DE19601500A1 - Verfahren zur Einkapselung optischer Fasern - Google Patents

Verfahren zur Einkapselung optischer Fasern

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DE19601500A1
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Ling Hung Chi
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Description

Die Erfindung bezieht sich auf optische Faserverbindungen und insbesondere auf die Technik der Einkapselung von optischen Fasern, die auf eine Oberfläche eines Teils gebondet worden ist, beispielsweise eine optische Rückseitenebene.
Die US-A 5,259,051 beschreibt ein Verfahren zur Herstellung optischer Rückseitenebenen unter Verwendung eines Aderführungsroboters zur Anlage von optischen Fasern an eine flache Oberfläche eines biegsamen Kunststoffsubstrats. Die Fasern werden an dem Substrat mittels eines auf Druck ansprechenden Klebstoffs gebondet und nach der Leiterwegführung werden sie mit einer thermoplastischen Folie bedeckt, die sie einkapselt, um sie zu schützen, ihnen strukturelle Stabilität zu verleihen und die optischen Fasern während der Handhabung der optischen Rückseitenebene an richtiger Stelle zu halten. Die optischen Fasern als Komponente werden typischerweise als Übertragungsleitungen großer Kapazität zwischen gedruckten Leiterplatten oder zwischen optischen Schaltungen verwendet.
Die US-Patente 5,259,051 und 5,292,390 beschreiben die Verwendung eines thermoplastischen Materials, beispielsweise Polyurethan zur Einkapselung oder Bedeckung der optischen Fasern einer optischen Rückseitenebene. Eine Schwierigkeit mit optischen Rückseitenebenen aus diesem Material besteht darin, daß sie nicht der Entflammbarkeitsklasse entsprechen, die für die dieses elektronische Gerät, beispielsweise komplexe Vermittlungssysteme, erforderlich ist. Wegen seiner Natur fließt Thermoplastik, wenn erhitzt, was die strukturelle Integrität der optischen Rückseitenebene beeinträchtigen kann. Noch gravierender ist, daß, wenn der Kunststoff in Abhängigkeit von beispielsweise einer Flamme fließt, er den darunterliegenden Klebstoff Luft aussetzt, wodurch sich der Klebstoff entzünden kann. Die zur Zeit gültigen Entflammbarkeitsanforderungen könnten erfüllt werden, wenn das Einkapselungsmaterial in der Lage wäre, einer Flamme und einer Hitze von 200 Grad C zu widerstehen, ohne sich zu entzünden oder seine strukturelle Integrität zu verlieren.
Die oben angeführten Druckschriften beschreiben die Notwendigkeit für ein Einkapselungsmittel, das die Enden der optischen Fasern mit großer Präzision stabilisiert, jedoch keine solche Kraft auf die Fasern ausübt, daß diese brechen, insbesondere nicht an Überkreuzungsstellen, d. h. an Stellen, an denen eine Faser eine oder mehrere andere Fasern überlappt. Es besteht deshalb ein andauernder Bedarf für ein Einkapselungsmittel, das diese Anforderungen erfüllt, jedoch nicht merklich strukturell durch Temperaturen von mindestens 200 Grad C beeinträchtigt wird.
Die Erfindung wird in den Ansprüchen definiert. Im einzelnen umfaßt ein Verfahren zur Einkapselung optischer Fasern die Schritte des Bondens der optischen Faser an eine erste Oberfläche eines steifen ebenen Teils und Plazierung des ebenen Teils in einer im wesentlichen luftdichten Kammer. Ein Einkapselungsblatt oder Folie ist in der luftdichten Kammer so gelegen, daß das Blatt oder die Folie dem ebenen Teil gegenüberliegt. Der Luftdruck am ebenen Teil wird dann merklich niedriger als der Luftdruck auf dem Einkapselungsblatt oder Folie gemacht, was das Einkapselungsblatt oder die Folie dazu bringt, gegen das ebene Teil gepreßt zu werden. Das Einkapselungsblatt oder die Folie ist aus einem flexiblen Material hergestellt, welches seine strukturelle Integrität beibehält und weder schmilzt noch sich bei Temperaturen von mindestens 200 Grad c entzündet. Beispielsweise kann das Einkapselungsblatt oder die Folie aus Kapton(®), aus dotiertem Mylar (®) oder aus Aluminiumfolie bestehen. Das Einkapselungsblatt oder die Folie wird an das ebene Teil mittels eines Klebstoffs gebondet, so daß es, nachdem es gegen die optische Faser gepreßt worden ist, jede optische Faser an der ihr angewiesenen Stelle dauerhaft stützt.
Diese und andere Zielrichtungen, Merkmale und Vorteile der Erfindung sind nach Betrachtung der nachfolgenden Beschreibung in Verbindung mit den Zeichnungen besser verständlich. Dabei zeigt:
Fig. 1 eine schematische Schnittansicht einer luftdichten Kammer, die zum Einkapseln von optischen Fasern verwendet wird.
Fig. 2 eine schematische vergrößerte Darstellung einiger der Komponenten der Vorrichtung nach Fig. 1 und
Fig. 3 eine Ansicht der Kammer der Fig. 1 in einer nachfolgenden Stufe des Verfahrens.
Die Zeichnungen sind schematisch und in einigen Fällen sind die Abmessungen absichtlich verzerrt, um der Klarheit der Darlegung willen.
Mit Bezug auf Fig. 1 wird eine im wesentlichen luftdichte Kammer 10 gezeigt, die zur Einkapselung von optischen Fasern gemäß einer Ausführungsform der Erfindung benutzt wird. Die luftdichte Kammer 10 wird durch zwei Umschlußelemente 11 und 12 bestimmt, die auf entgegengesetzten Seiten eines Einkapselungsblattes oder einer Einkapselungsfolie 13 geklemmt sind. Die Einrichtung zur Abdichtung der beiden Umschließungselemente wird aus Gründen der Vereinfachung nicht dargestellt, jedoch wird Druck angelegt, beispielsweise mittels einer Presse oder durch eine Klemmeinrichtung, die an den Umschlußelementen 11 und 12 befestigt ist, was genügt, um eine luftdichte Passung zu ergeben. Das Einkapselungsblatt 13 besteht aus einem Material, das im wesentlichen gegenüber Luft undurchdringlich ist; es erstreckt sich um den gesamten Umfang der luftdichten Kammer 10 und bildet effektiv eine luftdichte Dichtung zwischen den Umschlußelementen 11 und 12. Das Blatt 13 teilt effektiv die luftdichte Kammer 10 in einen oberen Kammerteil 14 und einen unteren Kammerteil 15, die gegenseitig im wesentlichen hermetisch gegeneinander abgedichtet sind.
Die obere Teilkammer 14 umfaßt ein ebenes Element 17 mit einer ersten Oberfläche 18, an welcher nicht dargestellte optische Fasern gebondet worden sind. Der Zweck des Geräts nach Fig. 1 besteht darin, die optischen Fasern einzukapseln, indem das Blatt 13 auf die erste Oberfläche 18 des ebenen Elements 17 gebondet wird, welches die Fasern enthält. Das ebene Element 17 ist von dem Blatt 13 über Abstandshalter 19 getrennt. Die obere Teilkammer 14 ist über ein Ventil 21 mit einem Saugapparat 22 verbunden. Die untere Teilkammer 15 ist über ein Ventil 23 entweder mit dem Saugapparat 22 oder einer Gasquelle 24 verbunden, beispielsweise Stickstoffgas.
Die Vorrichtung nach Fig. 1 ist zur Einkapselung von optischen Fasern konstruiert, die auf eine Oberfläche eines Blattes von flexiblem Kunststoff verlegt worden sind. Mit Bezug auf die vergrößerte Einzelheit der Fig. 2 sind optische Fasern 26 illustrativ auf einem biegsamen Kunststoffsubstrat 29 mittels eines auf Druck ansprechenden Klebers 30 gebondet, wie sie in dem Verfahren nach dem US- Patent 5,259,051 beschrieben worden ist. Die Fasern 26 können in Gruppen von drei wie gezeigt gruppiert sein, und zwar aus Gründen, wie in dem Paten 5,259,051 angegeben. Und es können eine Mehrzahl von nicht dargestellten Überkreuzungen vorkommen, bei denen gewisse optische Fasern andere optische Fasern überlappen. Das flexible Kunststoffsubstrat 29 wird durch einen zeitweisen Kleber, beispielsweise Flexmark(®) DFM 700 Clear V-302 ULP, erhältlich von der Flexcon Company, Spencer, Massachusetts, USA, an das ebene steife Element 27 gebondet, welches beispielsweise eine ebene Aluminiumfolie sein kann. Der auf Druck ansprechende Kleber 30 kann der Klebstoff Nr. 711 der Adchem Corp. Westbury, New York, USA, sein. Nach der Durchführung der Leiterwegführung der optischen Fasern wird eine zweite Klebstoffschicht 31 über die gesamte Oberfläche einschließlich der optischen Fasern 26 gelegt, wobei die Klebstoffschicht 31 ebenso der Klebstoff Nr. 711 sein kann.
Im Betrieb werden beide Ventile 21 und 23 der Fig. 1 zunächst mit dem Saugapparat 22 verbunden, um ein Teilvakuum in beiden Teilkammern 14 und 15 zu erzeugen. Der Zweck dieser Maßnahme besteht darin, das Gas zwischen dem Blatt 13 und dem ebenen Element 17 abzusaugen. Danach wird das Ventil 21 mit dem Saugapparat 22 verbunden, während das Ventil 23 mit der Gasquelle 24 verbunden wird, typischerweise Stickstoff. Dadurch wird ein viel geringerer Gasdruck in der oberen Teilkammer 14 als in der unteren Teilkammer 15 erzeugt. Infolgedessen wird das flache Element 17, die Abstandshalter 19 und das Einkapselungsblatt 13 vertikal nach oben gezogen, wie in Fig. 3 dargestellt, um gegen das Umschlußelement 11 zu drücken. Der auf das Blatt oder die Folie 13 ausgeübte, nach oben gerichtete Gasdruck erstreckt sich gleichmäßig entlang der gesamten Fläche. Die Klebstoffschicht 31 bringt das Blatt oder die Folie 13 dazu, an dem ebenen Element 17 zu haften, dabei die optischen Fasern einzukapseln, die an der Oberfläche des ebenen Elements 17 gebondet sind. Danach wird die gebondete Struktur von der Kammer 10 entfernt und das Kunststoffsubstrat 29 der Fig. 2 wird von dem steifen Element 32 abgeschält. Die zusammengesetzte Struktur einschließlich des Kunststoffsubstrats 29, der optischen Fasern 26 und der angebondeten Einkapselungsschicht 13 bildet dann beispielsweise eine optische Rückseitenebene.
Die angelegte Gasdruckdifferenz beträgt typischerweise 10,7 mal 10⁴ bis 28,5 mal 10⁴ Pa. Der Vorteil der Anlage von Druck wie gezeigt besteht darin, daß der Druck von sich aus gleichmäßig verteilt ist und nicht an Vorsprüngen konzentriert ist, beispielsweise an Überkreuzungen. Für einen gegebenen Ausstoß sorgt die mit der Erfindung erzeugte Einkapselung für eine bessere Ummantelung und strukturelle Stützung für die optischen Fasern.
Gemäß der Erfindung besteht das Einkapselungsblatt oder die Folie 13 aus einem biegsamen, flammenresistenten Material, das seine strukturelle Integrität beibehält und nicht schmilzt, noch sich bei Temperaturen von mindestens 200 Grad C entzündet. Dies stellt eine Abkehr von früheren Einkapselungen für leiterweggeführte optische Fasern dar, bei denen das Einkapselungsblatt oder die Folie aus einem Thermoplastik bestehen mußte, beispielsweise Polyurethan, welches, wenn erhitzt, allmählich fließt, um die optischen Fasern fest zu umgeben, ohne die Notwendigkeit der Anlage von zu viel Kraft. Die nunmehrigen Experimente zeigen, daß mit der Erfindung es nicht notwendig ist, einen Thermoplasten als Einkapselungsmittel zu verwenden.
Mit Bezug auf Fig. 2 ist es bekannt, daß das Substrat 29 aus Kapton (®), ein flexibles, flammenresistentes und hitzebeständiges Material, besteht. Mit der Erfindung kann das Einkapselungsblatt oder die Folie 13 auch aus Kapton bestehen. Wenn das Einkapselungsblatt oder die Folie gegen das Substrat 29 gedrängt wird, fließt es nicht um die optischen Fasern in dem Maße, wie ein erhitztes Thermoplast dies tut, ist jedoch genügend biegsam, sich an die Oberfläche anzupassen, an der es anliegt, wodurch die optischen Fasern fest eingehüllt werden. Selbst mit Überkreuzungen wurde ein hoher Ausstoß von perfekt arbeitenden optischen Rückseitenebenen durch das angegebene Verfahren erzielt. Kapton ist ein Kunststoffmaterial, ist biegsam, fließt jedoch nicht in Abhängigkeit von Wärme und behält seine strukturelle Integrität bei Temperaturen gut oberhalb von 200 Grad C. Ein weiterer Vorteil von Kapton liegt darin, daß keine Notwendigkeit für die Erhitzung der Struktur während des Einkapselungsprozesses besteht, daher ist während des gesamten Verfahrens die luftdichte Kammer 10 bei im wesentlichen Raumtemperatur. Beide Kapton-Schichten 29 und 13 der Fig. 2 können eine Dicke von 0,0254 bis 0,254 mm aufweisen.
Kommerziell erhältliche Aluminiumfolie wurde auch erfolgreich als Einkapselungsschicht 13 verwendet. Während Aluminiumfolie flexibel ist, hat es nicht viel Elastizität. Die Notwendigkeit für Elastizität wird dadurch verringert, daß die Abmessung a der Fig. 3 klein relativ zur Länge der Einkapselungsschicht 13 gehalten wird. In ausgeführten Experimenten war die Länge und Breite der Einkapselungsschicht 711 mm auf 305 mm und der Abstand a betrug 0,889 mm. Die Aluminiumfolie war genügend flexibel, sich selbst fest um die optischen Fasern zu "gießen", um abhängigen Schutz zu bieten. Die verwendete Aluminiumfolie ist kommerziell unter dem Handelsnamen Reynold Wrap erhältlich und hat eine Dicke von ungefähr 0,0127 mm.
Durch Verwendung der Klebstoffschicht 31 zum Bonden der Einkapselungsschicht 13 kann man jedes biegsame flammenresistente Material verwenden, das seine strukturelle Integrität beibehält und nicht schmilzt noch bei Temperaturen von mindestens 200 Grad C sich entzündet und welches nicht reißt, wenn den Belastungen des Geräts der Fig. 1 unterworfen. Ein anderes derartiges Material ist Mylar (WZ), welches geeignet imprägniert worden ist, wie es bekannt ist, um flammenresistent zu werden. Zahlreiche andere Ausführungsformen und Modifikationen können von den Fachleuten ausgeführt werden, ohne von der umrissenen Erfindung abzuweichen.

Claims (20)

1. Verfahren zur Einkapselung optischer Fasern mit folgenden Schritten:
optische Fasern (26) werden an einer ersten Oberfläche (18) eines ebenen Elements (17) gebondet, die eine erste und eine zweite Hauptfläche aufweisen;
das ebene Element (17) wird in eine im wesentlichen luftdichte Kammer (10) verbracht,
eine Einkapselungsfolie oder ein Blatt (13) in der luftdichten Kammer (10) wird so angeordnet, daß sie benachbart der ersten Oberfläche (18) des ebenen Elements (17) ist, wobei die Folie oder das Blatt erste und zweite Hauptflächen aufweist und die erste Hauptfläche der Folie oder des Blattes der ersten Hauptfläche des ebenen Elements gegenübersteht;
die Einkapselungsfolie oder das Blatt ist aus einem flexiblen Material hergestellt, das die strukturelle Integrität beibehält und weder fließt noch sich bei Temperaturen von mindestens 200 Grad C entzündet;
der Luftdruck auf der zweiten Hauptfläche des ebenen Elements (17) wird merklich niedriger als der Luftdruck auf der zweiten Oberfläche der Folie oder des Blattes gemacht, so daß die erste Hauptfläche der Folie oder des Blattes an der ersten Hauptfläche des ebenen Elements (17) angepreßt wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Einkapselungsfolie oder das Blatt im wesentlichen undurchlässig gegenüber Gas ist und sich über die luftdichte Kammer (10) erstreckt, um diese in eine erste und zweite Teilkammer (14, 15) aufzuteilen, wobei die erste Teilkammer (14) das ebene Element (17) enthält, und daß der Herstellungsschritt die Anlage eines merklich niedrigeren Luftdruckes in der ersten Teilkammer (14) gegenüber der zweiten Teilkammer (15) beinhaltet.
3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die erste Teilkammer (14) teilweise durch ein erstes Umschließungsteil (11) bestimmt wird, daß die zweite Teilkammer (15) teilweise durch ein zweites Umschließungsteil (12) bestimmt wird und daß das erste und das zweite Umschließungsteil (11, 12) auf entgegengesetzten Seiten der Einkapselungsfolie oder des Blattes geklemmt wird.
4. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß der erste und der zweite Umschließungsteil (11, 12) an entgegengesetzten Seiten der Einkapselungsfolie bzw. des Blattes entlang des gesamten Umfanges der im wesentlichen luftdichten Kammer (10) aneinander anliegen und daß die Einkapselungsfolie bzw. das Blatt eine Dichtung darstellt, um Luft am Eintritt in die luftdichte Kammer an der Verbindung der ersten und zweiten Umschließungsteile zu hindern.
5. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Einkapselungsfolie bzw. das Blatt aus einem Material hergestellt ist, das aus folgender Gruppe ausgewählt ist: Kapton, imprägniertes Mylar und Aluminiumfolie.
6. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die erste Teilkammer (14) mit einem Sauggerät (22) verbunden ist, um ein teilweises Vakuum in der ersten Teilkammer (14) herzustellen und daß die zweite Teilkammer (15) mit einer Gasquelle (24) verbunden ist, um einen vorbestimmten relativ hohen Luftdruck in der zweiten Teilkammer (15) aufrecht zu erhalten.
7. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß vor dem Herstellungsschritt sowohl die erste als auch die zweite Teilkammer (14, 15) mit dem Sauggerät (22) verbunden sind, um ein teilweises Vakuum in beiden Teilkammern zu bilden und daß die Einkapselungsfolie bzw. das Blatt (13) von dem ebenen Element (17) über einen Abstandshalter (19) getrennt ist, daß während des Herstellungsschrittes das Teilvakuum an die erste Teilkammer (14) angelegt wird, um die zweite Oberfläche des ebenen Elements (17) dazu zu bringen, gegen das erste Umschließungsteil (11) zu drücken, und daß die Einkapselungsfolie bzw. das Blatt (13) genügend elastisch ist, sowohl gegen den Abstandshalter (19) als auch sich an der ersten Oberfläche des ebenen Elements (17) anzulegen.
8. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das ebene Element (17) einen nicht biegsamen Teil umfaßt, der die zweite Oberfläche bestimmt, und einen zweiten flexiblen Einkapselungsteil (29), auf welchem die optischen Fasern (26) montiert sind, und daß nach der Anhaftung der Einkapselungsfolie bzw. des Blattes an die erste Oberfläche, der zweite Einkapselungsteil (25) von dem nicht flexiblen Teil entfernt wird, wobei die optischen Fasern (26) von der flexiblen Einkapselungsfolie bzw. dem Blatt (13) und dem zweiten flexiblen Einkapselungsteil (29) eingekapselt sind.
9. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Einkapselungsfolie bzw. das Blatt aus einem Material hergestellt ist, das aus folgender Gruppe ausgewählt ist: Kapton, Mylar und Aluminiumfolie.
10. Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Einkapselungsfolie bzw. das Blatt (13) und das zweite Einkapselungsteil (29) beide aus Kapton bestehen.
11. Verfahren nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß im wesentlichen während des gesamten Verfahrensablaufs die luftdichte Kammer (10) im wesentlichen auf Raumtemperatur gehalten wird.
12. Verfahren nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Einkapselungsfolie bzw. das Blatt (13) aus einem flammenresistenten und im wesentlichen unelastischen Material besteht.
13. Verfahren zur Einkapselung optischer Fasern mit folgenden Schritten:
ein ebenes Element (17) wird in eine luftdichte Kammer (10) verbracht, wobei das ebene Element (17) auf einer ersten Oberfläche leiterweggeführte optische Fasern aufweist;
eine Einkapselungsfolie oder ein Blatt (13) wird in der luftdichten Kammer (10) so angebracht, daß sie benachbart der ersten Oberfläche des ersten Teils (17) angeordnet ist, wobei die Folie bzw. das Blatt erste und zweite Hauptflächen aufweist und die erste Hauptfläche der Folie oder des Blattes der ersten Oberfläche des ebenen Elements gegenübersteht;
die Einkapselungsfolie bzw. das Blatt (13) ist im wesentlichen gegenüber Gas undurchlässig und erstreckt sich über die luftdichte Kammer (10), um diese in eine erste und eine zweite Teilkammer (14,15) aufzuteilen, wobei die erste Teilkammer (14) das ebene Element (17) enthält;
ein merklich niedrigerer Luftdruck wird in der ersten Teilkammer (14) gegenüber der zweiten Teilkammer (15) angelegt, wobei die erste Hauptfläche der Folie bzw. des Blattes dazu gebracht wird, sich an der ersten Hauptfläche des ebenen Elements anzupressen.
14. Verfahren nach Anspruch 13 mit folgendem weiteren Schritt:
die erste Oberfläche des ebenen Elements wird mit einem Kleber bedeckt, der durch die erste Hauptfläche der Folie bzw. des Blattes dazu gebracht wird, an der ersten Oberfläche des ebenen Elements zu haften.
15. Verfahren nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß die erste Teilkammer (14) teilweise durch ein erstes Umschließungsteil (11) bestimmt wird, daß die zweite Teilkammer (15) teilweise durch ein zweites Umschließungsteil (12) bestimmt wird, daß die ersten und zweiten Umschließungsteile (11, 12) an entgegengesetzten Seiten der Einkapselungsfolie bzw. des Blattes geklemmt werden, daß die erste Teilkammer (14) mit einem Sauggerät zur Herstellung eines Teilvakuums in der ersten Teilkammer verbunden ist und daß die zweite Teilkammer (15) mit einer Gasquelle verbunden ist, um einen vorbestimmten relativ höheren Druck in der zweiten Teilkammer (15) herzustellen.
16. Verfahren nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, daß die Einkapselungsfolie bzw. das Blatt aus einem flexiblen Material hergestellt ist, das seine Strukturintegrität beibehält und weder fließt noch sich bei Temperaturen von mindestens 200 Grad C entzündet, und daß während des Anlageschrittes die luftdichte Kammer im wesentlichen bei Raumtemperatur gehalten wird.
17. Vorrichtung zur Einkapselung optischer Fasern, die auf einer ersten Oberfläche eines Substrats verlegt sind, mit folgenden Merkmalen:
eine luftdichte Kammer (10) ist so ausgebildet, daß sie das Substrat (17) und eine Einkapselungsfolie bzw. ein Blatt (13) parallel zu dem Substrat enthalten kann;
die Einkapselungsfolie oder das Blatt (13) besteht aus einem Material, das im wesentlichen gegenüber Gas undurchlässig ist und erstreckt sich über die luftdichte Kammer (10) und weist eine erste Hauptfläche auf, die der ersten Oberfläche des Substrats (17) gegenübersteht, und eine zweite Hauptfläche, die von dem Substrat weggerichtet ist;
eine Einrichtung zur Herstellung des Luftdrucks am Substrat derart, daß dieser merklich niedriger ist als der Luftdruck auf der zweiten Oberfläche der Einkapselungsfolie (13), wobei die erste Hauptfläche der Folie dazu gebracht wird, sich an der ersten Hauptfläche des Substrats anzupressen.
18. Vorrichtung nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet, daß die luftdichte Kammer (10) durch erste und zweite Umschließungsteile (11, 12) bestimmt wird, die dazu in der Lage sind, auf entgegengesetzten Seiten der Einkapselungsfolie bzw. des Blattes (13) angeklemmt zu werden.
19. Vorrichtung nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet, daß der erste Umschließungsteil (11) und die Einkapselungsfolie (13) eine erste Teilkammer (14) bestimmen, die mit einem Sauggerät (22) verbunden werden kann, um ein teilweises Vakuum in der ersten Teilkammer (14) zu erzeugen, und daß der zweite Umschließungsteil (12) und die Einkapselungsfolie eine zweite Teilkammer (15) bestimmen, die mit einer Gasquelle (24) verbunden werden kann, um einen vorbestimmten relativ höheren Luftdruck in der zweiten Kammer (15) aufrecht zu erhalten.
20. Vorrichtung nach Anspruch 19, dadurch gekennzeichnet, daß sowohl die erste als auch die zweite Teilkammer (14, 15) mit einem Saug- oder Vakuumgerät (22) verbunden werden können, um ein teilweises Vakuum in der ersten und der zweiten Teilkammer zu bilden, wobei die Einkapselungsfolie bzw. das Blatt (13) von dem ebenen Element (17) über einen Abstandshalter (19) getrennt ist, und daß die erste Teilkammer (14) selektiv mit dem Vakuum- oder Sauggerät (22) verbunden werden kann, während die zweite Teilkammer (15) mit der Gasquelle verbindbar ist, um das Substrat dazu zu bringen, gegen das erste Umschließungsteil (11) gezogen zu werden, wenn die erste Oberfläche der Einkapselungsfolie bzw. des Blattes (13) gegen die erste Oberfläche des Substrats gepreßt wird.
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