DE19613745A1 - Verfahren zur Herstellung anamorphotischer mikrooptischer Arrays und damit ausgestattete Faserlinse - Google Patents
Verfahren zur Herstellung anamorphotischer mikrooptischer Arrays und damit ausgestattete FaserlinseInfo
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Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung
insbesondere refraktiver und refraktiv-reflektiver
anamorphotischer mikrooptischer Arraykomponenten mit
hohem Füllfaktor zum Zwecke der Strahlformung, speziell
der effizienten Kollimation von Lasern mit räumlich
anisotropen Strahleigenschaften, vorzugsweise von
Laserdioden-Arrays und Excimerlasern. Erfindungsgemäß
wird bei der Dünnschicht-Vakuumbedampfung in einem
System mit Planetenrotation eine sequentielle
Maskenabschattung vorgenommen, die zu einer in
mindestens zwei Raumrichtungen voneinander
verschiedenen Schichtdickenmodulation und somit zu
einem kompakten mikrooptischen Array mit mindestens
zwei verschiedenen Krümmungsradien bzw. Brennweiten der
Elemente führt. Durch geeignetes Design von Abschattung
und Schichtaufbau können dichroitische Eigenschaften,
eine ortsabhängige Teilreflexion oder eine Apodisation
von Einzelelementen bzw. des gesamten Arrays erreicht
werden, um die optischen Eigenschaften zu verbessern.
Weiterhin betrifft die Erfindung eine speziell
gestaltete Faserlinse, bei welcher auf abgeflachten
Bereichen die erfindungsgemäß hergestellten
anamorphotischen mikrooptischen Arrays angeordnet sind.
Ein wesentliches Anwendungsgebiet der Erfindung ist die
Herstellung neuartiger mikrooptischer Komponenten, die
sich zur effizienten Strahlformung und
Strahlhomogenisierung von anisotropen Lichtquellen
eignen. Bevorzugtes Anwendungsgebiet von
anamorphotischen Mikrolinsenarrays ist die Kollimation
von Laserdiodenarrays und Excimerlasern, die sich
typischerweise durch Elliptizität des Strahlprofils und
unterschiedliche Divergenzen in voneinander
verschiedenen Raumrichtungen auszeichnen und
astigmatische Eigenschaften aufweisen können. Für
Anwendungen in der Materialbearbeitung, Lasermedizin
und Photonik werden isotrope Divergenzverteilungen
benötigt, um möglichst zirkulare Laserflecke bei der
Fokussierung zu erzielen. Damit lassen sich gegenüber
nicht-zirkularen Verteilungen beispielsweise höhere
Datenmengen pro Fläche auf optische Speichermedien
schreiben und größere Wirkungsgrade bei der Einkopplung
in Lichtwellenleiter (Fasern, Faserbündel, integrierte
Optik) erzielen. Die verbesserte Fokussierbarkeit
spielt eine herausragende Rolle bei optisch gepumpten
Lasersystemen, namentlich diodengepumpten
Festkörperlasern, für die eine große Breite von
Anwendungen abzusehen ist und deren optischer
Wirkungsgrad als eine entscheidende Größe in die Kosten
pro Photon eingeht. Darüber hinaus können refraktiv-
reflektive anamorphotische Arrays zur Realisierung
neuartiger Resonatoren eingesetzt werden (Rückkopplung
und Kopplung von Laserdioden-Arrays mit externen
Resonatoren). Spektral breitbandig transmittierende
Arrays lassen sich vorteilhaft für durchstimmbare Laser
und breitbandige Quellen einsetzen. Für Bildsensoren
mit nichtquadratischen Pixelgeometrien kann wiederum
die Erzeugung einer Matrix angepaßter Spots von
Interesse sein. Vielfältige neue Anwendungen eröffnen
sich bei kompakter Bauweise, geringem Gewicht,
Flexibilität und Integrierbarkeit in mikrooptische
Systeme.
Aus der Literatur bekannt sind verschiedene Anordnungen
zur Kollimation und Kopplung von Laserdioden, linearen
Laserdioden-Arrays, Wellenleitern und
Wellenleiterarrays mittels Mikrolinsen bzw.
Mikrolinsenarrays und diffraktiven Komponenten sowie
Verfahren zur Herstellung derartiger Bauelemente. Zur
Kopplung von Einzeldioden mit Einzelfasern wurden
Systeme aus zwei Linsen mit homogener oder inhomogener
Brechzahl zur Kompensation der Strahl-Elliptizität
vorgeschlagen (Drummond: An optical system.- GB 88-
16064). Miniatur-Zylinderlinsen mit elliptischer oder
hyperbolischer Profilfunktion zur Kollimation linearer
Diodenlaser-Arrays und zur Kopplung mit linearen Faser-
Arrays wurden entwickelt und sowohl die Anordnung
(Snyder: Laser diode assembly including a cylindrical
lens. - US 90-591409) als auch das
Herstellungsverfahren (Snyder: Method for fabrication
of cylindrical microlenses of selected shape and
resulting product. - US 90-591462) in
Erfindungsbeschreibungen veröffentlicht. Hierbei werden
Glas-Preforms geeigneter Profile mit konventionellen
Faser-Ziehmethoden zu Faserlinsen ausgezogen, wobei
sowohl an die Bearbeitung der Preforms als auch an den
Ziehprozeß extreme Genauigkeitsanforderungen zu stellen
sind (Wälti u. a.: Collimation of diode laser arrays
with cylinder lenses. - Pure Appl. Opt. 3, 1994,
199-208) . Die Faserlinsen leisten nur eine Kollimation in
einer Raumrichtung, wobei nachgeschaltete separate
Linsen-Arrays zur Kollimation der zweiten Raumrichtung
benutzt werden können (Chen u. a.: Design approaches for
laser-diode material-processing systems using fibers
and micro-optics. - Opt. Eng. 33, 1994, 3662-3669) . Ein
kompakterer Aufbau zur Kollimation linearer
Laserdioden-Arrays ergibt sich bei unmittelbarem
Aufbringen eines linearen Mikro-Zylinderlinsen-Arrays
auf der flachen Seite der Faserlinse (Grunwald u. a.:
Microlens arrays for segmented laser architectures. -
Proc. SPIE Vol. 2383, 1995, 324-333). Diese Anordnung
ist jedoch nicht zur Kollimation zweidimensionaler
Laser-Arrays geeignet. In der Literatur wird darauf
verwiesen, daß die Realisierung von Arrays aus
Faserlinsen schwierig ist und Koppeleffizienzen von
maximal 60% erbringt, was allerdings noch weit über den
erreichten Effizienzen diffraktiver Arrays aus Mikro-
Fresnel-Linsen liegt (Thurlow u. a.: Semiconductor laser
array to fibre array coupling via diffractive
microlenses. - IEE Colloquium on Microengineering and
Optics, Digest No. 1994/043, London 1994). Der Aufwand
zur Herstellung diffraktiver Bauelemente ist ebenfalls
hoch, da i.a. Vielschrittverfahren einzusetzen sind.
Ferner verringert die starke Wellenlängenabhängigkeit
der diffraktiven Elemente deren universelle
Einsetzbarkeit. Aufwendig ist ebenfalls die Herstellung
planarer anamorphotischer Gradientenindexlinsen-Arrays
durch Dotierung (Oikawa u. a.: Integrated Planar
Microlens and its applications. - SPIE 898, 1988, 3)
oder computergenerierter holografischer Elemente
(Casasent, Yu: One-dimensional collimation of laser
array outputs. - Appl. Opt. 33, 1994, 3118-3126).
Nachteilig bei sämtlichen bekannten technischen
Lösungen sind die aufwendigen Herstellungsverfahren für
die Komponenten, komplizierte Justageprozeduren
und/oder geringe Effizienzen bei Anwendungen zur
Kopplung. In den meisten Fällen müssen Systeme aus
mehreren Komponenten verwendet werden, was die
erreichbare Kompaktheit wesentlich begrenzt.
Bekannt ist die Möglichkeit der Schichtdickenmodulation
mit Hilfe abschattender 3D-Masken bei
Bedampfungsprozessen, so zur Herstellung von einzelnen
Gradientenspiegeln bzw. Mikro-Gradientenspiegel-Arrays
geringer Füllfaktoren mit Vakuumbedampfung (Grunwald
u. a.: Verfahren zur Herstellung optischer Elemente mit
örtlich variablem Reflexionsgrad. - DD C 23 C 14/332
071 5; bzw. Grunwald u. a.: Graded Reflectivity Micro-
Mirror Arrays. - SPIE Vol. 1983, 1993, 49-50) und zur
Herstellung von einzelnen Mikro-Luneburg-Linsen durch
Sputtern (Yao, Anderson: Shadow sputtered diffraction-
limited waveguide Luneburg Lenses. - Appl. Phys. Lett.
33, 1978, 307-309) . Subtraktive Techniken (strichweises
Ätzen von Polymer) wurden in zwei zueinander
senkrechten Richtungen in gleicher Weise angewandt, um
Mikrolinsen-Arrays als Reliefs in Substrate zu
schreiben (Przyrembel: Continous-relief microoptical
elements fabricated by laser beam writing. -
Microsystem Technologies, Berlin 1994, 219-228; Zimmer,
Bigl: 1. Int. Mittweidaer Fachtagung Qualitäts- und
Informationsmanagement 1994). Diese Verfahren sind
aufwendig. Als additive Technik zur Herstellung
orthogonaler oder hexagonaler Mikrolinsenarrays hoher
Füllfaktoren wurde die Methode des Aufdampfens
gekreuzter Dünnschicht-Zylinderlinsen-Arrays
entwickelt, bei der ein einziges Schlitzmasken-Array in
verschiedenen Winkelstellungen benutzt wird und pro
Schritt gleiche Schichtdicken aufgedampft werden (3.
Berlin 1995, Summary). Die resultierenden orthogonalen
Arrays haben gleiche Krümmungsradien in allen
Raumrichtungen parallel zum Substrat und eignen sich
daher nicht für die Kollimation von bzgl. der Divergenz
anisotroper Laserstrahlung.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein
einfaches, kostengünstiges und reproduzierbares
Verfahren anzugeben, das die Herstellung von kompakten,
laserfesten Arrays aus anamorphotischen, refraktiven
sowie refraktiv-reflektiven Einzelelementen in
zweidimensionaler Anordnung mit hohem geometrischem
Füllfaktor mit möglichst wenigen technologischen
Verfahrensschritten gestattet. Weiterhin ist es Aufgabe
der Erfindung, eine kompakte Anordnung zur Kollimation
und Kopplung matrixförmig angeordneter Lichtquellen zu
schaffen.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß gelöst durch die
Merkmale im kennzeichnenden Teil der Hauptansprüche 1,
10 und 17 im Zusammenwirken mit den Merkmalen im
jeweiligen Oberbegriff.
Zweckmäßige Ausgestaltungen der Erfindung sind in den
Unteransprüchen enthalten.
Das erfindungsgemäße Verfahren beruht darauf, daß
mittels maskengesteuerter Vakuumbedampfung in einem
System mit Planetenrotation der Substrathalterungen
Dünnschicht-Zylinderlinsen-Arrays unterschiedlicher
Schichtdicke und/oder unterschiedlicher Geometrie
gekreuzt auf ein oder mehrere Substrate, vorzugsweise
auf eine einzige Substratoberfläche, aufgebracht
werden. Die Bedampfung erfolgt in wenigen
(typischerweise zwei oder drei) Schritten mit Hilfe
abschattender, wohlgeformter Schlitzmasken-Arrays zur
örtlichen Schichtdickenmodulation. Die verwendeten
Schlitzmasken weisen definierte Kanten-Schnittprofile,
bevorzugt schräge Kanten mit mehreren Anstiegen oder
auch glatte Profilfunktionen, auf. Auf diese Weise
können Arrays aus Einzelelementen hergestellt werden,
die in unterschiedlichen Raumrichtungen
unterschiedliche Krümmungsradien aufweisen. Durch
Abscheidung von Einzelschichten oder
Mehrschichtsystemen mit geeignetem Design können sowohl
refraktive als auch refraktiv-reflektive (hybride)
Array-Komponenten realisiert werden. Damit lassen sich
dichroitische oder apodisierende Eigenschaften sowie
breitbandige Entspiegelungen integrieren. Die
Verwendung UV-transmittierender Schichtmaterialien
(SiO₂) erlaubt die problemlose Herstellung von
strahlungsfesten Arrays für Excimerlaser-Anwendungen.
Die Verwendung von dünnen Polymerfolien oder
abgeflachten Fasern als Substrat erlaubt die
Herstellung extrem kompakter, flexibler mikrooptischer
Systeme mit integrierten anamorphotischen Arrays.
Die Erfindung wird nachstehend anhand von zumindest
teilweise in den Figuren dargestellten
Ausführungsbeispielen näher erläutert.
Es zeigen:
Fig. 1 eine Abscheidungsvariante mit
unterschiedlichen Schichtdicken
Fig. 2 eine Abscheidungsvariante mit gleichen
Schichtdicken
Fig. 3 eine Abscheidungsvariante aus elliptisch
geformten Einzelelementen
Fig. 4 eine Realisierungsvariante auf einer
Faserlinse
Fig. 1 zeigt stark schematisch eine Variante des
erfindungsgemäßen Verfahrens, bei der eine gekreuzte
Abscheidung von zwei linearen Zylinderlinsen-Arrays
dermaßen erfolgt, daß die einander überlagernden Arrays
im Winkel von 90° zueinander ausgerichtet sind und die
Schichtdicken beider erzeugender Arrays unterschiedlich
gewählt werden. Dies wird durch sequentielle Bedampfung
mit einem Schlitzmasken-Array in zwei Winkelstellungen
(0°, 90°) erreicht, wobei jeder Winkelstellung
unterschiedliche Bedampfungszeiten entsprechen. Im
Falle kreiszylindrischer Mikrolinsen verhalten sich die
Quadrate der resultierenden Krümmungsradien r₁, r₂ in
den beiden ausgezeichneten Richtungen zueinander wie
r₁²/r₂² = (h₂/h₁) * (h₁²+d²/4)/(h₂²+d²/4) (1)
(h₁, h₂ = Schichtdicken, d = Linsendurchmesser senkrecht
zur Zylinderachse)
Das zweite Ausführungsbeispiel beschreibt als eine
weitere erfindungsgemäße Verfahrensvariante gemäß Fig.
2 die gekreuzte Abscheidung von zwei linearen
Zylinderlinsen-Arrays in derartiger Weise, daß die
einander überlagernden Arrays ebenfalls im Winkel von
90° zueinander ausgerichtet sind, jedoch gleiche
Schichtdicken gewählt werden. Dies wird durch
sequentielle Bedampfung mit zwei Schlitzmasken-Arrays
unterschiedlicher Geometrie (Schlitzbreite) in zwei
Winkelstellungen (0°, 90°) erreicht, wobei jeder
Winkelstellung gleiche Bedampfungszeiten entsprechen.
Im Falle kreiszylindrischer Mikrolinsen verhalten sich
die Quadrate der resultierenden Krümmungsradien r₁, r₂
in den beiden ausgezeichneten Richtungen zueinander wie
r₁²/r₂² = (h²+d₁²/4)/(h²+d₂²/4) (2)
(d₁, d₂ = Linsendurchmesser senkrecht zu den jeweiligen
Zylinderachsen,
h = Schichtdicke)
h = Schichtdicke)
Das dritte Ausführungsbeispiel beschreibt als eine
weitere erfindungsgemäße Verfahrensvariante gemäß Fig.
3 die Abscheidung von anamorphotischen Linsen-Arrays
aus elliptisch geformten Einzelelementen. Der
Dampfstrahl D in einer Vakuumbedampfungsanlage mit
Planetenrotation, welcher relativ zum Substrat S
rotiert, passiert eine abschattende dicke Maske M mit
elliptischen Löchern und erzeugt auf diese Weise eine
ortsabhängig dickenmodulierte Schicht auf dem Substrat
S mit einer maximalen Dicke h. Die Maskenöffnungen sind
als Array angeordnet und zeichnen sich dadurch aus, daß
die beiden Ellipsen-Hauptachsen in x- und y-Richtung,
dXL1, dYL1, auf der dem Substrat zugewandten Seite der
Maske infolge schräger Lochkanten kleiner als die
beiden Ellipsen-Hauptachsen in x- und y-Richtung, dXL2,
dYL2, auf der vom Substrat abgewandten Seite der Maske
sind. Ferner sind die Verhältnisse der jeweiligen
beiden Hauptachsen der Ellipsen für beide Seiten
unterschiedlich:
dXL1/dYL1 ≠ dXL2/ dYL2 (3)
Die Maskengeometrie ist so gewählt, daß die
resultierenden Einzelelemente in x- und y-Richtung
parabolische Schnittprofile mit jeweils
unterschiedlichen Brennweiten aufweisen,
deren Verhältnis aus den unterschiedlichen Hauptachsen
dX und dY resultiert. Das Verfahren kommt im Gegensatz
zur Methode der gekreuzten Zylinderlinsen-Arrays mit
einem einzigen Bedampfungsschritt aus.
Wie Ausführungsbeispiel 3, jedoch besitzen die zur
Abschattung verwendeten Löcher auf beiden Seiten der
Maske eine unterschiedliche Form. Während auf der vom
Substrat abgewandten Seite elliptische Öffnungen
vorliegen, sind die zum Substrat hin gerichteten
Öffnungen von quadratischer Form und liegen direkt auf
dem Substrat auf. Durch geeignete Anordnung der
Öffnungen in der Art eines Schachbrettmusters kann nach
einem ersten Bedampfungsschritt durch Verschieben der
Maske um eine Seitenlänge eines Quadrates in einem
zweiten Bedampfungsschritt die freigebliebene Fläche
ebenfalls bedampft und somit ein hoher Füllfaktor
erreicht werden.
Das fünfte Ausführungsbeispiel beschreibt gemäß Fig. 4
eine kompakte Anordnung zur Kollimation und Kopplung
von matrixförmig angeordneten optischen Bauelementen,
bestehend aus einer abgeflachten Faserlinse und einem
integrierten zweidimensionalen Array aus
anamorphotischen Dünnschichtlinsen, welche auf der
ebenen Seitenfläche der Faser aufgedampft sind. Die
Einzelkomponenten der Anordnung (Faserlinse,
Mikrolinsenarray) sind durch geeignete Beschichtung
spektral selektiv, insbesondere für ausgewählte
Spektralbereiche breitbandig transparent (AR-coating),
während in anderen Spektralbereichen ein hoher
Reflexionsgrad erreicht wird. Die Anordnung kann in
zwei Richtungen betrieben werden, um entweder ein
lineares Array A (n) von Quellen (z. B.
Laserdiodenzeile) in ein zweidimensionales Array B
(n × m) aus beispielsweise aktiven oder passiven
Lichtwellenleitern zu überführen, oder um ein
zweidimensionales Array B (n × m) aus Quellen (z. B.
Stacks aus Laserdiodenzeilen) in ein lineares Array
A (n) aus aktiven oder passiven Lichtwellenleitern zu
überführen.
Mehrere Faserlinsen der beschriebenen Art können ferner
zu einem Stack zusammengefaßt werden, wodurch auch eine
Kopplung von (n × k) in (n × k × m) Zellen und
umgekehrt möglich wird.
Claims (20)
1. Verfahren zur Herstellung anamorphotischer
mikrooptischer Arrays,
dadurch gekennzeichnet, daß
dünne optische Schichten in einem System mit
Planetenrotation derart auf Substraten abgeschieden
werden, daß durch sequentielles oder simultanes
Einbringen wohlgeformter Arrays von
Abschattungsmasken und Steuerung der
Bedampfungsdauer eine in mindestens zwei
Raumrichtungen unterschiedliche
Schichtdickenmodulation und daraus resultierend
mehrere unterschiedliche Krümmungsradien realisiert
werden.
2. Verfahren nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß
die Abscheidung der optischen Schichten durch
Vakuumbedampfung erfolgt.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2,
dadurch gekennzeichnet, daß
eine sequentielle Bedampfung in mindestens zwei
Schritten erfolgt, zwischen denen die Masken um
definierte Winkel gedreht werden, wobei mit
Schritten von 90° orthogonale Strukturen und mit
Schritten von 60° hexagonale Strukturen aus der
Überlagerung von linearen Arrays zylindrischer
Einzelelemente erzeugt werden, wobei im
Winkelbereich kleiner 90° zwei Schritte zur
Realisierung elliptischer Einzelelemente
ausreichen.
4. Verfahren nach mindestens einem der Ansprüche 1 bis 3,
dadurch gekennzeichnet, daß
als Masken lineare Arrays von Schlitzen mit
geeigneten Tiefenprofilen, vorzugsweise mit zur
Maskenebene schrägen Wänden mit je einem oder
mehreren Anstiegswinkeln, oder zusammengesetzte
Masken unterschiedlichen Profils verwendet werden.
5. Verfahren nach mindestens einem der Ansprüche 1 bis 4,
dadurch gekennzeichnet, daß
in den einzelnen Winkelschritten Maskenarrays
unterschiedlicher Geometrie, vorzugsweise Schlitze
unterschiedlicher Breite, verwendet werden.
6. Verfahren nach mindestens einem der Ansprüche 1 bis 5,
dadurch gekennzeichnet, daß
die Beschichtung in den einzelnen Winkelschritten
mit unterschiedlicher Bedampfungsdauer erfolgt.
7. Verfahren nach mindestens einem der Ansprüche 1 bis 6,
dadurch gekennzeichnet, daß
Mehrfachschichten aufgedampft und auf diese Weise
Einzelelemente mit ortsabhängiger Reflexion,
dichroitischen oder apodisierenden Eigenschaften
realisiert werden.
8. Verfahren nach mindestens einem der Ansprüche 1 bis 7,
dadurch gekennzeichnet, daß
die Arrays zusätzlich breitbandig entspiegelt
werden.
9. Verfahren nach mindestens einem der Ansprüche 1 bis 8,
dadurch gekennzeichnet, daß
UV-transmittierende Materialien, vorzugsweise SiO₂,
aufgebracht werden.
10. Verfahren zur Herstellung anamorphotischer
mikrooptischer Arrays,
dadurch gekennzeichnet, daß
optische Einzel- oder Mehrfachschichten in einem
System mit Planetenrotation derart auf Substraten
abgeschieden werden, daß eine Maske oder Masken
kombination mit speziellen Öffnungen wie einem Ar
ray aus elliptischen Löchern, zur Abschattung des
Dampfstrahls eingesetzt wird und in einem einzigen
Schritt in mindestens zwei Raumrichtungen unter
schiedliche Schichtdickenmodulationen (Krümmungs
radien) realisiert werden.
11. Verfahren nach mindestens einem der Ansprüche 1 bis 10,
dadurch gekennzeichnet, daß
als Substrat abgeflachte Faserlinsen verwendet
werden.
12. Verfahren nach mindestens einem der Ansprüche 1 bis
8 oder 10,
dadurch gekennzeichnet, daß
als Substrat dünne, flexible Polymerfolien
verwendet werden.
13. Verfahren nach mindestens einem der Ansprüche 1 bis 12,
dadurch gekennzeichnet, daß
Zylinderlinsenarrays auf unterschiedlichen Seiten
eines oder mehrerer Substrate aufgebracht werden.
14. Verfahren nach mindestens einem der Ansprüche 1 bis 13,
dadurch gekennzeichnet, daß
den lokalen Schichtdickenprofilen mit Hilfe
zusätzlicher Abschattungs-Masken globale
einhüllende Funktionen überlagert werden.
15. Verfahren nach Anspruch 10,
dadurch gekennzeichnet, daß
sich die Form der Öffnungen der Abschattungsmaske
auf der dem Substrat zugewandten und der vom
Substrat abgewandten Seite der Maske wesentlich
unterscheiden, bei elliptischen Löchern
vorzugsweise durch ein unterschiedliches Verhältnis
der beiden Hauptachsen.
16. Verfahren nach Anspruch 10,
dadurch gekennzeichnet, daß
die Öffnungen der Maske auf der dem Substrat
zugewandten Seite quadratisch geformt sind und
zwischen den Öffnungen definierte Flächen
freigelassen sind, so daß mit mindestens zwei
Bedampfungsschritten und zwischengeschalteten
geeigneten lateralen Verschiebungen der Maske
relativ zum Substrat die gesamte Fläche ausgefüllt
und auf diese Weise ein hoher Füllfaktor erzeugt
wird.
17. Anordnung zur Kollimation und Kopplung matrixförmig
angeordneter Lichtquellen,
dadurch gekennzeichnet, daß
ein oder mehrere zweidimensionale Arrays
vorzugsweise anamorphotischer Dünnschicht-
Mikrolinsen direkt auf einer oder mehreren
einseitig abgeflachten Faserlinsen angeordnet sind,
so daß entweder ein oder mehrere lineare Arrays von
Quellen in ein oder mehrere zweidimensionale Arrays
oder umgekehrt ein oder mehrere zweidimensionale
Arrays von Quellen in ein oder mehrere lineare
Arrays transformiert werden.
18. Anordnung nach Anspruch 17,
dadurch gekennzeichnet, daß
ausgewählte spektral selektive Beschichtungen
integriert sind.
19. Anordnung nach Anspruch 17,
dadurch gekennzeichnet, daß
diffraktive Gitterstrukturen im Material der
Faserlinse oder in zusätzlichen Schichten
eingeschrieben sind.
20. Anordnung nach Anspruch 17,
dadurch gekennzeichnet, daß
elektrisch schaltbare, reflektive oder transmittive
Array-Komponenten, vorzugsweise ferroelektrische
räumliche Lichtmodulatoren (SLM) einbezogen sind.
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Family Applications (1)
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DE1996113745 Expired - Fee Related DE19613745B4 (de) | 1996-04-01 | 1996-04-01 | Verfahren zur Herstellung anamorphotischer mikrooptischer Arrays und damit ausgestattete Faserlinse |
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---|---|
DE (1) | DE19613745B4 (de) |
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