DE19731590A1 - Anordnung und Verfahren zur Beobachtung der Züchtung von Halbleiterkristallen mit einer flüchtigen Komponente - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft eine Anordnung zur Beobachtung der Züchtung von Halbleiterkristallen mit einer flüchtigen Komponente, die Teil eines einen Schmelztiegel aufweisenden Züchtungsgefäßes ist, das in einem Druckgefäß angeordnet ist, und bei der das von einem Heizer umgebene Züchtungsgefäß drehsteif mit einer Tiegelwelle verbunden und zum Druckgefäß hin durch ein ringförmiges Einblickfenster abgeschlossen ist, wobei eine temperaturfeste Ziehwelle mit Keimkristall von oben durch den Druckgefäßdeckel geführt ist und abgedichtet in das Züchtungsgefäß ragt, und ein Beobachtungstubus im Druckgefäß an das Einblickfenster geführt ist, sowie ein Verfahren hierzu.

Das Problem der Prozeßbeobachtbarkeit erwächst aus den im Züchtungsgefäß ablaufenden thermochemischen Reaktionen, die z. B. im Falle der GaAs-Züchtung zu einer Abscheidung von Galliumoxid-, Gallium-, Arsenoxid- und GaAs-Belägen auf dem Sichtfenster und dadurch zur Unkontrollierbarkeit des Züchtungsprozesses führt. Die Aufrechterhaltung einer guten optischen Kontrollierbarkeit des Ziehvorganges hängt wesentlich von der Transparenz des Sichtfensters, d. h. von der Verhinderung von Niederschlägen auf diesem, ab.

Neben den bereits im Hauptpatent DE 196 04 027 erwähnten Veröffentlichungen gibt auch dieses selbst eine Lösung an, die durch Verringerung von Niederschlägen auf dem Sichtfenster eine bessere Prozeßbeobachtbarkeit gewährleistet. Diese Lösung sieht für eine Vorrichtung zur dampfdruckkontrollierten Czochralski-Züchtung von A_IIIB_V- Kristallen vor, daß als Verschluß des domförmigen Aufsatzteils des in einem Hochdruckgefäß angeordneten Züchtungsgefäßes zwei ringförmige, parallel angeordnete, optisch polierte und durch einen schmalen Zwischenraum mit Gaszutritt voneinander distanzierte Kieselglasplatten angeordnet sind, deren Durchmesser dem domförmigen Aufsatzteil und dem Züchtungsgefäß angepaßt sind, und an die obere Kieselglassichtscheibe ein Kieselglasstab durch den Hochdruckbehälter herangeführt ist.

Bei üblichen Prozeßzeiten gewährleistet die erwähnte Lösung die gewünschte Verringerung der Bedampfung der Kieselglasscheiben durch eine relativ hohe und konstante Temperatur von ca. 1000°C. Jedoch reicht diese Verringerung der Bedampfung nicht aus, wenn die Prozeßzeit durch bestimmte Umstände verlängert werden muß, so daß auch in diesem Fall eine Verschlechterung der Sicht und damit der Prozeßbeobachtung auftritt.

Außerdem ist es zur sicheren Beherrschung des Züchtungsprozesses besonders in der Animpfphase notwendig, daß eine gleichbleibend gute Sicht gewährleistet ist. Diese ist immer nach Umstellung auf ein neues Züchtungsregime erforderlich, bis mit zunehmender Prozeßstabilisierung auch ein "Blindfahren" auf der Grundlage des "Dip- und Wägesignals" möglich wird. Da aber das Kontaktsignal und am Züchtungsbeginn das Wägesignal nur schwach ausgeprägt sind, bildet die Sicht auch im Blindfahrregime im Zweifelsfall immer einen Sicherheitsfaktor.

Die mit der Prozeßbeobachtbarkeit verbundene mögliche Visualisierung des Züchtungsprozesses ist für die Qualitätskontrolle unverzichtbar, da bereits am Dünnhals des wachsenden Kristalls festgestellte Wachstumsfehler, wie Zwillinge und Fehlorientierungen, in einem frühen Stadium des Züchtungsprozesses erkannt und durch Rückschmelzen mit erneutem Animpfen vermieden, Kosten gespart und eine bessere Kristallqualität garantiert werden können.

Wegen der besonders bei Züchtungsbeginn niedrigen Wachstumsgeschwindigkeit von ca. 2 mm/h sind nach Feststellung einer Störung des Kristallwachstums zeitaufwendige Arbeitsschritte, wie Rückschmelzen, Temperaturhomogenisierung sowie Anschmelzprozeß, erforderlich, die eine Zunahme der Dicke des Belages mit der Zeit nach sich ziehen, wodurch zunächst eine Sichteinschränkung erfolgt und nach einigen Stunden gar keine Sicht mehr vorhanden ist. Wird in einem solchen Falle im "black box"-Regime ein fehlgewachsener Kristall erzeugt, sind damit hohe Kosten verbunden, die vermieden werden sollen.

Um den unerwünschten Bedampfungseffekt an Sichtscheiben zu verringern, ist z. B. bei der FZ-Züchtung von Silizium bekannt, auswechselbare bzw. schwenkbare Bedampfungsschutzscheiben oder Blenden innerhalb des Züchtungsgefäßes anzuordnen (s. beispielsweise Prospekt der Fa. Leybold zur Kristallziehanlage EKZ 300/100 und DBP 1151 669). Hierbei ist aber das Züchtungsgefäß nicht rotierend ausgebildet, so daß mit für den Fachmann üblichen Mitteln diese schwenkbaren Schutzscheiben realisiert werden können.

Bei rotierenden Züchtungsgefäßen, wie z. B. bei der dampfdruckkontrollierten Czochralski-Züchtung (VCZ-Verfahren) oder auch beim "hot wall"-Verfahren, ist weder ein einfacher mechanischer Zugang ohne Notwendigkeit neuer Dichtungen noch ein mechanisch-elektromagnetischer Zugang möglich, weil die Wandtemperatur oberhalb des Curie-Punktes ferromagnetischer Werkstoffe liegt. Auch Lösungen zur Betätigung einer Sichtblende durch Formschluß mit dem Keimhalter und eine anschließende Relativdrehung sind nicht günstig, da die nachfolgende Wiederanpassung der Keimtemperatur sehr zeitaufwendig ist. Außerdem schließt der relativ hohe Arsen-Partialdruck im Schutzgas der beschriebenen Züchtungsvorrichtung den Einsatz bekannter Werkstoffe der Getriebe- und Lagertechnik aus.

Deshalb ist es Aufgabe der Erfindung, eine Anordnung und ein Verfahren zur Beobachtung der Züchtung von Halbleiterkristallen mit einer flüchtigen Komponente anzugeben, wodurch eine Beobachtbarkeit des Züchtungsprozesses bei gleichbleibend guter Sicht während seiner gesamten Dauer gewährleistet ist. Außerdem soll die Anordnung einfach in der Handhabung und beständig gegenüber dem auftretenden relativ hohen Arsen-Partialdruck im Schutzgas sein.

Die Aufgabe wird dadurch gelöst, daß in einer Anordnung der eingangs erwähnten Art erfindungsgemäß dem ringförmigen Einblickfenster koaxial eine ringförmige, mit einem segmentförmigen Ausschnitt versehene, relativ zum Einblickfenster drehbar gelagerte Sichtblende im Züchtungsgefäß vorgelagert ist, deren koaxiale Bohrung einem axial teilbaren Lager zugeordnet ist, ein Rastring mit der inneren Wandung des Züchtungsgefäßes fest verbunden ist, wobei der Rastring ein Rasterprofil aufweist, das mit einer schrittweisen Bewegung der Sichtblende entsprechend des Öffnungswinkels ihres segmentförmigen Ausschnitts in Umfangsrichtung korreliert, und die Sichtblende mit Mitteln für ihr schrittweises Weiterschalten in Umfangsrichtung verbunden ist.

In Ausführungsformen der Erfindung ist das axial teilbare Lager als Wälzlager ausgeführt und besteht aus keramischen Werkstoffen, mindestens sind aber die Präzisionskugeln aus keramischem Werkstoff gebildet, oder es ist als Gleitlager ausgebildet. Die Lagerringe können in beiden Fällen aus hochfestem Graphit gebildet sein.

Die erfindungsgemäße Anordnung gestattet eine im Vergleich zum Stand der Technik verlängerte Beobachtungsdauer bei ausreichend guter Sicht auf den wachsenden Kristall. Dies wird dadurch erreicht, daß die relativ zum Einblickfenster drehbar angeordnete Blende durch Weiterschalten jeweils nur ein weiteres Segment des noch unbedampften Einblickfensters freigibt. Mit jeder Weiterschaltung der Blende wird die Anzahl der bedampften Segmente des Einblickfensters erhöht und demzufolge die Anzahl der "sauberen" Segmente des Einblickfensters verringert. Die Blende wird in solchen Schritten/Rastern weiterbewegt, wie sie von dem Rasterprofil des Rastrings, der mit der Innenwand des Züchtungsgefäßes fest verbunden ist, vorgegeben wird.

In einer Ausführungsform der Erfindung weisen die Mittel zum schrittweisen Weiterschalten der Sichtblende in Umfangsrichtung einen Rollenträger und eine Laufrolle auf, wobei die Achse der Laufrolle mit dem Rollenträger und dieser mit der Sichtblende verbunden ist. Außerdem ist der Rollenträger mit der Sichtblende so verbunden, daß die Laufrolle mit dem Rollenträger eine Fall-Schwenk-Bewegung relativ zur Sichtblende ausführt, jedoch gleichzeitig in Umfangsrichtung starr mit der Sichtblende verbunden und auf dem Rasterprofil des Rastrings horizontal beweglich angeordnet ist.

In einer weiteren Ausführungsform der Erfindung weist das Rasterprofil des Rastrings zahnförmige Nocken auf, wobei deren Rückflanke jeweils als Beschleunigungsschräge für die Laufrolle-Rollenträger-Anordnung ausgebildet ist und die steilen Vorderflanken jeweils mit einer zusätzlichen Abstufung die eigentliche, schrittweise Rastung bilden.

Die erfindungsgemäße Laufrolle-Rollenträger-Anordnung und die Ausbildung des Rasterprofils, auf dem die Laufrolle abläuft bzw. in vertikaler Richtung beschleunigt wird, bewirkt bei Überwindung des Massenträgheitsmoments der Blende und der mit ihr verbundenen Teile eine Sprungbewegung in eine ballistische Bewegungsbahn zum Weiterschalten der Blende in Umfangsrichtung.

Die erfindungsgemäße Anordnung garantiert bei einfacher Handhabung, die lediglich eine Nullung der eingestellten Drehzahl des Züchtungsgefäßes erfordert, eine Verlängerung der Beobachtungsdauer des Züchtungsprozesses. Außerdem können die im Falle eines Ausschußkristalls durch Blindfahren eventuell entstehenden hohen Kosten vermieden werden. Die geringe Anzahl notwendiger Einzelteile zur Realisierung der Bewegung der Blende verringert den Wartungsaufwand und die Kontaminationsgefahr. Die erfindungsgemäße Anordnung ermöglicht auf einfache Art und Weise Justierungen oder Korrekturen bei geschlossenem Züchtungsgefäß von außen und von oben, ohne in großem Umfang mit Teilen in Berührung zu kommen, die toxische Ablagerungen aufweisen.

Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren wird eine einen segmentförmigen Ausschnitt aufweisende Blende vor dem ringförmigen Einblickfenster drehbar bezüglich dieses Fensters im Züchtungsgefäß einer Vorrichtung zur Züchtung von Halbleiterkristallen - bei der ein einen Schmelztiegel aufweisendes Züchtungsgefäß in einem Druckgefäß angeordnet ist, und das von einem Heizer umgebene Züchtungsgefäß drehsteif mit einer Tiegelwelle verbunden und zum Druckgefäß hin durch ein ringförmiges Einblickfenster abgeschlossen ist, und von oben aus dem Druckgefäß eine abgedichtete temperaturfeste Ziehwelle mit Keimkristall in das Züchtungsgefäß ragt und ein Beobachtungstubus im Druckgefäß an das Einblickfenster geführt ist - zum Schutz vor unerwünschter Bedampfung angeordnet und in definierten Rastern entsprechend des Öffnungswinkels ihres Ausschnittsegments mittels schlagartiger Drehzahlabsenkung des Züchtungsgefäßes unter Ausnutzung des Massenträgheitsmoments in Umfangsrichtung weitergeschaltet. Bei jeder Beobachtungsposition von Beobachtungstubus - Einblickfenster - Sichtblende zueinander in einem neuen unbedampften Segment des Einblickfensters wird das aktuelle Bild mittels einer CCD-Kamera aufgenommen sowie mittels eines der Züchtungsanlage angeschlossenen Rechners bearbeitet und wiedergegeben. Das aktuelle Bild wird dem jeweils vorherigen überschrieben und nach Speicherung im Rechner eine kontinuierliche Bildabfolge des Züchtungsprozesses erstellt.

Um die für das Weiterschalten der Blende notwendige schlagartige Drehzahlabsenkung bei der niedrigen Kristallwachstumsgeschwindigkeit zu realisieren, ist in einer Ausführungsform vorgesehen, vor dem gewünschten Weiterschalten der Blende kurzzeitig eine höhere Drehzahl des Züchtungsgefäßes einzustellen, als für die anschließende Züchtung erforderlich wäre.

Andere vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen gekennzeichnet bzw. werden nachstehend zusammen mit der Beschreibung der bevorzugten Ausführung der Erfindung anhand der Figuren näher erläutert.

Dabei zeigen:

Fig. 1 ein Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Anordnung, angeordnet in einem Züchtungsgefäß, im Schnitt;

Fig. 2 einen horizontalen Schnitt in Höhe des in Fig. 1 dargestellten Rollenträgers;

Fig. 3 schematisch die Positionen der Laufrolle auf dem Rasterprofil des Rastrings gemäß Fig. 1;

Fig. 4 schematisch den Bewegungsablauf der Laufrolle auf dem Profil des Rastrings gemäß Fig. 1;

Fig. 5 die Position der mit dem Rollenträger verbundenen Laufrolle gemäß Fig. 1 im Moment des Anschlags gemäß Fig. 4 vor erneuter Einrastung gemäß Fig. 3.

In Fig. 1 ist eine Anordnung zur Beobachtung der Züchtung von Halbleiterkristallen mit einer flüchtigen Komponente - hier als Bestandteil eines in einem Hochdruckgefäß angeordneten Züchtungsgefäßes - dargestellt.

Eine Blende 10 ist unterhalb eines ringförmigen Einblickfensters 2, an das ein Beobachtungstubus 28 geführt ist, mit Fassungsring 1 im Gehäuse des Züchtungsgefäßes 3 angeordnet. Der Fassungsring 1 ist mit einem Bund 4 versehen, der mit zwei Laufflächen 5 in 2 × 45°-Anordnung den Innenring eines Wälzlagers bildet. Die auf diesen Laufflächen 5 sich bewegenden Keramikpräzisionskugeln 6 werden durch einen äußeren, oberen 7 und unteren Lagerring 8 aus Graphit, beide verbunden durch Gewindebolzen 9 aus Molybdän, eingeschlossen. Die Blende 10 mit einem segmentförmigen Ausschnitt 11 liegt auf dem oberen Lagerring 7 auf. Ein Rollenträger 12 aus Molybdän ist an zwei diametralen Punkten 13 des unteren Lagerrings 8 so angeordnet, daß eine Kippbewegung in der Vertikalebene möglich ist. Am Rollenträger 12 ist ein Achsstift 14 radial angeordnet, auf dem eine Laufrolle 15 aus Graphit bei axialer Führung drehbar gelagert ist. Die Laufrolle 15 bewegt sich auf einem Rastring 21, der fest mit der inneren Wandung des Züchtungsgehäuses 3 verbunden ist und ein dem Öffnungswinkel des Ausschnittsegments 11 der Blende 10 entsprechendes Rasterprofil aufweist.

In der Horizontalebene ist der Rollenträger 12 mit einem einen Hartanschlag 16 aufweisenden Justierträger 17 durch Molybdängewindestifte 18 und Langlöcher 19, die in Umfangsrichtung angeordnet sind, justierbar verbunden, wobei die unteren Muttern durch eine Formschlußstufe in zusätzlichen Langlöchern 20 am Verdrehen und die Gewindestifte durch Kontermuttern am Herausdrehen gehindert werden.

In Fig. 2 ist die Anordnung der zuletzt erwähnten Teile in einem horizontalen Schnitt in Höhe des Rollenträgers 12 dargestellt.

Die Ausbildung des Rasterprofils des Rastrings 21 und die Positionen der Laufrolle 15 auf diesem Rasterprofil sind in Fig. 3 gezeigt. Die Laufrolle 15 liegt in Ruhestellung in einer rasterförmigen Abstufung 22 des Rastrings 21 aus kohlenfaserverstärktem Kohlenstoff auf, wobei die Abstufung gegen den Bewegungssinn der Schaltbewegung das Formstück einer zahnförmigen Erhöhung mit einer steilen Flanke 23 dargestellt. Die Rückflanke dieser Erhöhung ist als Beschleunigungsschräge 24, mit z. B. 45° Flankenwinkel, gestaltet. In Richtung der Schaltbewegung schließt sich an den Fuß der steilen Flanke 23 eine vergleichsweise geringfügige Erhöhung 25 zwecks Ausbildung der rastenförmigen Abstufung 22 für die Rolle an, so daß ein sich anschließendes, erhöhtes Bogenstück des Rastrings 21 eine Ebene 26 bildet die an die nächstliegende Beschleunigungsschräge 24 anschließt. Bei einem Blendenausschnitt von z. B. 60° ist diese Konfiguration sechs Mal auf dem Umfang des Rastrings 21 vorhanden. In der Nähe dieses mit einer zahnförmigen Erhöhung 23 als Vorderflanke und einer als Beschleunigungsschräge 24 als Rückflanke beschriebenen Nockens ist jeweils ein Raststift 27 aus Molybdän radial im Rastring 21 befestigt. Als Stellgröße zur Weiterschaltung der Sichtblende 10 wird eine umzuschaltende Drehzahländerung des Züchtungsgefäßes 3 genutzt, z. B. durch eine manuell mittels Kippschalter auszuführende Nullung der zur Durchführung der Züchtung eingestellten Drehzahl der Tiegelwelle. Während dieser Ausschaltzeit wirkt die Massenträgheit aller Blendenteile so, daß zunächst die Laufrolle 15 aus ihrer Ruhelage heraus über die Erhöhungsschräge 25 auf die erhöhte Ebene 26 läuft, wobei aber die Schräge 25 im Verhältnis zur Drehzahldifferenz so abgestimmt ist, daß die Laufrolle 15 nicht infolge der Vertikalbeschleunigungskomponente von der Rastringebene 26 abhebt, so daß der mitbeschleunigte Hartanschlag 16 unterhalb der jeweiligen Position eines der Raststifte 27 des Rastrings 21 bleibt und also auch nicht anschlägt.

Im weiteren Bewegungsablauf, der in Fig. 4 dargestellt ist, schlägt die Laufrolle 15 auf die Beschleunigungsschräge 24 auf, wodurch Laufrolle 15 und Hartanschlag 16 eine Vertikalbeschleunigung erfahren, die so stark ist, daß die Rolle nun von der Beschleunigungsschräge 24 abhebt, wobei ihre Steig- und Fallwege als Funktion der Zeit relativ zu ihren entsprechenden Wegdifferentialen in Umfangsrichtung eine ballistische Kurve ergeben. Kurz nach Überschreitung des Steigwegmaximums von Laufrolle 15 und Hartanschlag 16 trifft dieser auf einen Raststift 27, da er nun die gleiche Höhenposition wie dieser hat, wodurch die Umfangsbewegung der Blendenbaugruppe gestoppt wird. Durch eine entsprechende Wahl des Winkels der Anschlagfläche relativ zum Raststift 27 wird unter Ausnutzung der Prellkräfte bewirkt, daß die Rolle einen Impuls in Richtung auf die rastenförmige Abstufung 22 erhält - mit einer Kraftkomponente gegen die Bewegungsrichtung -, wodurch die Bewegung in den Ruhezustand übergehen kann. Aber auch wenn infolge höherer Prellkräfte die Rolle in Bewegungsrichtung relativ zum Rastring 21 beschleunigt wird, so reicht die Restenergie nicht mehr aus, um eine weitere Beschleunigungsschräge zu überspringen. Beim nachfolgenden Einschalten der Tiegel- bzw. Gefäßrotation läuft die Laufrolle 15 gegebenenfalls in die rastenförmige Abstufung zurück und erhält ihre neue Ruhelage.

In Fig. 5 ist die Fall-Schwenk-Bewegung der mit dem Träger 12 verbundenen Laufrolle 15 im Ausschnitt dargestellt. Zu sehen ist genau der Augenblick, in dem - wie bereits zu Fig. 4 beschrieben - der Hartanschlag 16 nach der Beschleunigung der an dem Rollenträger 12 angeordnete Laufrolle 15 und der anschließend ausgeführten ballistischen Bewegung auf einen Raststift 27 im Rastring 21 trifft.

Die auf die beschriebene Weise weitergeschaltete Blende 10 gibt ein weiteres noch unbedampftes Segment des Einblickfensters 2 frei. Da während einer Umdrehung des Züchtungsgehäuses 3 die Sicht nur für einen kurzen Moment freigegeben wird, kann jedoch das üblicherweise von einer CCD-Kamera abgetastete Bild in einen Speicher eingelesen und bei jedem neuen Einblick durch das aktuelle Bild überschrieben werden.

Claims (16)

1. Anordnung zur Beobachtung der Züchtung von Halbleiterkristallen mit einer flüchtigen Komponente, die Teil eines einen Schmelztiegel aufweisenden Züchtungsgefäßes ist, das in einem Druckgefäß angeordnet ist, und bei der das von einem Heizer umgebene Züchtungsgefäß drehsteif mit einer Tiegelwelle verbunden und zum Druckgefäß hin durch ein ringförmiges Einblickfenster abgeschlossen ist, wobei eine temperaturfeste Ziehwelle mit Keimkristall von oben durch den Druckgefäßdeckel geführt ist und abgedichtet in das Züchtungsgefäß ragt, und ein Beobachtungstubus im Druckgefäß an das Einblickfenster geführt ist,
dadurch gekennzeichnet, daß
dem ringförmigen Einblickfenster (2) koaxial eine ringförmige, mit einem segmentförmigen Ausschnitt (11) versehene, relativ zum Einblickfenster (2) drehbar gelagerte Sichtblende (10) im Züchtungsgefäß (3) vorgelagert ist, deren koaxiale Bohrung einem axial teilbaren Lager zugeordnet ist,
ein Rastring (21) mit der inneren Wandung des Züchtungsgefäßes (3) fest verbunden ist, wobei der Rastring (21) ein Rasterprofil aufweist, das mit einer schrittweisen Bewegung der Sichtblende (10) entsprechend des Öffnungswinkels ihres segmentförmigen Ausschnitts (11) in Umfangsrichtung korreliert,
und die Sichtblende (10) mit Mitteln für ihr schrittweises Weiterschalten in Umfangsrichtung verbunden ist.

2. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das axial teilbare Lager als Wälzlager ausgebildet ist und mindestens Präzisionskugeln (6) aus Keramik aufweist.

3. Anordnung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Wälzlager aus keramischem Werkstoff gebildet ist.

4. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das axial teilbare Lager als Gleitlager ausgebildet ist.

5. Anordnung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß das Gleitlager aus Keramik und/oder Graphit gebildet ist.

6. Anordnung nach Anspruch 2 und 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Lagerringe (7, 8) aus hochfestem Graphit gebildet sind.

7. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Mittel zum schrittweisen Weiterschalten der Sichtblende (10) in Umfangsrichtung einen Rollenträger (12) und eine Laufrolle (15) aufweisen, wobei

• - die Achse der Laufrolle (15) mit dem Rollenträger (12) und dieser mit der Sichtblende (10) verbunden ist,
• - der Rollenträger (12) mit der Sichtblende (10) so verbunden ist, daß die Laufrolle (15) mit dem Rollenträger (12) eine Fall-Schwenk-Bewegung relativ zur Sichtblende (10) ausführt, jedoch in Umfangsrichtung starr mit der Sichtblende (10) verbunden ist und
• - die Laufrolle (15) auf dem Rasterprofil des Rastrings (21) horizontal beweglich angeordnet ist.

8. Anordnung nach Anspruch 1 oder 7, dadurch gekennzeichnet, daß das Rasterprofil des Rastrings (21) zahnförmige Nocken aufweist, wobei deren Rückflanke jeweils als Beschleunigungsschräge (24) für die Laufrolle- Rollenträger-Anordnung ausgebildet ist und die steilen Vorderflanken (23) jeweils mit einer zusätzlichen Abstufung (22) die eigentliche, schrittweise Rastung bilden.

9. Anordnung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß der Rollenträger (12) aus Molybdän gebildet ist.

10. Anordnung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Achse der Laufrolle (15) aus Molybdän gebildet ist.

11. Anordnung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Laufrolle (15) aus Graphit gebildet ist.

12. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der ein Rasterprofil aufweisende Rastring (21) aus kohlenstoffaserverstärktem Kohlenstoff gebildet ist.

13. Anordnung nach mindestens einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß ein Justierträger (17) mit dem Rollenträger (12) verbunden und mit einem Anschlag (16) als Gegenstück zu im Rastring (21) angeordneten stiftförmigen Anschlägen (27) versehen ist, in einer Anzahl, die dem entsprechend des Öffnungswinkels des segmentförmigen Blendenausschnitts (11) ausgebildeten Rasterprofil entspricht.

14. Anordnung nach mindestens einem der Ansprüche 1 bis 13, dadurch gekennzeichnet, daß in einem der Träger (12 oder 17) in Umfangsrichtung Langlöcher (19) für die Justierung des Schaltpunktes der Sichtblende (10) angeordnet sind.

15. Verfahren zur Beobachtung der Züchtung von Halbleiterkristallen mit einer flüchtigen Komponente, dadurch gekennzeichnet, daß eine einen segmentförmigen Ausschnitt aufweisende Sichtblende vor dem ringförmigen Einblickfenster drehbar bezüglich dieses Fensters im Züchtungsgefäß zum Schutz vor unerwünschter Bedampfung angeordnet und in definierten Rastern entsprechend des Öffnungswinkels des segmentförmigen Ausschnitts mittels schlagartiger Drehzahlabsenkung des Züchtungsgefäßes unter Ausnutzung des Massenträgheitsmoments in Umfangsrichtung in eine neue Beobachtungsposition weitergeschaltet wird und bei jeder Beobachtungsposition der Achsübereinstimmung von Beobachtungstubus und Segmentausschnitt zueinander das aktuelle Bild mittels einer CCD-Kamera aufgenommen sowie mittels eines der Züchtungsanlage angeschlossenen Rechners bearbeitet und dem jeweils vorherigen überschrieben und nach Speicherung im Rechner eine kontinuierliche Bildabfolge des Züchtungsprozesses erstellt wird.

16. Verfahren nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, daß vor dem Weiterschalten mittels schlagartiger Drehzahlabsenkung eine höhere Drehzahl des Züchtungsgefäßes eingestellt wird, als für die anschließende Züchtung erforderlich wäre.