so gewählt, daß nach dem Freisetzen des reaktiven Wasserstoffs und der beginnenden Expansion die Dämmschicht 7 bei einem vorab definierten Druck öffnet und das heiße Wasserstoffgas sowie die heißen Partikel der Zündbrückenschicht und, falls sich ausbildend, auch das Plasma an bzw. in die pyrotechnische Wirkmasse 5 gelangen können. Vorzugsweise ist auch die Dämmschicht 7 nur so dick, daß diese direkt beim Beginn der Reaktion der Zündbrückenschicht 2 zerstört wird. Die Dämmschicht 7 kann aus einem Material oder einer Folge von Schichten bestehen, bei der zumindest die direkt an der Zündbrückenschicht 2 liegende elektrisch isolierend seien muß, damit die Zündbrückenschicht 2 nicht überbrückt wird. Eine teilweise Metallabscheidung als Deckschicht der Dämmschicht 7 ist jedoch denkbar, da durch die Reflexion an der metallisierten Deckschicht die Wärme vor der Zerstörung der Dämmschicht 7 in die Zündbrückenschicht 2 zurück reflektiert wird und sich diese somit schneller erhitzt.

Claims

1. Anzündelement zur Zündung pyrotechnischer Wirkmassen (5), bestehend aus einem Trägersubstrat (4), auf dem zwei elektrische Kontakte (1) über eine Titan-haltige Zündbrückenschicht (2) miteinander verbunden sind, die infolge einer an ihre Kontakte (1) angelegte Spannung (U) gezündet wird, dadurch gekennzeichnet, daß die Zündbrückenschicht (2) eine hydrierte Titanschicht (Ti H_x) ist.

2. Anzündelement nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß sich unter der Zündbrückenschicht (2), zur der pyrotechnischen Wirkmasse (5) entgegengesetzten Seite, eine thermische Isolationsschicht (3) befindet.

3. Anzündelement nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Trägersubstrat (4) ein Halbleitersubstrat ist.

4. Anzündelement nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Kontakte (1) als zwei Metallisierungs schichten ausgeführt sind, welche ausgeformte Kontaktflächen (21) der Zündbrückenschicht (2) großflächig berühren.

5. Anzündelement nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das atomare Zusammensetzungsverhältnis (x) von Titan zu Wasserstoff der Titanhydrid (Ti H_x) Zündbrückenschicht (2) im Bereich von 0,5 bis 2,0 liegt.

6. Anzündelement nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß Zündzeit und minimal erforderliche Zünd spannung (U) direkt durch eine Veränderung der Strukturgeometrie und durch die Variation der Schichtdicke der Zündbrückenschicht (2) eingestellt wird.

7. Anzündelement nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Zündbrückenschicht (2) eine näherungs weise konstante Schichtdicke von 0,2 bis 2 µm hat.

8. Anzündelement nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß Zündzeit und minimal erforderliche Zünd spannung (U) direkt durch eine Veränderung der Strukturgeometrie und durch die Variation der Schichtdicke der unter der Zündbrücken schicht (2) liegenden thermischen Isolationsschicht (3) eingestellt wird.

9. Anzündelement nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die thermischen Isolationsschicht (3) eine näherungsweise konstante Schichtdicke von 0,5 bis 3 µm hat und aus Siliziumoxid ist.

10. Anzündelement nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zur Veränderung der Zündzeit und der minimal erforderlichen Zünd spannung die Strukturgeometrie und Schichtdicke der Zündbrücken schicht (2) dergestalt eingestellt wird, daß sich ein ohmscher Widerstand der Zündbrückenschicht zwischen 0,5 und 200 Ω, vorzugsweise bei etwa 20 Ω zustande kommt und die Oberfläche der Zündbrückenschicht (2) zur pyrotechnischen Wirkmasse (5) und zur thermischen Isolationsschicht (3) hin eine Größe zwischen 25 und 100 000 µm² aufweist.

11. Anzündelement nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß auf der Zündbrückenschicht (2) eine thermisch und elektrisch isolierende Dämmschicht (7) zur pyrotechnischen Wirk masse (5) hin aufgebracht wird, welche in Material und Struktur so be schaffen ist, daß sie beim Erreichen eines definierten Druckes durch die Reaktion der Zündbrückenschicht (2) zerstört wird.

12. Anzündelement nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Kontaktflächen (21) der Zündbrückenschicht (2) mit im Trägersubstrat (4) integrierten Leitbahnbereichen (4.1) verbunden sind.

13. Verfahren zur Herstellung eines Anzündelements nach einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß

a) zunächst eine Titanschicht abgeschieden und entsprechend der gewählten Strukturgeometrie der Zündbrückenschicht (2) sowie der Kontaktflächen (21) strukturiert wird, und
b) nachfolgend Wasserstoff durch Temperung eingelagert wird, wobei die Temperatur während der Temperung vorzugsweise bei etwa 350° Celsius gehalten wird.

14. Verfahren nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß vor dem Abscheiden des Titans zunächst in einem Halbleiterprozeß eine mikro elektronische Schaltung im Trägersubstrat (4) und die thermische Isolationsschicht (3) realisiert wird.

15. Verfahren nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß nach dem Hydrieren des Titans eine Aluminiumschicht abgeschieden und als Kontakte (1) entsprechend der Form der Kontaktflächen (21) der Zünd brückenschicht (2) strukturiert wird, wobei vorzugsweise die Anordnung aus Trägersubstrat (4) und Zündbrückenschicht (2) lokal derart gekühlt wird, daß die Temperatur der Zündbrückenschicht (2) unter 350° Celsius bleibt.

16. Verfahren nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß eine Vielzahl von Anzündelementen auf einem Siliziumwafer als Trägersubstrat (4) realisiert werden.

17. Verwendung eines Anzündelements gemäß einem der Ansprüche 1 bis 12 als Zünder für Insassenschutzeinrichtungen, insbesondere Airbags in Kraftfahrzeugen.