DE19701680C2 - Diamantkörper - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft einen Diamantkörper zur Verbin­ dung mit wenigstens einem Bauelement, der über zwei Deck­ seiten verfügt, in die Ausnehmungen eingebracht sind.

Ein derartiger Diamantkörper ist aus der WO 94/24703 A1 bekannt. Dieser Diamantkörper mit einer abgeflachten quaderförmigen Ausgestaltung verfügt über durch Bohren eingebrachte und demzufolge rundliche Löcher als Ausnehmungen, die mit einem Metallmaterial mit einem gegenüber Diamant deutlich höheren Wärmekoeffizienten gefüllt sind. Dadurch wird im Mittel ein größerer thermischer Ausdehnungskoeffizient des Diamant/Me­ tallverbundkörpers gegenüber einem unbearbeiteten Diamant­ körper erzielt, so daß im Zusammenhang mit aufgebrachten Bauelementen induzierte thermomechanische Spannungen reduziert werden. Allerdings ist die Herstellung dieses Diamant­ körpers verhältnismäßig aufwendig.

Aus der US-A-5,043,796 ist ein Substratkörper aus Aluminiumoxid bekannt, bei dem ausgehend von zwei Deckseiten einander gegenüberliegende keilförmige Gräben eingebracht sind, die zum Ausbilden einer Sollbruchstelle dienen. Die Sollbruchstelle verläuft dabei zwischen auf das Substrat aufgebrachten Bau­ elementen, so daß diese bei zu hohen thermomechanischen Spannungen durch Rißbildung entlang der Sollbruchstellen unbeschädigt bleiben. Diese Ausgestaltung weist allerdings den Nachteil auf, daß das Kühlverhalten nach der Störung der Soll­ bruchstelle nachteilig beeinflußt sein kann.

Aus dem Artikel "Diamond films as thermal conductors and electrical insulators applied to semiconductor power modules" von B. Fiegl, R. Kuhnert, H. Schwarzbauer und F. Koch in Diamond and Related Materials, 3 (1994), Seiten 658 bis 662 ist bekannt, daß Diamantkörper aufgrund der sehr hohen Wärmeleitfähigkeit von Diamant sich vorteilhaft zur Ableitung großer Wärmemengen beispielsweise von Halbleiterbauelemen­ ten als Wärmequellen einsetzen lassen.

Wie aus dem Artikel "Applications of CVD Diamond in Thermal Management" von G. Lu in 2nd International Conference on the Applications of Diamond Films and Related Materials, Heraus­ geber M. Yoshikawa, M. Murakawa, Y. Tzeng und W. A. Yarbrough, MYU, Tokio 1993, Seiten 269 bis 274, bekannt lassen sich mit aus der Gasphase abgeschiedenen Diamant­ platten als Diamantkörper aufgrund der hohen Wärmeleitfähig­ keit insbesondere von punktartigen Wärmequellen auch große Wärmemengen schnell mit einer sogenannten Wärmespreizung, das heißt einer effektiven räumlichen Verteilung der Wärme, abführen.

Dabei tritt jedoch, wie aus dem Artikel "Thermal Stress in Dia­ mond Films" von V. G. Ralchenko, E. D. Obraztsova, K. G. Koro­ toushenko et al. in Applications of Diamond Films and Related Materials: Third International Conference, Herausgeber A. Feldman, Y. Tzeng, W. A. Yarbrough et al., 1995, Seiten 635 bis 638, bekannt, das Problem auf, daß aufgrund des sehr kleinen Wärmeausdehnungskoeffizienten von Diamant aufgrund der Temperaturdifferenz bei der Verbindung mit anderen Materialien wie beispielsweise Halbleitern oder Metallen durch Löten und im Betrieb bei in der Regel Raumtemperatur zum Teil erhebliche thermisch induzierte mechanische Spannungen auftreten, die unter Umständen nachteiligerweise zu einer Zerstörung der Verbindung oder des Diamantkörpers selbst führen können.

Bisher wurde zum Abbau derartiger in Verbindung mit aufgebrachten Bauelementen thermisch induzierter mechani­ scher Spannungen vorgeschlagen, bei der Verbindung eines Diamantkörpers mit Bauelementen eine dicke Weichlotschicht vorzusehen, um über deren Elastizität die bei der Lötverbindung thermisch induzierten mechanischen Spannungen zu kompen­ sieren. Nachteilig bei dieser Vorgehensweise ist jedoch, daß sich dadurch der Wärmewiderstand deutlich erhöht, so daß die Wärmeabfuhr insbesondere bei einer Wärmespreizung ver­ ringert ist.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen Diamantkörper der eingangs genannten Art anzugeben, der sich bei einer ein­ fachen Herstellungsweise zuverlässig mit anderen, insbeson­ dere verhältnismäßig inelastischen Materialien mit einer lediglich geringen Gefahr des Lösens der Verbindung oder der Zer­ störung des Diamantkörpers verbinden läßt.

Diese Aufgabe wird bei einem Diamantkörper der eingangs genannten Art erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß als Ausnehmungen eine Anzahl von zu den Deckseiten offenen, länglichen Schlitzen eingebracht ist, die sich winklig zu aus der Verbindung mit dem oder jedem Bauelement thermisch indu­ zierten mechanischen Spannungen erstrecken.

Dadurch, daß als Ausnehmungen zu den Deckseiten offene längliche Schlitze eingebracht sind, die sich winklig zu aus der Verbindung mit dem oder jedem Bauelement thermisch induzier­ te mechanische Spannungen erstrecken, wird die Flexibilität des Diamantkörpers deutlich erhöht, so daß er sich unter der Ein­ wirkung von thermomechanischen Spannungen unter Ver­ meiden von Brüchen und/oder Abplatzen von beispielsweise Lötverbindungen verformen kann, wobei ein zuverlässiger thermischer Kontakt mit dem oder jedem Bauelement erhalten bleibt. Die Schlitze sind dabei beispielsweise durch Laser­ schneiden verhältnismäßig einfach einzubringen, ohne daß es aufwendiger weiterer Bearbeitungsschritte bedarf.

Bei einer vorteilhaften Ausgestaltung eines erfindungsgemäßen Diamantkörpers ist vorgesehen, daß eine Anzahl von Ausneh­ mungen sich schräg zu einer durch wenigstens eine Wärme­ quelle und/oder wenigstens eine Wärmesenke induzierten Wärmeflußrichtung erstreckend angeordnet ist.

Bei einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung eines erfindungs­ gemäßen Diamantkörpers ist vorgesehen, daß eine Anzahl von Ausnehmungen sich im wesentlichen parallel zu einer durch die oder jede Wärmequelle und/oder die oder jede Wärmesenke induzierten Wärmeflußrichtung erstreckend angeordnet ist.

Bei Weiterbildungen der vorgenannten Ausgestaltungen eines erfindungsgemäßen Diamantkörpers ist zweckmäßigerweise eine Anzahl von Ausnehmungen in bezug auf die oder jede Wärmequelle und/oder die oder jede Wärmesenke so ausge­ richtet, daß die Ausrichtwinkel zu den mechanischen Span­ nungen größer als die Ausrichtwinkel zu Wärmeflußrichtungen sind.

Eine weitere vorteilhafte Ausgestaltung eines erfindungs­ gemäßen Diamantkörpers sieht vor, daß eine Anzahl von Ausnehmungen sich im wesentlichen rechtwinklig zu mechani­ schen Spannungen erstreckend angeordnet ist.

Eine weitere vorteilhafte Ausführung eines erfindungsgemäßen Diamantkörpers verfügt über eine Anzahl von parallel zuein­ ander verlaufenden Ausnehmungen.

Eine weitere zweckmäßige Ausführung eines erfindungs­ gemäßen Diamantkörpers weist eine Anzahl von rechtwinklig zueinander ausgerichteten Ausnehmungen auf.

Bei den beiden letztgenannten Ausführungen ist es vorteilhaft vorzusehen, daß in zwei zueinander rechtwinkligen Richtungen Ausnehmungen mit alternierenden Ausrichtungen aufein­ anderfolgen.

Bei den vorgenannten Ausgestaltungen ist es weiterhin zweck­ mäßig, daß eine Anzahl auf wenigstens einer Umfangslinie angeordneten Ausnehmungen vorgesehen ist.

Eine vorteilhafte Weiterbildung eines mit auf wenigstens einer Umfangslinie angeordneten Ausnehmungen versehenen erfin­ dungsgemäßen Diamantkörpers zeichnet sich dadurch aus, daß eine Anzahl von Ausnehmungen sich quer zu der oder jeder Umfangslinie erstreckend angeordnet ist.

Eine weitere vorteilhafte Ausführung eines mit auf wenigstens einer Umfangslinie angeordneten Ausnehmungen ausgestatte­ ten erfindungsgemäßen Diamantkörper verfügt über eine Anzahl von Ausnehmungen, die längs zu der oder jeder Umfangslinie erstreckend angeordnet sind.

Eine weitere Ausgestaltung beim erfindungsgemäßen Diamantkörper zeichnet sich vorteilhafterweise dadurch aus, daß eine Anzahl von Ausnehmungen randseitig geschlossene, innenliegende Schlitze sind.

Bei einer weiteren Ausgestaltung des erfindungsgemäßen Diamant­ körpers ist zweckmäßigerweise vorgesehen, daß eine Anzahl von Schlitzen zu einer Randseite offen sind, wobei die jeweilige Restmaterialstärke an der geschlossenen Randseite kleiner als die Tiefe jedes Schlitzes ist.

Weitere zweckmäßige Ausgestaltungen und Vorteile der Er­ findung sind Gegenstand der Unteransprüche sowie der nachfol­ genden Beschreibung von Ausführungsbeispielen unter Bezug auf die Figuren der Zeichnung. Es zeigen:

Fig. 1 einen abgeflacht quaderförmigen Diamantkörper mit randseitig und innenseitig eingebrachten Aus­ nehmungen in einer perspektivischen Darstellung,

Fig. 2 einen abgeflacht quaderförmigen Diamantkörper mit von zwei Randseiten eingebrachten, parallel zuein­ ander ausgerichteten Ausnehmungen in einer per­ spektivischen Darstellung,

Fig. 3 auf Umfangslinien quer und längs verlaufend ange­ ordnete Ausnehmungen bei einem rundlichen Dia­ mantkörper in Draufsicht,

Fig. 4 die Anordnung von Wärmequellen als Bauelemente bei einem Diamantkörper gemäß Fig. 1 in einer per­ spektivischen Darstellung und

Fig. 5 einen Diamantkörper gemäß Fig. 2 als zwischen einem Laserdiodenbarren und einem Mikrokanal­ kühler angeordneter Wärmespreizer in einer perspektivischen Darstellung.

Fig. 1 zeigt in einer perspektivischen Darstellung ein aus einem Stück gearbeiteten Diamantkörper 1, der eine abgeflacht quaderförmige Gestalt hat. Der Diamantkörper 1 weist eine erste Randseite 2, eine der ersten Randseite 2 gegenüberliegende zweite Randseite 3, eine sich zwischen der ersten Randseite 2 und der zweiten Randseite 3 erstreckende dritte Randseite 4 sowie eine der dritten Randseite 4 gegenüberliegende vierte Randseite 5 auf, die umlaufend die Umrandungsfläche des Diamantkörpers 1 bilden. Weiterhin weist der Diamantkörper 1 eine in der Darstellung gemäß Fig. 1 sichtbare erste Deckseite 6 und eine der ersten Deckseite 6 gegenüberliegende zweite Deckseite 7 auf, die die Deckflächen des Diamantkörpers 1 bilden.

Der in Fig. 1 dargestellte Diamantkörper 1 verfügt als erste Gruppe von Ausnehmungen über eine Anzahl von sich zwischen den Deckseiten 6, 7 erstreckenden und jeweils zu einer der Randseiten 2, 3, 4, 5 offenen Kurzrandschlitze 8. Die Kurzrand­ schlitze 8 sind länglich ausgebildet und im wesentlichen recht­ winklig zu der Randseite 2, 3, 4, 5 ausgerichtet, zu der sie geöffnet sind.

Als zweite Gruppe von länglichen Ausnehmungen sind in den in Fig. 1 dargestellten Diamantkörper 1 jeweils zueinander parallele erste Innenschlitze 9 eingebracht, von denen aus Gründen der Übersichtlichkeit nur einige mit Bezugszeichen ver­ sehen sind. Weiterhin verfügt der Diamantkörper 1 über rechtwinklig zu den ersten Innenschlitzen 9 ausgerichtete läng­ liche zweite Innenschlitze 10, von denen aus Gründen der Über­ sichtlichkeit nur einige mit den betreffenden Bezugszeichen ver­ sehen sind. Die Innenschlitze 9, 10 erstrecken sich geöffnet zwischen den Deckseiten 6, 7 und sind an ihren den Randseiten 2, 3, 4, 5 zugewandten Enden geschlossen. Die ersten Innen­ schlitze 9 sind gruppenweise fluchtend parallel zu der ersten Randseite 2 sowie der zweiten Randseite 3 ausgerichtet und regelmäßig beabstandet. Jeder zweite Innenschlitz 10 ist zwischen zwei benachbarten ersten Innenschlitzen 9 angeord­ net und verläuft parallel zu der dritten Randseite 4 sowie der vierten Randseite 5 jeweils mit seinen in Längsrichtung benach­ barten zweiten Innenschlitzen 10 fluchtend.

Es ist zweckmäßig, die Innenschlitze 9, 10 so anzuordnen, daß sie regelmäßige Abstände und damit einen hochsymmetrischen Aufbau aufweisen. Die Länge der Randschlitze 8 sowie Innen­ schlitze 9, 10 ist so eingerichtet, daß die jeweilige an ausge­ wählten Stellen mit Bezugszeichen versehene Restmaterial­ stärke 11 zu einer dem jeweiligen Schlitzende benachbarten Innenschlitz 9, 10 kleiner als die Länge der Randschlitze 8 beziehungsweise Innenschlitze 9, 10 ist.

Der in Fig. 1 als Ausführungsbeispiel dargestellte Diamantkörper 1 eignet sich insbesondere zur Verbindung mit punktförmigen Wärmequellen oder Wärmesenken als Bauelemente, die jeweils von zwei Paaren von Innenschlitzen 9, 10 symmetrisch um­ geben sind. Der Diamantkörper 1 ist auch vorteilhafterweise mit Bauelementen verbindbar, die durch eine sich im wesentlichen über die gesamte Fläche des Diamantkörpers 1 erstreckende Platte gebildet ist, die mit punktförmigen, von Innenschlitzen 9, 10 umschlossenen Verbindungen mit dem Diamantkörper 1 verbunden ist und in zwei Betriebszuständen eine erhebliche Temperaturdifferenz von beispielsweise einigen 100 Grad auf­ weist, wobei der Diamantkörper 1 in diesem Fall in erster Linie als elektrischer Isolator eingesetzt ist. Durch das Vorsehen der Innenschlitze 9, 10 und auch der Randschlitze 8 sind die auf­ grund der Temperaturdifferenz bei den beiden Betriebszu­ ständen des Bauelementes in dem Diamantkörper 1 hervor­ gerufenen mechanischen Spannungen soweit kompensiert, daß Deformationen, Beschädigungen oder Brüche des Bauelemen­ tes und/oder des Diamantkörpers 1 vermieden sind.

Fig. 2 zeigt in einer perspektivischen Darstellung ein weiteres Ausführungsbeispiel eines abgeflacht quaderförmigen Diamant­ körpers 12 mit paarweise parallel zueinander ausgerichteten Randseiten 2, 3, 4, 5 und Deckseiten 6, 7. Der in Fig. 2 darge­ stellte Diamantkörper 12 weist als erste Gruppe von länglichen Ausnehmungen erste Langrandschlitze 13 auf, die sich von der ersten Randseite 2 parallel zu der dritten Randseite 4 und vier­ ten Randseite 5 in Richtung der der ersten Randseite 2 gegen­ überliegenden zweiten Randseite 3 erstrecken und zu beiden Deckseiten 6, 7 offen sind. Die zwischen dem der zweiten Randseite 3 zugewandten Ende der ersten Langrandschlitze 13 und der zweiten Randseite 3 verbleibende Restmaterialstärke 14 ist um ein Vielfaches kleiner als die Länge der ersten Lang­ randschlitze 13. Die ersten Langrandschlitze 13 sind regelmäßig beabstandet und parallel zueinander ausgerichtet.

Mittig zwischen zwei benachbarten ersten Langrandschlitzen 13 erstrecken sich ausgehend von der zweiten Randseite 3 in Rich­ tung der ersten Randseite 2 als zweite Gruppe von länglichen Ausnehmungen zu beiden Deckseiten 6, 7 offene zweite Lang­ randschlitze 15, wobei zwischen dem der ersten Randseite 2 zugewandten Ende der zweiten Langrandschlitze 15 ebenfalls eine gegenüber der Länge der zweiten Langrandschlitze 15 um ein Vielfaches kleinere zweite Restmaterialstärke 16 verbleibt. Um dem Diamantkörper 12 an der ersten Randseite 2 und zweiten Randseite 3 unterschiedliche Kompensationseigen­ schaften zu verleihen, ist es zweckmäßig, daß die Langrand­ schlitze 13, 15 jeweils unterschiedlich lang sind, so daß jeweils verschiedene Restmaterialstärken 14, 16 verbleiben.

Der in Fig. 2 dargestellte Diamantkörper 12 läßt sich auch aus einem Stück herausarbeiten und weist eine mäanderförmige Struktur auf, die bei quer zu dem Verlauf der Langrandschlitze 13, 15 aufgebrachten länglichen Wärmequellen oder Wärme­ senken als Bauelemente zu einer besonders wirkungsvollen Kompensation von thermisch induzierten mechanischen Spann­ ungen führt.

Die in Fig. 1 und bis Fig. 2 dargestellten Diamantkörper 1, 12 sind vorzugsweise aus synthetisch hergestellten polykristallinen Diamantscheiben mit einer Dicke von einigen 100 Mikrometern zwischen den Deckseiten 6, 7 und Kantenlängen der Rand­ seiten 2, 3, 4, 5 von bis zu einigen Zentimetern gefertigt. Die Breite der Ausnehmungen 8, 9, 10, 13, 15 liegt im Bereich von einigen zehn Mikrometern, der Abstand zwischen benachbarten Kurzrandschlitzen 8, Innenschlitzen 9, 10 und Langrandschlitzen 13, 15 liegt im Bereich von einigen 100 Mikrometern. Typische Werte für die Restmaterialstärken 11, 14, 16 liegen ebenfalls im Bereich von einigen 100 Mikrometern.

Fig. 3 zeigt in einer Draufsicht einen abgeflacht scheibenförmi­ gen Diamantkörper 22, der eine zylindrische Randseite 23 sowie eine in der Darstellung gemäß Fig. 3 sichtbare erste Deckfläche 24 und eine der ersten Deckfläche 24 gegenüberliegende, parallel zu ihr verlaufende zweite Deckfläche 25 aufweist. Der in Fig. 3 dargestellte Diamantkörper 22 verfügt als erste Gruppe von länglichen Ausnehmungen über auf konzentrisch ineinanderliegenden Kreisumfangslinien angeordnete Ring­ schlitze 26, die sich jeweils abschnittsweise entlang von in dem in Fig. 3 dargestellten Diamantkörper 22 fünf Kreisumfängen erstrecken. Dabei erstrecken sich auf jeweils übernächsten Kreisumfängen angeordnete Ringschlitze 26 in dem gleichen Ringschlitzwinkelsegment, wobei die einzelnen Ringschlitz­ winkelsegmente mit einem gleichen Abstandswinkel vonein­ ander separiert sind.

Weiterhin verfügt der in Fig. 3 dargestellte Diamantkörper 22 als zweite Gruppe von länglichen Ausnehmungen über eine Anzahl von radial verlaufenden, jeweils zwischen benachbarten Ring­ schlitzen 26 angeordnete Radialschlitze 27, die mittig auf den konzentrisch ineinander angeordneten Kreisumfangslinien, entlang denen sich die Ringschlitze 26 erstrecken, angeordnet sind, wobei die auf der Kreisumfangslinie mit dem größten Durchmesser angeordneten Radialschlitze 27 zu der Randseite 23 offen sind.

Der in Fig. 3 dargestellte Diamantkörper 22 ist insbesondere als Wärmespreizer zur Verwendung mit einer mittig angeordneten Wärmequelle oder Wärmesenke als Bauelement und einem mit der Randseite 23 angebrachten Metallring zur Wärmeabfuhr be­ ziehungsweise Wärmezufuhr vorgesehen.

Fig. 4 zeigt in einer perspektivischen Darstellung den Diamant­ körper 1 gemäß Fig. 1 bei einer Verwendung mit periodisch angeordneten, mittig zwischen den Innenschlitzen 9, 10 beziehungsweise den Randseiten 2, 3, 4, 5 sowie Kurzrandschlitzen 8 positionierten Wärmequellen 28 als Bauelemente mit lokal gegenüber der Umgebung erhöhten Temperaturen. Die Wärme­ quellen 28 sind beispielsweise oberflächenemittierende Laser­ arrays, wobei deren elektrische Kontaktierung aus Gründen der Übersichtlichkeit in Fig. 4 nicht dargestellt ist. Die Wärmequellen 28 sind an ihren dem Diamantkörper 1 gegenüberliegenden Seiten mit einer sich über die Wärmequellen 28 erstreckenden Abdeckung 29 versehen, die zusammen eine Baueinheit mit einem von Diamant verschiedenen Wärmeausdehnungskoeffi­ zienten bilden.

Die aufgrund der Temperaturdifferenzen entlang der Verbindung zwischen zwei benachbarten Wärmequellen 28 bei Aufbringen der durch die Wärmequellen 28 und die Abdeckung 29 ge­ bildeten Baueinheit auf den Diamantkörper 1 durch Wärme­ beaufschlagen beispielsweise beim Löten auftretenden thermisch induzierten mechanischen Spannungen sind durch die zwischenliegenden Innenschlitze 9, 10 sowie Kurzrandschlitze 8, die sich zum Teil rechtwinklig, zum Teil unter 45 Grad zwischen benachbarten Wärmequellen 28 erstrecken, bei Ver­ ringern der Gefahr von Beschädigungen weitgehend kompen­ siert, wobei die Innenschlitze 9, 10 aufgrund ihrer im wesent­ lichen schräg verlaufenden Ausrichtung zu den von den Wärme­ quellen 28 radial wegweisend verlaufenden Wärmeflußrich­ tungen ausgerichtet sind, so daß eine verhältnismäßig gute Wärmeabfuhr zu einem in Fig. 4 nicht dargestellten, auf der den Wärmequellen 28 gegenüberliegenden Seite des Diamant­ körpers 1 angebrachten Wärmeableitelement sichergestellt ist.

Fig. 5 zeigt in einer perspektivischen Darstellung den Diamant­ körper 12 gemäß Fig. 2, auf den an die zweite Randseite 3 angrenzend ein Laserdiodenbarren 30 durch beispielsweise Hart­ löten bei einer relativ hohen Temperatur aufgebracht ist. Auf­ grund der sich rechtwinklig zu der zweiten Randseite 3 er­ streckenden Langrandschlitze 13, 15 mit der sich daraus erge­ benden mäanderförmigen Struktur sind mechanische Span­ nungen aufgrund der unterschiedlichen Wärmeausdehnungs­ koeffizienten des Halbleitermateriales des Laserdiodenbarrens 30 und des Diamantkörpers 12 bei dem Ausführen der mecha­ nischen Verbindung ausgleichbar, so daß die Gefahr von Be­ schädigungen des Laserdiodenbarrens 30 erheblich verringert ist.

Die Abstände zwischen optisch aktiven Bereichen des Laserdio­ denbarrens 30, aus denen mit durch Pfeile dargestellte Laser­ strahlung 31 emittierbar ist, sowie zwischen den zu der zweiten Randseite 3 offenen zweiten Langrandschlitzen 15 sowie den zwischenliegenden ersten Langrandschlitzen 13 sind zur effekti­ ven Wärmespreizung der durch die optisch aktiven Bereiche als Wärmequellen erzeugten Verlustleistung so aufeinander abge­ stimmt, daß jeder optisch aktive Bereich auf sich zwischen zwei Langrandschlitzen 13, 15 erstreckenden Abschnitten des Diamantkörpers 12 angeordnet ist.

Auf der dem Laserdiodenbarren 30 gegenüberliegenden Deck­ seite 7 des Diamantkörpers 12 ist ein Mikrokanalkühler 32 angebracht. Parallel zueinander ausgerichtete Zuflußleitungen 33 mit zu der zweiten Deckseite 7 des Diamantkörpers 12 offenen Mikrokanälen 34 sowie sich an die Zuflußleitungen 33 anschließende Abflußleitungen 35 sind parallel zu den Langrandschlitzen 13, 15 ausgerichtet. Dadurch ergibt sich ein Wärmefluß bei Betrieb des Laserdiodenbarrens 30 im wesent­ lichen parallel zu den Langrandschlitzen 13, 15, während mechanische Spannungen quer dazu auftreten, so daß zum einen eine effektive Wärmespreizung, zum anderen eine wirksame Kompensation der mechanischen Spannungen erfolgt.

Claims (13)

1. Diamantkörper zur Verbindung mit wenigstens einem Bauelement, der über zwei Deckseiten (6, 7, 24, 25) verfügt, in die Ausnehmungen eingebracht sind, da­ durch gekennzeichnet, daß als Ausnehmungen eine Anzahl von zu den Deckseiten (6, 7, 24, 25) offenen, länglichen Schlitzen (8, 9, 10, 13, 15, 26, 27) eingebracht ist, die sich winklig zu aus der Verbindung mit dem oder jedem Bauelement thermisch induzierten mechanischen Spannungen erstrecken.

2. Diamantkörper nach Anspruch 1, dadurch gekennzeich­ net, daß eine Anzahl von Ausnehmungen (8, 9, 10, 13, 15, 26, 27) sich schräg zu einer durch wenigstens eine Wärmequelle (28, 30) und/oder wenigstens eine Wär­ mesenke induzierten Wärmeflußrichtung erstreckend angeordnet ist.

3. Diamantkörper nach Anspruch 1, dadurch gekennzeich­ net, daß eine Anzahl von Ausnehmungen (8, 9, 10, 13, 15, 26, 27) sich im wesentlichen parallel zu einer durch die oder jede Wärmequelle (28, 30) und/oder die oder jede Wärmesenke induzierten Wärmeflußrichtung er­ streckend angeordnet ist.

4. Diamantkörper nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß eine Anzahl von Ausnehmungen (8, 9, 10, 13, 15, 26, 27) in bezug auf die oder jede Wär­ mequelle (28, 30) und/oder die oder jede Wärmesenke so ausgerichtet ist, daß die Ausrichtwinkel zu den mechanischen Spannungen größer als die Ausrichtwinkel zu Wärmeflußrichtungen sind.

5. Diamantkörper nach einem der Ansprüche 1 bis 4, da­ durch gekennzeichnet, daß eine Anzahl von Ausneh­ mungen (8, 9, 10, 13, 15, 26, 27) sich im wesentlichen rechtwinklig zu mechanischen Spannungen erstreckend angeordnet ist.

6. Diamantkörper nach einem der Ansprüche 1 bis 5, da­ durch gekennzeichnet, daß eine Anzahl von parallel zueinander verlaufenden Ausnehmungen (8, 9, 10, 13, 15) vorgesehen ist.

7. Diamantkörper nach einem der Ansprüche 1 bis 6, da­ durch gekennzeichnet, daß eine Anzahl von rechtwinklig zueinander ausgerichteten Ausnehmungen (8, 9; 8, 10; 9, 10) vorgesehen ist.

8. Diamantkörper nach Anspruch 6 und Anspruch 7, da­ durch gekennzeichnet, daß in zwei zueinander recht­ winkligen Richtungen Ausnehmungen (9, 10) mit alter­ nierenden Ausrichtungen aufeinanderfolgen.

9. Diamantkörper nach einem der Ansprüche 1 bis 6, da­ durch gekennzeichnet, daß eine Anzahl auf wenigstens einer Umfangslinie angeordneten Ausnehmungen (26, 27) vorgesehen ist.

10. Diamantkörper nach Anspruch 9, dadurch gekennzeich­ net, daß eine Anzahl von Ausnehmungen (27) sich quer zu der oder jeder Umfangslinie erstreckend angeordnet ist.

11. Diamantkörper nach Anspruch 9 oder Anspruch 10, da­ durch gekennzeichnet, daß eine Anzahl von Ausneh­ mungen (26) sich längs zu der oder jeder Umfangslinie erstreckend angeordnet ist.

12. Diamantkörper nach einem der Ansprüche 1 bis 11, da­ durch gekennzeichnet, daß eine Anzahl von Ausneh­ mungen randseitig geschlossene, innenliegende Schlitze (9, 10, 26, 27) sind.

13. Diamantkörper nach einem der Ansprüche 1 bis 11, da­ durch gekennzeichnet, daß eine Anzahl von Schlitzen (8, 13, 15) zu einer Randseite (2, 3) offen sind, wobei die je­ weilige Restmaterialstärke (11, 14, 16) an der geschlos­ senen Randseite (2, 3) kleiner als die Tiefe jedes Schlitzes (8, 13, 15) ist.