DE19708584A1

DE19708584A1 - Exothermer Körper und Verfahren zum Herstellen desselben

Info

Publication number: DE19708584A1
Application number: DE19708584A
Authority: DE
Inventors: Katsuyuki Uchida
Original assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date: 1996-03-06
Filing date: 1997-03-03
Publication date: 1997-09-11
Also published as: TW371766B; JPH09246009A; KR970068739A

Description

Diese Erfindung bezieht sich auf einen exothermen Körper, der zu einer hohen Leistungsausgabe in der Lage ist, zur Verwendung beispielsweise als thermische Last zum Kochen von Wasser, und auf ein Verfahren zum Herstellen eines solchen Körpers.

Die Fig. 7 und 8 werden zuerst beschrieben, um einen bekann ten exothermen Körper dieses Typs und einen Heizer, der ei nen solchen exothermen Körper verwendet, darzustellen. Wie es in Fig. 7 gezeigt ist, umfaßt der exotherme Körper 1 ein Thermistorelement 2 mit einer positiven Temperaturcharakte ristik, ein Paar von kammförmigen Elektroden 3 und 4, die auf einer seiner Hauptoberflächen gebildet sind, und An schlußelektroden 5 und 6, die auf Seitenoberflächen und der anderen der Hauptoberflächen des Thermistorelements 2 gebil det sind und jeweils mit den kammförmigen Elektroden 3 und 4 zum Ermöglichen des Zuführens von elektrischer Leistung zu den Letzteren elektrisch verbunden sind. Die kammförmigen Elektroden 3 und 4 werden durch Aufbringen einer elektro leitfähigen Paste, wie z. B. einer Paste mit Silber als Hauptkomponente, auf einer Hauptoberfläche des Thermistorele ments 2 und durch Brennen derselben, um Ohmsche Kontakte zu bilden, gebildet.

Wie es in Fig. 8 gezeigt ist, wird der Heizer 7 durch se quenzielles Plazieren einer isolierenden Platte 8 und eines Heizstrahlungsbauglieds 9 auf der Hauptoberfläche des Ther mistorelements 2 gebildet, auf der die kammförmigen Elektro den 3 und 4 gebildet sind. Leistungsversorgungsanschlüsse (nicht gezeigt) können zusätzlich vorgesehen sein, um die Anschlußelektroden 5 und 6 elektrisch anzuschließen. Die isolierende Platte 8 ist eine dünne Platte, die ein isolie rendes Material aufweist und einen Oberflächenkontakt mit den kammförmigen Elektroden 3 und 4 auf dem Thermistorele ment 2 zum Isolieren des Heizstrahlungsbauglieds 9 von den selben herstellt. Das Heizstrahlungsbauglied 9 umfaßt eine metallische Platte, wie z. B. eine Aluminiumplatte mit hoher thermischer Leitfähigkeit, wobei dasselbe einen Oberflächen kontakt mit der isolierenden Platte 8 herstellt.

Bei einem derart strukturierten exothermen Körper besteht jedoch die Tendenz, wie es durch den Buchstaben S in Fig. 8 gezeigt ist, daß Zwischenräume zwischen dem Thermistorele ment 2 und der isolierenden Platte 8 gebildet werden, da die Filmdicke der kammförmigen Elektroden 3 und 4 nicht vernach lässigbar klein ist. Es muß nicht extra erwähnt werden, daß diese Zwischenräume S die thermische Leitung von dem exo thermen Körper 1 zu der isolierenden Platte 8 ungünstig be einträchtigen.

Um dieses Problem anzugehen, war es bekannt, Silikonfett oder ein Haftmittel in die Zwischenräume S einzuführen, um die thermische Leitung zu verbessern. Da die thermische Leitfähigkeit von Silikonfett und Haftmitteln nicht viel besser als die einer Luftschicht ist, blieb es jedoch schwierig, einen effizienten Heizer zu schaffen, der für eine hohe Leistungsausgabe geeignet ist und die exotherme Charakteristik voll ausnützt.

Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht darin, einen exothermen Körper zu schaffen, der in der Lage ist, Wärme, die von der Oberfläche eines Thermistorelements mit positi ver Temperaturcharakteristik ausgegeben wird, effizient zu leiten.

Diese Aufgabe wird durch einen exothermen Körper gemäß An spruch 1, durch ein Verfahren zum Herstellen eines exother men Körpers gemäß Anspruch 5, durch ein Verfahren zum Her stellen eines exothermen Körpers gemäß Anspruch 9 und durch ein Verfahren zum Herstellen eines exothermen Körpers gemäß Anspruch 13 gelöst.

Ein exothermer Körper, der diese Erfindung ausführt, und der zu den obigen und weiteren Vorteilen führt, kann nicht nur derart gekennzeichnet sein, daß er ein Paar von kammförmigen Elektroden auf einer der Hauptoberflächen eines planaren Termistorelements mit positiver Temperaturcharakteristik hat, sondern ferner derart, daß die Filmdicke dieser kamm förmigen Elektroden kleiner als 10 µm ist. Es wird ferner bevorzugt, Anschlußelektroden, die auf Seitenoberflächen und die andere der Hauptoberflächen des Thermistorelements ge brannt und mit den kammförmigen Elektroden verbunden sind, vorzusehen. Es wird ferner bevorzugt, daß die kammförmigen Elektroden Ni, Al, Cr, Monel, eine Legierung derselben oder eine geschichtete Struktur aufweisen, die zwei oder mehrere Arten derselben aufweist.

Ein exothermer Körper gemäß dieser Erfindung kann durch Bil den eines Elektrodenfilms auf den Oberflächen eines planaren Thermistorelements mit positiver Temperaturcharakteristik und durch Bilden eines Paars von kammförmigen Elektroden aus demselben durch einen Ätzprozeß hergestellt werden. Detail lierter erklärt kann ein Elektrodenfilm durch Plazieren auf die Oberflächen des Thermistorelements und nach dem Aufbrin gen eines Ätzresists auf diesen Film in der Form des Paars der kammförmigen Elektroden gebildet werden, wobei der An teil des Films, der den Ätzresist nicht aufweist, weggeätzt wird, wonach der Ätzresist schließlich entfernt wird, um ein Paar von kammformigen Elektroden auf einer der Hauptoberflä chen des Thermistorelements zu bilden. Alternativ kann ein Plattierungsresist auf der Thermistorelementoberfläche pla ziert werden, wobei, nachdem der Anteil der Thermistorele mentoberfläche, die diesen Plattierungsresist nicht auf weist, plattiert ist, um den Elektrodenfilm zu bilden, der Plattierungsresist entfernt wird, um das Paar von kammförmi gen Elektroden zu bilden. Als weiteres Verfahren kann das Paar von kammförmigen Elektroden durch Sputtern gebildet werden. Anschlußelektroden werden ferner auf Seitenoberflä chen und die andere der Hauptoberflächen des Thermistorele ments gebrannt, wobei sie mit dem Paar von kammförmigen Elektroden verbunden sind. Ein exothermer Körper mit einer verbesserten Leistungsausgabe kann durch ein solches Verfah ren gemäß dieser Erfindung erhalten werden, mit dem die kammförmigen Elektroden mit reduzierter Dicke gebildet wer den können.

Bevorzugte Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung werden nachfolgend bezugnehmend auf die beiliegenden Zeich nungen detaillierter erläutert. Es zeigen:

Fig. 1 eine Diagonalansicht eines exothermen Körpers gemäß einem ersten Ausführungsbeispiel dieser Erfindung, nachdem im Laufe seiner Herstellung ein Ätzresist aufgebracht worden ist;

Fig. 2 eine Diagonalansicht des exothermen Körpers von Fig. 1, nachdem ein Ätzprozeß ausgeführt wurde, um ein Paar von kammförmigen Elektroden zu bilden, und nachdem der Ätzresist entfernt worden ist;

Fig. 3 eine Schnittansicht des exothermen Körpers gemäß dem ersten Ausführungsbeispiel dieser Erfindung entlang der Linie 3-3 von Fig. 2;

Fig. 4 eine Diagonalansicht eines weiteren exothermen Kör pers gemäß einem zweiten Ausführungsbeispiel dieser Erfindung, nachdem in Laufe seiner Herstellung ein Plattierungsresist aufgebracht worden ist;

Fig. 5 eine Diagonalansicht des exothermen Körpers von Fig. 4, nachdem ein Elektrodenfilm durch Plattie rung gebildet worden ist;

Fig. 6 einen Graph zum Darstellen der Beziehung zwischen der Leistungsausgabe eines exothermen Körpers und der Filmdicke seiner kammförmigen Elektroden;

Fig. 7 eine Diagonalansicht eines bekannten exothermen Körpers; und

Fig. 8 eine Schnittansicht eines Anteils eines Heizers, der den exothermen Körper von Fig. 7 verwendet, entlang einer Linie 8-8 von Fig. 7.

Ein Verfahren zum Herstellen eines exothermen Körpers gemäß dieser Erfindung wird zuerst bezugnehmend auf die Fig. 1 bis 3 beschrieben. Ein planares Thermistorelement 1 mit positi ver Temperaturcharakteristik und einer Größe von 30 × 40 × 1,0 mm wird hergestellt, wobei alle seine Oberflächen einem stromlosen Ni-Plattierungsverfahren unterworfen werden, um einen Elektrodenfilm 12 zu bilden. Anschließend wird ein Ätzresist 13 und 14 in der Form eines Paars von kammförmigen Elektroden auf dem Elektrodenfilm 12 auf einer Hauptoberflä che des Thermistorelements 11 aufgebracht, wie es in Fig. 1 gezeigt ist. Anschließend wird ein Ätzresist 15 und 16 auf gegenüberliegenden Seitenoberflächen des Thermistorelements aufgebracht, wobei der Anteil des Elektrodenfilms 12, der nicht den Ätzresist 13, 14, 15 und 16 aufweist, durch ein Ätzverfahren entfernt wird. Der Ätzresist 13, 14, 15 und 16 wird dann entfernt, um ein Paar von kammförmigen Elektroden 23, 24 und Seitenoberflächenelektroden 25 und 26 zu erhal ten, welche auf den Seitenoberflächen gebildet sind und mit den kammförmigen Elektroden 23 und 24 elektrisch verbunden sind, wie es in Fig. 2 gezeigt ist.

Ein exothermer Körper 21, der in Fig. 3 gezeigt ist, wird ferner durch Aufbringen einer elektroleitfähigen Paste mit Silber als ihre Hauptkomponente von der anderen Hauptober fläche zu den Seitenoberflächen des Thermistorelements 11 erhalten, um die plattierten Seitenoberflächenelektroden 25 und 26 zu bedecken, wobei ferner Anschlußelektroden 27 und 28 durch Brennen gebildet werden, um Verbindungen mit dem Paar von kammförmigen Elektroden 23 und 24 herzustellen. In anderen Worten befinden sich die Seitenoberflächenelektroden 25 und 26 jeweils in elektrisch leitfähiger Beziehung mit dem Paar von kammförmigen Elektroden 23 und 24. Da die Sei tenoberflächen 25 und 26 ferner zum Zweck des Herstellens der elektrischen Verbindung vorgesehen sind, wobei sie zwi schen dem Paar von kammförmigen Elektroden 23 und 24 und den Anschlußelektroden 27 und 28 in herabhängender Form ange bracht sind, können sie durch irgendeine geeignete Verbin dungseinrichtung ersetzt werden.

Der somit erhaltene exotherme Körper 21 wurde verwendet, um einen Heizer (nicht gezeigt) zu bilden, indem durch Silikon fett eine isolierende Platte 8 und ein Heizstrahlungsbau glied 9 auf der gleichen Hauptoberfläche des exothermen Kör pers 21 plaziert wurden, auf der das Paar von kammförmigen Elektroden 23 und 24 gebildet ist, wie es in Fig. 8 gezeigt ist. Ein Rahmen mit Abmessungen 30 × 40 mm wurde an der Hauptoberfläche des Heizstrahlungsbauglieds 9 angebracht, wonach Wasser in diesem Rahmen plaziert wurde und ein Wech selstrom mit einer Spannung von 100 V durch den exothermen Körper 21 geleitet wurde. Die von dem exothermen Körper 21 erforderliche Leistung, um das Wasser zum Kochen zu bringen, betrug 348 W. Der Widerstand bei Normaltemperatur dieses Thermistorelements 11 war 50 Ohm, während seine Curie-Tem peratur 180°C betrug.

Ein weiteres Verfahren zum Herstellen eines exothermen Kör pers gemäß dieser Erfindung ist nachfolgend bezugnehmend auf die Fig. 4 und 5 beschrieben. Ein (erster) Plattierungsre sist 31 wird auf eine der Hauptoberflächen eines Thermistor elements (ebenfalls aus Zweckmäßigkeitsgründen mit dem Bezugszeichen 11 bezeichnet) aufgebracht, welches zu dem identisch ist, das weiter vorne bezugnehmend auf die Fig. 1 bis 3 beschrieben wurde, derart, daß eine Hauptoberfläche des Thermistorelements in der Form von kammförmigen Elektro den freigelegt ist. Anschließend wird ein (zweiter) Plattie rungsresist 32 auf die andere Hauptoberfläche des Thermi storelements 11 aufgebracht, wonach (dritte) Plattierungs resists 33 und 34 an gegenüberliegenden Seitenobenflächen des Thermistorelements 11 aufgebracht werden, welche mit dem ersten Plattierungsresist 31 verbunden sind. Anschließend wird ein Elektrodenfilm durch stromloses Ni-Plattieren auf den Oberflächen des Thermistorelements 11 gebildet, auf denen die Plattierungsresists 31, 32, 33 und 34 aufgebracht wurden. Ein Paar von kammförmigen Elektroden 35 und 36 wird somit, wie es in Fig. 5 gezeigt ist, gebildet, wobei die Oberfläche des Thermistorelements 11 freiliegend ist, welche nicht durch die Plattierungsresists 31, 32, 33 und 34 be deckt war.

Sobald die Plattierungsresists 31, 32, 33 und 34 entfernt werden, wird ein weiterer Thermistor 11 mit einem Paar von kammförmigen Elektroden 23 und 24 auf einer seiner Haupt oberflächen erhalten. Ein weiterer exothermer Körper (nicht gezeigt) wird aus demselben durch Hinzufügen von Anschluß elektroden 27 und 28, wie es oben bezugnehmend auf die Fig. 1 bis 3 beschrieben wurde, gebildet.

Ein weiteres Verfahren zum Herstellen eines dritten Ausfüh rungsbeispiels der Erfindung ist nachfolgend bezugnehmend auf die Fig. 3 und 4 beschrieben. Ein Thermistorelement, wie es oben verwendet wurde (und daher ebenfalls das Bezugszei chen 11 aufweist) wird bereitgestellt, wobei die Abschnitte einer seiner Hauptoberflächen, die durch Bezugszeichen 31, 32, 33 und 34 in Fig. 4 gezeigt sind, von einer Maske be deckt sind. Elektrodenfilme, von denen jeder Ni, Cr und Ag als ihre Hauptkomponenten haben, werden sequentiell durch Sputtern gebildet, um ein Paar von kammförmigen Elektroden zu bilden, wie es in Fig. 2 gezeigt ist, wobei jede eine ge schichtete Struktur mit drei Schichten hat. Die Dicke jeder kammförmigen Elektrode betrug gemäß einem Testexperiment 1 µm. Anschließend wurden Anschlußelektroden (wie es bei 27 und 28 in Fig. 3 gezeigt ist) durch Brennen hinzugefügt, wie es oben beschrieben wurde, um einen weiteren exothermen Kör per (nicht gezeigt) zu bilden, der diese Erfindung ausführt.

Als Vergleichsbeispiel wurde ein anderes Thermistorelement, das zu den oben verwendeten identisch ist (und daher eben falls durch das Bezugszeichen 11 bezeichnet ist) verwendet, wobei ein Paar von kammförmigen Elektroden in der bei 23 und 24 gezeigten Form durch Aufbringen einer elektroleitfähigen Paste mit Silber als ihre Hauptkomponente durch ein Sieb druck- und ein Brennverfahren gebildet wurde. Anschließend wurden Anschlußelektroden hinzugefügt, wie es oben beschrie ben wurde, um ein Vergleichsbeispiel für einen exothermen Körper (nicht gezeigt) zu bilden, der ähnlich zu dem bei 21 in Fig. 3 gezeigten gestaltet ist. Die Dicke der kammförmi gen Elektrode betrug 30 µm.

Es wurden ferner Heizer durch Verwenden der weiteren exo thermen Körper 21 gemäß dem zweiten und dem dritten Ausfüh rungsbeispiel der Erfindung und gemäß dem Vergleichsbeispiel gebildet, wonach ihre Ausgaben gemessen wurden. Die Resulta te sind in der nachfolgenden Tabelle 1 gezeigt.

Tabelle 1

Die Beziehung zwischen der Ausgangsleistung von dem exother men Körper und der Filmdicke seiner kammförmigen Elektroden wurde detaillierter untersucht. Diese Ergebnisse sind in Fig. 6 gezeigt. Aus Tabelle 1 und Fig. 6 ist zu sehen, daß die Ausgangsleistung von dem exothermen Körper wesentlich abnimmt, wenn die Filmdicke der kammförmigen Elektroden 10 µm überschreitet.

Obwohl die Erfindung oben bezugnehmend auf nur eine begrenz te Anzahl von Beispielen beschrieben worden ist, sollte der Bereich der Erfindung nicht durch diese Beispiele begrenzt sein. Obwohl die Verwendung von Ni, Cr und Ag offenbart wur de, kann ferner beispielsweise Ni, Cr, Ag, Monel oder ir gendein Metall verwendet werden, welches eine Legierung mit irgendeinem der Genannten bilden kann, und welches einen Ohmschen Kontakt mit dem Thermistorelement schafft. Die kammförmigen Elektroden können eine geschichtete Struktur mit einer Mehrzahl von Schichten aufweisen.

Zusammengefaßt sind exotherme Körper gemäß dieser Erfindung derart gekennzeichnet, daß sie dünne kammförmige Elektroden aufweisen, derart, daß die Wärme von dem Thermistorelement wirksam zu dem Wärmestrahlungsbauglied geleitet werden kann. Als Ergebnis können exotherme Körper mit höherer Leistung bereitgestellt werden. Solche exothermen Körper können durch Verwendung eines Plattierungs- oder Sputter-Verfahrens er zeugt werden, um die kammförmigen Filmelektroden auf dem Thermistorelement zu bilden, derart, daß dünnere kammförmige Elektroden erhalten werden können. Dünnere Elektrodenfilme können durch Sputtern gebildet werden, wobei, wenn die kamm förmigen Elektroden durch ein Trockenverfahren gebildet wer den, die Charakteristika der Thermistorelemente nicht nega tiv beeinträchtigt werden.

Claims

1. Exothermer Körper mit folgenden Merkmalen:
einem planaren Thermistorelement (11) mit einer positi ven Temperaturcharakteristik, das ein Paar von gegen überliegenden Hauptoberflächen aufweist; und
einem Paar von kammförmigen Elektroden (23, 24), die auf einer der Hauptoberflächen des Thermistorelements (11) gebildet sind, wobei die kammförmigen Elektroden (23, 24) eine Dicke von kleiner als 10 µm aufweisen.

2. Exothermer Körper (21) gemäß Anspruch 1, der ferner folgendes Merkmal aufweist:
Anschlußelektroden (27, 28), die auf Seitenoberflächen der anderen Hauptoberfläche des Thermistorelements (11) durch Brennen gebildet sind, wobei die Anschlußelektro den (27, 28) jeweils mit einer Zugeordneten des Paars von kammförmigen Elektroden (23, 24) verbunden sind.

3. Exothermer Körper (21) gemäß Anspruch 2, bei dem die kammförmigen Elektroden (23, 24) ein Ele ment aus der Gruppe aufweisen, die aus Ni, Al, Ag, Cr, Monel und Legierungen derselben besteht.

4. Exothermer Körper (21) gemäß Anspruch 2, bei dem die kammförmigen Elektroden (23, 24) eine ge schichtete Struktur mit zwei oder mehreren Schichten aufweisen, wobei jede ein ausgewähltes Element aus der Gruppe aufweist, die aus Ni, Al, Ag, Cr, Monel und Le gierungen derselben besteht.

5. Verfahren zum Herstellen eines exothermen Körpers (21), mit folgenden Schritten:
Bilden eines Elektrodenfilms (12) durch Plattieren auf Oberflächen eines planaren Thermistorelements (11) mit einer positiven Temperaturcharakteristik; und
Bilden eines Paars von kammförmigen Elektroden (23, 24) auf einer Hauptoberfläche des Thermistorelements (11) durch Ätzen des Elektrodenfilms (12).

6. Verfahren gemäß Anspruch 5, das ferner folgenden Schritt aufweist:
Bilden von Anschlußelektroden (27, 28) auf Seitenober flächen und der anderen Hauptoberfläche des Thermistor elements (11) durch Brennen, wobei die Anschlußelektro den (27, 28) jeweils mit einer Zugeordneten des Paars von kammförmigen Elektroden (23, 24) verbunden sind.

7. Verfahren gemäß Anspruch 6, bei dem die kammförmigen Elektroden (23, 24) ein Ele ment aufweisen, das aus der Gruppe ausgewählt ist, die aus Ni, Al, Ag, Cr, Monel und Legierungen derselben be steht.

8. Verfahren gemäß Anspruch 6, bei dem die kammförmigen Elektroden (23, 24) eine ge schichtete Struktur mit zwei oder mehreren Schichten aufweisen, wobei jede ein ausgewähltes Element aus der Gruppe aufweist, die aus Ni, Al, Ag, Cr, Monel und Le gierungen derselben besteht.

9. Verfahren zum Herstellen eines exothermen Körpers (21) mit folgenden Schritten:
Bilden eines Elektrodenfilms (21) durch Plattieren auf Oberflächen eines planaren Thermistorelements (11) mit einer positiven Temperaturcharakteristik; und
Bilden eines Paars von kammförmigen Elektroden (23, 24) auf einer Hauptoberfläche des Thermistorelements (11) durch Versehen des Elektrodenfilms (11) mit einem Ätz resist (13, 14) in der Form eines Paars von Kämmen auf der Hauptoberfläche des Thermistorelements (11), durch Ätzen von Anteilen des Elektrodenfilms (11), die nicht von dem Ätzresist bedeckt sind, und durch Entfernen des Ätzresists (13, 14).

10. Verfahren gemäß Anspruch 9, welches ferner folgenden Schritt aufweist:
Bilden von Anschlußelektroden (27, 28) auf Seitenober flächen und der anderen Hauptoberfläche des Thermistor elements (11) durch Brennen, wobei die Anschlußelektro den (27, 28) jeweils mit einer Zugeordneten des Paars von kammförmigen Elektroden (23, 24) elektrisch verbun den sind.

11. Verfahren gemäß Anspruch 10, bei dem die kammförmigen Elektroden (23, 24) ein ausge wähltes Element aus der Gruppe aufweisen, die aus Ni, Al, Ag, Cr, Monel und Legierungen derselben besteht.

12. Verfahren gemäß Anspruch 10, bei dem die kammförmigen Elektroden (23, 24) eine ge schichtete Struktur mit zwei oder mehreren Schichten aufweisen, wobei jede ein ausgewähltes Element aus der Gruppe aufweist, die aus Ni, Al, Ag, Cr, Monel und Le gierungen derselben besteht.

13. Verfahren zum Herstellen eines exothermen Körpers (21) mit folgenden Schritten:
Bereitstellen eines planaren Thermistorelements (11) mit einer positiven Temperaturcharakteristik; und
Bilden eines Paars von kammförmigen Elektroden (23, 24) auf einer Hauptoberfläche des Thermistorelements (11) durch Bereitstellen von Plattierungsresists auf spezi fizierten Positionen auf der Hauptoberfläche des Ther mistorelements (11), durch Bilden durch Plattieren eines Elektrodenfilms (12) auf Anteilen der Hauptober fläche des Thermistorelements (11), die nicht von den Plattierungsresists (31) bedeckt sind, und anschließend durch Entfernen der Plattierungsresists (31).

14. Verfahren gemäß Anspruch 13, das ferner folgenden Schritt aufweist:
Bilden von Anschlußelektroden (27, 28) auf Seitenober flächen und der anderen Hauptoberfläche des Thermistor elements (11) durch Brennen, wobei die Anschlußelektro den (27, 28) jeweils mit einer Zugeordneten des Paars von kammförmigen Elektroden (23, 24) elektrisch verbun den sind.

15. Verfahren gemäß Anspruch 14, bei dem die kammförmigen Elektroden (23, 24) ein ausge wähltes Element aus der Gruppe aufweisen, die aus Ni, Al, Ag, Cr, Monel und Legierungen derselben besteht.

16. Verfahren gemäß Anspruch 14, bei dem die kammförmigen Elektroden (23, 24) eine ge schichtete Struktur mit einer oder mehreren Schichten aufweisen, wobei jede ein ausgewähltes Element aus der Gruppe aufweist, die aus Ni, Al, Ag, Cr, Monel und Le gierungen derselben besteht.

17. Verfahren zum Herstellen eines exothermen Körpers (21) mit folgenden Schritten:
Bereitstellen eines planaren Thermistorelements (11) mit einer positiven Temperaturcharakteristik; und
Bilden eines Paars von kammförmigen Elektroden (23, 24) auf einer Hauptoberfläche des Thermistorelements (11) durch Sputtern
18. Verfahren gemäß Anspruch 17, das ferner folgenden Schritt aufweist:
Bilden von Anschlußelektroden (27, 28) auf Seitenober flächen und der anderen Hauptoberfläche des Thermistor elements (11) durch Brennen, wobei die Anschlußelektro den (27, 28) jeweils mit einer Zugeordneten des Paars von kammförmigen Elektroden (23, 24) elektrisch verbun den sind.

19. Verfahren gemäß Anspruch 18, bei dem die kammförmigen Elektroden (23, 24) ein ausge wähltes Element aus der Gruppe aufweisen, die aus Ni, Al, Ag, Cr, Monel und Legierungen derselben besteht.

20. Verfahren gemäß Anspruch 18, bei dem die kammförmigen Elektroden (23, 24) eine ge schichtete Struktur mit einer oder mehreren Schichten aufweisen, wobei jede ein ausgewähltes Element aus der Gruppe aufweist, die aus Ni, Al, Ag, Cr, Monel und Le gierungen derselben besteht.