DE19614505C1 - Aktuator - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft einen Aktuator der im Oberbegriff des Patentanspruches 1 angegebenen Art.

Ein solcher Aktuator oder Stellantrieb, der als Arbeitszylin­ der und insbesondere als pneumatischer Arbeitszylinder ausge­ bildet ist (vgl. z. B. Firmenprospekt FESTO PNEUMATIC, 386.7/90 522 LD, Mai 1992), stellt eine konstruktiv einfache Lösung zum Erzeu­ gen hin- und hergehender Bewegungen dar. Pneumatische Anlagen sind meist unkompliziert aufgebaut, daher einfach zu warten, betriebssicher, zuverlässig (auftretende Undichtigkeiten wir­ ken sich nur selten funktionsstörend aus), nicht überlastbar (Kraftbegrenzung durch Druckhöhe gegeben), relativ unempfind­ lich, einfach steuerbar (durch Drosseln und Druckventile) und trotz des relativ hohen Erzeugungspreises für Druckluft wegen niedriger Gestehungs- und Erhaltungskosten wirtschaftlich. Sie besitzen geringes Leistungsgewicht und nur wenige Bauteile. Der Einsatz von pneumatischen Aktuatoren blieb jedoch bisher auf moderate Betriebstemperaturen beschränkt. Insbesondere Dichtungsprobleme verhindern bisher den Einsatz bei sehr hohen oder sehr niedrigen Temperaturen.

Allgemeiner Stand der Technik ist es, solche Aktuatoren mit Zylinderwänden und Kolben aus Metall herzustellen. Die Abdich­ tung zwischen Zylinderwand und Kolben erfolgt in der Regel durch eine Kolbenmanschette oder einen O-Ring (vgl. den o.g. Firmen­ prospekt, S. 20 und 21). Die Aktuatoren können einfach oder doppelt wirkende Arbeitszylinder sein, bei denen der Kolben im Arbeitszylinder hin- und herbewegt wird, indem ein von der Zylinderwand, dem Kolben und einem Zylinder­ deckel gebildeter Arbeitsraum mit Druckluft beaufschlagt wird und wieder entlüftet wird. Zur Rückbewegung des Kolbens in seine Ausgangsposition reicht dabei das Entlüften im allgemei­ nen nicht aus, sondern die Rückbewegung wird durch eine Feder bewirkt oder durch eine Beaufschlagung der anderen Kolbenseite mit Druckluft (doppelt wirkender Aktuator, vgl. o+p "ölhydraulik und pneumatic" 31 (1987) Nr. 9, 718-724, insbes. 722).

Um Druckluft zu sparen und um den für hohe Stellkräfte notwen­ digen hohen Druck im Arbeitsraum zu erreichen, ist es notwen­ dig, die Leckageströme zwischen der Zylinderwand und dem in der Zylinderlängsachse verschiebbaren Kolben zu minimieren. Zwar lassen sich durch den Einsatz spezieller polymerer Dichtmaterialien (z. B. Teflon, Kalrez) gute Dichtwirkungen er­ zielen, jedoch ist der Einsatz solcher Polymere in der Regel auf Temperaturen von ca. -50 bis +200°C beschränkt. Denkbar ist es auch, die Passung zwischen Kolben und Zylinderwand sehr eng zu wählen und für beide Bauteile eine Legierung mit glei­ chem Wärmeausdehnungskoeffizienten vorzusehen. Der relativ große Wärmeausdehnungskoeffizient von Metallen bewirkt jedoch, daß auch bei gleichem Ausdehnungskoeffizienten von Kolben und Zylinder der Spalt zwischen ihnen bei größeren Temperaturen beträchtlich größer und der Wirkungsgrad entsprechend schlech­ ter wird. Außerdem können sich sowohl bei sehr tiefen als auch bei sehr hohen Temperaturen die Bestandteile, aus denen der Aktuator aufgebaut ist, ungleichmäßig zusammenziehen bzw. aus­ dehnen und dadurch bewirken, daß sich der Kolben in dem Zylin­ der oder die Kolbenstange in der Durchführung im Zylinderdec­ kel verklemmt, so daß der Aktuator funktionsunfähig wird.

Aufgabe der Erfindung ist es, einen Aktuator der im Oberbe­ griff des Patentanspruches 1 angegebenen Art so zu verbessern, daß ein problemloser Betrieb auch bei sehr niedrigen und sehr hohen Betriebstemperaturen gewährleistet ist.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die im Patentanspruch 1 angegebenen Merkmale gelöst.

Die Erfindung erreicht durch die Auswahl von Material oder Materialien mit geringer Wärmedehnung für das Zylindergehäuse, den Kolben und das Kopflager zwischen Kolben und Kolbenstange, daß eine Dichtung zwischen Kolben und Zylindergehäuse allein durch eine enge Passung ohne zusätzliche Dichtungselemente möglich wird. Der geringe Wärmeausdehnungskoeffizient des verwendeten Materials gewährleistet, daß auch bei sehr hohen Temperaturen die Leckage eines den Arbeitszylinder füllenden Arbeitsmediums klein bleibt. Umgekehrt wird bei sehr niedrigen Temperaturen ein Fressen des Kolbens im Zylindergehäuse ver­ mindert, da der Spalt zwischen Zylindergehäuse und Kolben sich durch Absenken der Temperatur nur wenig verkleinert. Falls der Kolben und das Zylindergehäuse aus Keramik gefertigt werden, gewährleistet die große Härte dieses Materials, daß auch nach längerem Betrieb sich der Spalt zwischen Kolben und Zylinder­ gehäuse nicht vergrößert. Das quer zur Kolbenlängsachse beweg­ liche Kopflager, das die Kolbenstange und den Kolben verbin­ det, gewährleistet- daß zwischen Kolbenstange und Kolben auch bei den notwendigen engen Toleranzen keine Biegespannungen auftreten können.

Wenn in einer Ausgestaltung der Erfindung die Kolbenstange des Aktuators aus Material oder Materialien mit geringer Wärme­ dehnung, insbesondere Keramik, besteht, ist eine hohe Betriebssicherheit dieses Bauteils auch bei extrem niedrigen und hohen Temperaturen gewährleistet.

Wenn in weiterer Ausgestaltung der Erfindung das Kopflager aus einer Kreisscheibe besteht, in die eine Kugelkalotte eingearbeitet ist, in welche ein kugelförmiges Ende der Kolbenstange einfaßt, läßt sich das kugelförmige Ende der Kolbenstange quer zur Kolbenlängsachse bewegen, wobei gleich­ zeitig eine große Kraft in Druckrichtung übertragen werden kann. Aus der DE-AS 14 75 578 ist es an sich bekannt, das Ende der Kolbenstange kugelförmig auszubilden.

Wenn in weiterer Ausgestaltung der Erfindung das kugelförmige Ende der Kolbenstange in die Kugelkalotte mit Schnappsitz ein­ faßt, läßt sich das radial bewegliche Kopflager mit geringem Aufwand herstellen. Da das kugelförmige Ende der Kolbenstange und die Kugelkalotte bei einer Druckbelastung der Kolbenstange eine große Berührungsfläche haben können, lassen sich in Druckrichtung große Kräfte übertragen. Eine durch den Schnapp­ sitz bedingte geringere Berührungsfläche bei Belastung der Kolbenstange auf Zug ist in der Praxis von nebensächlicher Bedeutung, da im normalen Betrieb keine großen Zugkräfte auf­ treten. Lediglich wenn der Aktuator als doppelt wirkender Ak­ tuator ausgeführt wird, bei dem auch die Kolbenseite mit Druckluft beaufschlagt wird, an der die Kolbenstange befestigt ist, muß das Kopflager auch größere Zugkräfte übertragen kön­ nen.

Wenn in weiterer Ausgestaltung der Erfindung die Kreisscheibe des Kopflagers in einer durch den Mittelpunkt der Kugelkalotte gehenden Querebene geteilt ist, können die Kugelkalotte und das kugelförmige Ende der Kolbenstange so gestaltet werden, daß auch bei einer Zugbelastung der Kolbenstange die Berührungsfläche zwischen dem kugelförmigen Ende der Kolben­ stange und der Kugelkalotte für die Übertragung großer Kräfte ausreichend groß ist.

Wenn in weiterer Ausgestaltung der Erfindung der Kolben ge­ teilt ist und nach dem Einsetzen des Kopflagers durch einen äußeren Schrumpfring in sich verbunden wird, läßt sich die Kreisscheibe einfach in den Kolben einbetten, und die beiden Kolbenhälften lassen sich einfach und paßgenau zentriert ver­ binden.

Wenn in weiterer Ausgestaltung der Erfindung das Zylinderge­ häuse in zwei oder mehr als zwei Zylindergehäuseabschnitte, die an Stoßstellen aneinander anliegen, geteilt ist und an der oder den Stoßstellen jeweils ein weiterer äußerer Schrumpfring angebracht wird, kann das Zylindergehäuse aus einfach und kostengünstig herzustellenden Abschnitten zusam­ mengesetzt werden. Insbesondere wenn das Zylindergehäuse aus Keramik gefertigt werden soll und der Aktuator eine größere Hublänge aufweisen soll, ist der Aufbau des Zylindergehäuses aus mehreren Gehäuseabschnitten wirtschaftlich.

Wenn in weiterer Ausgestaltung der Erfindung das Zylinderge­ häuse aus einem Rohr besteht, das an seinen Enden durch einen ersten bzw. zweiten Flanschdeckel verschlossen ist, wobei der erste und der zweite Flanschdeckel durch Zuganker vorgespannt verbunden sind, kann das Rohr einfach aus einem (oft schwierig zu bearbeitenden) Material mit geringer Wärmedehnung herge­ stellt werden. Der Aufbau des Zylindergehäuses aus mehreren einfachen Bauteilen senkt die Herstellungskosten insbesondere bei der Verwendung von Keramik.

Wenn in weiterer Ausgestaltung der Erfindung der weitere äu­ ßere Schrumpfring Bohrungen parallel zur Längsachse des Arbeitszylinders aufweist, durch die die Zuganker oder Verbin­ dungen der Zuganker hindurchführbar sind, sind diese in den Bohrungen geführt und es kann z. B. auch einfach eine elektri­ sch leitende oder auch eine elektrisch isolierende mechanische Verbindung zwischen den Zugankern oder den Verbindungen und dem weiteren äußeren Schrumpfring hergestellt werden.

Wenn in weiterer Ausgestaltung der Erfindung das Zylinderge­ häuse und der Kolben aus Keramik wie SiSiC bestehen, ist die Wärmedehnung beider Bauteile sehr gering und auch die Toleranz zwischen den beiden Bauteilen ist dann nur wenig von der Temperatur abhängig.

Wenn in weiterer Ausgestaltung der Erfindung die beiden Flanschdeckel aus gleicher oder unterschiedlicher Keramik wie SiN oder SiSiC bestehen, ist die Wärmedehnung der Flanschdec­ kel gering und liegt in einer ähnlichen Größenordnung wie die Wärmedehnung eines Rohres aus Keramik. Auf diese Weise kann eine Relativbewegung einer Stirnseite des Zylindergehäuses re­ lativ zu einem Flanschdeckel verhindert werden, da zum einen die Wärmedehnung beider Bauteile in radialer Richtung absolut gesehen klein ist und zum anderen ungefähr gleich groß ist. Eine Abdichtung zwischen dem Zylindergehäuse und den Flansch­ deckeln wird so vereinfacht.

Wenn in weiterer Ausgestaltung der Erfindung die Kolbenstange aus Keramik wie SiN besteht, ist sie mechanisch hoch belast­ bar.

Wenn in weiterer Ausgestaltung der Erfindung das Kopflager aus Graphit oder aus Keramik wie SiSiC oder aus mit Metall getränkter Kohlekeramik besteht, ist dieses mechanisch hoch belastbar, selbstschmierend und reibungsarm.

Wenn in weiterer Ausgestaltung der Erfindung die Kolbenstange durch eine Buchse aus mit Metall getränkter Kohlekeramik hin­ durch in das Zylindergehäuse eingeführt ist, so hat sie eine Durchführung in Form eines reibungsarmen Gleitlagers, das gleichzeitig eine hohe Dichtwirkung hat.

Wenn in weiterer Ausgestaltung der Erfindung das Zylinderge­ häuse aus elektrisch leitendem oder halbleitendem Material be­ steht und mit elektrischen Anschlußklemmen zum Anschluß an eine elektrische Spannungsquelle versehen ist, kann das Zylindergehäuse als elektrischer Heizwiderstand benutzt wer­ den, um den Aktuator zu beheizen.

Wenn in weiterer Ausgestaltung der Erfindung eine weitere elektrische Anschlußklemme an dem freien Ende der Kolbenstange vorgesehen ist, ist es möglich, die Stellung des Kolbens in­ nerhalb des Zylindergehäuses elektrisch zu erfassen, indem zwischen den elektrischen Anschlußklemmen an dem Zylinderge­ häuse und der Kolbenstange der elektrische Widerstand bei ver­ schiedenen Kolbenstellungen gemessen und eine entsprechende Kennlinie erstellt wird. Anschließend ist dann durch eine Widerstandsmessung die jeweilige Kolbenstellung ablesbar.

Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung wird im folgenden unter Bezugnahme auf die Zeichnung näher beschrieben. Es zeigt

Fig. 1 in einer Teillängsschnittansicht einen Aktuator nach der Erfindung.

Gemäß der Fig. 1 besteht ein insgesamt mit 6 bezeichneter Ak­ tuator im wesentlichen aus einem Zylindergehäuse 8, einem darin verschiebbaren Kolben 14 und einer über ein Kopflager 24 an dem Kolben 14 befestigten Kolbenstange 22. Der Kolben 14 ist quer zur Kolbenlängsachse in zwei Kolbenteile 16, 18 ge­ teilt, die beide aus SiSiC-Keramik gefertigt sind. Die beiden Kolbenteile 16, 18 sind an ihrem Umfang durch einen äußeren Schrumpfring 20, z. B. aus Stahl, miteinander verbunden. In dem Kolben 14 ist eine Kreisscheibe 26 gelagert, die aus mit Me­ tall wie z. B. Lithium getränkter Kohlekeramik gefertigt ist. Die Kreisscheibe 26 kann jedoch auch aus Graphit oder aus Si SiC-Keramik bestehen. Die Kreisscheibe 26 ist entlang einer Querebene 29 in zwei Scheibenhälften 27, 28 geteilt, wobei die beiden Scheibenhälften 27, 28 zusammen das Kopflager 24 bil­ den, wobei das Kopflager einen Hohlraum in Form einer Kugelka­ lotte 32 ausbildet. In die Kugelkalotte 32 greift ein kugel­ förmiges Ende der Kolbenstange 22 ein. Die gesamte Kolben­ stange 22 ist vorzugsweise aus SiN-Keramik gefertigt.

Das Zylindergehäuse 8 ist ein mittig geteiltes Rohr 40, so daß es aus zwei Zylindergehäuseabschnitten oder Rohrhälften 42, 44 besteht. Selbstverständlich kann das Zylindergehäuse auch in mehr als zwei Zylindergehäuseabschnitte unterteilt sein. Es ist mit einem ersten Flanschdeckel 46 und einem zweiten Flanschdeckel 48 verschlossen. Die Gehäuseabschnitte 42, 44 und die Flanschdeckel 46, 48 sind aus SiSiC-Keramik gefertigt. Der erste Flanschdeckel 46 und/oder der zweite Flanschdeckel 48 können jedoch auch aus SiN-Keramik gefertigt sein. An einer Stoßstelle 58 zwischen den Gehäuseabschnitten 42, 44 ist ein äußerer Schrumpfring 60 aus Stahl angebracht. Vorgespannte Zu­ ganker 50,52 verbinden den ersten und den zweiten Flanschdec­ kel 46, 48 miteinander. Die Zuganker 50, 52 sind durch Bohrun­ gen 62, 64 in dem Schrumpfring 60 hindurchgeführt.

Die Kolbenstange 22 ist in einer Buchse 66 aus mit Metall wie z. B. Lithium getränkter Kohlekeramik geführt, die in den er­ sten Flanschdeckel 46 eingepaßt ist. Die Buchse 66 ist nach außen durch einen Deckel 68 gesichert. Der erste und der zweite Flanschdeckel 46, 48 weisen je einen Arbeitsmittelan­ schluß 72, 74 auf. Das Arbeitsmittel ist hier Druckluft.

An den Zylindergehäuseabschnitten 42, 44 sind elektrische Anschlußklemmen 80, 82 wie gezeigt angebracht. An dem freien Ende der Kolbenstange 22 befindet sich eine weitere elektri­ sche Anschlußklemme 84.

Im Betrieb können der Kolben 14 und die mit dem Kolben 14 in axialer Richtung fest verbundene Kolbenstange 22 hin- und herbewegt werden, indem die Arbeitsmittelanschlüsse 74, 72 mit Druck beaufschlagt bzw. entlüftet werden.

Über eine Widerstandsmessung zwischen dem elektrischen An­ schluß 82 und dem elektrischen Anschluß 84 läßt sich die Stel­ lung des Kolbens bestimmen, da der Widerstand größer wird, wenn sich der Kolben 14 von dem elektrischen Anschluß 82 ent­ fernt. Über die elektrischen Anschlüsse 80, 82 läßt sich der Aktuator 6 durch Anlegen einer elektrischen Spannung auch be­ heizen, so daß z. B. ein Festfrieren des Kolbens 14 im Zylin­ dergehäuse 8 verhindert wird. Durch die Verwendung halbleiten­ den Materials wie z. B. SiSiC-Keramik für das Zylindergehäuse 8 wird beim Anlegen einer elektrischen Spannung an die An­ schlüsse 80, 82 ein Strom zum Fließen gebracht, um den gewünschten Heizeffekt sicherzustellen.

Zur Verbindung der beiden Zylindergehäuseabschnitte 42, 44 über den Ring 60 wird dieser erhitzt und dann an der Stoß­ stelle 58 durch Abkühlen auf die Temperatur der Gehäuseab­ schnitte 42, 44 aufgeschrumpft. Eine genaue Zentrierung der Gehäuseabschnitte 42, 44 ist so auf einfache Weise garantiert. Da aufgrund der Vorspannung der Zuganker 50, 52 am Ring 60 und an der stoßstelle 58 auch im Betrieb nur Druckkräfte auftre­ ten, wird keine große Vorspannung des Schrumpfringes 60 benö­ tigt. Die Zuganker 50, 52 sind als Bolzen ausgeführt, wobei an einem oder beiden Enden jedes Bolzens eine Vorspannung erzeugt wird, indem eine nicht dargestellte Gewindeverbindung mehr oder weniger stark angezogen wird.

Die beiden Kolbenhälften 16, 18 werden analog den Zylinderge­ häuseabschnitten 42, 44 verbunden. Die Schrumpfverbindung 20 reicht im normalen Betrieb völlig aus, da große Zugkräfte zwi­ schen den beiden Kolbenhälften 16, 18 nicht auftreten, sondern hauptsächlich Druckkräfte von der Kolbenhälfte 18 über die Scheibenhälfte 28 direkt auf die Kolbenstange 22 übertragen werden. Vor der Montage des Kolbens 14 aus den beiden Kolben­ hälften 16, 18 werden zwischen die beiden Kolbenhälften 16, 18 die beiden Scheibenhälften 27, 28 eingelegt. Es ist möglich, die Scheibenhälfte 27 von der dem kugelförmigen Ende 34 der Kolbenstange gegenüberliegenden Seite aufzuschieben. Auf diese Weise kann das kugelförmige Ende 34 der Kolbenstange einfach in der von den beiden Scheibenhälften 27, 28 gebildeten Ku­ gelkalotte 33 montiert werden. Da die der Kolbenstange 22 zugewandte Scheibenhälfte 27 an ihrer äußeren Stirnseite einen Konus besitzt, ist es jedoch auch möglich, nach der Montage der Scheibenhälften 27, 28 in dem Kolben 14 das kugelförmige Ende 34 der Kolbenstange mittels Schnappsitz in die Kugelka­ lotte 32 einrasten zu lassen.

Die Arbeitsmittelanschlüsse sind in Fig. 1 zwar als einfache Gewindebohrungen 72, 74 dargestellt, jedoch können statt der Gewindebohrungen 72, 74 auch Ein- und Auslaßventile als Ar­ beitsmittelanschlüsse eingesetzt werden. Wird der Aktuator bei hoher Temperatur betrieben und als Arbeitsmittel ein relativ zu dem Aktuator kühleres Gas verwendet, so kann das zugeführte Gas im Arbeitszylinder nach dem Schließen des Einlaßventils allein durch seine Erwärmung zusätzlich eine mechanische Kraft entwickeln, die sich auf die Kolbenstange 22 übertragen läßt.

Claims (16)

1. Aktuator (6) für den Einsatz bei hohen und niedrigen Temperaturen, aufgebaut als - insbesondere pneumatischer - Arbeitszylinder mit Zylindergehäuse (8), darin verschiebbarem Kolben (14) und an dem Kolben (14) befestigter Kolbenstange (22), dadurch gekennzeichnet, daß die Kolbenstange (22) mit dem Kolben (14) durch ein quer zur Kolbenlängsachse bewegli­ ches Kopflager (24) verbunden ist und daß wenigstens das Zy­ lindergehäuse (8), der Kolben (14) und das Kopflager (24) aus Material oder Materialien mit geringer Wärmedehnung bestehen.

2. Aktuator nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Kolbenstange (22) aus Material oder Materialien mit geringer Wärmedehnung, insbesondere Keramik, besteht.

3. Aktuator nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Kopflager (24) aus einer Kreisscheibe (26) besteht, in die eine Kugelkalotte (32) eingearbeitet ist, in welche ein kugelförmiges Ende (34) der Kolbenstange einfaßt.

4. Aktuator nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß das kugelförmige Ende (34) der Kolbenstange (22) in die Kugelka­ lotte (32) mit Schnappsitz einfaßt.

5. Aktuator nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Kreisscheibe (26) des Kopflagers (24) in einer durch den Mit­ telpunkt der Kugelkalotte (32) gehenden Querebene (29) geteilt ist.

6. Aktuator nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekenn­ zeichnet, daß der Kolben (14) geteilt und durch einen äußeren Schrumpfring (20) zusammengehalten ist.

7. Aktuator nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß das Zylindergehäuse (8) in zwei oder mehr als zwei Zy­ lindergehäuseabschnitte (42, 44), die an Stoßstellen (58) an­ einander anliegen, geteilt ist, und daß an der oder jeder Stoßstelle (58) die Zylindergehäuseabschnitte durch einen wei­ teren äußeren Schrumpfring (60) verbunden sind.

8. Aktuator nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekenn­ zeichnet, daß das Zylindergehäuse (8) aus einem Rohr (40) be­ steht, das an seinen Enden durch einen ersten und zweiten Flanschdeckel (46, 48) verschlossen ist, wobei der erste und der zweite Flanschdeckel (46, 48) durch Zuganker (50, 52) vor­ gespannt verbunden sind.

9. Aktuator nach den Ansprüchen 7 und 8, dadurch gekenn­ zeichnet, daß der weitere äußere Schrumpfring (60) Bohrungen (62, 64) parallel zur Längsachse des Arbeitszylinders auf­ weist, durch die die Zuganker (50, 52) oder Verbindungen der Zuganker hindurchführbar sind.

10. Aktuator nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekenn­ zeichnet, daß das Zylindergehäuse (8) und der Kolben (14) aus Keramik wie SiSiC bestehen.

11. Aktuator nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die beiden Flanschdeckel (46, 48) aus gleicher oder unterschiedli­ cher Keramik wie SiN oder SiSiC bestehen.

12. Aktuator nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Kolbenstange (22) aus Keramik wie SiN besteht.

13. Aktuator nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß das Kopflager (24) aus Graphit oder aus Keramik wie SiSiC oder aus mit Metall getränkter Kohlekeramik besteht.

14. Aktuator nach einem der Ansprüche 1 bis 13, dadurch gekennzeichnet, daß die Kolbenstange (22) durch eine Buchse (66) aus mit Metall getränkter Kohlekeramik hindurch in das Zylindergehäuse (8) eingeführt ist.

15. Aktuator nach einem der Ansprüche 1 bis 14, dadurch gekennzeichnet, daß das Zylindergehäuse (8) aus elektrisch leitendem oder halbleitendem Material besteht und mit elektri­ schen Anschlußklemmen (80, 84) zum Anschluß an eine elektri­ sche Spannungsquelle versehen ist.

16. Aktuator nach Anspruch 15, gekennzeichnet durch eine wei­ tere elektrische Anschlußklemme (84) an dem freien Ende der Kolbenstange.