DE19615866A1 - Elektrochemischer Meßfühler für Pulverdichtung - Google Patents
Elektrochemischer Meßfühler für PulverdichtungInfo
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Description
Die Erfindung geht aus von einem elektrochemischen
Meßfühler nach dem Oberbegriff des Hauptanspruchs.
Bei potentialfreien Meßfühlern ist das Sensorele
ment in einem metallischen Gehäuse angeordnet, wo
bei jeder Elektrodenanschluß direkt einem Steuerge
rät zugeführt wird, so daß keine elektrische Kon
taktierung mit dem Gehäuse erlaubt ist. Das Sensor
element muß somit im Gehäuse elektrisch isoliert
und gasdicht eingesetzt sein. Die DE 44 00 370 be
schreibt einen derartig ausgeführten elektrochemi
schen Meßfühler mit einem in einem Gehäuse potenti
alfrei angeordneten Sensorelement, wobei die Meß
elektrode und der zur Meßelektrode führende An
schluß mit zumindest einer isolierenden Schicht
isoliert sind und wobei der Grenzbereich der beiden
isolierenden Schichten so ausgebildet ist, daß der
Anschluß beziehungsweise die Meßelektrode sowie der
Festelektrolytkörper gegenüber im Meßgas mitgeführ
ten, elektrisch leitenden Stoffen elektrisch iso
liert ist.
Der erfindungsgemäße Meßfühler mit den Merkmalen
des Hauptanspruchs hat den Vorteil, daß bei gerin
gen Spaltmaßen ein Kurzschluß der Außenelektrode
zum Gehäuse vermieden wird. Der erfindungsgemäße
Meßfühler weist zudem den Vorteil auf, daß Neben
schlüsse von Außenelektrode zu Gehäuse, die durch
Rußablagerungen oder auch andere elektrisch lei
tende Ablagerungen aus dem Abgas entstehen können,
vermieden werden. Die Erfindung sieht nämlich vor,
die die Leiterbahn abdeckende, isolierende Schicht
in zwei voneinander durch einen Dichtbereich ge
trennten Bereichen auszuführen. Der Dichtbereich
selbst ist demgemäß nicht isoliert, so daß in be
sonders vorteilhafter Weise die Gefahr von Rissen
in der isolierenden Schicht bei mechanischer Bean
spruchung des Dichtbereichs entfällt, die insbeson
dere bei der Montage des Sensorelementes auftritt.
Demgemäß entfallen auch material- oder fertigungs
technische, häufig nur unter beträchtlichem Aufwand
zu erfüllende Anforderungen im Hinblick auf die Po
rösität und Rundheit im Auftrag der isolierenden
Schicht, da die Funktionen Abdichtung und Isolie
rung des Sensorelementes getrennt voneinander ver
wirklicht sind. Die Abdichtung des Meßfühlers gegen
Abgas erfolgt also nicht durch eine elektrisch iso
lierende Schicht, sondern in vorteilhafter Weise
durch eine elektrisch isolierende Pulverdichtung,
die vorzugsweise aus Talkum, Talkum enthaltenden
Stoffen, Bornitrid oder ähnlichem besteht oder
diese enthält.
Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung wird anhand
der Zeichnungen dargestellt und in der nachfolgen
den Beschreibung näher erläutert. Es zeigen:
Fig. 1 einen Meßfühler in freigelegter Drauf
sicht und
Fig. 2 eine detailliertere freigelegte Drauf
sicht auf ein Sensorelement eines Meßfüh
lers nach Fig. 1.
Der in Fig. 1 dargestellte Meßfühler 1 weist ein
Sensorelement 2 mit einem rohrförmigen Festelektro
lytkörper 3 auf, dessen meßgasseitiger Endabschnitt
verschlossen ist. Der Festelektrolytkörper 3 ist am
meßgasfernen Ende in Form eines Kopfes 4 ausge
führt, der über eine Schulter 5 in den Schaft 6 des
Elektrolytkörpers übergeht. Das Sensorelement 2 ist
mittels einer an der Schulter 5 angeordneten Dich
tung 7 in ein Gehäuse 8 festgelegt. Das Sensorele
ment 2 ist abgasseitig von einem Schutzrohr 9 umge
ben, welches Öffnungen 10 zum Ein- beziehungsweise
Austritt des Meßgases aufweist. Auf der dem Meßgas
ausgesetzten Außenseite ist auf dem Festelektrolyt
körper 3 eine gasdurchlässige, schichtförmige Meß
elektrode 11 und auf der dem Innenraum zugewandten
Seite eine einem Referenzgas, zum Beispiel Luft,
ausgesetzte gasdurchlässige und schichtförmige,
hier nicht dargestellte, Referenzelektrode angeord
net. Die Meßelektrode 11 wird mit einer Leiterbahn
12 zu einem hier nicht dargestellten Elektrodenkon
takt geführt. Die Meßelektrode 11 und die Leiter
bahn 12 sind in besonders bevorzugter Weise als
Cermet-Schichten ausgeführt und mit dem Festelek
trolytkörper 3 ko-gesintert. Das meßgasseitige Ende
des Festelektrolytkörpers 3 ist mit einer elek
trisch isolierenden, porösen Schutzschicht 13 ver
sehen, die beispielsweise zweilagig aus einer ko
gesinterten Engobe-Schutzschicht 14 und einer diese
überdeckenden Spinell-Schicht 15 aufgebaut sein
kann. Die Schutzschicht 13 überdeckt die Meßelek
trode 11. Die Leiterbahn 12 ist in ihrem meßgasfer
nen Bereich mit zwei Bereichen 16 und 17 einer iso
lierenden Schicht bedeckt. Die isolierenden
Schichtbereiche 16 und 17 sind im vorliegenden Aus
führungsbeispiel um den gesamten Umfang des Fest
elektrolytkörpers 3 gezogen, können aber auch nur
auf die Abdeckung der Leiterbahn 12 beschränkt
sein. Zwischen dem am Kopf 4 und dem am Schaft 6
angeordneten isolierenden Schichtbereichen 16 und
17 befindet sich der Dichtbereich 18, der selbst
nicht elektrisch isoliert ist. Im Umfang um den
Dichtbereich 18 des Festelektrolytkörpers 3 gele
gen, befindet sich zur Abdichtung gegen das Abgas
eine elektrisch isolierende Pulverdichtung 7, die
vorzugsweise aus Talkum, Talkum enthaltenden Stof
fen, Bornitrid oder ähnlichem besteht oder diese
enthält. Die Leiterbahn 12 wird in ihrem abgasfer
nen Bereich durch eine Zwischenschicht 19 abge
deckt, die unterhalb der isolierenden Schichtberei
che 16 und 17 angeordnet ist. Die Zwischenschicht
verhindert, daß das glasbildende Material der iso
lierenden Schichtbereiche 16 und 17 in das Material
der Leiterbahn 12 eindiffundiert und so die Leitfä
higkeit dieser beeinflußt. Die Zwischenschicht 19
kann demgemäß auf die Bereiche der Leiterbahn be
schränkt werden, über denen sich die isolierenden
Schichtbereiche 16 und 17 befinden, sie kann die
Leiterbahn 12 jedoch auch ganz bedecken.
Das in Fig. 2 dargestellte Sensorelement 2 ent
spricht dem der Fig. 1, ist jedoch detaillierter
abgebildet.
Der Fig. 2 kann entnommen werden, daß der Fest
elektrolytkörper 3 in seinem abgasseitigen Bereich
eine Meßelektrode 11 aufweist, an die eine Leiter
bahn 12 angeschlossen ist. Der Festelektrolytkörper
3 ist in seinem abgasseitigen Bereich durch eine
Schutzschicht 13 in seinem gesamten Umfang abge
deckt, die aus einer auf den Festelektrolytkörper 3
aufgelagerten Engobe-Schicht 14 und einer diese
überdeckenden Spinell-Schicht 15 aufgebaut ist. Die
Spinell-Schicht 15 überdeckt die Engobe-Schicht 14
vollständig und überdeckt auch abgasferne Bereiche
des Festelektrolytkörpers 3, die nicht von der En
gobe-Schicht 14 umhüllt sind. Die Engobe-Schicht 14
kann beispielsweise aus einer Mischung von Al₂O₃
mit nicht-stabilisierten ZrO₂ bestehen, welche als
Engobe aufgebracht wird und mit dem Festelektrolyt
körper 3 ko-gesintert wird. Die Schicht 15 kann aus
Al₂O₃ oder Magnesium-Spinell bestehen oder dieses
enthalten, wobei diese Schicht zweckmäßigerweise
mittels Plasmaspritzen auf den gesinterten Fest
elektrolytkörper 3 aufgebracht wird. Der abgasferne
Bereich der Schutzschicht, insbesondere beispiels
weise die Spinell-Schicht 15 überlappt in besonders
bevorzugter Weise mit dem isolierenden Schichtbe
reich 17. Durch die Überlappung wird gewährleistet,
daß der Grenzbereich von isolierendem Schichtbe
reich 17 und Schutzschicht 13 gegen Ablagerungen
von im Abgas mitgeführten, elektrisch leitenden
Partikeln geschützt ist. Die Schutzschicht 13 kann
dabei über das elektrodenseitige Ende des isolie
renden Schichtbereichs 17 gelegt sein. Die Erfin
dung sieht jedoch auch vor, daß das elektrodensei
tige Ende des isolierenden Schichtbereichs 17 über
die Schutzschicht 13 gelegt ist. Erfindungsgemäß
kann auch auf eine Überlappung verzichtet werden,
sofern die beiden Endbereiche der Schutzschicht 13
und des isolierenden Schichtbereichs 17 möglichst
lückenlos aufeinander treffen. Die Erfindung sieht
auch vor, daß der isolierende Schichtbereich 17 die
Leiterbahn 12 bis zur Meßelektrode 11 bedecken
kann. Die isolierenden Schichtbereiche 16 und 17
sind vorzugsweise aus einem Gemisch eines kristal
linen, nicht-metallischen und eines glasbildenden
Materials aufgebaut, wobei sich bei Erhitzung eine
mit dem kristallinen, nicht-metallischen Material
gefüllte Glasur ausbildet. Da das kristalline,
nicht-metallische Material in homogener Verteilung
ein tragendes Stützgerüst in der Glasur bildet und
die Transformationstemperatur der Glasphase ober
halb der Anwendungstemperatur von beispielsweise
700°C liegt, können die isolierenden Schichtberei
che 16 und 17 hohen Anwendungstemperaturen stand
halten. Als kristallines, nicht-metallisches Mate
rial können beispielsweise Al₂O₃, Mg-Spinell,
Forsterit, MgO-stabilisiertes ZrO₂, CaO- und/oder
Y₂O₃-stabilisiertes ZrO₂ mit geringen Stabilisator
gehalten, vorteilhaft mit maximal 2/3 des Stabili
satoroxids der Vollstabilisierung, nicht-stabili
siertes ZrO₂ oder HfO₂ oder ein Gemisch dieser
Stoffe verwendet werden. Als glasbildendes Material
kann ein Erdalkalisilikat, beispielsweise Ba-Al-Si
likat eingesetzt werden, wobei das Barium bis zu 30
Atomprozent durch Strontium ersetzt werden kann.
Die beiden isolierenden Schichtbereiche 16 und 17
schließen den an der Schulter 5 gelegenen Dichtbe
reich 18 des Festelektrolytkörpers 3 ein. Der
Dichtbereich 18 ist demgemäß nicht isoliert. Das
Material für die isolierenden Schichtbereiche 16
und 17 braucht daher in vorteilhafter Weise den
Druckkräften nicht standzuhalten, die beim Einfügen
des Sensorelementes 2 in das Gehäuse 8 auftreten.
Dadurch wird vermieden, daß Risse in der isolieren
den Schicht zu Kurzschlüssen führen.
Zwischen den isolierenden Schichtbereichen 16 und
17 und der Anschlußleiterbahn 12 befindet sich die
Zwischenschicht 19 zum Schutz der Leiterbahn 12 vor
aus den Schichtbereichen 16 und 17 eindiffundieren
den Materialien. Selbstverständlich kann diese Zwi
schenschicht auch entfallen.
Claims (13)
1. Elektrochemischer Meßfühler zur Bestimmung des
Sauerstoffgehaltes von Gasen, insbesondere von Ab
gasen von Verbrennungsmotoren, mit einem in einem
Gehäuse potentialfrei angeordneten Sensorelement,
welches einen sauerstoffionenleitenden Festelektro
lytkörper, vorzugsweise in Form eines einseitig ge
schlossenen Rohres und mit elektrisch leitendenden
Anschlüssen versehene Elektroden aufweist, von
denen zumindest eine Elektrode als Meßelektrode dem
zu messenden Gas ausgesetzt und mit einer elek
trisch isolierenden, porösen Schutzschicht abge
deckt ist und der zur Meßelektrode führende An
schluß mit zumindest einer isolierenden Schicht
elektrisch isoliert ist, dadurch gekennzeichnet,
daß die isolierende Schicht aus zwei voneinander
durch den Dichtbereich (18) getrennten Bereichen
(16, 17) besteht.
2. Meßfühler nach Anspruch 1, dadurch gekennzeich
net, daß der Festelektrolytkörper (3) einen wulst
förmigen Kopf (4) und einen rohrförmigen Schaft (6)
mit einer zwischen Kopf (4) und Schaft (6) verlau
fenden Schulter (5) aufweist und daß der eine Be
reich (16) am Kopf (4) und der andere Bereich (17)
am Schaft (6) des Festelektrolytkörpers (3) ange
ordnet ist.
3. Meßfühler nach einem der Ansprüche 1 oder 2, da
durch gekennzeichnet, daß der Dichtbereich (18) im
Bereich der Schulter (5) des Festelektrolytkörpers
(3) angeordnet ist.
4. Meßfühler nach einem der Ansprüche 1 bis 3, da
durch gekennzeichnet, daß mindestens einer der Be
reiche (16, 17) um den gesamten Umfang des Festelek
trolytkörpers (3) gezogen ist.
5. Meßfühler nach einem der Ansprüche 1 bis 4, da
durch gekennzeichnet, daß mindestens einer der Be
reiche (16, 17) nur auf die Abdeckung der Leiterbahn
(12) beschränkt ist.
6. Meßfühler nach einem der Ansprüche 1 bis 5, da
durch gekennzeichnet, daß der Dichtbereich (18)
selbst nicht elektrisch isoliert ist.
7. Meßfühler nach einem der Ansprüche 1 bis 6, da
durch gekennzeichnet, daß der Meßfühler (1) zur Ab
dichtung gegen Gas eine elektrisch isolierende Pul
verdichtung (7) im Dichtbereich (18) aufweist.
8. Meßfühler nach einem der Ansprüche 1 bis 7, da
durch gekennzeichnet, daß die Pulverdichtung (7)
aus Talkum, Talkum enthaltenden Stoffen, Bornitrid
oder ähnlichem besteht oder dieses enthält.
9. Meßfühler nach einem der Ansprüche 1 bis 8, da
durch gekennzeichnet, daß die Schutzschicht (13)
aus Aluminiumoxid, Magnesium-Spinell, nicht-stabi
lisiertem Zirkoniumdioxid, Zirkonsilikat, Mullit,
Magnesiumoxid, Titandioxid oder einem Gemisch die
ser Stoffe besteht.
10. Meßfühler nach einem der Ansprüche 1 bis 9, da
durch gekennzeichnet, daß die isolierenden Schicht
bereiche (16, 17) aus einem Gemisch eines kristalli
nen, nicht-metallischen Materials und eines glas
bildenden Materials gebildet sind, wobei sich bei
Erhitzung eine mit dem kristallinen nicht-metalli
schen Material gefüllte Glasur ausbildet.
11. Meßfühler nach Anspruch 10, dadurch gekenn
zeichnet, daß eines der beiden Materialien jeweils
mindestens 10 Vol% des Gemisches ausmacht.
12. Meßfühler nach einem der Ansprüche 1 bis 11,
dadurch gekennzeichnet, daß das kristalline nicht-
metallische Material aus Al₂O₃, Mg-Spinell, Forste
rit, MgO-stabilisiertem ZrO₂, CaO- und/oder Y₂O₃-
stabilisiertem ZrO₂, nicht-stabilisiertem ZrO₂ oder
HfO₂ oder einem Gemisch dieser Stoffe besteht.
13. Meßfühler nach einem der Ansprüche 1 bis 12,
dadurch gekennzeichnet, daß das glasbildende Mate
rial ein Erdalkalisilikatglas ist.
Priority Applications (2)
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1998045696A1 (de) * | 1997-04-07 | 1998-10-15 | Robert Bosch Gmbh | Dichtelement für sensoren |
DE10123168C1 (de) * | 2001-05-12 | 2002-11-07 | Bosch Gmbh Robert | Dichtungsanordnung für einen Gasmeßfühler und Verfahren zur Herstellung der Dichtungsanordnung |
DE102005040565B3 (de) * | 2005-08-26 | 2007-05-24 | LAMTEC Meß- und Regeltechnik für Feuerungen GmbH & Co. KG | Elektrochemischer Messfühler |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19901956C2 (de) * | 1999-01-20 | 2003-06-18 | Bosch Gmbh Robert | Sensor zur Analyse von Gasen |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2504206C3 (de) * | 1975-02-01 | 1981-10-01 | Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart | Elektrochemischer Meßfühler für die Bestimmung des Sauerstoffgehalts in Abgasen, insbesondere in Abgasen von Verbrennungsmotoren |
DE4342731B4 (de) * | 1993-07-27 | 2004-09-09 | Robert Bosch Gmbh | Elektrochemischer Meßfühler mit einem potentialfrei angeordneten Sensorelement und Verfahren zu seiner Herstellung |
DE4400370A1 (de) * | 1994-01-11 | 1995-07-13 | Bosch Gmbh Robert | Elektrochemischer Meßfühler mit einem potentialfrei angeordneten Sensorelement |
US5571397A (en) * | 1995-07-05 | 1996-11-05 | Ford Motor Company | Boron nitride exhaust seal |
-
1996
- 1996-04-20 DE DE1996115866 patent/DE19615866A1/de not_active Withdrawn
-
1997
- 1997-03-26 WO PCT/DE1997/000609 patent/WO1997040370A1/de active Application Filing
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1998045696A1 (de) * | 1997-04-07 | 1998-10-15 | Robert Bosch Gmbh | Dichtelement für sensoren |
DE10123168C1 (de) * | 2001-05-12 | 2002-11-07 | Bosch Gmbh Robert | Dichtungsanordnung für einen Gasmeßfühler und Verfahren zur Herstellung der Dichtungsanordnung |
US6758082B2 (en) | 2001-05-12 | 2004-07-06 | Robert Bosch Gmbh | Sealing system for a gas sensor and a method for manufacturing the sealing system |
DE102005040565B3 (de) * | 2005-08-26 | 2007-05-24 | LAMTEC Meß- und Regeltechnik für Feuerungen GmbH & Co. KG | Elektrochemischer Messfühler |
Also Published As
Publication number | Publication date |
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WO1997040370A1 (de) | 1997-10-30 |
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Legal Events
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