DE19630441C2 - Verfahren zur Analyse von Reinstchemikalien, Vorrichtung zur Durchführung dieses Verfahrens und Verwendung der Vorrichtung des Verfahrens oder der Vorrichtung zur Analyse von Reinstchemikalien - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Analyse organischer Verunreinigungen von Reinstchemikalien so­ wie deren Verwendung zur Analyse von Halbleiterchemikalien.

In vielen Bereichen der Technologie, wie in der Halbleiterher­ stellung, der Mikrobiologie, der Spurenanalytik, sowie in man­ chen klinischen Bereichen werden Chemikalien von höchster Reinheit benötigt. Diese Chemikalien können Säuren, Basen, neutrale Oxidationsmittel, Salze, oder aber organische Chemi­ kalien wie Komplexbildner, oberflächenaktive Substanzen und Lösungsmittel sein.

Die Herstellung dieser Reinstchemikalien erfordert geeignete Analyseverfahren, mit deren Hilfe die Herstellung der Reinst­ chemikalien überwacht und ggf. verbessert werden kann.

Was die anorganischen Verunreinigungen betrifft, ist der wis­ senschaftliche Stand der Technik inzwischen sehr weit gediehen und es können für viele Kationen und Anionen Konzentrationen im ppt-Konzentrationsbereich (parts per trillion) nachgewiesen werden. Für organische Verunreinigungen liegen die erfaßbaren Konzentrationen um mehrere Größenordnungen darüber. Typisch sind der ppm- bis obere ppb-Bereich (parts per million bis parts per billion).

Die Gründe hierfür liegen in den erheblichen meßtechnischen Schwierigkeiten, die bei der Erfassung organischer Verunreini­ gungen von Chemikalien auftreten können.

Da es sich um Verbindungen mit extrem unterschiedlichen chemi­ schen Eigenschaften handelt, muß zu deren Erfassung auf indi­ rektem Wege ein allen organischen Verbindungen gemeinsames Element quantifiziert werden. Das Element Kohlenstoff ist hierfür am besten geeignet, da es die Klasse der organischen Verbindungen selbst definiert. In der Fachwelt hat sich als summarischer Parameter der Begriff "TOC" (Total Organic Car­ bon) oder auch "DOC" (Dissolved Organic Carbon) etabliert.

Der Kohlenstoff der organischen Verbindungen muß zur meßtechnischen Erfassung vollständig oxidiert werden, und das Oxidationsprodukt Kohlendioxid muß quantitativ aus der Lösung ausgetrieben und als Gas erfaßt werden. Daneben muß jedoch der anorganisch gebundene Kohlenstoff, der oft in wesentlich höheren Konzentrationen vorliegt, ebenfalls umgesetzt und als Kohlendioxid quantitativ entfernt werden.

Nach den in der Literatur beschriebenen Verfahren werden die organischen Verunreinigungen in der wäßrigen Matrix in spe­ ziellen Reaktoren quantitativ zu Kohlendioxid und Wasser umge­ setzt und das Kohlendioxid nach dessen Austreibung in einem Infrarotdetektor quantifiziert.

Sofern organische Verbindungen in wäßrigen Lösungen bestimmt werden, gibt es inzwischen eine Fülle von Vorrichtungen, die diese Verfahrensschritte voll automatisiert und in hoher Prä­ zision durchführen können.

Erhebliche Probleme bereitet jedoch die Analytik organischer Verunreinigungen in Chemikalien, insbesondere in anorganischen Reinstchemikalien. Der Oxidationsschritt erfordert im Falle von Säuren, Basen und neutralen Oxidationsmitteln häufig die Neutralisation oder aber die weitgehende Entfernung der Chemi­ kalie, weil diese die Oxidation behindern, die Apparaturen schädigen, oder weil die korrekte Erfassung des Kohlendioxids im Infrarotdetektor aufgrund von Reaktionsprodukten aus der Chemikalie nicht möglich ist. Diese Probevorbehandlung ist nicht nur zeitaufwendig, sondern führt auch zu systematischen Fehlern, da die qualitative und quantitative Zusammensetzung der organischen Verunreinigungen in der Regel verändert wer­ den. Große Probleme bereitet auch die Analyse von Salzen. Die­ se werden zunächst in Reinstwasser gelöst, behindern aber in vielen Fällen die Oxidation oder führen zu Korrosionserschei­ nungen.

Weiterhin kann nach dem wissenschaftlichen Stand der Technik der Gehalt an organisch gebundenem Kohlenstoff nur summarisch bestimmt werden. Da die Zusammensetzung der organischen Verun­ reinigungen von Reinstchemikalien in der Regel jedoch sehr he­ terogen ist, sind zusätzliche qualitative Aussagen von größtem Interesse.

Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Quantifizierung und qualitativen Cha­ rakterisierung der organischen Verunreinigungen zu schaffen, sowie eine neuartige Verwendung dieses Verfahrens und der Vor­ richtung anzugeben.

Diese Aufgabe wird durch ein Verfahren gemäß den Merkmalen des Anspruchs 1 gelöst. Hierbei wird die Reinstchemikalie mittels eines flüssigkeitschromatographischen Verfahrens von den orga­ nischen Verunreinigungen abgetrennt. Die Verunreinigungen wer­ den gleichzeitig gemäß ihren physikalisch-chemischen Eigen­ schaften in unterschiedliche Fraktionen aufgetrennt. An­ schließend wird der Kohlenstoffgehalt in diesen Fraktionen durch die kohlenstoffselektive Detektionseinheit ermittelt. Die entsprechenden Signale werden von dem Prozeßrechner inte­ griert und in Konzentrationen umgerechnet. Die Summe aller In­ tegrale ergibt die Summe an Kohlenstoff in der Chemikalie. Die qualitativen Aussagen über die organischen Verunreinigungen sind aus den unterschiedlichen Retentionszeiten der einzelnen Fraktionen innerhalb der Trennanordnung, sowie aus den Meßwerten weiterer Detektoren herleitbar. Durch die Abtrennung der Reinstchemikalie erfolgt die Analyse der Verunreinigungen weitgehend matrixfrei, also ohne Beeinflussung durch die Che­ mikalie selbst. Verunreinigungen, die ein bezüglich der Reinstchemikalie ähnliches Retentionsverhalten haben, werden ebenfalls nahezu matrixfrei erfaßt, da diese aufgrund konkur­ rierender Prozesse zwischen der Reinstchemikalie und der sta­ tionären Phase verdrängt werden.

Vorteilhafte Ausgestaltungen des Verfahrens sind gemäß den Un­ teransprüchen 2 und 3 gegeben.

Die dem Dünnfilmreaktor zugeführten Flüssigkeiten und Gase können mit Vorteil vorgereinigt werden. Die hierzu dem Dünnfilmreaktor vorgeschaltete Reinigungseinheit weist vor­ teilhafterweise einen außerhalb des Entladungsbereichs eines zur Reinigung vorgesehenen UV-Strahlers angeordneten Reaktor auf. Hierdurch wird ein Verlöschen des UV-Strahlers durch dif­ fundierende Reaktionsgase vermieden.

Für das flüssigkeitschromatographische Trennverfahren wird vorteilhafterweise hochreines Wasser als mobile Phase einge­ setzt. Nach Anspruch 3 können in Abhängigkeit von der zu ana­ lysierenden Reinstchemikalie auch andere Flüssigkeiten als mo­ bile Phase eingesetzt werden.

Die erfindungsgemäße Aufgabe wird auch durch eine Vorrichtung gemäß den Merkmalen des Anspruchs 4 gelöst. Diese Vorrichtung erlaubt die qualitative und quantitative Bestimmung organi­ scher und anorganischer Verunreinigungen der zu prüfenden Reinstchemikalie.

Eine gattungsgemäße Vorrichtung ist in Verbindung mit der Ana­ lyse organischer Inhaltsstoffe in Grund- und Oberflächenwäs­ sern bekannt geworden, S. A. Huber und F. H. Frimmel: Gelchro­ matographie mit Kohlenstoffdetektion LC-OCD: Ein rasches und aussagekräftiges Verfahren zur Charakterisierung hydrophiler organischer Wasserinhaltsstoffe. Vom Wasser, 86, pp 277-290, 1996. Eine Adaptation dieser Vorrichtung für die Analyse von Reinstchemikalien ist allerdings bislang ausgeblieben.

Zentraler Bestandteil der Vorrichtung ist ein Dünnfilmreaktor zur Erfassung des organisch gebundenen Kohlenstoffs. Ein der­ artiger Detektor ist beschrieben in: S.A. Huber, F.H.Frimmel: Flow-Injection Analysis of Organic and Inorganic Carbon in the Iow-ppb Concentration Range, Analytical Chemistry, 63, pp 2122-2130, 1991.

Vorteilhafte Ausgestaltungen dieser Vorrichtung ergeben sich gemäß den Merkmalen der Ansprüche 5 bis 18.

Dem Dünnfilmreaktor sind Reinigungseinheiten zugeordnet, die vorteilhafterweise so aufgebaut sind, daß durch etwaige Reak­ tionsgase nicht die Funktion der Reinigungseinheiten beein­ trächtigt werden kann. Dies führt bei einigen der angeschlos­ senen Detektoren zu einer Absenkung der Signalgrundlinie und damit zu einer Erhöhung der Nachweisstärke sowie zu einer höheren Präzision der Meßergebnisse.

Eine weitere Verbesserung der Vorrichtung besteht darin, daß die verwendete Trennanordnung mehrere Trennsäulen umfaßt, die gezielt beaufschlagbar sind. Auf diese Weise können unter­ schiedliche Reinstchemikalien mittels unterschiedlicher Trenn­ säulen fraktioniert werden.

In weiterer Ausgestaltung können organische Partikel, die in der Halbleiterherstellung eine besondere Problematik darstel­ len, separat bestimmt werden. Hierzu wird die Probe über ein Durchlauffilter geleitet, welches sich am Eingang der Trenn­ säule befindet und mittels eines Mehrwege-Ventils im Rückfluß dann hinter die Trennsäule geschaltet, wenn sich die eigentli­ che Probe noch auf der Säule befindet. In der kohlenstoffse­ lektiven Detektionseinheit wird anschließend der Gehalt an Kohlenstoff in diesen Partikeln bestimmt. Die entsprechenden Signale erscheinen am Anfang des jeweiligen Chromatogramms.

Durch die Verwendung einer selbsttätigen Injektionseinrichtung zur Einleitung der Reinstchemikalie wird die verfahrenstechni­ sche Effizienz der Vorrichtung erhöht. Hierdurch ist ein 24-Stunden-Betrieb der Anlage möglich. Gegebenenfalls kann die Injektionseinrichtung auch zur Neutralisation basischer Chemi­ kalien, wie Ammoniak oder Natronlauge, eingesetzt werden.

In weiterer Ausgestaltung kann diese Injektionseinrichtung selbsttätig gereinigt werden.

Vor der quantitativen Bestimmung der einzelnen Fraktionen er­ folgt vorteilhafterweise bereits eine qualitative Detektion der Inhaltsstoffe gemäß Anspruch 12.

Im einzelnen kann ein Leitfähigkeitsdetektor und ein UV-Detek­ tor vorgeschaltet sein.

Den Ausgängen des Dünnfilmreaktors sowie der Vorrichtung ins­ gesamt können weitere Detektoren gemäß den Ansprüchen 14 bis 17 zugeordnet sein.

Nach Anspruch 18 sind die korrosionsgefährdeten Teile der Vor­ richtung aus einem inerten Kunststoff, insbesondere aus Te­ flon, hergestellt. Auch diese Maßnahme erhöht die Lebensdauer der Vorrichtung beträchtlich.

Zur Lösung der erfindungsgemäßen Aufgabe wird gemäß Anspruch 19 auch eine neuartige Verwendung des beanspruchten Verfahrens sowie der beanspruchten Vorrichtung angegeben.

Nachstehend wird die Erfindung anhand eines in der Zeichnung nur schematisch dargestellten Ausführungsbeispiels näher er­ läutert.

Es zeigen:

Fig. 1 eine vereinfachtes Blockschaltbild einer Analyse­ vorrichtung,

Fig. 2 ein detaillierteres Blockschaltbild der Analyse­ vorrichtung und

Fig. 3 ein mittels der Analysevorrichtung gewinnbares Analysediagramm.

Gemäß Fig. 1 umfaßt die Vorrichtung 1 zur Analyse von Reinst­ chemikalien im wesentlichen ein Vorratsgefäß 2, eine Flüssigkeitspumpe 3, eine Injektionseinrichtung 4, eine chro­ matographische Trennsäule 5, sowie eine kohlenstoffselektive Detektionseinheit 26 für die Erfassung des organisch und anor­ ganisch gebundenen Kohlenstoffs.

Die genannten Komponenten 2, 3, 4, 5 und 26 der Vorrichtung 1 stehen miteinander in Strömungsverbindung.

Die kohlenstoffselektive Detektionseinheit 26 basiert auf ei­ nem Dünnfilmreaktor 6, welcher bereits ausführlich in der DE 34 22 553 C1 oder der DE 25 15 604 C2, auf deren Offenbarung hier ausdrücklich Bezug genommen wird, beschrieben ist. Es handelt sich jeweils um Dünnfilmreaktoren vom Gräntzeltyp. Es können allerdings auch andere Reaktoren in Verbindung mit der erfin­ dungsgemäßen Vorrichtung betrieben werden.

Die Vorrichtung 1 wird anhand Fig. 2 näher beschrieben. Alle flüssigkeitsführenden Teile sind aus speziellen Polymerwerk­ stoffen oder aber aus Quarzglas gefertigt. Korrosionsgefähr­ dete Anlagenteile sind aus einem inerten Kunststoff, vorwie­ gend aus Teflon, gefertigt. Hierdurch ist die Lebensdauer der Anlage beträchtlich erhöht.

Das Kernstück der Vorrichtung 1 ist der Dünnfilmreaktor 6. Dieser Reaktor 6 benötigt für den Betrieb die kontinuierliche Zuführung einer Ansäuerungslösung, einer mobilen Phase und ei­ nes inerten Trägergases. Die mobile Phase wird über eine Null­ wasseranlage 11 zur Vorreinigung und die Pumpe 3 nach Durch­ lauf durch die chromatographische Trennanordnung 5 dem Dünnfilmreaktor 6 zugeführt. Die Ansäuerungslösung wird eben­ falls über eine weitere Nullwasseranlage 10 vorgereinigt und dann mittels einer weiteren Pumpe 25 dem Dünnfilmreaktor 6 zu­ geführt. Das Trägergas durchläuft ebenfalls eine Reinigungs­ einrichtung 12, bevor es dem Dünnfilmreaktor 6 zugeführt wird.

Die mobile Phase tritt dann in die selbsttätige Injektionsein­ richtung 4 ein, der zur internen Reinigung des Injektionsven­ tils eine Spülpumpe und ein Reinigungsgefäß für destilliertes Wasser zugeordnet ist. Danach passiert die mobile Phase, bzw. die Probe, ein 4-Wege-Ventil 19. Innerhalb des 4-Wege-Ventils 19 wird durch eine Schaltungsmimik der partikuläre Anteil der Probe mittels eines Durchlauffilters 18 abgetrennt und unter Umgehung der Trennanordnung 5 im Rückfluß dem Dünnfilmreaktor 6 zugeführt. Die Probe passiert weiterhin zwei 6-Wege-Ventile 16, 17 wodurch in der dargestellten Ausführungsform drei ver­ schiedene chromatographische Trennsäulen 13, 14, 15 beströmt werden können.

Die einzelnen Trennsäulen 13, 14, 15 sind gezielt beaufschlagbar und können unterschiedliche stationäre Phasen enthalten und somit auf die Analyse bestimmter Reinstchemikalien abgestimmt sein, oder für Gegenproben verwendet werden.

Für jede Reinstchemikalie müssen spezifische Meßbedingungen eingehalten werden. Hierfür stehen Variationsmöglichkeiten zu Verfügung. Einige sollen hier aufgeführt werden:

• Variation des chromatographischen Trennmaterials: Hier bie­ ten sich poröse Metalle, Polymere, Silikate, Phosphate oder Gläser zur Auftrennung der Verunreinigungen nach ihrer Mo­ lekülgröße sowie polymere Anionen- oder Kationenaustauscher zu Auftrennung der Verunreinigungen nach ihren funktionel­ len Gruppen, sowie weiter Polymer- oder Glas- gestützte hydrophobe Materialien zur Auftrennung der Verunreinigungen nach ihrer spezifischen Hydrophobizität an.
• Variation der mobilen Phase: Hier bieten sich an die Elu­ tion mit Wasser, mit basischen oder sauren Puffern, oder die kontrollierte "Verschneidung" verschiedener mobiler Phasen durch Ansteuerung mehrerer Pumpen, die sogenannte Gradientenelution.
• Varation der Probenvorbereitung: Viele Reinstchemikalien können direkt auf die chromatographische Trennanordnung 5 injiziert werden. Gegebenenfalls kann die Chemikalie zuvor mit mobiler Phase verdünnt oder neutralisiert werden. Die Verdünnungsfaktoren sind bei der Auswertung zu berücksichtigen. Die organischen Verunreinigungen der zur Neutralisation verwendeten Chemikalien müssen ebenfalls berücksichtigt werden. Die Probenvorbereitung kann selbst­ tätig mit dem Probeaufgabesystem durchgeführt werden.

Nach Durchlauf wenigstens einer der Trennsäulen 13, 14, 15 passiert die nunmehr in einzelne Fraktionen aufgespaltene Pro­ be in der dargestellten Ausführungsform zunächst einen UV- oder auch Diodenarray-Detektor 20 und anschließend einen Leit­ fähigkeitsdetektor 21. Danach werden die Fraktionen dem Dünnfilmreaktor 6 zugeführt. Im Ausgang des Dünnfilmreaktors 6 wird das oxidierte Eluat über eine zusätzliche Pumpe 22 abge­ zogen und einem stickstoffselektiven Detektor 23 zugeführt.

Die Detektion des im Dünnfilmreaktor 6 aus dem organisch ge­ bundenen und dem anorganisch gebundenen Kohlenstoff gebildeten Kohlendioxids erfolgt in zwei Infrarotdetektoren 7, 8. Weiter­ hin kann hinter den Infrarotdetektor 7 ein Flammenionisations­ detektor 24 zur Quantifizierung der flüchtigen organischen Verunreinigungen geschaltet werden.

Die Steuerung der Komponenten der Vorrichtung 1 sowie die Er­ fassung und visuelle Darstellung der Detektorsignale erfolgt über einen Prozeßrechner 9.

Fig. 3 zeigt das Chromatogramm von hochreinem, 31%-igem Was­ serstoffperoxid, wie es in der Halbleiterfertigung eingesetzt wird. Chromatogramme anderer Reinstchemikalien können analog gefertigt und ausgewertet werden.

Als chromatographische Trennsäule 13 wurde ein poröses Polymer verwendet, das Trennprinzip ist hierbei primär die Mo­ lekülgröße, untergeordnet aber auch die Hydrophobizität. Die Detektion erfolgte durch den UV-Detektor 20 gemäß der dünn eingezeichneten Linie, sowie durch die kohlenstoffselektive Detektionseinheit 26, wobei die stärker ausgezogene Linie le­ diglich den organisch gebundenen Anteil an Kohlenstoff wieder­ gibt.

Die Chemikalie ist im UV-Detektor bei einer Wellenlänge von 254 Nanometern sehr gut nachweisbar 27. Die Signale für den organisch gebundenen Kohlenstoff weisen mehrere Signalbanden auf. Nachgewiesen werden können der partikulär gebundene An­ teil der Probe 28, eine hochmolekulare Fraktion < 4000 g/mol 29, monoprotische 30 und diprotische 31 Säuren, sowie drei weitere Fraktionen 32, 33, 34, die aufgrund ihrer langen Auf­ enthaltszeit hydrophobe Eigenschaften haben. Der Gehalt an or­ ganisch gebundenen Kohlenstoff in dieser Chemikalie wurde durch Integration aller Flächen des Chromatogramms ermittelt und betrug 19,9 Milligramm pro Liter.

Wie auch aus diesem Chromatogramm deutlich wird, erlaubt das beschriebene Verfahren bzw. die erfindungsgemäße Vorrichtung die großindustrielle Analyse von Reinstchemikalien mit einer bisher nicht erreichten Genauigkeit.

Bezugszeichenliste

1

Vorrichtung

2

Vorratsgefäß

3

Flüssigkeitspumpe

4

Injektionseinrichtung

5

Trennanordnung

6

Dünnfilmreaktor

7

Infrarot-Detektor

8

weiterer Infrarot-Detektor

9

Prozeßrechner

10

Nullwasseranlage

11

weitere Nullwasseranlage

12

Reinigungseinrichtung

13

Trennsäule

14

Trennsäule

15

Trennsäule

16

6-Wege-Ventil

17

weiteres 6-Wege-Ventil

18

Durchlauffilter

19

4-Wege-Ventil

20

Diodenarray- oder UV-Detektor

21

Leitfähigkeitsdetektor

22

weitere Flüssigkeitspumpe

23

stickstoffselektiver Detektor

24

Flammenionisationsdetektor

25

weitere Flüssigkeitspumpe

26

kohlenstoffselektive Detektionseinheit.

Claims (19)

1. Verfahren zur Analyse von Reinstchemikalien, bei dem

• - organische Verunreinigungen der Reinstchemika­ lien mittels eines flüssigkeitschromatographischen Trennverfahrens in einzelne Fraktionen aufgetrennt wer­ den,
• - diese einzelnen Fraktionen einer kohlenstoffselektiven Detektionseinheit (26), die auf einem Dünnfilmreaktor (6) vom Gräntzeltyp basiert, zugeleitet werden,
• - der in den einzelnen Fraktionen vorliegende anorganisch gebundene Kohlenstoff innerhalb des Dünnfilmreaktors (6) zu Kohlendioxid umgesetzt, anschließend ausgetrieben und in einem Infrarotdetektor (7) quantitativ detektiert wird,
• - der in den einzelnen Fraktionen vorliegende organisch gebundene Kohlenstoff innerhalb des Dünnfilmreaktors (6) zu Kohlendioxid oxidiert, anschließend ausgetrieben und in einem weiteren Infrarotdetektor (8) quantitativ detektiert wird und
• - die Meßergebnisse einem Prozeßrechner (9) zur weiteren Datenverarbeitung und -auswertung zugeleitet werden.

2. Verfahren nach Anspruch 1, bei dem mindestens eine der für den Betrieb des Dünnfilmreaktors (6) notwendigen Flüssigkeiten und Gase einer Reinigungseinheit (10, 11, 12) derart zugeführt werden, daß diese innerhalb der Rei­ nigungseinheit (10, 11, 12) einen außerhalb eines Entla­ dungsraumes eines UV-Stahlers angeordneten Reaktor zur Vorreinigung passieren.

3. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, bei dem die Reinstchemikalie mit Hilfe einer mobilen Phase, die hochreines Wasser ist, eine Säure, eine Base, ein Puffer, oder eine während des chromatographi­ schen Trennvorgangs variierbare Kombination derselben, auf eine chromatographische Trennanordnung (5) gegeben wird.

4. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens zur Analyse von Reinstchemikalien nach einem oder mehreren der vor­ hergehenden Ansprüche, bei der eine chromatographische Trennanordnung (5) zur Auftrennung der Reinstchemikalie in einzelne Fraktionen einer kohlenstoffselektiven Detek­ tionseinheit (26) zur zeitlich versetzten Umsetzung des in den einzelnen Fraktionen anorganisch und organisch ge­ bundenen Kohlenstoffs in Kohlendioxid vorgeschaltet ist, wobei die Detektionseinheit (26) einen Dünnfilmreaktor (6), der vom Gränzeltyp ist, umfaßt, und bei der diesem Dünnfilmreaktor (6) wenigstens ein Infrarotdetektor (7, 8) zur Erfassung des erzeugten Koh­ lendioxids nachgeschaltet ist, wobei jeder Infrarotdetek­ tor (7, 8) der Vorrichtung (1) mit einem Prozeßrechner (9) zur Datenerfassung und -auswertung in Datenverbindung steht.

5. Vorrichtung nach Anspruch 4, bei der dem Dünnfilmreaktor (6) ein Ansäuerungsmittel zur Umsetzung des innerhalb der einzelnen Fraktionen anorganisch gebundenen Kohlenstoffs in Kohlendioxid und ein inertes Trägergas zum Austreiben dieses Kohlendioxids zugeleitet ist.

6. Vorrichtung nach Anspruch 5, bei der die einzelnen Frak­ tionen, das Ansäuerungsmittel und/oder das Trägergas vor dem Eintritt in den Dünnfilmreaktor (6) eine Reinigungs­ einheit (10, 11, 12) durchströmen, die einen UV-Strahler mit einem Entladungsraum und einen Reaktor aufweist, der außerhalb des Entladungsraumes angeordnet ist.

7. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 4 bis 6, bei der die chromatographische Trennanordnung (5) mehrere Trenn­ säulen (13, 14, 15) umfaßt, die mittels steuerbarer Mehrwegventile (16, 17) gezielt mit den jeweiligen Proben oder Probeanteilen beaufschlagbar sind.

8. Vorrichtung nach einen der Ansprüche 4 bis 7, bei der der Trennanordnung (4) ein Filter (18) zur Abtrennung eines etwaigen partikulären Anteils der Probe vorgeschaltet ist.

9. Vorrichtung nach Anspruch 8, bei der der Filter (18) mit einem steuerbaren Mehrwegventil (19) zur Ausspülung des zurückgehaltenen partikulären Anteils der Probe verbunden ist und dieses Mehrwegventil (19) mit der chromatographischen Trennanordnung (5) derart in Strömungsverbindung steht, daß der ausgespülte partikulä­ re Anteil unter Umgehung der Trennanordnung (5) der koh­ lenstoffselektiven Detektionseinheit (26) zuleitbar ist.

10. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 4 bis 9, bei der der chromatographischen Trennanordnung (5) eine selbsttä­ tige Injektionseinrichtung (4) zur automatisierten Ein­ leitung der Reinstchemikalie vorgeschaltet ist.

11. Vorrichtung nach Anspruch 10, bei der die Injektionsein­ richtung (4) ein spülbares Injektionsventil aufweist, das mit einem Reinigungsflüssigkeitsbehälter, vorzugsweise für destilliertes Wasser, strömungsverbunden ist.

12. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 4 bis 11, bei der zwischen der chromatographischen Trennanordnung (5) und dem Dünnfilmreaktor (6) weitere Detektoren (20, 21), die jeweils mit dem Prozeßrechner (9) in Datenverbindung ste­ hen, zur qualitativen Bestimmung der Inhaltsstoffe der einzelnen Fraktionen angeordnet sind.

13. Vorrichtung nach Anspruch 12, bei der zwischen der chro­ matographischen Trennanordnung (5) und der kohlenstoffse­ lektiven Detektionseinheit (26) wenigstens ein UV-Detek­ tor (20) und wenigstens ein Leitfähigkeitsdetektor (21) zur qualitativen Bestimmung der Inhaltsstoffe der einzel­ nen Fraktionen angeordnet sind.

14. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 4 bis 13, bei der ein Ausgang des Dünnfilmreaktors (6) über eine Flüssigkeitspumpe (22) mit einem stickstoffselektiven De­ tektor (23) verbunden ist.

15. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 4 bis 14, bei der zwei weitere Ausgänge des Dünnfilmreaktors (6) mit je­ weils einem Infrarotdetektor (7, 8) zur quantitativen Be­ stimmung des organisch gebundenen Kohlenstoffs einerseits und des anorganisch gebundenen Kohlenstoffs andererseits verbunden sind.

16. Vorrichtung nach Anspruch 15, bei der dem Infrarotdetek­ tor (8) zur Erfassung des anorganisch gebundenen Kohlen­ stoffs ein Flammenionisationsdetektor (24) zur quantita­ tiven Bestimmung der flüchtigen organischen Inhaltsstoffe nachgeschaltet ist.

17. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 4 bis 16, bei der UV-Detektoren, Diodenar­ ray-Detektoren, Fluoreszenzdetektoren, Leitfähigkeitsde­ tektoren und/oder halogenidselektive Detektoren innerhalb der Vorrichtung (1) angeordnet sind.

18. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 4 bis 17, bei der die flüssigkeitsführenden Vorrichtungsteile aus Teflon, aus Polyet­ her-Etherketon oder aus Glas, hergestellt sind.

19. Verwendung des Verfahrens nach einem der Ansprüche 1 bis 3 oder der Vorrichtung (1) nach einem der Ansprüche 4 bis 18 zur Analyse von Reinstchemikalien, insbesondere Was­ serstoffperoxid, Ammoniumhydroxid, Ammoniumfluorid, Flußsäure, Phosphorsäure, Salpetersäure, Schwefelsäure, Natronlauge, Ammoniak und/oder von organischen Reinstche­ mikalien, Komplexbildnern, oberflächen­ aktiven Substanzen und Lösungsmitteln.