DE19647876A1 - Sensor zur Messung von mechanischen Kräften - Google Patents

Sensor zur Messung von mechanischen Kräften

Info

Publication number
DE19647876A1
DE19647876A1 DE1996147876 DE19647876A DE19647876A1 DE 19647876 A1 DE19647876 A1 DE 19647876A1 DE 1996147876 DE1996147876 DE 1996147876 DE 19647876 A DE19647876 A DE 19647876A DE 19647876 A1 DE19647876 A1 DE 19647876A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
sensor
electrodes
sensor according
force
conductive
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
DE1996147876
Other languages
English (en)
Inventor
Karsten Weis
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Individual
Original Assignee
Individual
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Individual filed Critical Individual
Priority to DE1996147876 priority Critical patent/DE19647876A1/de
Publication of DE19647876A1 publication Critical patent/DE19647876A1/de
Priority to DE19750671A priority patent/DE19750671C2/de
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25JMANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J13/00Controls for manipulators
    • B25J13/08Controls for manipulators by means of sensing devices, e.g. viewing or touching devices
    • B25J13/085Force or torque sensors
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25JMANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J13/00Controls for manipulators
    • B25J13/08Controls for manipulators by means of sensing devices, e.g. viewing or touching devices
    • B25J13/081Touching devices, e.g. pressure-sensitive
    • B25J13/084Tactile sensors
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L1/00Measuring force or stress, in general
    • G01L1/20Measuring force or stress, in general by measuring variations in ohmic resistance of solid materials or of electrically-conductive fluids; by making use of electrokinetic cells, i.e. liquid-containing cells wherein an electrical potential is produced or varied upon the application of stress
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L1/00Measuring force or stress, in general
    • G01L1/20Measuring force or stress, in general by measuring variations in ohmic resistance of solid materials or of electrically-conductive fluids; by making use of electrokinetic cells, i.e. liquid-containing cells wherein an electrical potential is produced or varied upon the application of stress
    • G01L1/205Measuring force or stress, in general by measuring variations in ohmic resistance of solid materials or of electrically-conductive fluids; by making use of electrokinetic cells, i.e. liquid-containing cells wherein an electrical potential is produced or varied upon the application of stress using distributed sensing elements
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L5/00Apparatus for, or methods of, measuring force, work, mechanical power, or torque, specially adapted for specific purposes
    • G01L5/22Apparatus for, or methods of, measuring force, work, mechanical power, or torque, specially adapted for specific purposes for measuring the force applied to control members, e.g. control members of vehicles, triggers
    • G01L5/226Apparatus for, or methods of, measuring force, work, mechanical power, or torque, specially adapted for specific purposes for measuring the force applied to control members, e.g. control members of vehicles, triggers to manipulators, e.g. the force due to gripping
    • G01L5/228Apparatus for, or methods of, measuring force, work, mechanical power, or torque, specially adapted for specific purposes for measuring the force applied to control members, e.g. control members of vehicles, triggers to manipulators, e.g. the force due to gripping using tactile array force sensors

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Human Computer Interaction (AREA)
  • Robotics (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Force Measurement Appropriate To Specific Purposes (AREA)

Description

Die Erfindung betrifft einen Meßwertaufnehmer zur Messung von mechanischen Kräften.
Zur Messung von Druckkräften sind Meßwertaufnehmer bekannt, die aus einer piezoelektrischen Keramik bestehen, in der sich unter Krafteinwirkung Ladungen verschieben. Diese Ladungsverschiebung stellt ein Maß für die ausgeübte Kraft auf den Aufnehmer dar. Zur Messung von Dehnungen als Folge von Krafteinwirkungen werden "Dehnungsmeßstreifen" verwendet. Hierbei handelt es sich um Kunststoff-Folien, auf die sehr dünne Leiterbahnen aufgebracht sind, welche unter Dehnung ihren Widerstand ändern. Zur Messung von Gas- und Flüssigkeitsdrücken werden vorwiegend Sensoren auf Silizium- Basis verwendet. Hierbei wird eine Silizium-Membran verformt, welche dadurch ihren Widerstand ändert.
Die obengenannten Sensoren haben den Nachteil, daß sie sehr empfindlich gegenüber Meßbereichs-Überschreitungen reagieren. So können Piezokeramiken zertrümmert, Dehnungsmeßstreifen zerrissen und Siliziummembranen durchbrochen werden, was komplizierte Schutzmechanismen für das Sensormaterial nötig macht.
Vor allem ist die Herstellung von Drucksensoren auf Silizium-Basis, welche in Reinräumen hoher Güteklasse erfolgen muß, sehr aufwendig. Dies macht die Sensoren relativ teuer. Meist benötigen die obengenannten Aufnehmer eine komplizierte und teure Auswertungs- Elektronik, was die Sensoren für low-cost-Anwendungen uninteressant macht. Zum Beispiel werden für Dehnungsmeßstreifen hochempfindliche Verstärker benötigt, um diese sehr niederohmigen Sensoren auszuwerten.
Aufgabe der Erfindung ist es, einen einfach aufgebauten, robusten Meßwert-Aufnehmer vorzuschlagen, welcher eine kostengünstige Messung von Kräften für eine Vielzahl von Anwendungen ermöglicht.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch einen Meßwert-Aufnehmer mit den Merkmalen der Ansprüche 1 bis 4 gelöst.
Die Erfindung ermöglicht es, Kräfte ohne aufwendige Schutzmechanismen zu messen, da das Sensormaterial durch Meßbereichsüberschreitungen nicht zerstört werden kann.
Die Herstellung der erfindungsgemäßen Sensoren ist sehr einfach und kostengünstig. Als Ausgangsmaterial wurden leitfähige, aufgeschäumte Polymere verwendet, wie sie beispielsweise bei der Verpackung von elektronischen Bauteilen Anwendung finden. Dank ihrer Robustheit können die Kraftsensoren auch als Endschalter in Maschinen eingesetzt werden, da sie wesentlich stabiler als normale Mikroschalter sind und zusätzlich aufgrund ihres analogen Ausgangssignals eine variable Schaltschwelle ermöglichen.
Die Kraftsensoren können als ein- sowie als zweidimensionale Sensorarrays angeordnet werden. Dadurch ist es unter anderem möglich, die Lage von Körpern zu erfassen. Mit einem solchen Sensorarray kann eine flächenbezogene Kraft auf einen Körper gemessen werden, was vor allem für Fühler in Robotergreifern, die die wirkende Kraft auf das zu greifende Objekt messen, von Bedeutung ist.
Auch als Stoßstangen für mobile Servicefahrzeuge wie z. B. Reinigungsroboter sind diese Sensorarrays geeignet, da sie im Gegensatz zu gewöhnlichen Bumpern ortsauflösend sind und somit die Anstoßpunkte genau lokalisiert werden können. Nebenbei wirkt das Sensormaterial bei einer entsprechenden Schichtdicke auch noch als Knautschzone.
Nachfolgend werden einige mögliche Ausgestaltungen erfindungsgemäßer Sensoren näher beschrieben.
Fig. 2 zeigt ein analoges Eingabegerät für Sollgrößen. Es besteht erfindungsgemäß aus zwei oder mehreren Kraftsensoren nach Anspruch 4. Diese Kraftsensoren, im folgenden "Taste" genannt, sind mit einer Gummiabdeckung (4) geschützt und unter einem LC-Display (5) angeordnet. Dieses LC-Display zeigt die momentane Funktion (6) der Taste an (Softkey- Prinzip), sowie den momentanen Wert der Sollgröße (7), welcher mittels eines Balkens dargestellt wird. Drückt der Benutzer nun die Taste, so wird die Sollgröße je nach gemessener Kraft schneller oder langsamer vergrößert bzw. verkleinert. Anstatt einzelner Kraftsensoren kann auch ein eindimensionales Sensorarray nach Anspruch 5 eingesetzt werden.
Fig. 3 zeigt eine Ausführung als ortsauflösender Stoßstangen-Sensor für mobile Serviceroboter. Er besteht erfindungsgemäß aus einem eindimensionalen Sensorarray nach Anspruch 4. Dieses Sensorarray (8) wird rings um das Fahrzeug (9) herum angebracht. Stößt nun der Roboter an ein Hindernis (10), so kann vom angeschlossenen Computer (11) die Position des Hindernisses berechnet werden. Je nach Schubkraft des Roboters sollte die Dicke des Sensormaterials so gewählt werden, daß es eine ausreichende Knautschzone darstellt. Die Elektroden, welche auf den Kunststoff aufgebracht werden, können auch aus leitfähigen Elastomeren oder aus einer metallisierten Folie bestehen, wodurch eine elastische sowie drucksensitive "Haut" entsteht, mit der auch unebene Flächen an Fahrzeugen geschützt werden können (vgl. Anspruch 6f).
Fig. 4 zeigt einen Kraftsensor für Robotergreifer. Es handelt sich hierbei erfindungsgemäß um ein miniaturisiertes Sensorarray nach Anspruch 4, welches dazu dient, die Kraft, welche auf das Objekt im Robotergreifer wirkt, zu messen, sowie die Kontur und die Position des Gegenstandes zu erfassen. In Fig. 3 ist der grundsätzliche Aufbau eines solchen Sensors dargestellt. Das Polymer (12) wird auf eine Epoxidplatine (13) mit geätzten und vergoldeten Elektroden (14) an den Rändern aufgeklebt (15). Die Elektroden sind mit einem Analogmultiplexer (16) auf der Rückseite der Epoxidplatine verbunden. Dieser Analogmultiplexer ist über ein Kabel mit einer Auswertungselektronik, bestehend aus AD- Wandler und Microcontroller, verbunden, welche das Sensorsignal linearisiert und in ein geeignetes Ausgabeformat bringt. Um ein nachträgliches Einkleben des Sensors in einen vorhandenen Greifer zu ermöglichen, wurde ein U-förmiges Epoxid-Stück (17) vorgesehen, welches höher als der verwendete Analogmultiplexer-IC ist und diesen vor mechanischer Beschädigung schützt sowie als Montagefläche des Sensors fungiert.
Fig. 5 zeigt eine Ausführung als Endschalter mit variabler Auslöseschwelle. Dieser besteht erfindungsgemäß aus einem Kraftsensor (18) nach Anspruch 3, der auf einer Halterung (19) montiert und durch eine Gummihaube (20) geschützt ist. Der Ausgang des Kraftsensors führt auf einen Schmitt-Trigger mit einstellbarer Triggerschwelle (21), der ein digitales Ausgangssignal zur Verfügung stellt.
Fig. 6 zeigt eine Ausführung als zweidimensionales Array zur Lage- und Konturenerfassung von Werkstücken. Dieser Sensor entspricht erfindungsgemäß einem Kraftsensorarray nach Anspruch 4, welcher zur Lageerkennung aber auch zur Prüfung von Werkstücken in der Produktion mit einer Apparatur wie z. B. einem Roboterarm auf das Probestück gedrückt werden kann, um dessen Kontur aufzunehmen. Die erhaltenen Daten können ähnlich wie Kamerabilder mit einem Bildanalyse-System weiterverarbeitet werden. Das Sensorarray besteht im wesentlichen aus der Polymer-Schicht (24) sowie einer Grundplatte (22) aus Epoxid, auf welcher die vergoldeten Sensorelektroden (23) aufgebracht sind, welche über Durchkontaktierungen mit der sich auf der Rückseite befindenden, als Signalmultiplexer geschalteten Transistormatrix verbunden sind.

Claims (7)

1. Sensor zur Messung von mechanischen Kräften, dadurch gekennzeichnet, daß als Ausgangssignal die Änderung der elektrischen Eigenschaften von leitfähigen bzw. leitfähig gemachten Polymeren unter Krafteinwirkung verwendet wird.
2. Sensor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß als Sensormaterial ein mit Ruß oder Graphitpulver angereichertes aufgeschäumtes Elastomer benutzt wird, das seinen elektrischen Widerstand unter Krafteinwirkung ändert.
3. Sensor nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß zur Messung der Widerstandsänderung dünne, nicht oxidierende Metallstreifen auf der Rückseite des Sensormaterials angeordnet sind.
4. Sensor nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß als Elektrodenfläche (1) eine Epoxidplatine (2) mit geätzten Elektroden verwendet wird, auf welche wegen der besseren Kontakteigenschaften eine nichtoxidierende Metallschicht (z. B. Gold) aufgebracht (z. B. aufgalvanisiert) wird (Fig. 1).
5. Sensor nach einem der vorigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß mehrere Sensorzellen zu ein- oder zweidimensionalen Arrays verbunden sind.
6. Sensor nach Anspruch 1, 2, 3 oder 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Elektroden (z. B. aus Aluminium) auf eine Folie aufgebracht (z. B. aufgedampft) werden.
7. Sensorarray nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Elektroden aus leitfähigen Elastomeren bestehen.
DE1996147876 1996-11-19 1996-11-19 Sensor zur Messung von mechanischen Kräften Withdrawn DE19647876A1 (de)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE1996147876 DE19647876A1 (de) 1996-11-19 1996-11-19 Sensor zur Messung von mechanischen Kräften
DE19750671A DE19750671C2 (de) 1996-11-19 1997-11-15 Sensor zur Messung von mechanischen Kräften

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE1996147876 DE19647876A1 (de) 1996-11-19 1996-11-19 Sensor zur Messung von mechanischen Kräften

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE19647876A1 true DE19647876A1 (de) 1997-04-17

Family

ID=7812145

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE1996147876 Withdrawn DE19647876A1 (de) 1996-11-19 1996-11-19 Sensor zur Messung von mechanischen Kräften
DE19750671A Expired - Fee Related DE19750671C2 (de) 1996-11-19 1997-11-15 Sensor zur Messung von mechanischen Kräften

Family Applications After (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19750671A Expired - Fee Related DE19750671C2 (de) 1996-11-19 1997-11-15 Sensor zur Messung von mechanischen Kräften

Country Status (1)

Country Link
DE (2) DE19647876A1 (de)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19802887A1 (de) * 1998-01-27 1999-07-29 Karsten Weis Verfahren und Vorrichtung zur Erfassung der Melkbewegung einer Melkmaschine
US6073497A (en) * 1997-08-05 2000-06-13 Micron Technology, Inc. High resolution pressure sensing device having an insulating flexible matrix loaded with filler particles
FR2820819A1 (fr) * 2001-02-14 2002-08-16 Cera Dispositif de detection de l'enfoncement d'une surface et ses utilisations
US6501463B1 (en) 1999-12-10 2002-12-31 Siemens Technology -To-Business Center Llc Electronic whiteboard system using a tactile foam sensor
US6888537B2 (en) 2002-02-13 2005-05-03 Siemens Technology-To-Business Center, Llc Configurable industrial input devices that use electrically conductive elastomer

Families Citing this family (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19954005A1 (de) * 1999-11-10 2001-06-07 Volkmar Jansson System zur Steuerung von Operationsrobotern
WO2001061634A2 (en) * 2000-02-15 2001-08-23 Siemens Technology-To-Business Center, Llc Tactile sensor
DE10029347A1 (de) * 2000-06-15 2002-01-03 Univ Bayreuth Sensorfolie
DE10107832A1 (de) * 2001-02-16 2002-09-05 Norbert Notz Druckmesskissen
US7304566B2 (en) 2003-11-19 2007-12-04 Honda Motor Co., Ltd. Collision detection sensor for vehicle and collision detection device for vehicle
DE102006006465A1 (de) * 2006-02-10 2007-08-16 Miele & Cie. Kg Vorrichtung zur Hinderniserkennung
NL1033372C2 (nl) 2007-02-12 2008-08-13 Hendrikus Petronella Jo Zanden Systeem, werkwijze en aangrijpelement voor het geven van tactiele terugkoppeling.
DE102007022871A1 (de) * 2007-05-14 2008-11-20 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Taktilsensor mit entkoppelten Sensorzellen
JP5257896B2 (ja) * 2009-05-22 2013-08-07 国立大学法人電気通信大学 滑り検出装置及び方法
DE102009054295A1 (de) 2009-11-23 2011-07-21 SciKnowTec GmbH, 76229 Verfahren zur Erfassung dreidimensionaler Oberflächen
DE102011088489A1 (de) 2011-12-14 2013-06-20 Robert Bosch Gmbh Signalgebervorrichtung, Akustiksignalvorrichtung für ein Fahrzeug und Verfahren zum Erfassen einer Betätigungskraft
US9757862B2 (en) 2014-10-16 2017-09-12 Technische Universität München Tactile sensor
GB201511042D0 (en) 2015-06-23 2015-08-05 Royal College Of Art And Kong Ming Sensor device and method
DE102016108966B4 (de) 2016-05-13 2017-11-30 Technische Universität München Visuell-haptischer Sensor für 6D-Kraft/Drehmoment
GB201816785D0 (en) 2018-10-15 2018-11-28 Tangi0 Ltd Sensor device and method
WO2021254249A1 (en) * 2020-06-18 2021-12-23 Basf Se Piezoresistive pressure sensor based on foam structure
CN112461414B (zh) * 2020-11-18 2022-01-28 南京邮电大学 一种导电泡沫电极结合柔性应变片的传感器及制备方法

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2514170B2 (de) * 1975-04-01 1977-12-08 Widmann & Co, 7253 Renningen Druckabhaengiger elektrischer widerstandsgeber
DE2854080A1 (de) * 1977-12-15 1979-06-28 Shinetsu Polymer Co Druckempfindliches widerstandselement
DE3011266A1 (de) * 1980-03-24 1981-10-01 Battelle-Institut E.V., 6000 Frankfurt Druckmessaufnehmer fuer flaechenhafte druckverteilungen
EP0140064A1 (de) * 1983-09-15 1985-05-08 Robert Bosch Gmbh Kraft- bzw. Druckmessgeber

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
HUT41537A (en) * 1987-04-27 1987-04-28 Epitoeipari Szallitasi Vallala Sensor for trasforming pressure and/or deformation into electric signal
DE29512711U1 (de) * 1995-07-27 1995-10-19 T & T Medilogic Medizintechnik Meßsystem zur statischen und dynamischen Druckverteilungsmessung an der Fußsohle des Menschen

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2514170B2 (de) * 1975-04-01 1977-12-08 Widmann & Co, 7253 Renningen Druckabhaengiger elektrischer widerstandsgeber
DE2854080A1 (de) * 1977-12-15 1979-06-28 Shinetsu Polymer Co Druckempfindliches widerstandselement
DE3011266A1 (de) * 1980-03-24 1981-10-01 Battelle-Institut E.V., 6000 Frankfurt Druckmessaufnehmer fuer flaechenhafte druckverteilungen
EP0140064A1 (de) * 1983-09-15 1985-05-08 Robert Bosch Gmbh Kraft- bzw. Druckmessgeber

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Superflach: Drucksensor aus Gummi. In: Markt & Technik, Nr. 37, 14.Sept.1979, S.84,85 *

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6073497A (en) * 1997-08-05 2000-06-13 Micron Technology, Inc. High resolution pressure sensing device having an insulating flexible matrix loaded with filler particles
US6539815B1 (en) 1997-08-05 2003-04-01 Micron Technology, Inc. High resolution pressure-sensing device having an insulating flexible matrix loaded with filler particles
US6561044B1 (en) 1997-08-05 2003-05-13 Micron Technology, Inc. High resolution pressure-sensing device having an insulating flexible matrix loaded with filler particles
US6820502B2 (en) 1997-08-05 2004-11-23 Micron Technology, Inc. High resolution pressure-sensing device having an insulating flexible matrix loaded with filler particles
DE19802887A1 (de) * 1998-01-27 1999-07-29 Karsten Weis Verfahren und Vorrichtung zur Erfassung der Melkbewegung einer Melkmaschine
WO1999037140A1 (de) 1998-01-27 1999-07-29 Karsten Weiss Verfahren und vorrichtung zur erfassung einer bewegung einer zitzenaufnahme eines melkbechers während eines melkvorgangs
US6501463B1 (en) 1999-12-10 2002-12-31 Siemens Technology -To-Business Center Llc Electronic whiteboard system using a tactile foam sensor
US6529122B1 (en) 1999-12-10 2003-03-04 Siemens Technology-To-Business Center, Llc Tactile sensor apparatus and methods
FR2820819A1 (fr) * 2001-02-14 2002-08-16 Cera Dispositif de detection de l'enfoncement d'une surface et ses utilisations
US6888537B2 (en) 2002-02-13 2005-05-03 Siemens Technology-To-Business Center, Llc Configurable industrial input devices that use electrically conductive elastomer

Also Published As

Publication number Publication date
DE19750671C2 (de) 2002-06-27
DE19750671A1 (de) 1998-06-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE19647876A1 (de) Sensor zur Messung von mechanischen Kräften
Chortos et al. Skin-inspired electronic devices
Castelli An integrated tactile-thermal robot sensor with capacitive tactile array
Cheng et al. Tactile and shear stress sensing array using capacitive mechanisms with floating electrodes
EP0598301A2 (de) Dreidimensionaler Drucksensor
Takao et al. Monolithic silicon smart tactile image sensor with integrated strain sensor array on pneumatically swollen single-diaphragm structure
Chuang et al. Flexible tactile sensor for the grasping control of robot fingers
DE102007020131A1 (de) Taktiler Flächensensor
JP2006226858A (ja) 変動荷重センサ及びこれを用いた触覚センサ
Russell Compliant-skin tactile sensor
CN107340082A (zh) 一种软性薄膜压力传感器
CN109196320B (zh) 具有带裂缝的透明导电薄膜的高灵敏度传感器及其制造方法
CN101226089B (zh) 柔性单点力片式传感器及制造方法
Wang et al. A highly sensitive capacitive pressure sensor with microdome structure for robot tactile detection
Regtien Tactile imaging
Kisić et al. Capacitive force sensor fabricated in additive technology
EP1142118A1 (de) Tastsensor
Tao et al. Design and performance testing of a dielectric elastomer strain sensor
Ma et al. Tunneling piezoresistive tactile sensing array fabricated by a novel fabrication process with membrane filters
KR102256241B1 (ko) 전단 및 수직 응력 감지 센서 및 이의 제조 방법
Nakashima et al. Multi-axial tactile sensor using standing LIG cantilevers on polyimide film
GB2580928A (en) A stretchable bidirectional capacitive pressure sensor and method of use
Tandon et al. Review of transduction techniques for tactile sensors and a comparative analysis of commercial sensors
Udayanga et al. Development of a quantum tunneling composite based 1-DOF tactile sensor
DE102018100716B3 (de) Druckmessgerät

Legal Events

Date Code Title Description
OAV Applicant agreed to the publication of the unexamined application as to paragraph 31 lit. 2 z1
OR8 Request for search as to paragraph 43 lit. 1 sentence 1 patent law
8122 Nonbinding interest in granting licenses declared
8105 Search report available
8143 Withdrawn due to claiming internal priority