DE19643521A1 - Linearantrieb in Modulbauweise und Verfahren zur Herstellung einer Aktiveinheit eines solchen Linearantriebs - Google Patents
Linearantrieb in Modulbauweise und Verfahren zur Herstellung einer Aktiveinheit eines solchen LinearantriebsInfo
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Description
Die Erfindung betrifft einen Linearantrieb in Modulbauweise
mit einer Passiveinheit mit magnetisierbaren oder magneti
schen Bereichen, einer Führungseinheit, einer Ansteuerein
heit, die einen elektrischen Speisestrom bereitstellt, und
einer Aktiveinheit.
Weiterhin betrifft die Erfindung ein Verfahren zur Herstel
lung einer Aktiveinheit eines derartigen Linearantriebs.
In letzter Zeit kommen insbesondere in der Feinmechanik und
Gerätetechnik immer häufiger Linearantriebe zum Einsatz,
deren wesentlicher Vorteil in der Integration mehrerer für
Antriebe erforderlicher Funktionen in wenigen Baueinheiten
besteht. Derartige Linearantriebe besitzen, so wie andere
Motoren, die nach dem elektromagnetischen Prinzip arbeiten,
eine Aktiveinheit und eine Passiveinheit. Die Krafterzeugung
wird durch das Zusammenwirken dieser beiden Einheiten
erreicht, wobei sowohl die Aktiveinheit als auch die Passiv
einheit das sich gegenüber der jeweils anderen Einheit bewe
gende Motorteil sein kann. Bei geeigneter konstruktiver Ge
staltung, wie sie häufig bei Linearantrieben anzutreffen ist,
übernehmen die Krafterzeugungselemente gleichzeitig die Funk
tion der Führung der sich bewegenden Teile und stellen zudem
das Gestellsystem für beliebige Anwendungen dar.
Ein derartiger Linearantrieb ist in der deutschen Offenle
gungsschrift DE 32 08 380 A1 beschrieben. Hier handelt es
sich um einen bürstenlosen Gleichstromlinearmotor, bei wel
chem in der Aktiveinheit Permanentmagneten und Elektromag
neten zur Erzeugung eines steuerbaren Magnetflusses kombi
niert sind, während die Passiveinheit aus einem mit Polzähnen
versehenen Weicheisenstreifen besteht.
In der amerikanischen Patentschrift US 4 563 602 ist ein
Linearmotor beschrieben, der unter anderem eine sehr einfach
aufgebaute Passiveinheit angibt und sowohl als Einphasensyn
chronmaschine als auch als Mehrphasensynchronmaschine ausge
staltet sein kann. Ebenso ist aus diesem Dokument die Mög
lichkeit einer Luftlagerung zwischen Aktiv- und Passiveinheit
vorbekannt.
Aus dem Stand der Technik ist auch bekannt, daß Linearmotoren
nicht nur zur Erzeugung geradliniger Bewegungen in einer
Richtung eingesetzt werden können. Beispielhaft wird hier die
europäische Patentanmeldung EP 0 237 639 A1 angeführt, die
eine Verwendung des Direktantriebs in einem zylinderförmig
aufgebauten Motor angibt. Damit lassen sich beispielsweise
Bewegungen in Richtung der z-Achse realisieren.
In der Zeitschrift "Antriebstechnik" 33 (1994) Nr. 7, S. 68
ist bereits ein Präzisionsdirektantrieb des Anmelders
beschrieben. Dort ist das Funktionsprinzip eines permanent
magneterregten Zweiphasen-Reluktanzschrittmotors in Hybrid
technik gezeigt. Der Inhalt dieses Dokuments wird bezüglich
der Funktionsweise von Direktantrieben in die Offenbarung
einbezogen, um Wiederholungen zu vermeiden.
In einer vorangegangenen Patentanmeldung des Anmelders, die
veröffentlicht ist als DE 44 36 865 A1, wird ein modularer
Planarläufer angegeben, der aus mehreren Modulbausteinen auf
gebaut ist. Der Inhalt dieser Schrift wird ebenfalls in die
Offenbarung einbezogen, soweit der Aufbau und die Funktions
weise der hier nicht näher beschriebenen Antriebsmodule
betroffen ist. Der gezeigte Planarläufer ermöglicht zwar eine
Bewegung in x- und in y-Richtung, jedoch sind nur relativ
geringe Kräfte erzielbar, da der verwendete Stator eine
kreuzweise Strukturierung besitzt, wodurch die aufbaubaren
Magnetfelder zwangsläufig eine geringere Magnetflußdichte
besitzen. Es hat sich gezeigt, daß die beschriebene Befesti
gung der Antriebsmodule in einer Trageplatte mit einem
Epoxidharz insbesondere bei größeren Einheiten erhebliche
Nachteile mit sich bringt, die aus der Steifigkeit des Kle
bers resultieren.
In einer Patentanmeldung des Anmelders vom 22.10.1996 mit dem
Titel "Linearantrieb und Verfahren zur Herstellung einer Pas
siveinheit eines Linearantriebs, sowie Vorrichtung zur Durch
führung des Verfahrens" ist ein Direktantrieb mit einem
besonders ausgestalteten Leichtbaustator beschrieben, wobei
auf das Prinzip des Direktantriebs eingegangen wird. Soweit
der Antrieb als solches betroffen ist, wird dieses Dokument
in die Offenbarung einbezogen, um detaillierte Ausführungen
über den Aufbau eines Direktantriebs an dieser Stelle nicht
wiederholen zu müssen.
Bekannte Linearantriebe können nur relativ geringe Antriebs
kräfte erzeugen. Sofern höhere Antriebskräfte erwünscht sind,
muß die verwendete Aktiveinheit größer ausgelegt werden. Dies
führt zu erhöhten Fertigungstoleranzen, was Fehler bei der
Erstellung der erforderlichen feinen Strukturierungen in der
Aktiveinheit zur Folge hat. Damit kann der Antrieb aber keine
hochgenauen und gleichförmigen Bewegungen mehr ausführen. Mit
wachsender Größe der Aktiveinheiten steigt somit auch das
Risiko von Fehlern und Ausfällen.
Die Kosten zur Herstellung leistungsstarker Linearantriebe
sind immens hoch, da nur mit erhöhtem technologischen und
maschinellen Aufwand größere Aktiveinheiten herstellbar sind.
Bei Winkelanordnungen von mehreren Antriebsmodulen an einem
Linearantrieb ist es oftmals konstruktionsbedingt nicht mög
lich, nach dem Zusammensetzen des Antriebs die einzelnen
Antriebsmodule nachzuarbeiten oder die erforderliche Struktu
rierung erst nach diesem Zusammenbau einzuarbeiten.
Eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht somit darin,
einen Linearantrieb zur Verfügung zu stellen, der die genann
ten Nachteile vermeidet, die Erzeugung hoher Kräfte ermög
licht und dabei nicht die Gefahr erhöhter Fehlerhäufigkeit
besitzt.
Eine weitere Aufgabe der Erfindung betrifft die Verfügbar
machung eines Verfahrens zur Herstellung eines derartigen
Linearantriebs, wobei die erforderlichen Produktionskosten
niedrig gehalten werden sollen.
Diese Aufgabe wird durch einen Linearantrieb gelöst, bei dem
die Aktiveinheit aus wenigstens zwei gleichartigen Antriebs
modulen mit Elementen zur Erzeugung eines veränderlichen
Magnetflusses durch Einspeisung des Speisestroms, mit Eisen
kernen zur Leitung eines Magnetflusses, die an ihrer der Pas
siveinheit zugewandten Seite strukturiert sind, und mit einem
Einsetzbereich; und aus Durchbrüchen in einer Grundplatte,
deren Anzahl der Zahl der Antriebsmodule entspricht, in wel
chen die Antriebsmodule mit ihren Einsetzbereichen unter
Belassung eines umlaufenden Spalts eingefügt sind, wobei der
Spalt wenigstens teilweise mit einer Klebemasse verfüllt ist,
und deren Öffnungsmaße geringfügig größer als die äußeren
Abmaße der Einsetzbereiche der Antriebsmodule sind, besteht.
Ein derart aufgebauter Linearantrieb bietet den Vorteil, daß
eine Vielzahl von Aktiveinheiten zu einer einzigen Aktivein
heit zusammengesetzt werden können, ohne daß eine Nachbear
beitung der Strukturierung erforderlich wird. Es können somit
beliebig große Aktiveinheiten aus einer Vielzahl gleicharti
ger Antriebsmodule zusammengesetzt werden, was technologische
und Kostenvorteile mit sich bringt. Die Antriebsmodule lassen
sich einzeln fertigen und einer präzisen Endbearbeitung
unterziehen. Erst danach werden sie in die Durchbrüche in der
Grundplatte der Aktiveinheit eingeklebt.
Bei einer bevorzugten Ausführungsform ist es vorteilhaft, daß
ein Auflagerand an den Antriebsmodulen vorgesehen ist, der
eine besonders einfache Montage ermöglicht. Der Auflagerand
kann vollständig umlaufend an den Antriebsmodulen ausgebildet
sein oder sich nur über bestimmte Bereiche entlang der Kanten
des Einsetzbereichs erstrecken.
Eine andere Ausführungsform zeichnet sich dadurch aus, daß
die Antriebsmodule als im wesentlichen allseitig ebene Quader
ausgebildet sind, also keinen Auflagerand aufweisen. Dadurch
wird es möglich, besonders flache Aktiveinheiten aufzubauen,
wie sie insbesondere in der Mikromechanik erwünscht sind.
Beim Aufbau großer Aktiveinheiten ist es besonders zweckmä
ßig, wenn eine elastische Klebemasse zur Befestigung der
Antriebsmodule in der Grundplatte verwendet wird. Diese Aus
gestaltung gewährleistet auch nach der Befestigung der
Antriebsmodule eine gewisse Beweglichkeit in der Grundplatte,
wodurch einerseits auftretende Materialausdehnungen aufgrund
von Temperaturveränderungen gut ausgeglichen werden können,
andererseits sich die einzelnen Antriebsmodule gegenüber der
Passiveinheit aufgrund der magnetischen Kräfte während des
Betriebs selbsttätig ausrichten können, wodurch Unebenheiten
an der Passiveinheit ausgeglichen werden können. Diese Aus
führung wird vor allem in Verbindung mit einem als Führungs
einheit verwendeten Luftlager eingesetzt.
Besonders zu bevorzugende Ausführungsformen zeichnen sich
dadurch aus, daß der die Klebemasse aufnehmende Spalt derart
optimiert ist, daß einerseits die Federwirkung der Klebemasse
in der Ebene der Bewegungsrichtung möglichst klein gehalten
wird, um unerwünschte Schwingungen bei hohen Beschleunigungen
zu vermeiden, andererseits aber die Federwirkung der Klebema
sse senkrecht zur Ebene der Bewegung möglichst groß ist, um
Unebenheiten der Passiveinheit über den gesamten Bewegungsbe
reich ausgleichen zu können.
Eine Spaltbreite von ca. 0,5 mm in x- und y-Richtung, kombi
niert mit einer Spaltbreite von ca. 1,0 mm zwischen Grund
platte und Auflagerand hat sich als sehr geeignet erwiesen.
Bei diesen Abmaßen kommen zweckmäßigerweise Silikonkleber zum
Einsatz, die eine hohe mechanische und thermische Langzeits
tabilität aufweisen.
Für schwingungssensible Aufbauten eignet sich demgegenüber
eine Ausführungsform, bei der eine Klebemasse mit möglichst
hoher Steifigkeit eingesetzt wird, um die Federwirkung der
Klebemasse gering zu halten. Diese Variante ist auch immer
dann vorteilhaft, wenn die Aktiveinheit nicht nur dem Antrieb
anderweitig geführter Teile dient, sondern selbst als Führung
arbeitet und auch Drehmomente aufnehmen muß.
Bei einer vorteilhaften Ausführungsform besitzt der Linearan
trieb vier Antriebsmodule. Die Durchbrüche sind auf der
Grundplatte so aufgeteilt, daß jeweils zwei in Bewegungsrich
tung hintereinander und zwei nebeneinander plaziert sind. Mit
dem gezeigten Beispiel lassen sich Haltekräfte bis zu 440 N
erzielen.
Eine weitere Ausführungsform zeichnet sich durch die U-för
mige Gestaltung der Aktiveinheit aus, die eine Passiveinheit
mit beispielsweise quadratischem Querschnitt an drei Seiten
umgreift. Die Aktiveinheit besitzt dabei wenigstens drei
Antriebsmodule. Die beiden an den gegenüberliegenden Schen
kein angeordneten Antriebsmodule müssen in diesem Fall not
wendig elastisch eingeklebt sein, da es ansonsten zu einer
Überbestimmung der Führung kommt und Verkantungen nicht aus
zuschließen wären.
Bei einer nochmals weitergebildeten Variante besitzt die
Aktiveinheit einen rechteckigen bzw. quadratischen Quer
schnitt, wobei die Passiveinheit vollständig umschlossen ist.
An jeder Seite der Aktiveinheit ist wenigstens ein Antriebs
modul plaziert. Eine elastische Klebung ist hier wegen der
statischen Überbestimmtheit zweckmäßig.
Unter Abwandlung dieser Ausführungsformen ist ein Linearan
triebssystem, das eine Bewegung in x- und y-Richtung ermög
licht, ausgebildet. An einer sich in x-Richtung erstreckenden
Passiveinheit ist eine erste Aktiveinheit angeordnet, die
ihrerseits eine sich in y-Richtung erstreckende Passiveinheit
trägt, an der eine zweite Aktiveinheit angeordnet ist. Die
beiden Aktiveinheiten sind so ausgebildet, daß wenigstens
zwei Antriebsmodule senkrecht zueinander befestigt sind, die
an senkrecht zueinander stehenden Seiten der zugeordneten
Passiveinheit angreifen.
Eine andere Gestaltung zeichnet sich durch eine Aktiveinheit
aus, die eine rechteckige Grundplatte besitzt, wobei an jeder
Seite wenigstens eine Aktiveinheit angeordnet ist. Die zuge
hörige Passiveinheit besitzt eine Strukturierung, die im
Unterschied zu bekannten Planarantrieben keine Kreuzstruktu
rierung sondern einzelne linear strukturierte Bereiche
besitzt. Damit sind wesentlich höhere Antriebskräfte erziel
bar, da die an der Passiveinheit zur Verfügung stehende
Eisenmenge wesentlich höher ist als bei Kreuzstrukturierung.
Es können bei geeigneter Ansteuerung der Aktiveinheit mit
dieser Ausgestaltung auch Drehbewegungen bis zu einem Winkel
von ca. 3° ausgeführt werden.
Durch die Erfindung wird weiterhin ein Verfahren zur Herstel
lung der Aktiveinheiten von derartigen Linearantrieben
bereitgestellt, welches gekennzeichnet ist durch folgende
Verfahrensschritte:
- a) die Antriebsmodule werden in die Durchbrüche in der Grundplatte lose eingesetzt,
- b) der Spalt zwischen Antriebsmodul und Grundplatte wird zumindest teilweise mit einer Klebemasse aufgefüllt,
- c) die derart bestückte Aktiveinheit wird auf die Passivein heit aufgesetzt, so daß sich die Strukturierungen von Aktiv- und Passiveinheit gleichsinnig ausgerichtet gegen überliegen,
- d) mit Hilfe der Führungseinheit wird ein Abstand zwischen Aktiv- und Passiveinheit hergestellt,
- e) jedem Antriebsmodul der Aktiveinheit wird dieselbe Phase des Speisestroms zugeführt, so daß sich jedes Antriebsmo dul selbsttätig gegenüber der Passiveinheit ausrichtet,
- f) durch Abwarten des Abbindens der Klebemasse werden die Antriebsmodule in dieser Stellung fixiert.
Bei einer bevorzugten Ausführungsform des Linearantriebs, bei
der als Führungseinheit ein Luftlager verwendet wird, ist es
vorteilhaft, wenn im Verfahrensschritt d) das Luftlager durch
Zufuhr von Druckluft aufgebaut wird, so daß sich die
Antriebsmodule frei innerhalb der Durchbrüche bewegen können.
Nach Verfahrensschritt e) kann die Luftzufuhr abgestellt wer
den, so daß das Luftlager zusammenfällt und die Aktiveinheit
mit den ausgerichteten Antriebsmodulen auf der Passiveinheit
unmittelbar aufliegt, wodurch eine höhere Stabilität gegen
Lageveränderungen während der Abbindezeit der Klebemasse
erzielt wird. Soweit keine äußeren Kräfte einwirken und das
Schrumpfungsverhalten der Klebemasse vernachlässigbar ist,
kann auch der Speisestrom während der Abbindezeit abgeschal
tet werden.
Bei anderen Ausführungsformen kommen z. B. Rollenlager als
Führungseinheit zum Einsatz.
Weitere Vorteile, Weiterbildungen und Einzelheiten ergeben
sich aus der nachfolgenden Beschreibung bevorzugter Ausfüh
rungsbeispiele unter Bezugnahme auf die Zeichnung. Es zeigen:
Fig. 1 in einer geschnittenen Ansicht von vorn einen Bereich
eines Linearantriebs mit einer Aktiveinheit und einer
Passiveinheit;
Fig. 2 in einer geschnittenen Seitenansicht ein Antriebsmo
dul der Aktiveinheit, gesehen entlang der Schnitt
linie II-II in Fig. 1;
Fig. 3 als geschnittene Einzelheitendarstellung einen
Abschnitt eines Antriebsmoduls, der in eine Grund
platte eingesetzt ist;
Fig. 4 eine Ausführungsform des Antriebsmoduls mit einem
umlaufenden Auflagerand;
Fig. 5 als Einzelheitendarstellung eine Ansicht von oben auf
das in die Grundplatte eingeklebte Antriebsmodul mit
Abschnitten von Klebemasse;
Fig. 6 eine Ausführungsform des Linearantriebs mit zwei hin
tereinander angeordneten Antriebsmodulen in einer
Ansicht von oben;
Fig. 7 eine Vorderansicht des in Fig. 6 gezeigten Linear
antriebs;
Fig. 8 eine weitere Ausführungsform des Linearantriebs mit
vier Antriebsmodulen in einer Ansicht von oben;
Fig. 9 eine Vorderansicht des in Fig. 8 gezeigten Linear
antriebs;
Fig. 10 eine Ausführungsform des Linearantriebs mit einer
Aktiveinheit mit U-förmigem Querschnitt in einer
Ansicht von oben;
Fig. 11 eine Seitenansicht des in Fig. 10 gezeigten Linear
antriebs;
Fig. 12 eine Ausführungsform des Linearantriebs mit einer
Aktiveinheit mit quadratischem Querschnitt in einer
Ansicht von oben;
Fig. 13 eine geschnittene Seitenansicht des in Fig. 12
gezeigten Linearantriebs;
Fig. 14 ein Linearantriebssystem mit einer sich in x-Richtung
erstreckenden Passiveinheit und einer sich in y-Rich
tung erstreckenden Passiveinheit;
Fig. 15 eine Ansicht von vorn des in Fig. 14 gezeigten
Linearantriebssystems;
Fig. 16 eine Seitenansicht des in den Fig. 14 und 15 gezeig
ten Linearantriebssystems;
Fig. 17 eine Ausführungsform des Linearantriebs, welche über
kurze Strecken in x- und y-Richtung verfahrbar ist;
Fig. 18 eine seitliche Schnittansicht des in Fig. 17 gezeig
ten Linearantriebs.
Fig. 1 zeigt in einer geschnittenen Ansicht von vorn den
prinzipiellen Aufbau eines Linearantriebs 1. Der Linearan
trieb besteht aus einer Passiveinheit 2, einer Führungsein
heit 3, einer hier nicht dargestellten Ansteuereinheit und
einer Aktiveinheit 4. Aktiv- und Passiveinheit führen während
des Betriebs eine Relativbewegung zueinander aus, wobei je
nach Einsatzzweck entweder Aktiv- oder Passiveinheit gestell
fest angeordnet sind. Dabei wird die Führung von der Füh
rungseinheit 3 übernommen, die in allen gezeigten Beispielen
als Luftlager ausgebildet ist, welches durch die Zufuhr von
Druckluft aufgebaut wird. Die Passiveinheit 2 umfaßt magneti
sche oder magnetisierbare Bereiche 5 die eine unten näher
bezeichnete Struktur aufweisen. Beispielsweise eignen sich
strukturierte Weicheisenbleche, die auf einem aus Verbund
material hergestellten Leichtbaugrundkörper aufgeklebt sind.
Die Aktiveinheit 4 besteht aus wenigstens zwei gleichartigen
Antriebsmodulen 10 und einer Grundplatte 11. Die Grundplatte
11 weist Durchbrüche auf, in welche die einzelnen Antriebsmo
dule 10 eingesetzt sind.
Der grundlegende Aufbau der Antriebsmodule ergibt sich unter
Berücksichtigung von Fig. 2, die eine seitliche Schnittan
sicht zeigt. Ergänzend wird auf die in der Einleitung
genannten Dokumente verwiesen, in denen derartige Antriebsmo
dule detailliert beschrieben sind.
Das Antriebsmodul 10 umfaßt mit elektrischen Wicklungen 13
bestückte Eisenkerne 14 und Permanentmagnete 15, die in einem
Gehäuse 16 untergebracht sind. Damit wird ein permanenter
Magnetfluß in den Eisenkernen 14 erzeugt, der durch die Spei
sung der elektrischen Wicklungen 13 mit dem Speisestrom
gezielt verändert werden kann, woraus im Ergebnis zwischen
Aktiv- und Passiveinheit magnetische Antriebskräfte resultie
ren. Diese Kräfte wirken unmittelbar zwischen den struktu
rierten magnetisierbaren Bereichen der Passiveinheit und der
gleichfalls strukturierten Unterseite der Antriebsmodule. Die
Strukturierung wird durch quer zur Bewegungsrichtung verlau
fende Polzähne und Polzahnlücken gebildet, wobei die Tei
lungsperiode p, die einen Polzahn und eine Polzahnlücke
umfaßt, an Aktiv- und Passiveinheit gleich ist.
Das Gehäuse 16 umfaßt einen Einsetzbereich 17, der in den
Durchbrüchen der Grundplatte aufgenommen wird. Bei den in den
Fig. 1 und 2 gezeigten Ausführungsformen ist weiterhin am
Gehäuse ein umlaufender Auflagerand 18 vorgesehen, der nach
dem Einstecken des Antriebsmoduls in die Durchbrüche im
wesentlichen an der Grundplatte zu liegen kommt.
Damit läßt sich auf einfache Weise gewährleisten, daß die
Grundplatte relativ nah an der strukturierten Unterseite der
Antriebsmodule plaziert ist. Dies ist erforderlich, um die
dort entstehenden Kräfte unmittelbar auf die Grundplatte zu
übertragen, unter Vermeidung großer Kippmomente, die zu einer
unerwünschten Lageveränderung der Antriebseinheiten in der
Aktiveinheit während der Bewegung führen würden.
Bei einer abgewandelten Ausführungsform fehlt der Auflage
rand. Die Grundplatte kann in diesem Fall noch näher an der
strukturierten Unterseite der Antriebsmodule angeordnet wer
den, wodurch die entstehenden Momente kleiner sind. Aller
dings ist die Montage der Antriebsmodule etwas schwieriger.
Die Einzelheitendarstellung von Fig. 3 zeigt einen Abschnitt
eines in einen Durchbruch eingeführten Antriebsmoduls.
Zwischen den mit Polzähnen und Polzahnlücken strukturierten
magnetisierbaren Bereichen 5 der Passiveinheit 2 und dem an
seiner Unterseite gleichfalls strukturierten Eisenkern 14 ist
das Luftlager 3 ausgebildet. Der Einsetzbereich 17 des
Antriebsmoduls erstreckt sich durch den Durchbruch in der
Grundplatte 11. Zwischen dem Einsetzbereich 17 und der Wan
dung des Durchbruchs verbleibt ein senkrechter Spalt 20.
Zwischen dem Auflagerand 18 und der Unterseite der Grund
platte 11 verbleibt ein waagerechter Spalt 21. Die beiden
Spalte 20, 21 sind mit einer Klebemasse 23 ausgefüllt, die
einerseits das Antriebsmodul in der Grundplatte befestigt und
bei geeigneter Ausgestaltung auch als Federelement und/oder
Gelenk zwischen Antriebsmodul und Grundplatte wirkt.
Bedingt durch den sehr kleinen Abstand, der durch das Luftla
ger zwischen Aktiv- und Passiveinheit bei der Bewegung auf
rechterhalten wird (ca. 10 µm) können bereits kleinste
Unebenheiten der Passiveinheit zu Funktionsstörungen führen,
wenn großflächige Aktiveinheiten mit einer Vielzahl von
Antriebsmodulen zum Einsatz kommen. Dies läßt sich vermeiden,
wenn die Antriebsmodule elastisch in der Grundplatte be
festigt werden, wodurch eine geringfügige Beweglichkeit in z-
Richtung erhalten bleibt. Beispielsweise kann zu diesem Zweck
eine elastische Klebemasse eingesetzt werden. Insbesondere
wird angestrebt, daß das Antriebsmodul um einen kleinen Win
kelbereich zur x- und zur y-Achse kippbar gelagert ist. Damit
kann das Antriebsmodul aufgrund des Luftlagers eine exakt
parallel zur Oberfläche der Passiveinheit liegende Stellung
einnehmen, wodurch einerseits Berührungen während der Bewe
gung vermieden werden und andererseits die Stabilität des
Luftlagers gewährleistet ist.
Eine erhöhte Elastizität der Klebemasse führt aber auch zu
einer Beweglichkeit der Antriebsmodule in x- und y-Richtung.
Es hat sich gezeigt, daß bei vielen Anwendungen diese Beweg
lichkeit nicht erwünscht ist, da die Klebemasse wie eine
Feder zwischen Antriebsmodul und Grundplatte wirkt. Ein der
artiges Federverhalten kann bei höheren Beschleunigungen
Schwingungen hervorrufen, die ein schnelles und exaktes Posi
tionieren nicht möglich machen.
Eine optimale Befestigung des Antriebsmoduls wird erzielt,
wenn durch geeignete Abstimmung zwischen der Breite des
waagerechten Spalts 21 und des senkrechten Spalts 20 unter
Berücksichtigung der zu verwendenden Klebemasse 23 ein
bestimmtes Verhältnis eingestellt wird. Das Verhältnis soll
so ausgewählt werden, daß die erzielte Steifigkeit der Anord
nung in x-Richtung etwa sieben mal höher ist als die Steifig
keit in z-Richtung. Dies gelingt z. B. bei der Verwendung
eines Silikonklebstoffs, wenn der senkrechte Spalt 20 eine
Breite von etwa 0,5 mm und der waagerechte Spalt 21 eine
Breite von etwa 1,0 mm besitzen. Die Wandungshöhe im Durch
bruchbereich der Grundplatte soll in dieser Gestaltung etwa 3 mm
betragen.
Die verbleibenden Klebemassen wirken aufgrund ihrer Elastizi
tät nicht nur federnd, sondern auch dämpfend. Dies kann vor
teilhaft zur Dämpfung insbesondere von Resonanzfrequenzen
verwendet werden.
Die Spaltbreite des waagerechten Spalts 21 sollte nicht zu
groß gewählt werden, da sonst während der Bewegung Schwingun
gen im hörbaren Bereich entstehen können, die zu einem erhöh
ten Geräuschpegel führen.
Die Gesamtdicke der Grundplatte kann, wie im gezeigten Bei
spiel, größer sein. In diesem Fall wird die Grundplatte im
Bereich des Durchbruchs entsprechend ausgearbeitet, so daß
die gewünschte Wandungshöhe erlangt wird.
Um mehrere Antriebsmodule in der Grundplatte exakt auszurich
ten, eignet sich besonders folgendes Verfahren. Eine genaue
Ausrichtung ist erforderlich, damit alle Antriebsmodule
gegenüber der Strukturierung der Passiveinheit identische
Positionen einnehmen, d. h. daß gleichartige Polzähne der
Antriebsmodule immer die gleiche Position gegenüber den
Polzähnen der Passiveinheit haben. Andernfalls käme es zu
erheblichen Funktionsstörungen am Linearantrieb.
In einem ersten Verfahrensschritt werden die Antriebsmodule
in die Durchbrüche in der Grundplatte lose eingesetzt. Der
Spalt zwischen Antriebsmodul und Grundplatte wird zumindest
teilweise mit einer Klebemasse aufgefüllt, die vor oder nach
dem Einsetzen des Antriebsmoduls aufgetragen werden kann. Die
derart bestückte Aktiveinheit wird auf die zugeordnete oder
eine gleichartige Passiveinheit aufgesetzt, so daß sich die
Strukturierungen von Aktiv- und Passiveinheit gleichsinnig
ausgerichtet gegenüberliegen. Sofern die Führungseinheit
durch ein Luftlager gebildet wird, wird dieses jetzt durch
Zufuhr von Druckluft aufgebaut. Andernfalls wird durch ein
beliebiges anderes Lager ein Abstand zwischen Aktiv- und Pas
siveinheit erzeugt, der eine freie Bewegung zwischen diesen
beiden Einheiten ermöglicht. Im nachfolgenden Verfahrens
schritt wird jedem Antriebsmodul der Aktiveinheit dieselbe
Phase des Speisestroms zugeführt, so daß sich jedes Antriebs
modul selbsttätig gegenüber der Passiveinheit ausrichtet.
Besitzt ein Antriebsmodul mehrere elektrische Wicklungen, wie
z. B. bei mehrphasigen Linearantrieben, so ist es ausreichend,
wenn diejenigen Wicklungen mit dem Speisestrom versorgt wer
den, die zu einer gemeinsamen Phase zugeordnet sind. Im Fall
der Verwendung eines Luftlagers kann dieses nach der Ausrich
tung der Antriebsmodule abgeschaltet werden. Damit liegen die
Antriebseinheiten auf der Passiveinheit auf, wodurch eine
höhere Stabilität erreicht wird. Soweit keine Veränderungen
durch Ausdehnungen oder Einwirkung äußerer Kräfte zu befürch
ten sind, kann auch der Speisestrom abgeschaltet werden.
Anschließend werden durch Abwarten des Abbindens der Klebe
masse die Antriebsmodule in dieser Stellung fixiert.
Es ist vorteilhaft, wenn zur Gewährleistung gleichmäßiger
Spaltbreiten und damit gleichmäßiger Dicken der Klebemasse,
Abstandshalter, z. B. dünne Drähte, an einzelnen Stellen in
die Spalte 20, 21 eingelegt werden. Bei zu unterschiedlichen
Spaltdicken können sich die Ausdehnungskoeffizienten der ver
wendeten Materialien störend bemerkbar machen.
Das Übermaß der Durchbrüche in der Grundplatte wird dem
jeweiligen Anwendungsfall angepaßt. Für Anwendungen, bei
denen eine besondere Steifigkeit in Fahrtrichtung erforder
lich ist, kommt ein geringes Übermaß zum Einsatz. Die Anfor
derungen an die Fertigungsgenauigkeit bei der Herstellung der
Grundplatte nehmen in dem Maße zu, wie das verbleibende Spiel
zwischen Antriebsmodul und Durchbruchswandung abnimmt. In
jedem Fall muß gewährleistet bleiben, daß die einzelnen
Antriebsmodule mit der exakt gleichen Lage in bezug auf die
Teilungsperiode p in der Grundplatte befestigt werden können.
Der Abstand zwischen identischen Antriebsmodulen in Bewe
gungsrichtung muß damit immer n.p betragen, wobei n eine
positive ganze Zahl und p die Teilungsperiode sind.
In Fig. 4 ist in einer Ansicht von vorn ein Antriebsmodul 10
gezeigt. Bei dieser Ausführungsform ist angrenzend an den
Einsetzbereich 17 ein umlaufender Auflagerand 18 ausgebildet.
Es sind aber auch Ausführungen denkbar, bei denen der Aufla
gerand nur abschnittsweise ausgebildet ist oder gänzlich
fehlt. Sollen Antriebsmodule ohne Auflagerand in die Grund
platte eingesetzt werden, kann dies beispielsweise durch
Anbringen von Klebemasse in Form einer Kehlnaht zwischen
Antriebsmodul und Grundplatte geschehen. Dies kommt insbeson
dere bei Ausführungen in Betracht, bei denen eine Klebemasse
verwendet wird, die nach dem Abbinden nur noch eine sehr
geringe Elastizität besitzt, z. B. Epoxidharz. Derartige Ver
bindungen mit harten Klebstoffen führen zu minimalem Nach
schwingverhalten und werden daher besonders bei Linearantrie
ben mit kleinerer Fläche, die aber für hohe Geschwindigkeiten
ausgelegt sind, eingesetzt.
Werden harte Klebstoffe verwendet, ist das oben beschriebene
Verhältnis zwischen senkrechtem Spalt 20 und waagerechtem
Spalt 21 nicht von so erheblicher Bedeutung. Jedoch sollte
darauf geachtet werden, die Spalte generell so klein wie mög
lich zu halten, um die Auswirkungen der Ausdehnungskoeffi
zienten bei Temperaturschwankungen zu minimieren.
Fig. 5 zeigt als Einzelheitendarstellung eine Ansicht von
oben auf das in die Grundplatte eingeklebte Antriebsmodul.
Durch unterschiedliches Ausdehnungsverhalten kann es zu uner
wünschten Spannungen im Gesamtaufbau kommen. Es hat sich
daher eine Ausführungsform als besonders geeignet erwiesen,
bei der die Klebemasse nur abschnittsweise in den Spalten 20,
21 eingebracht ist. Gemäß der Abbildung werden vorzugsweise
die kurzen Seiten des Antriebsmoduls, die quer zur Bewegungs
richtung liegen, über die gesamte Länge mit Klebemasse 23 an
der Grundplatte 11 befestigt. An den langen Seiten wird nur
in den Endbereichen Klebemasse aufgebracht, wobei an jedem
Ende etwa ein Viertel der Länge angeklebt wird.
Der in den Fig. 6 und 7 gezeigte Linearantrieb besitzt zwei
in Bewegungsrichtung hintereinander angeordnete Antriebsmo
dule 10, deren aktive Elemente mit jeweils zwei Gehäuse
deckeln 25 abgedeckt sind. Dieser Linearantrieb vollführt in
x-Richtung eine Bewegung und ist durch ein Luftlager auf der
Passiveinheit gelagert. Seine seitliche Führung erfährt der
Linearantrieb durch ein Federblech 26. Das Federblech 26
weist in Bewegungsrichtung eine hohe Steifigkeit auf, gestat
tet aber in z-Richtung ein geringes Spiel, wodurch unvermeid
bare Divergenzen zwischen externer Führung und der Ebene der
Passiveinheit ausgeglichen werden.
Es können bei derartigen Linearantrieben auch mehrere
Antriebsmodule aneinandergereiht werden, womit sich höhere
Antriebskräfte erzielen lassen.
Bei dem in den Fig. 8 und 9 gezeigten Linearantrieb sind
zwei Reihen von Antriebsmodulen nebeneinander angeordnet, so
daß in der Summe vier Antriebsmodule zum Einsatz kommen. Die
zur Verfügung gestellte Antriebskraft verdoppelt sich gegen
über der Variante nach den Fig. 6 und 7, wenn gleiche
Antriebsmodule verwendet werden. Im übrigen entspricht der
Aufbau dem vorher beschriebenen Linearantrieb.
Fig. 10 und 11 zeigen eine Ausführungsform des Linearan
triebs, bei welcher die Aktiveinheit 4 einen U-förmigen Quer
schnitt besitzt. Die Aktiveinheit 4 umgreift die Passivein
heit 2 mit quadratischem Querschnitt an drei Seiten und
bedeckt diese im gezeigten Beispiel auf ihrer ganzen Breite.
An jedem der drei Schenkel der Aktiveinheit ist ein Antriebs
modul 10 angeordnet. Bei abgewandelten Ausführungsformen kön
nen aber auch mehrere Antriebsmodule an einem Schenkel ange
ordnet sein. Alle Antriebsmodule sind über Luftlager 3 an der
Passiveinheit angekoppelt. Diese Lagerung ist als Führung
besonders geeignet, da Verkantungen der sich gegenüberliegen
den Schenkel vermieden werden.
Eine weitere Ausführungsform des Linearantriebs ist in den
Fig. 12 und 13 wiedergegeben. Die Aktiveinheit hat hier
einen quadratischen Querschnitt. Derartige Ausgestaltungen
lassen sich mit herkömmlichen Verfahren, die nicht von der
Modulbauweise Gebrauch machen, nicht herstellen, da eine
Nachbearbeitung der strukturierten, nach innen gewandten Flä
chen der Antriebsmodule nicht möglich ist. Die hier einge
setzten Antriebsmodule unterscheiden sich von den oben
beschriebenen Varianten dahingehend, daß Auflagerand 18 nicht
an dem der strukturierten Seite des Antriebsmoduls zugewand
ten Ende der Seitenflächen des Gehäuses sondern am gegenüber
liegenden Ende angeordnet sind. Dies ist zweckmäßig zum Ein
setzen der Antriebsmodule mit ihren Einsetzbereichen 17 von
außen in die Grundplatte 11.
Mit derart ausgebildeten Linearantrieben lassen sich z. B.
Hubsysteme aufbauen.
In den Fig. 14, 15 und 16 ist eine Linearantriebssystem
gezeigt, welches aus zwei Linearantrieben zusammengesetzt
ist. Das System umfaßt die erste sich in x-Richtung erstreckende
Passiveinheit 2 mit der daran angeordneten ersten
Aktiveinheit 4. An der ersten Aktiveinheit 4 ist über ein
Gestellsystem 30 eine zweite sich in y-Richtung erstreckende
Passiveinheit 31 befestigt, an der eine zweite Aktiveinheit
32 angeordnet ist. Die zweite Passiveinheit 31 ist an ihrem
der ersten Aktiveinheit abgewandten Ende zusätzlich auf
einer zweiten Führungseinheit 33 geführt, welche z. B. als
Rollenschiene oder als Luftlager ausgebildet sein kann.
Die erste Aktiveinheit 4 greift an zwei Seiten der ersten
Passiveinheit 2 an dieser an. Dazu sind auf der oberen Seite
zwei Antriebsmodule 10 vorgesehen. Senkrecht zu diesen sind
an der vorderen Längsseite vier weitere Antriebsmodule 10 in
der ersten Aktiveinheit aufgenommen. Insbesondere die äußeren
dieser vier Module dürfen nicht mit Klebemassen mit hoher
Elastizität in der zugehörigen Grundplatte befestigt werden,
da ansonsten die durch die zweite Passiveinheit vermittelten
Kippmomente zu erheblichen Lageveränderungen der Module füh
ren könnten, was in einer gestörten Funktionsweise resultie
ren würde.
Eine weiterhin abgewandelte Ausführungsform des Linearan
triebs ist in den Fig. 17 und 18 gezeigt. Diese Bauform
ermöglicht über kurze Strecken Bewegungen in x- und in y-
Richtung, wobei auf der Passiveinheit 2 keine Kreuzstruktu
rierung aufgebracht ist. Dadurch sind höhere Antriebskräfte
erzielbar als bei Lösungen, die eine Kreuzstrukturierung auf
weisen.
Bei geeigneter Ansteuerung der vier auf der Grundplatte 11
angeordneten Antriebsmodule 10, das heißt die jeweils gegen
überliegenden Module werden im entgegengesetzten Richtungs
sinn bewegt, kann die Aktiveinheit auch um einen Winkel (ϕz,
der bis zu ±3∘ betragen kann, verdreht werden.
Durch den modularen Aufbau ist es auch möglich, daß in einer
Aktiveinheit unterschiedliche Antriebsmodule eingesetzt wer
den, von denen wenigstens ein Modul mit Sensoren ausgerüstet
ist, wie dies in der o.g. Patentanmeldung des Anmelders aus
führlich beschrieben ist.
Somit lassen sich unter Verwendung von Modulen gesteuerte und
geregelte Antriebe aufbauen.
Verschiedenste Anforderungen und Anwendungslösungen können in
kürzester Zeit durch das gezeigte modulare System realisiert
werden. Die gleichartigen Antriebsmodule lassen sich im end
gültigen Zustand vorrätig halten und brauchen ggf. nur noch
in leicht herzustellende Grundplatten eingeklebt zu werden.
Claims (2)
1. Linearantrieb (1) in Modulbauweise mit
- - einer Passiveinheit (2) mit magnetisierbaren oder magnetischen Bereichen (5);
- - einer Führungseinheit (3);
- - einer Ansteuereinheit, die einen elektrischen Speisestrom bereitstellt; und
- - einer Aktiveinheit (4), bestehend aus
- * wenigstens zwei gleichartigen Antriebsmodulen (10) mit
+ Elementen zur Erzeugung eines veränderlichen Magnetflusses (14) durch Einspeisung des Speisestroms,
+ Eisenkernen (13) zur Leitung eines Magnetflusses, die an ihrer der Passiveinheit (2) zugewandten Seite strukturiert sind,
+ einem Einsetzbereich (17); - * Durchbrüchen in einer Grundplatte (11),
+ deren Anzahl der Zahl der Antriebsmodule (10) entspricht,
+ in welchen die Antriebsmodule (10) mit ihren Einsetzbereichen (17) unter Belassung eines umlaufenden Spalts (20, 21) eingefügt sind, wobei der Spalt wenigstens teilweise mit einer Klebemasse (23) verfüllt ist,
+ deren Öffnungsmaße geringfügig größer als die äußeren Abmaße der Einsetzbereiche (17) der Antriebsmodule (10) sind.
- * wenigstens zwei gleichartigen Antriebsmodulen (10) mit
2. Verfahren zur Herstellung einer Aktiveinheit (4) eines
Linearantriebs gemäß Anspruch 1, gekennzeichnet durch
folgende Verfahrensschritte:
- a) die Antriebsmodule (10) werden in die Durchbrüche in der Grundplatte (11) lose eingesetzt,
- b) der Spalt (20, 21) zwischen Antriebsmodul (10) und Grundplatte (11) wird zumindest teilweise mit einer Klebemasse (23) aufgefüllt,
- c) die derart bestückte Aktiveinheit (4) wird auf die Passiveinheit (2) aufgesetzt, so daß die Strukturierungen von Aktiv- und Passiveinheit gleichsinnig ausgerichtet gegenüberliegen,
- d) mit Hilfe der Führungseinheit (3) wird ein Abstand zwischen Aktiv- und Passiveinheit hergestellt, der die Bewegung zwischen diesen beiden Einheiten ermöglicht,
- e) jedem Antriebsmodul (10) der Aktiveinheit (4) wird dieselbe Phase des Speisestroms zugeführt, so daß sich jedes Antriebsmodul (10) selbsttätig gegenüber der Passiveinheit (2) ausrichtet,
- f) durch Abwarten des Abbindens der Klebemasse (23) werden die Antriebsmodule (10) in dieser Stellung fixiert.
Priority Applications (4)
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