DE19640800C2 - Wärmedämmendes Schichtsystem für transparente Substrate - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft ein wärmedämmendes Schichtsystem für transparente Substrate, vorzugsweise Glas, welches eine hohe Transmission im sichtbaren und eine hohe Reflexion im infraroten Wellenlängenbereich, d. h. eine hohe Selektivität besitzt. Ver­ glasungen mit derartigen Schichtsystemen haben die Eigenschaft, dass sie einen möglichst großen Teil der solaren Energieeinstrahlung in die damit verglasten Räume hindurchlassen und einen möglichst hohen Anteil der wesentlich niederenergetischen Raumtemperatur­ strahlung reflektieren. Sie lassen nur den sichtbaren Anteil des Sonnenspektrums passieren und reflektieren fast vollständig alle Strahlung mit größerer Wellenlänge. Die einzelnen Schichten werden durch Vakuumbeschichtung, insbesondere Sputtern, auf­ gebracht.

Bekannt sind wärmedämmende Schichtsysteme mit der Schichtfolge Metalloxid 1 (Me1O) - Ag - Blocker - Metalloxid 2 (Me2O), wobei anstelle von Ag auch Au oder Cu verwendet wird. Die meist verwendeten Blockerschichten bestehen beispielsweise aus wenige nm dicken Metallschichten, wie Al, CrNi, Ti oder Ta und schützen das Ag vor Oxidation beim reaktiven Aufbringen der Me2O-Schicht, indem der zunächst metallisch abgeschiedene Blocker aufoxidiert wird. Die MeO-Schichten entspiegeln das Schichtsystem und bestimmen die Reflexionsfarbe. Typisch sind Oxide der Metalle Sn, Zn, Bi, Ti oder deren Gemische. Die Me1O- und die Me2O-Schichten können aus gleichen oder unter­ schiedlichen Materialien bestehen. Außerdem kann eine oder können beide dieser Me1O- Schichten auch aus mehreren übereinander liegenden, unterschiedlichen MeO-Schichten aufgebaut sein (DE 39 41 026 A1; DE 39 41 027 A1).

Derartige Schichtsysteme haben den Nachteil, dass sie gegen äußere Einflüsse empfindlich sind, und die Haftfestigkeit des Schichtsystems unzureichend ist.

Es ist auch bekannt, Schichtsysteme mit noch höherer Selektivität herzustellen, deren Schichtsystem aus zwei Ag-Schichten mit der Schichtfolge Me1O - Ag - Blocker - Me2O - Ag - Blocker - Me3O bestehen (EP 0 632 849 A1). Diese auf dem Flachglas aufgebrachten Schichtsysteme sind bis zum Herstellen des Scheibenverbundes relativ empfindlich gegen Schäden durch atmosphärische Einflüsse. Ein weiterer Nachteil ist es, dass sie nicht temperaturbelastbar sind.

Es ist weiterhin bekannt, temperaturbelastbare Schichtsysteme herzustellen, die ein Biegen und/oder Härten zulassen. Bei diesen Schichtsystemen ist jeweils eine Blocker­ schicht ober- und unterhalb der Ag-Schicht angeordnet, um diese gegen Oxidation und Diffusion bei der Wärmebehandlung zu schützen (EP 0 303 109 A2). Auch diese Schicht­ systeme haben den Nachteil, dass sie relativ empfindlich gegen Schäden durch atmosphärische Einflüsse sind.

Um gleichzeitig einen guten Schutz gegen Schäden durch atmosphärische Einflüsse während der Lagerzeit bis zum Herstellen eines Scheibenverbundes zu erhalten, ist es bekannt, auf die Blockerschicht weitere Oxidschichten in der Reihenfolge von Oxiden eines Metalls 2 - eines Metalls 1 - eines Metalls 2 aufzubringen (DE 38 86 474 T2). Jedoch besteht der Nachteil, dass infolge der geringen Schichtdicke der Metall-1-Oxidschicht eine freie Einstellung der optischen Werte bei diesem Schichtsystem nicht möglich ist. Es sind nur geringe Variationen für die Einzelschichtdicken möglich, um die gewünschten Effekte zu erhalten.

Es ist weiterhin bekannt, ein wärmedämmendes Schichtsystem derart aufzubauen, dass es nur eine metallische Reflexionsschicht besitzt, der eine Blockerschicht folgt, und auf diesen eine Oxidschicht, z. B. aus TiO₂, aufgebracht ist. Das Schichtsystem schließt mit dielektrischen Schichten ab (WO 93/20256 A1). Dieser Schichtaufbau weist keine aus­ reichenden Werte für die Selektivität auf und besitzt nicht die erforderliche Festigkeit, insbesondere wenn die beschichteten Scheiben noch gebogen werden.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein wärmedämmendes Schichtsystem für transparente Substrate zu schaffen, das eine möglichst hohe Selektivität besitzt. Gleich­ zeitig soll dieses Schichtsystem eine möglichst störungsfreie Weiterverarbeitung bis zum Scheibenverbund ermöglichen, das heißt, dass es eine hohe Beständigkeit gegen Schäden durch atmosphärische Einflüsse haben soll. Das Schichtsystem soll unempfindlich sein gegen Handhabungsfehler, wie z. B. Abrieb. Die optischen Werte sollen frei einstellbar sein. Weiterhin soll das Schichtsystem temperaturbelastbar und die Herstellung des Schichtsystems soll ökonomisch in bekannten Anlagen zur Vakuumbeschichtung insbesondere durch Aufstäuben - möglich sein.

Erfindungsgemäß wird die Aufgabe nach den Merkmalen des Patentanspruches 1 gelöst. Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen des Verfahrens sind in den Unteransprüchen 2 bis 6 beschrieben.

Es wurde gefunden, dass bei gleicher Ag-Schichtdicke eine höhere IR-Reflexion erreicht wird, wenn auf die metallisch aufgestäubte Blockerschicht unmittelbar anschließend reaktiv mit einer Mindestdicke von 5 bis 20 nm eine erste Nitridschicht oder Oxinitrid­ schicht aus dem gleichen Metall wie das der Blockerschicht und darauf eine weitere Oxid-, Nitrid- oder Oxinitridschicht eines anderen Metalls wie das der Blockerschicht gestäubt wird. Die Schichtdicken dieser beiden dielektrischen Schichten können frei so gewählt werden, dass sowohl die Selektivität hoch ist als auch die Reflexionsfarben in weiten Grenzen optimiert werden können. Die beiden unterschiedlichen dielektrischen Schichten können auch ein- oder mehrfach wiederholt aufgebracht werden. Bei Verwendung von Ti als Blockerschicht und TiN als erste dielektrische Schicht auf der Blockerschicht wird dieser Effekt besonders deutlich, denn überraschenderweise werden höhere Werte der Selektivität als allgemein üblich erreicht.

In diesem Zusammenhang wurde festgestellt, dass dabei gleichzeitig die Festigkeit des gesamten Schichtsystems gegenüber den bekannten Schichtsystemen um etwa den Faktor 2 verbessert und der Schutz gegen Schäden durch atmosphärische Einflüsse noch weiter erhöht wird.

Das Erfindungswesentliche ist das auf der Reflexionsschicht aufgebrachte Teilschicht­ system aus der Blockerschicht, dielektrischer Zwischenschicht und dielektrischer Deck­ schicht. Die Aufgabe, die der Erfindung zugrunde liegt, wird aber nur gelöst, wenn das Metall für die dielektrische Zwischenschicht das Material der Blockerschicht ist, und das Metall für die dielektrische Deckschicht ein anderes Metall als das der Zwischenschicht ist.

Vorteilhaft ist es, wenn bei der Herstellung der dielektrischen Zwischenschicht der Arbeits­ punkt der reaktiven Zerstäubung derart eingestellt wird, dass leicht überstöchiometrische Schichten abgeschieden werden. Um eine gezielte Stöchiometrie einstellen zu können, kann die Regelung des Reaktivgaseinlasses auf eine konstante Plasmaemission oder auf eine konstante Brennspannung erfolgen. Weiterhin ist es vorteilhaft, wenn die Zwischen- und/oder Deckschicht mit Hilfe des reaktiven Mittelfrequenzsputterns hergestellt wird. Bei Anordnung von Blockerschichten beiderseits der Ag-Schicht lassen sich derartig beschichtete Scheiben auch biegen oder härten.

An zwei Ausführungsbeispielen wird die Erfindung näher beschrieben.

Es ist ein erfindungsgemäßes Schichtsystem auf eine Flachglasscheibe von 4 mm Dicke mit folgendem Schichtaufbau aufgebracht:

Die optische Ausmessung dieses Schichtsystems zeigte, dass gegenüber einem optisch optimierten Schichtsystem nach dem Stand der Technik, d. h. ohne die erfindungsgemäße TiN-Zwischenschicht, die Reflexion im infrarotbereich bei gleicher Schichtdicke der Reflexionsschicht aus Ag wesentlich höher ist. Die Andruckkraft der Prüfspitze im Abrasionstest bis zur ersten Beschädigung lag um den Faktor 2 höher.

Eine weitere Ausführungsform des Schichtsystems besteht darin, dass sich das Teilschicht­ system - wie im ersten Beispiel gezeigt - aus dielektrischer Zwischen- und Deckschicht auf der Blockerschicht noch einmal wiederholt. Das Schichtsystem ist dabei wie folgt auf­ gebaut:

Nach der Beschichtung, wie im ersten Beispiel beschrieben, wurde das Glassubstrat mit dem darauf befindlichen Schichtsystem beim Erweichungspunkt des Glases gebogen und durch Anblasen mit kalter Luft gehärtet. Die optische Ausmessung zeigte, dass gegenüber einem optisch optimierten Schichtsystem nach dem Stand der Technik, d. h. ohne die erfindungsgemäße TiN-Schicht, die Reflexion im Infrarotbereich bei gleicher Schichtdicke der Reflexionsschicht aus Ag wesentlich höher ist. Die Andruckkraft der Prüfspitze im Abrasionstest bis zur ersten Beschädigung lag um den Faktor 3 höher. Schäden durch atmosphärische Einflüsse während einer sechswöchigen freien Lagerung an Luft waren nicht zu erkennen. Demgegenüber zeigen die bekannten Schichtsysteme bereits nach vierwöchiger Lagerzeit erste Schäden.

Claims (6)

1. Wärmedämmendes Schichtsystem für transparente Substrate, bestehend aus einer oder mehreren metallischen Reflexionsschichten, die auf einer auf dem Substrat aufgebrachten dielektrischen Grundschicht aufgebracht sind, einer auf der Reflexionsschicht oder auch zusätzlich unter ihr aufgebrachten metallischen Blocker­ schicht und einer über der auf der auf der Reflexionsschicht aufgebrachten Blocker­ schicht aufgebrachten Zwischenschicht, dadurch gekennzeichnet, dass die auf der auf der Reflexionsschicht aufgebrachten Blockerschicht aufgebrachte dielektrische Zwischenschicht mindestens 5 nm dick und ein Nitrid oder Oxinitrid aus dem Metall der Blockerschicht ist, dass auf der dielektrischen Zwischenschicht eine dielektrische Deckschicht eines Oxids, Nitrids oder Oxinitrids eines anderen Metalls als das der Blockerschicht aufgebracht ist, und dass der Schichtverbund aus Zwischenschicht und Deckschicht mindestens einmal auf der Blockerschicht aufgebracht ist.

2. Wärmedämmendes Schichtsystem nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Metall für die dielektrische Zwischenschicht Ti, Ta, Zr, Al oder Si oder ein Gemisch aus diesen Metallen ist.

3. Wärmedämmendes Schichtsystem nach Anspruch 1 und 2, dadurch gekenn­ zeichnet, dass das Metall für die dielektrische Deckschicht Bi, Sn, Zn oder ein Gemisch aus diesen Metallen ist.

4. Wärmedämmendes Schichtsystem nach Anspruch 1 bis 3, dadurch gekenn­ zeichnet, dass die dielektrische Zwischenschicht 5 bis 25 nm dick ist.

5. Wärmedämmendes Schichtsystem nach Anspruch 1 bis 4, dadurch gekenn­ zeichnet, dass die dielektrische Deckschicht 5 bis 60 nm dick ist.

6. Wärmedämmendes Schichtsystem nach Anspruch 1 bis 5, dadurch gekenn­ zeichnet, dass die dielektrische Zwischenschicht durch Regelung des Reaktivgases als eine leicht überstöchiometrische Schicht abgeschieden ist.