DE19619616A1

DE19619616A1 - Verfahren zum Einstellen der Porosität von keramischen Verbundwerkstoffen aus siliciumorganischen Polymeren

Info

Publication number: DE19619616A1
Application number: DE1996119616
Authority: DE
Inventors: Juergen Dipl Ing Oberle; Horst Dr Boeder; Karl-Heinz Dr Ing Dr Heussner
Original assignee: Robert Bosch GmbH
Current assignee: Robert Bosch GmbH
Priority date: 1996-05-15
Filing date: 1996-05-15
Publication date: 1997-11-20
Also published as: WO1997043229A1

Description

Stand der Technik

Die Erfindung betrifft ein Verfahren nach der Gattung des Anspruchs 1.

Unter Porosität ist die scheinbare bzw. offene Porosität zu verstehen, die gemäß DIN EN 623 (Teil 2) definiert ist als das Verhältnis des Gesamtvolumens der offenen Poren eines porösen Körpers zu seinem Rohvolumen, wobei unter Rohvolumen die Summe der Volumina von Feststoff, offenen Poren und geschlossenen Poren eines porösen Körpers zu verstehen ist, offene Poren, solche sind, die im Vakuum von einer Immersionsflüssigkeit bzw. mit der Atmosphäre im Kontakt sind und geschlossene Poren sol che sind, die nicht von einer Immersionsflüssigkeit penetriert werden bzw. nicht mit der Atmosphäre in Verbindung stehen.

Um mechanisch stabile Keramikkörper aus siliciumorganischen Polymeren herzustellen, genügen bereits Temperaturen von etwa 800°C, während Sinterpulver meist erst bei Sinter-Temperaturen oberhalb von 1200°C mechanisch stabile Körper ergeben. Die Herstellung keramischer Formkörper aus gefüllten siliciumor ganischen Polymeren erfordert also wesentlich niedrigere Temperaturen als das Sintern keramischer Pulver. Ein solches Verfahren ist beispielsweise aus der EP 0 412 428 B1 bekannt. Dabei wird dem Ausgangspolymeren ein metallischer Füller zuge mischt, der mit den bei der Pyrolyse der Polymerverbindungen entstehenden Zersetzungsprodukten reagiert. Bei der Pyrolyse wird bei einer Temperatur im Bereich zwischen 600 bis - wegen der hohen Anwendungstemperatur - 1800°C und häufig in einer Inertgasatmosphäre gearbeitet. Als Füllerkomponenten werden u. a. solche aus Chrom, Molybdän, Silicium und intermetallischen Verbindungen von Vertretern der vierten bis sechsten Nebengrup pe des Periodensystems mit Bor, Silicium oder Aluminium einge setzt. Mit dem Verfahren sollen Verbundkörper mit Eigenschaften hergestellt werden, die für Verwendungen geeignet sind, bei welchen sie mechanisch und thermisch hoch beansprucht werden, und eine hohe Dichte aufweisen. Es wird als Vorteil herausge stellt, daß die hergestellten Verbundkörper nur sehr kleine Poren aufweisen.

Ein wesentlicher Vorteil bei den durch Pyrolyse erzeugten Keramiken gegenüber gesinterten Keramiken besteht außerdem darin, daß durch die Art des Füllers weitere Funktionseigen schaften, wie beispielsweise die elektrische Leitfähigkeit und die katalytische Aktivität, gezielt eingestellt werden können, d. h. es können Werkstoffe mit gezielt einstellbarem Eigen schaftsprofil für mehrfunktionelle Anwendungen hergestellt werden. Die Herstellung von keramischen elektrischen Widerstän den, durch Pyrolyse mindestens eines siliciumorganischen Polymers und mindestens eines mindestens eine hochschmelzende leitfähige oder isolierende Komponente enthaltenden Füllers sind in der DE 44 35 324 A1 beschrieben. Die Füller-Komponente besteht z. B. aus CrSi₂, MoSi₂, Si₃N₄, Graphit, Fe, Pt, Al₂O₃, Si und wird mit 5 bis 50 Vol. -% bezogen auf die lösungsmittel freie Polymer-Füller-Mischung eingesetzt. Pyrolysiert wird beispielsweise bei einer Endtemperatur von 1200°C.

Zwar werden zur Charakterisierung der in der DE 44 35 324 A1 beschriebenen Produkte auch ihre offene Porosität angegeben, bisher war es jedoch nicht möglich, die Porosität solcher Werk stoffe, insbesondere eine hohe Porosität, gezielt einzustellen. Dies wäre vorteilhaft: durch die Kombination von hoher Porosi tät und angepaßtem elektrischem Widerstand könnten beispiels weise direkt elektrisch beheizbare Filter oder Katalysator träger realisiert werden. In Kombination mit katalytisch wirkenden Füllern, wie z. B. Platin, könnten eigenbeheizbare Katalysatoren hergestellt werden.

Vorteile der Erfindung

Das Verfahren der eingangs genannten Art mit den Merkmalen des Anspruchs 1 ermöglicht die Einstellung der Porosität innerhalb weiter Grenzen. Dadurch, daß das erwünschte Ergebnis auf verschiedenen Wegen, d. h. durch das Verändern verschiedener Parameter und zwar einzeln oder in Kombination, erreicht werden kann, ist es möglich die Porosität zu verändern, ohne daß des halb eine beachtliche Verschlechterung anderer Eigenschaften, auf die es bei der beabsichtigten Anwendung ankommt, in Kauf genommen werden muß, oder daß auf den Einsatz der preisgün stigsten Ausgangsmaterialien oder des technisch günstigsten Herstellungsverfahrens verzichtet werden muß.

Da bei der Auswahl des Füllers, bei dem es sich um ein Gemisch von Materialien handeln kann, wirtschaftliche Überlegungen eine Rolle spielen, ist es vorteilhaft, wenn zunächst ein möglichst preisgünstiger Füller ausgesucht wird und dann die gewünschte Porosität über die entsprechende Einstellung der mittleren Korngröße(n) des Füllers, des Füllergehalts und der Pyrolyseendtemperatur gesteuert wird.

Da man sich aufwendige Mahl- und Klassieroperationen spart, wenn man sich auf handelsübliche Korngrößen festlegt, ist es vorteilhaft, wenn außer der Art des Füllers auch noch seine mittlere(n) Korngröße(n) festgelegt wird (werden) und dann die gewünschte Porosität über eine entsprechende Einstellung des Füllergehalts und der Pyrolyseendtemperatur gesteuert wird.

Da bei teuren Füllern auch der Füllergehalt eine wirtschaftlich bedeutsame Größe ist, ist es in einem solchen Fall vorteilhaft, wenn die Art und die mittlere Korngröße(n) des Füllers, und auch noch der Füllergehalt festgelegt wird, und dann die Poro sität über die Pyrolyseendtemperatur gesteuert wird. Da jedoch die Pyrolyseendtemperatur auch Bedingungen unterliegen kann, beispielsweise dann, wenn das Pyrolyseprodukt bei seiner Anwen dung hohen Temperaturen ausgesetzt werden soll, kann es auch geboten sein, außer der Art und der (den) mittleren Korngrö ße(n) des Füllers auch die Pyrolyseendtemperatur festzulegen und die Porosität über die Einstellung des Füllergehalts zu steuern. Dies kann auch noch deshalb vorteilhaft sein, weil sich über den Füllergehalt die höchsten Porösitäten einstellen lassen.

Da sich bereits bei etwa 800°C Körper mit Keramikcharakter bilden und höhere Temperaturen als 1200°C normalerweise nicht notwendig sind, ist es vorteilhaft, die Pyrolyseendtemperatur auf einen Wert im Bereich zwischen etwa 780 und etwa 1200°C einzustellen, wobei der Bereich zwischen etwa 800 und etwa 900°C besonders dann vorteilhaft ist, wenn eine hohe Porosität angestrebt wird. Allerdings haben die in dem niedrigen Tempera turbereich gesinterten Materialien nur eine geringe mechanische Festigkeit.

Füller, die aus der Gruppe ausgewählt sind, welche aus Metal len, Siliciden, Silicium, Carbiden, Graphit, Boriden, Bor, Oxi den und Nitriden oder Kombinationen aus zwei oder mehr dieser Materialien besteht, sind nicht nur vorteilhaft, weil sich mit ihnen die Porosität wirksam steuern läßt, sondern auch wegen ihrer chemischen Beständigkeit, weil sie der Keramik gute mechanische Eigenschaften verleihen und weil sich, wenn aus ihnen die dafür geeigneten ausgesucht werden, bei ihrer Zugabe Keramiken mit speziellen, z. B. elektrischen oder dielektrischen Eigenschaften erzeugen lassen. In dieser Hinsicht sind insbe sondere Füllstoffe aus der Gruppe, Molybdänsilicid, Chromsili cid, Siliciumnitrid, Silicium, Aluminiumoxid, Zirkonoxid, Eisen, Platin, Graphit und Kombinationen aus zwei dieser Materialien vorteilhaft.

Der Füllergehalt, bezogen auf die - lösungsmittelfreie - Polymer-Füller-Mischung, liegt bevorzugt zwischen etwa 2 und 95 Vol.-%, da sich innerhalb dieses Bereichs Keramiken mit günstigen Eigenschaften erzeugen lassen. Dabei sind Gehalte zwischen etwa 40 und etwa 90 Vol.-% besonders vorteilhaft.

Die Teilchengröße des Füllers liegt bevorzugt zwischen etwa 0,5 und etwa 80 µm, wobei eine Teilchengröße zwischen etwa 0,9 und etwa 20 µm besonders gut reproduzierbare Porösitäten ergibt.

Zur Herstellung der keramischen Verbundkörper ist es vorteilhaft, als siliciumorganische Polymere Polysiloxan, Polysilan, Polycarbosilan oder Polysilazan einzusetzen.

Zum Mischen des Polymers und des Füllers ist es günstig, wenn diese als Pulver vorliegen und trocken miteinander vermischt werden oder wenn der Füller in einer Lösung des Polymers dispergiert wird.

Zeichnung

Die Zeichnung zeigt in Diagrammen die Abhängigkeit der schein baren Porosität Π_a von der Pyrolyseendtemperatur T_p bei einer mit CrSi₂ gefüllten Keramik (Fig. 2) und vom Füllergehalt C_f bei mit CrSi₂ (Fig. 1) bzw. Si₃N₄ (Fig. 3) gefüllten Keramiken.

Beschreibung der Ausführungsbeispiele

In der folgenden Beschreibung wird zur Erläuterung der Erfin dung als siliciumorganisches Polymer ein Polysiloxan, wie additionsvernetztes Methyl-Phenyl-Vinyl-Hydrogen-Polysiloxan, und als Füller Si₃N₄ bzw. CrSi₂ eingesetzt. Es sei aber klargestellt, daß die Erfindung nicht auf die Anwendung dieser Materialien beschränkt ist. Vielmehr läßt sich die mit dem erfindungsgemäßen Verfahren angestrebte Wirkung auch bei Anwendung der anderen in den Ansprüchen beanspruchten Materialien erzielen.

Zur Herstellung des keramischen Verbundkörpers aus einem Gemisch eines Polysiloxans mit Si₃N₄ bzw. CrSi₂ als Füller wird das Polysiloxan in einem Lösungsmittel, wie Aceton, Hexan, alicyclischen oder aromatischen Kohlenwasserstoffen, gelöst. In dieser Lösung wird der Füller beispielsweise mittels eines üblichen Rührers dispergiert. Aus der erhaltenen Suspension wird das Lösungsmittel, beispielsweise in einem Umluft-Trocken schrank ausgetrieben. Es wird dabei eine knetfähige Masse erhalten, die in einer Preßform verdichtet und unter Druck (typischerweise etwa 10 MPa) und Anwendung von Wärme (typischerweise etwa 200°C) ausgehärtet wird.

Es ist auch möglich, das pulverförmig vorliegende Polymer mit dem Füller - beispielsweise mittels einer Kugelmühle - zu mischen und dann das Pulvergemisch in einer Preßform zu ver dichten. Diese Vorgehensweise ist sogar geboten, wenn der ange strebte Füllergehalt sehr hoch (<70 Vol.-%) ist, weil bei einem solchen Mischungsverhältnis, wenn man große Lösungsmit telmengen vermeiden will, eine homogene Dispersion praktisch nicht herstellbar ist.

Der erhaltene Formkörper wird unter einem fließenden Gas, welches mit dem Polymer und dem Füller nicht reagiert, beispielsweise Argon, pyrolysiert, wobei die Temperatur mit einer Geschwindigkeit im Bereich zwischen etwa 0,1 und etwa 5°C pro Minute zunächst auf eine Temperatur von etwa 450°C, auf der etwa zwei Stunden lang angehalten wird, und dann auf die Pyrolyseendtemperatur, die im Bereich zwischen etwa 780 und etwa 1200°C liegt und die etwa vier Stunden lang gehalten wird, erhitzt. Anschließend wird mit einer Geschwindigkeit, die innerhalb des angegebenen Bereichs liegt wieder auf Raumtem peratur abgekühlt. Das skizzierte Verfahren ist in der DE 44 37 324 A1 beschrieben.

Erhalten wird eine Matrix aus SiOC-Glas, in welche der Füller eingebaut ist. Die Füllerpartikel, beispielsweise aus CrSi₂, können bei der Pyrolyse äußerlich mit dem Polymer unter Bildung von Carbid reagieren.

Zur Steuerung der Porosität, genauer gesagt der offenen bzw. scheinbaren Porosität, wird erfindungsgemäß einer oder mehrere der Parameter aus der Gruppe, Art und Korngröße des Füllers, Füllergehalt und Pyrolyseendtemperatur verändert. Diese Para meter beeinflussen zum Teil auch andere Eigenschaften des Pyro lyseprodukts. Deshalb ist es sehr günstig, daß erfindungsgemäß die Porosität sich mittels verschiedener Parameter steuern läßt, weil man dadurch - durch entsprechende Wahl des (der) Parameter(s) - eine gewünschte Porosität einzustellen kann, ohne in Kauf nehmen zu müssen, daß sich gleichzeitig eine andere Produkteigenschaft beachtlich verschlechtert, auf die es bei der beabsichtigten Anwendung ankommt.

Je nach der Anwendung, die ins Auge gefaßt ist, können als siliciumorganische Polymere, außer Polysiloxan, insbesondere Polysilan, Polycarbosilan oder Polysilazan und als Füller, außer Si₃N₄ und CrSi₂, insbesondere MoSi₂, Si, SiC, Graphit, Al₂O₃, Fe, Pt, ZrO₂, AlN, BN und Kombinationen von zwei oder mehr dieser Stoffe eingesetzt werden.

Der anwendbare Bereich der Pyrolyseendtemperatur ist nach unten einerseits - sofern es auf die mechanische Festigkeit des Pyro lyseprodukts ankommt - dadurch begrenzt, daß erst ab Tempera turen von ungefähr 800°C eine durchgängige Keramisierung stattfindet und andrerseits dadurch, daß die Pyrolyseend temperatur mindestens so hoch wie die Temperatur sein muß, bei der das Pyrolyseprodukt eingesetzt wird. Die obere Grenze setzt die Wirtschaftlichkeit: Man wird die Pyrolyseendtemperatur nicht höher einstellen als nötig.

Bei der Auswahl des Füllers spielt eine Rolle, ob das Pyrolyseprodukt elektrisch leitfähig oder elektrisch isolierend sein soll und ob der Füller preisgünstig erhältlich ist.

Bei der Verwendung von im Handel erhältlichen Füllern ist es praktisch und kostengünstig, sich bei der Festlegung der Korngrößen an die vom Handel angebotenen zu halten, da man sich dadurch Mahl- und Klassieroperationen erspart.

Da die Porosität stark vom Füllergehalt abhängt, ist der Fül lergehalt mit der wesentlichste Parameter für die Steuerung der Porosität. Ein weiterer bevorzugt angewandter Parameter ist die Pyrolyseendtemperatur, der sich insbesondere dann anbietet, wenn einer niedrigen (ca. <800°C) Pyrolyseendtemperatur sonst nichts entgegensteht.

Die Messung der Porosität

Gemessen wird die scheinbare Porosität mit dem Immersions verfahren (s. DIN EN 623, Teil 2), das im Prinzip so verläuft, daß zunächst die Masse der getrockneten Probe bestimmt wird, anschließend an der unter Vakuum mit Immersionsflüssigkeit penetrierten Probe mittels Tauchens in derselben Flüssigkeit und Wägung deren scheinbare Masse bestimmt wird und die noch penetrierte aber von anhaftender Oberflächenflüssigkeit befreite Probe an Luft gemessen wird. Aus den so erhaltenen Meßwerten wird die scheinbare Porosität berechnet.

Im folgenden wird die Erfindung anhand von Beispielen noch detaillierter beschrieben. Die in den Beispielen erzielten Ergebnisse sind zusammen mit den zugehörigen, die Porosität beeinflussenden Parametern in der Tabelle aufgelistet. Die Ergebnisse zeigen, inwieweit die Porosität durch Änderung eines Parameters (die anderen Parameter werden festgehalten) gesteuert werden kann.

Beispiel 1

In ein Becherglas wurden 23,1 g additionsvernetztes Methyl- Phenyl-Vinyl-Hydrogen-Polysiloxan (Wacker Silicon-Imprägnier harz H62 C) eingegeben und in 50 ml Aceton gelöst. In dieser Lösung wurde mittels eines Magnetrührers soviel CrSi₂-Pulver (H. C. Starck Chromsilicid, <10 micron, Korngröße d₅₀ = 3,7 µm) dispergiert, daß - bezogen auf die lösungsmittelfreie Polymer- Füller-Mischung - ein Füllgrad von 30 Vol.-% erreicht wurde. Die Suspension wurde auf eine Hostaphan^TM-Folie gegossen und das Aceton im Umluft-Trockenschrank bei 50°C ausgetrieben. Es wurde eine knetfähige Masse erhalten, die in einer Preßform verdichtet und bei einem Druck von 10 MPa und einer Temperatur von 200°C 30 Minuten lang ausgehärtet wurde. Der so erhaltene Formkörper wurde unter fließendem Argon (etwa 5 l/Std.) mit einer Aufheizgeschwindigkeit von 5°C/Min. zunächst auf 450°C erhitzt, zwei Stunden lang bei dieser Temperatur belassen, dann mit derselben Aufheizgeschwindigkeit auf 1200°C erhitzt und vier Stunden bei dieser Temperatur belassen, bevor mit einer Abkühlgeschwindigkeit von 2,5°C/Min. wieder auf Raumtemperatur abgekühlt wurde. Die gemessene scheinbare Porosität lag bei 5,5% (s. die Tabelle).

Beispiele 2 bis 5

Außer daß der Gehalt des CrSi₂ bei 35, 40, 50 bzw. 60 Vol.-% lag, wurde in den Beispielen 2 bis 5 in derselben Weise vorgegangen wie in Beispiel 1.

Tabelle

Die in den Beispielen 1 bis 5 erhaltenen Porösitäten sind in dem in der Fig. 1 gezeigten Diagramm gegen die entsprechenden Füllergehalte aufgetragen. Wie dem Diagramm zu entnehmen ist, hat die Porosität bei einem CrSi₂-Gehalt von etwa 40 Vol.-% überraschenderweise ein Minimum.

Beispiel 6

Außer daß ein CrSi₂-Pulver mit einer mittleren Korngröße von 1,1 µm verwendet wurde, wurde in derselben Weise wie in Beispiel 1 vorgegangen. Der Vergleich der im Beispiel 6 erreichten Porosität mit der im Beispiel 4 ereichten zeigt, daß durch die Verminderung der mittleren Korngröße von 3,7 auf 1,1 µm die Porosität um mehr als den Faktor 5 abnahm.

Beispiele 7 bis 9

Außer daß bei der Pyrolyse nur auf 600, 800 bzw. 1000°C erhitzt wurde, wurden bei den Beispielen 7 bis 9 in derselben Weise wie in Beispiel 3 vorgegangen.

In dem in der Fig. 2 gezeigten Diagramm sind die in den Bei spielen 3 und 7 bis 9 erreichten Porösitäten gegen die entspre chenden Pyrolyseendtemperaturen aufgetragen. Wie dem Diagramm zu entnehmen ist, weist das Diagramm bei einer Pyrolyseendtem peratur im Bereich von etwa 800°C überraschenderweise ein Maximum auf.

Beispiele 10 bis 12

Außer daß statt CrSi₂ Si₃N₄ als Füller eingesetzt wurde, wurde in den Beispielen 10 bis 12 in derselben Weise vorgegangen wie in den Beispielen 1, 3 bzw. 4. Wie man aus den in der Tabelle aufgeführten Ergebnissen ersieht, läßt sich mit Si₃N₄ bei höhe ren Gehalten eine wesentlich höhere Porosität erreichen wie mit CrSi₂. Die in den Beispielen 10 bis 12 gemessenen Porösitäten sind in dem Diagramm der Fig. 3 gegen die zugehörigen Si₃N₄-Gehalte aufgetragen. Das Diagramm zeigt, daß die Porosität mit zunehmendem Füllergehalt fast linear ansteigt, so daß sich extrapolieren läßt, daß bei noch höheren Si₃N₄-Gehalten Porösi täten von deutlich über 40% erhalten werden können. Die ande ren Ergebnisse lassen den Schluß zu, daß, wenn man gleichzei tig zusätzlich noch die Korngröße des Füllers erhöht und/oder die Pyrolyseendtemperatur auf einen Wert nahe bei 800°C bringt, sich die Porosität auf Werte von über 50% steigern läßt.

Die Ergebnisse der Beispiele zeigen, daß mit dem erfin dungsgemäßen Verfahren die Porosität innerhalb eines großen Bereichs variiert werden kann.

Claims

1. Verfahren zum Einstellen der Porosität von keramischen Verbundwerkstoffen, die durch Pyrolyse von siliciumorganische Polymere und einen anorganischen, bei der Pyrolyse höchstens oberflächlich mit dem Polymer reagierenden, unschmelzbaren Füller enthaltenden Gemischen hergestellbar sind, dadurch gekennzeichnet, daß die Porosität durch die aufeinander abgestimmte Festlegung der Art und der mittleren Korngröße(n) des Füllers, des Füllergehalts und der Pyrolyseendtemperatur eingestellt wird.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Art des Füllers festgelegt wird und dann die gewünschte Porosität über die entsprechende Einstellung der mittleren Korngröße(n) des Füllers, des Füllergehalts und der Pyrolyseendtemperatur gesteuert wird.

3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Art und die mittlere(n) Korngröße(n) des Füllers festgelegt wird und dann die gewünschte Porosität über eine entsprechende Einstellung des Füllergehalts und der Pyrolyseendtemperatur gesteuert wird.

4. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Art und die mittlere(n) Korngröße(n) des Füllers, und der Füllungsgehalt festgelegt werden und dann die gewünschte Porosität über die Einstellung der Pyrolyseendtemperatur gesteuert wird.

5. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Art und die mittlere(n) Korngröße(n) des Füllers und die Pyro lyseendtemperatur festgelegt werden und dann die gewünschte Porosität über die Einstellung des Füllergehalts gesteuert wird.

6. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß auf eine Pyrolyseendtemperatur im Bereich zwischen etwa 780 und etwa 1300°C erhitzt wird.

7. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß auf eine Pyrolyseendtemperatur im Bereich zwischen etwa 800 und etwa 900°C erhitzt wird.

8. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß der Füller aus der Gruppe ausgewählt ist, welche aus Metallen, Siliciden, Silicium, Carbiden, Graphit, Boriden, Bor, Oxiden und Nitriden oder Kombinationen von zwei oder mehr dieser Materialien besteht.

9. Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß der Füller aus der Gruppe, Molybdänsilicid, Chromsilicid, Siliciumnitrid, Silicium, Aluminiumoxid, Zirkonoxid, Eisen, Platin, Graphit und Kombinationen von zwei oder mehr dieser Materialien ausgewählt ist.

10. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekenn zeichnet, daß der Füllergehalt - bezogen auf das Polymeren- Füller-Gemisch - zwischen etwa 20 und etwa 95 Vol.-% eingestellt wird.

11. Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß der Füllergehalt zwischen etwa 40 und etwa 70 Vol.-% eingestellt wird.

12. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß die mittlere(n) Korngröße(n) des Füllers zwischen etwa 0,5 und etwa 80 µm eingestellt wird (werden).

13. Verfahren nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß die mittlere(n) Korngröße(n) zwischen etwa 0,9 und etwa 20 µm eingestellt wird (werden).

14. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 13, dadurch gekennzeichnet, daß als siliciumorganische Polymere Polysiloxan, Polysilan, Polycarbosilan oder Polysilazan eingesetzt werden.

15. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 14, dadurch gekennzeichnet, daß zum Mischen des Polymers und des Füllers, der letztere in einer Lösung des Polymers dispergiert wird.

16. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 14, dadurch gekennzeichnet, daß das Polymer und der Füller als Pulver vorliegen und trocken miteinander vermischt werden.