DE1957779A1

DE1957779A1 - Verfahren und Vorrichtung zum selektiven Justieren von Schaltungselementen einer Duennschicht- oder Hybridschaltung

Info

Publication number: DE1957779A1
Application number: DE19691957779
Authority: DE
Inventors: Gerard Blangeard; Jean Joly
Original assignee: Lignes Telegraphiques et Telephoniques LTT SA
Current assignee: Lignes Telegraphiques et Telephoniques LTT SA
Priority date: 1968-11-18
Filing date: 1969-11-17
Publication date: 1970-07-09
Also published as: GB1293593A; NL6917337A; FR1601453A; DE1957779C3; BE741563A; DE1957779B2

Description

LIGNES TELEGRAPHIQUES ET TELEPHONIQUES 89, Rue de la Paisanderie, Paris 16^e/]?rankreich

Verfahren und Vorrichtung zum selektiven Justieren von Schaltungselementen einer Dünnschicht- oder"

Hybridschaltung

Die Erfindung betrifft ein Verfahren, das es ermöglicht, unter Anwendung des Verfahrens der anodischen Oxydation selektiv die verschiedenen Widerstände zu justieren, welche Bestandteile einer Schaltung mit Dünnschicht-Schaltungselementen sind, sowie eine Vorrichtung zur Durchführung dieses Verfahrens.

Diese durch'katodische Projektion, Vakuumaufdämpfung oder ein anderes an sich bekanntes Verfahren erhaltenen aktiven oder passiven Dünnschicht-Schaltungselemente weisen hinsichtlich des Raumbedarfs, der Zuverlässigkeit und des Herstellungspreises solche Vorteile auf, dass ihre Anwendung sehr sahneil Allgemeingut geworden ist.

Die beim Aufbringen der Dünnschichten erzielte Genauigkeit ist jedoch nicht ausreichend, um es zu ermöglichen, die so gebildsben Schaltungen zu verwenden, ohne dass zuvor eine Justierung bestimmter Schaltungselemente, insbesondere der Widerstände vorgenommen wird. Dieses Problem wird umso schwerwiegender, je komplizierter der Schaltungsverlauf ist, und je mehr verschiedenartige Schaltungselemente in der

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Schaltung enthalten sind.

Bei einer Fertigungsstrasse für dieMassenfertigung von Dünnschichtschaltungen ist das Justieren der verschiedenen Schaltungselemente und insbesondere das Justieren der Widerstände ein diffiziler Vorgang. Es sind bereits Verfahren und Vorrichtungen bekannt, mit denen die Gesamtheit der Widerstände einerDünnschichtschaltung durch anodische Oxydation . durchgeführt werden kann. Insbesondere ist auf die französichen Patentschriften 1 508 862 und 1 44-5 399 sowie deren Zusatzpatentschrift 88811 und auf die US-Patentschrift 3 365 379 zu verweisen.

Ausgehend von diesen Vorarbeiten auf dem Gebiet der Technik ist das Ziel der Erfindung die Schaffung eines Verfahrens und einerVorrichtung, die es ermöglichen, unter Aufrechterhaltung oder sogar Erhöhung des Fertigungsausstosses an Dünnschichtschaltungen, die für die Justierung der verschiedenen Schaltungselemente, insbesondere der Widerstände erforderliche Zeit und Handarbeit zu verringern, wobei aber dile Präzision dieser Operation verbessert wird.

Dies wird nach der Erfindung dadurch erreicht, dass die zu justierende Schaltung durch Ansaugen auf einem Träger gehalten wird, dass eine Maske mit dem Umriss der zu justierenden Widerstände entsprechenden Öffnungen auf die Schaltung aufgelegt wird, dass ein pastenartiger Elektrolyt durch die Öffnungen der Maske hindurch auf die Schaltung aufgebracht wird, dass die Maske dann entfernt wird, dass zwei Elektrodengruppen in Kontakt mit den zu justierenden Elementen gebracht werden, dass den Elektroden der ersten Gruppe ein Oxydationsgleichstrom zugeführt wird, dass den Elektroden der zweiten Gruppe ein Messwechselstrom zum dauernden Messen der Impedanz des Elements im Verlauf der Oxydation zugeführt wird, und dass der Messstromkreis die Unterbrechung des Oxydationsgleichstroms steuert.

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Vorzugsweise haben der Oxydationsstromkreis und der Messstromkreis einen gemeinsamen Punkt.

Die Justierung aller Widerstände einer Dünnschichtschaltung kann gleichzeitig durchgeführt werden, oder es kann jeder Widerstand einer Dünnschichtschaltung für sich allein justiert und kontrolliert werden.

Gemäss einer "bevorzugten Weiterbildung der Erfindung sind die Masken austauschbar.

Eine vorteilhafte Ausführungsform des erfindungsgemässen Verfahrens besteht darin, dass der ASTM-Penetrationsindex des Elektrolyts zwischen 180 und 210 liegt.

Eine Vorrichtung zur Durchführung des erfindungsgemässen Verfahrens ist vorzugsweise dadurch gekennzeichnet, dass die Gruppe der Oxydationselektroden einstellbar auf einer gemeinsamen schwenkbaren isolierenden Scheibe von strahlenförmigem Aufbau montiert ist, und dass jede Elektrode zur Anpassung an die Form der zu justierenden Schaltung entlang dem entsprechenden Radius verstellbar ist.

Eine vorteilhafte Weiterbildung dieser Schaltung besteht darin, dass die Gruppe der Messelektroden an einem von der Scheibe getragenen austauschbaren Träger befestigt ist, der in Abhängigkeit von der Form der zu justierenden Schaltung bearbeitet ist.

Vorzugsweise ist die zum Aufbringen des Elektrolyts dienende Maske austauschbar und mit Hilfe eines schwenkbaren Deckels auf die Schaltung auflegbar. Dies kann nachdem in der Offenlegungsschrift 1 814 201 beschriebenen Verfahren erfolgen.

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Im Vergleich zu den "bisher bekannten Verfahren weisen das erfindungsgemässe Verfahren und die zu seiner Durchführung dienende Vorrichtung folgende Vorteile auf:

Die Oxydation der zu justierenden Elemente mit Gleichstrom erfolgt gleichzeitig mit der dauernden Messung des Werts der Elemente mit Wechselstrom. Dadurch wird vermieden, dass in die Oxydations- und Messstromkreisa irgendwelche elektromechanischen oder elektronischen Schaltorgane eingefügt werden müssen. Durch diese Vereinfachung werden nicht nur die Fehlerursachen von stets schwierig einzustellenden Systemen vermieden, sondern es wird auch durch die Ausübung einer ständigen Überwachung des Widerstandswerts eine genauere Justierung ermöglicht, als bei den bekannten Verfahren, wobei zugleich die Dauer der Operation auf einige Sekunden verringert wird.

Das Aufbringen von pastenartigem Elektrolyt auf die zu justierenden Schaltungselemente durch eine für diesen Zweck vorgesehene Maske hindurch kann mit Genauigkeit und auf einfache Weise erfolgen. Unter Vermeidung];)edes Bedienungsfehlers beseitigt dieses Verfahren jede komplizierte Anordnung von Behältern oder getränkten Tupfern, die bei der Anwendung von flüssigem Elektrolyt notwendig sind. Die pastenartige Konsistenz des Elektrolyt verhindert, dass dieser fliesst, die Kontakte der Dünnschichtschaltung beschädigt und die Messungen verfälscht. Andrerseits kann die Verteilung des Oxydationsstroms in dem so auf jedem zu justierenden Schaltungselement gebildeten Gel-Block berechnet werden. Es ist daher möglich, durch Wahl einer geeigneten Dicke der Maske automatisch auf jedes Schaltungselement ein Elektrolytvolumen aufzubringen,das die Gleichförmigkeit des elektrischen Oxydationsfeldes gewährleistet.

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Die zur Durchführung des erfindungsgemässen Verfahrens dienenden Vorrichtungen sind sehr vielseitig anwendbar. Sie lassen sich rasch an die Fertigung aller möglichen Arten von Dünnschichtschaltungen anpassen.

Diese aus der Metallisierungsphase kommenden Schaltungen erleiden keine Verschmutzung, abgesehsn von dem Aufbringen des Elektrolyts im Verlauf der Justierungsphase, weil zu ihrer Befestigung ein Unterdrucksystem angewendet wird. Sobald das Gerät auf eine Art von Dünnschichtschaltungen eingestellt worden ist, sind alle Eingriffe von Hand auf das Anbringen der zu justierenden Schaltungen, auf das Aufbringen des Elektrolyts and auf das Entnehmen der Schaltungen aus dem Gerät beschränkt.

Schliesslich können alle Widerstände der Dünnschichtschaltung ohne Eingreifen der Bedienungsperson automatisch und schnell justiert werden, da die Genauigkeit der Justierung nur von der Empfindlichkeit des Messgeräts und von der Ansprechzeitkonstante der Regelschaltung für den Oxydationsstromkreis abhängt.

Diese Vorteile ergeben in ihrer Gesamtheit einen beträchtlichen Zeitgewinn und eine erhöhte Präzision.. So war es bei der praktischen Fertigung "von Dünnschichtschaltungen möglich, die Justierung von Widerständen mit Werten zwischen 10 und 100000 Ohm in 10 Sekunden mit einer Genauigkeit von unter 1 Promille durchzuführen.

Das zur Durchführung des Verfahrens dienende Gerät nach der Erfindung enthält dieHauptbestandteile, nämlich einen Trägersockel für die Dünnschichtschaltungen, einen in Bezug auf den Sockel schwenkbaren Deckel, der als Träger des

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Bezugssystems für das Anbringen und für die Maske dient, eine Kontaktträgerscheibe und eine Gruppe von Justierkanälen, zu denen die Oxydations- und Messtromquellen, die Mess- und Regelschaltungen sowie der Vergleichswiderstand für die Messung gehören. Die Zahl der Kanäle kann je nach der Art der normalerweise hergestellten Dünnschichtschaltungen und der für die Durchführung der Justierung verfügbaren Zeit mehr oder weniger entwickelt sein. Ein Kanal ermöglicht nämlich jeweils die Kontrolle der Oxydation eines Schaltungselemente. Wenn man über ebensoviele Kanäle verfügt, wie Schaltungselemente zu justieren sind, können die verschiedenen Schaltungselemente alle gleichzeitig behandelt werden, so dass die Dauer der Operation gleich der Dauer der Behandlung eines einzigen Schaltungselement ist. Im anderen Extremfall kann jedes der Schaltungselemente der Reihe nach mit Hilfe eines einzigen Kanals justiert werden (wobei dieser Kanal, dann die erforderlichen Einstellmöglichkeiten für die Vergleichswiderstände hat), und die Dauer der Operation entspricht dann der Dauer der Behandlung eines einzigen Schaltungselements multipliziert mit der Anzahl der zu behandelnden Schaltungselemente.

Die Erfindung wird nachstehend an Hand der Zeichnung beispielshalber beschrieben, wobei zur Vereinfachung der Zeichnungen als Beispiel der Pail betrachtet werden soll, dass die Dünnschichtschaltungen nur vier zu justierende Widerstände enthalten; die Erfindung ist natürlich nicht auf diesen Fall beschränkt.

In der Zeichnung zeigen:

Fig.1 eine perspektivische Ansicht der zur Durchführung des erfindungsgemässen Verfahrens dienenden Vorrichtung,

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richtung,

Fig.2 eine perspektivische Ansicht des Trägersockels für die Dünnschichtschaltungen und des zugehörigen Deckels,

Fig. 3 eine Oberansicht der Kontaktträgerscheibe, Pig.4 einen Querschnitt durch die Kitte der Vorrichtung, .5 das Prinzipschaltbild eines Justierkanals und

Fig.6 das Schaltbild einer anderen Ausführungsfora] des Justierkanals. .

Fig.1 zeigt ein starres Gestell 1, auf welchem der Trägersockel· 2, der zugehörige Deckel 3 und die Kontaktträgerscheibe 4· befestigt sind. Die Bearbeitung dieser Bauteile und ihre Befestigung auf dem (festell sind mit grosser Präzi~ sion erfolgt. Der Trägersockel 2 ist unbeweglich. Dagegen kann der Deckel 3 des Sockels um eine Achse 5 um 180 geschwenkt werden. Er, kann in der in Fig. 1 gezeigten geschlossenen Stellung durch eine Rändelmutter 6 festgehalten werden. Ebenso kann die in Fig.1 in angehobener Lage gezeigte Kontaktträgerscheibe 4 um 90° um ihre Achse 7 verschwenkt werden. Wenn die Kontaktträgerscheibe in ihre horizontale Lage abgeklappt-ist, bedeckt ihre hohle Mitte 8 den Oberteil des Trägersockels 2.

Fig.2 zeigt den Trägersockel 2, wobei der Deckel 3 nach rechts zurückgeklappt ist. A_uf dem Sockel liegt eine elastische Dichtung 9 aus Plastikmaterial auf. Ein Rohrstutzen 10 mündet über eine Öffnung 11 in die Mitte des Sockels. Der Rohrstutzen 10 ist über einen Schlauch mit einer Ünterdruckpumpe verbunden. Der Deckel 3 bildet eine Maske, deren Dicke von der Elektrolytmenge abhängt, welche man auf die Widerstände aufzubringen wünscht, damit

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die Gleichförmigkeit des elektrischen Oxydationsfelds gewährleistet ist. Der Deckel ist austauschbar, da die Fertigung einer bestimmten Dünnschichtschaltung dieVerwendung einer daran angepassten Maske erfordert. In. jeden Deckel sind Öffnungen angebracht, beispielsweise die Öffnungen 12a, 12b, 12c,. 12d bei dem in Fig.1 und gezeigten Deckel. Die Lage dieser Öffnungen entspricht • der Lage der Widerstände in der zu justierenden Dünnschichtschaltung. Das Bezugssystem, das im Verlauf der gesamten Fertigung der Dünnschichtschaltung zur Gewährleistung einer exakten Lage der Substrate während der verschiedenen Fertigungsphasen verwendet wird, ist auf der Innenseite des Deckels 3 befestigt. Dieses bei 13 in Fig.2 dargestellte System entspricht demjenigen, das in der Offenlegungsschrift 1 814 201 beschrieben ist. Es.wird mit Hilfe von vier Muttern 13a, 13b, 13c, 13d, die auf vier am Deckel befestigte Gewindestifte aufgeschraubt sind, am Deckel festgehalten. Der Durchmesser der im Bezugssystem 13 angebrachten Durchgangslöcher ist etwas grosser als derjenige der Gewindestifte, so dass ein Spiel vorhanden ist, das es ermöglicht, das Bezugssystem 13 in eine präzise Lage in Bezug auf die im Deckel angebrachten Öffnungen 12 zu bringen, bevor die Muttern festgezogen werden.

Auf der in Fig.3 gezeigten Kontaktträgerscheibe sind alle Teile zusammengefasst, welche für die Oxydation der Widerstände und für die Kontrollmessung notwendig sind. Sie besteht aus eineijkreisrunden Scheibe 4, in der radiale Schlitze 14 angebracht sind, deren Zahl ausreicht, dass darin unter Berücksichtigung der Höchstzahl der in den Schaltungen vorkommenden Widerstände pro Widerstand zwei für die Messung notwendigen Elektroden angebracht werden können. Diese Elektroden, wie

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beispielsweise die Elektroden 15a und 15b , besitzen gemäss Fig.4 eine Spitze 16 aus vergoldetem Metall, velche mit Hilfe eines Halters 18 an einemArm 17 befestigt ist. Jede Elektrode gleitet in einem der Schlitze 14 und kann darin festgelegt werden, nachdem die Lage der Spitze mit Hilfe des Halters 18 richtig eingestellt worden ist. Eine nicht dargestellte biegsame Verbindung ist zwischen jeden Kontakt 15 und einer der um den Umfang der Scheibe 4 verteilten Anschlussklemmen angebracht. Die Oxydationselektroden 20 , die gleichfalls mit Spitzen 21 aus vergoldetem Metall( Fig.4) ausgebildet sind, sind auf einer Platte 22 aus Isoliermaterial angebracht, die an der Scheibe 4 in einem Abstand befestigt ist, der ausreicht, um die Einstellung der Kontakte nicht zu beeinträchtigen. Die Höhe der Spitze 21 kann durch eine Mikrometerschraube 23 eingestellt werden. Die Platte 22 ist austauschbar, weil die F_ertigung einer bestimmten Schaltung es erforderlich macht, die Platte in Abhängigkeit von der Lage der Widerstände in der Schaltung zu bearbeiten. Sie ist an dem Gerät derart starr befestigt, dass die Spitzen 21 mit der Mitte der Widerstände übereinstimmen. Der elektrische Anschluss dieser Elektroden erfolgt durch einen Stecker, der in den Kopf der Elektrode 20 eingesteckt wird.

Die elektrischen und elektronischen Schaltungen des Geräts sind zu Justierkanälen zusammengefasst, die mit den zu justierenden Schalungselementen über Leiter verbunden sind, die an den Elektroden 15 und enden. Das Prinzipschema eines Kanals ist in Fig.5 dargestellt. Jeder Kanal ermöglicht es, auf daa zu

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justierende Schaltungselement R einen Oxy.dationsgleichstrom einwirken zu. lassen, der über die Elektro- _; den 20 und 15a durch den Elektrolyt e hindurch angelegt wird und von der Stromquelle S1 geliefert wird, um seinen (zwischen den Elektroden 15a und 15b gemessenen) Wert dauernd mit einem Vergleichsmass E -.zu vergleichen, das in einer Msssbrückenschaltung liegt, die von der Stromquelle S2 mit einem Wechselstrom von 800 Hz gespeist wird. Wenn der Brückenabgleich hergestellt ist, unterbricht ein von einer Vergleichsschaltung C abgegebener Impuls den Oxydationsstrom^mit Hilfe eines Relais r, dessen Ansprechzeit in der Grössenordnung 1 Millisekunde liegt. Jedem Schaltungselement, das auf einer Dünnschichtschaltung zu justieren ist, kann bei dem beschriebenen .Gerät ein eigenes elektrisches System dieser Art" zugeordnet sein, wodurch es möglich ist, das Justieren aller Schaltungselemente gleichzeitig und in kürzester Zeit durchzuführen.

Die Dünnschichtschaltungen enthalten jedoch im allgemeinen eine grosse Zahl von zu justierenden Elementen, und eine Schaltung dieser Art kann einen beträchtlichen Materialaufwand mit sich bringen. Andrerseits ist die Dauer des Justiervorgangs in der Praxis sehr klein im Vergleich zu der für seine Vorbereitung erforderlichen Zeit. lus wirtschaftlichen Gründen ist es daher manchmal vorzuziehen, das Justieren aller Widerstände einer Schaltung nacheinander mit Hilfe des gleichen Kanals durchzuführen, indem ein Umschaltsystem vorgesehen wird, mit welchem die zu justierenden Widerstände R und die entsprechenden Vergleichsmasse E nacheinander in die Messbrücke eingeschaltet werden. Diese das andere Extrem darstellende Lösung macht jedoch die elektrische Schaltung komplizierter und erfordert die Verwendung von Umschaltern mit vielen Stellungen, welche die&efahr mit sich, bringen, dass die

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Zuverlässigkeit der Anordnung verringert wird. Man wählt deshalb im allgemeinen einen Kompromiss, der schematisch in Pig.6 dargestellt ist; dort ist die Zahl der Schaltungselemente die mit federn Kanal justiert werden können, auf vier beschränkt. Bei der Inbetriebnahme des Kanals wird der zu justierende Widerstand R^'dem Oxydationsgleichstrom ausgesetzt und von der Messbrücke dauernd mit dem Vergleichsmass Ε., verglichen. Wenn der Abgleich hergestellt ist, schickt die Messbrücke einen Impuls einerseits zu dem Relais r, das den Oxydationsstrom unterbricht, und andrerseits zu einem elektromechanischen Umschalter P, der das schrittweise Weiterschälten der Kontaktarme a, b, c, d, e steuert und den Widerstand R₂ und das Vergleichsmass Ep mit der Messbrücke verbindet. Der Vorgang läuft automatisch ab und er-folgt gleichzeitig auf allen in Betrieb genommenen Kanälen.

Die Anwendung des Geräts erfordert zuvor die Bearbeitung des Deckels 3 und der Platte 22, die an die in der Herstellung befindliche Schaltungsart angepasst sind. Sobald diese Teile an dem Gerät angebracht sind, wird unter Verwendung eines Musters die Einstellung des Bezugssystems in Bezug auf die Öffnungen 12 vorgenommen. Dann erfolgt die Einstellung der Elektrodenspitzen in der Weise, dass die Spitzen der Elektroden 15 zu beiden Seiten jedes Widerstands auf den sich daran anschliessenden Schaltungsteilen aufliegen, und dass die Spitzen 21 den Kontakt mit der elektrolytischen Paste in der Mitte jedes Wida?stands gewährleisten. Eine grosse Anzahl von Schlitzen 14 in der Kontaktträgerscheibe erleichtert die Vornahme dieser Einstellung, weil es dann möglich ist, Schlitze auszuwählen," die für das Erreichen jedes ' Widerstands am günstigsten liegen. Nach der Vornahme dieser

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Einstellungen erfolgt das Anschliessen der Elektroden an den Justierkanälen und das Einstellen der Vergleichswiderstände.

Die Anwendung des Geräts ist sehr einfach; hierzu gehören die folgenden Massnahmen: Das die Dünnschichtschaltung tragende Substrat, das aus der Metallisierungsstelle kommt, wird nach entsprechender Reinigung von Hand in das Bezugssystem 13 eingelegt, wobei die die metallischen Aufträge tragende Seite an dem Deckel 3 anliegt. . Die zu justierenden'Widerstände befinden sich dann genau vor den Öffnungen 12 und der Deckel 3 spielt für die Dünnschichtschaltung die Rolle einer Maske. Der Deckel wird dann auf den Trägersockel 2 geklappt und mit Hilfe der Rändelmutter 6 in dieser lage festgehalten. Die Bedienungsperson füllt die Öffnungen 12 mit Hilfe einer Spachtel mit einem pastenartigen Elektrolyt, der die K_onsistenz eines Gels aufweist, und sie setzt dann die Unterdruckpumpe in Gang. Das angesaugte Substrat legt sich fest an die Dichtung 9 an. Der Deckel 3 kann dann von der Mutter 6 freigegeben und zurückgeklappt werden, worauf die Kontaktträgerscheibe 4 mit Hilfe eines pneumatischen Druckzylinders in die horizontale Lage abgesenkt wird. Dadurch werden die Kontakte zwischen den zu justierenden Widerständen und den Justierkanälen hergestellt. Der Vorgang der Oxydation der Widerstände läuft automatisch ab. Er wird automatisch für jeden Widerstand beendet, wenn der gemessene Wert gleich dem Bezugswert ist. Die Freigabe der justierten Schaltung erfolgt durch Anheben der Scheibe 4 und durch Unterbrechung der Ansaugung. ■

Patentansprüche

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Claims

Pate ntansprüche

erfahren zum selektiven Justieren von Widerständen, die zu einer Dünnschichtschaltung gehören, dadurch gekennzeichnet, dass die zu justierende Schaltung durch Ansaugen auf einem Träger gehalten wird, dass eine Maske mit dem Umriss der.zu justierenden Widerstände entsprechenden Öffnungen auf die Schaltung aufgelegt wird, dass ein pastenartiger Elektrolyt durch die Öffnungen der Maske hindurch auf die Schaltung aufgebracht wird, dass die Maske dann entfernt wird, dass zwei Elektrodengruppen in Kontakt mit den zu justierenden Elementen gebracht werden, dass den Elektroden der ersten Gruppe ein Oxydationsgleichstrom zugeführt wird, dass den Elektroden der zweiten Gruppe ein Messwechselstrom zum dauernden Messen der Impedanz des Elements im Verlauf der Oxydation zugeführt wird, und dass der Messtromkreis die Unterbrechung des Oxydattonsgleichstroms steuert.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Oxydationsstromkreis und der Messstromkreis einen gemeinsasamen Punkt haben.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Justierung aller Widerstände einer Dünnschichtschaltung gleichzeitig durchgeführt wird.
4. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass jeder Widerstand einer Dünnschichtschaltung für sich allein justiert und kontrolliert wird.
5. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Masken austauschbar sind.

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6. . Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche,

dadurch gekennzeichnet,-dass der ASTM-Penetrationsindex des Elektrolyts zwischen 180 und 210 liegt.
7. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Gruppe der Oxydationselektroden einstellbar auf einer gemeinsamen schwenkbaren isolierenden Scheibe von strahlenförmigem Aufbau montiert ist, und dass jede Elektrode zurAnpassung an die Form der zu justierenden Schaltung entlang dem entsprechenden Radius verstellbar ist.
8. Vorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet,

dass dieGruppe der Messelektr.oden an einem von der Scheibe getragenen austauschbaren Träger befestigt ist, der in Abhängigkeit von der Form der zu justierenden Schaltung bearbeitet ist.
9. Vorrichtung nach Anspruch 7 oder 8, dadurch gekennzeichnet, dass die zum Aufbringen des Elektrolyts dienende Maske austauschbar und mit Hilfe eines schwenkbaren Deckels auf die Schaltung auflegbar ist.

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